JPS636509A - ガラスカプラの製造方法 - Google Patents
ガラスカプラの製造方法Info
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- JPS636509A JPS636509A JP14968686A JP14968686A JPS636509A JP S636509 A JPS636509 A JP S636509A JP 14968686 A JP14968686 A JP 14968686A JP 14968686 A JP14968686 A JP 14968686A JP S636509 A JPS636509 A JP S636509A
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- optical waveguide
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Links
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光集植回路基板等に用いられるガラスカプラ
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
従来、ガラスカプラは、低屈折率の基板上に該基板の屈
折率よりわずかに高い屈折率を有するリッジガラスを部
分的に融着して線引きするなどの方法により製造されて
いた。
折率よりわずかに高い屈折率を有するリッジガラスを部
分的に融着して線引きするなどの方法により製造されて
いた。
［発明の解決しようとする問題点］
従来のガラスカプラの製造方法は基板とりフジに適当な
屈折率のガラスを選択して用いる必要があり、現在入手
し得る高屈折率ガラスの硝種には限りがあるため任意の
屈折率が得られないという欠点を有していた。更にリッ
ジを基板に融着する際カプラの縦方向に高精度で方向を
揃えることは困難を伴なう上に、融着後線引きすること
により基板拳すッジ共所望の屈折率からずれを生ずると
いう欠点を有していた。
屈折率のガラスを選択して用いる必要があり、現在入手
し得る高屈折率ガラスの硝種には限りがあるため任意の
屈折率が得られないという欠点を有していた。更にリッ
ジを基板に融着する際カプラの縦方向に高精度で方向を
揃えることは困難を伴なう上に、融着後線引きすること
により基板拳すッジ共所望の屈折率からずれを生ずると
いう欠点を有していた。
本発明はこの様な従来のガラスカプラの製造方法の欠点
を解消するためになされたものであり、任意の屈折率が
容易に得られ、かつ形状の制御が容易なガラスカプラの
製造方法を提供することを目的とする。
を解消するためになされたものであり、任意の屈折率が
容易に得られ、かつ形状の制御が容易なガラスカプラの
製造方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明のガラスカプラの製造方法は、基板上に酸化ケイ
素を主成分とする多孔質ガラス層を形成する工程と、該
多孔質ガラス層を加熱して透明化し透明ガラス層とする
工程と、該透明ガラス層の不要部分を除去して光導波路
を形成する工程とを有することを特徴とするものである
。
素を主成分とする多孔質ガラス層を形成する工程と、該
多孔質ガラス層を加熱して透明化し透明ガラス層とする
工程と、該透明ガラス層の不要部分を除去して光導波路
を形成する工程とを有することを特徴とするものである
。
本発明のガラスカプラの製造方法においては、基板上に
酸化ケイ素を主成分とする多孔質ガラス層を形成する工
程において屈折率制御用の添加剤を選択したり、加熱す
る温度９時間等を制御することにより光導波路を形成す
るりッジ部の屈折率を自由に調整することができる。
酸化ケイ素を主成分とする多孔質ガラス層を形成する工
程において屈折率制御用の添加剤を選択したり、加熱す
る温度９時間等を制御することにより光導波路を形成す
るりッジ部の屈折率を自由に調整することができる。
また、透明ガラス層の不要部分を除去する工程でフォト
リソグラフィ法等の方法を用いることにより光導波路の
形状を自由に設計でき、従来の方法の如く線引き工程を
有しないので、形状の制御が容易で線引きによる屈折率
の変化もない。
リソグラフィ法等の方法を用いることにより光導波路の
形状を自由に設計でき、従来の方法の如く線引き工程を
有しないので、形状の制御が容易で線引きによる屈折率
の変化もない。
［実施例］
以下図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例の各工程を示す工程図であ
る。第１図（イ）の工程において、１００μｍＸ１００
μ■Ｘ ５０ｍｍの形状寸法を有する石英ガラス製基板
ｌの表面に、ＳｉＣ１ｇを主成分としＴ ｉｃ １４を
屈折率制御用の添加剤としたガスを加熱しながら接触さ
せてＳ ｉ０２を主成分とする多孔質ガラス層２を形成
する。
る。第１図（イ）の工程において、１００μｍＸ１００
μ■Ｘ ５０ｍｍの形状寸法を有する石英ガラス製基板
ｌの表面に、ＳｉＣ１ｇを主成分としＴ ｉｃ １４を
屈折率制御用の添加剤としたガスを加熱しながら接触さ
せてＳ ｉ０２を主成分とする多孔質ガラス層２を形成
する。
次に第１図（ロ）に示す工程で、該多孔質ガラス層２を
１，５００℃で１０分間加熱し、該多孔質ガラス層２
を透明ガラス層３とする。
１，５００℃で１０分間加熱し、該多孔質ガラス層２
を透明ガラス層３とする。
更に第１図（ハ）に示す工程で、反応性イオンエツチン
グを用いたフォトリソグラフィ法によって４μｍ×４μ
厘×５０層腸の形状の光導波路４を形成する。
グを用いたフォトリソグラフィ法によって４μｍ×４μ
厘×５０層腸の形状の光導波路４を形成する。
ｆｊＳ２図はこの様な工程で製造したガラスカプラ５を
用いる状態を示す側面図である０図において、光集積回
路６は基板７上に光導波路８を形成して構成されている
。この光集積回路６の光導波路８から発光された光はガ
ラスカプラ５の光導波路４に入射し、該光導波路４を通
ってオプティカルファイバ９のコアｌＯに入射する。
用いる状態を示す側面図である０図において、光集積回
路６は基板７上に光導波路８を形成して構成されている
。この光集積回路６の光導波路８から発光された光はガ
ラスカプラ５の光導波路４に入射し、該光導波路４を通
ってオプティカルファイバ９のコアｌＯに入射する。
なお、本発明のガラスカプラの製造方法は、以上の実施
例の方法、形状に限定されるものでないことは勿論であ
り１例えば光漏れを減少させるために光導波路とに金属
被膜を形成する等の加工を加えても良い。
例の方法、形状に限定されるものでないことは勿論であ
り１例えば光漏れを減少させるために光導波路とに金属
被膜を形成する等の加工を加えても良い。
［発明の効果］
本発明のガラスカプラの製造方法においては、基板上に
多孔質ガラス層を形成し透明化した後不要部分を除去し
て先導波蕗を形成するようにしたので、極めて容易に光
導波路の屈折率を変えることができ、かつ形状の制御及
び生産が容易で生産コストも小さい。
多孔質ガラス層を形成し透明化した後不要部分を除去し
て先導波蕗を形成するようにしたので、極めて容易に光
導波路の屈折率を変えることができ、かつ形状の制御及
び生産が容易で生産コストも小さい。
第１図は本発明の実施例の工程図、第２図は本発明の方
法で製造したガラスカプラの使用状態の例を示す側面図
である。 １．７・・・・基板、 ２・・・・多孔質ガラス層、
３・・・・透明ガラス層、 ４・・・・光導波路、５・
・・・ガラスカプラ、６・・・・光集積回路、８・・・
・光導波膜、９・・・・オプティカルファイバー、
１Ｇ・・・・コア
法で製造したガラスカプラの使用状態の例を示す側面図
である。 １．７・・・・基板、 ２・・・・多孔質ガラス層、
３・・・・透明ガラス層、 ４・・・・光導波路、５・
・・・ガラスカプラ、６・・・・光集積回路、８・・・
・光導波膜、９・・・・オプティカルファイバー、
１Ｇ・・・・コア
Claims (2)
- （１）基板上に酸化ケイ素を主成分とする多孔質ガラス
層を形成する工程と、該多孔質ガラス層を加熱して透明
化し透明ガラス層とする工程と、該透明ガラス層の不要
部分を除去して光導波路を形成する工程とを有すること
を特徴とするガラスカプラの製造方法。 - （２）透明ガラス層の不要部分を除去して光導波路を形
成する工程はフォトリソグラフィ法によるものである特
許請求の範囲第１項記載のガラスカプラの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14968686A JPS636509A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガラスカプラの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14968686A JPS636509A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガラスカプラの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636509A true JPS636509A (ja) | 1988-01-12 |
Family
ID=15480597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14968686A Pending JPS636509A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガラスカプラの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636509A (ja) |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP14968686A patent/JPS636509A/ja active Pending
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