JPS6364767A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents

サ−マルヘツドの製造方法

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JPS6364767A
JPS6364767A JP61210265A JP21026586A JPS6364767A JP S6364767 A JPS6364767 A JP S6364767A JP 61210265 A JP61210265 A JP 61210265A JP 21026586 A JP21026586 A JP 21026586A JP S6364767 A JPS6364767 A JP S6364767A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
layer
polyimide resin
60min
thermal head
Prior art date
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Pending
Application number
JP61210265A
Other languages
English (en)
Inventor
Takumi Suzuki
工 鈴木
Haruo Tanmachi
東夫 反町
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP61210265A priority Critical patent/JPS6364767A/ja
Publication of JPS6364767A publication Critical patent/JPS6364767A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N97/00Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 蓄熱層に用いた有機材料の熱分解温度が低いと印刷中に
抵抗発熱体の断線や保護層における亀裂が発生する。そ
こで有機材料の熱分解温度を高めることによって、抵抗
発熱体の断線や保護層に発生する亀裂の低減を図ったも
のである。
〔産業上の利用分野〕
本発明は抵抗発熱体に電流を流し文字や図形を印刷する
サーマルプリンタに係り、特に有機材料からなる蓄熱層
を有するサーマルヘッドの製造方法に関する。
サーマルヘッドは耐熱性基板とその上に形成された複数
個の抵抗発熱体との間に蓄熱層を具えているが、従来の
サーマルヘッドではこの蓄熱層がガラスで形成されてい
た。しかしガラスは熱伝導率が高いため抵抗発熱体に発
生した熱は蓄熱層を伝って周囲に拡散される。したがっ
て抵抗発熱体に印加されるエネルギの大半が蓄熱層の温
度を上昇させるために消費され、文字や図形の印刷に利
用されるエネルギと印加されるエネルギの比率、即ちエ
ネルギの利用効率が極めて低いという問題があった。
そこで熱伝導率がガラスに比べて低い耐熱性有機材料を
用いてM処理を形成し、印加エネルギの利用効率を高め
たサーマルヘッドの開発が進められている。
〔従来の技術〕
第3図はサーマルヘッドの層構成を示す断面図、第4図
は従来のN熱層の焼成条件を示す図、第5図は一般的な
ポリイミド樹脂の焼成条件を示す図である。
第3図においてサーマルヘッドはグレーズドアルミナか
らなる耐熱性基板1の上にくポリイミド樹脂からなる蓄
熱層2が形成されており、その上にスパンタリング法等
によってクロム(Cr) 、またはニクロム(NiCr
)からなる密着性強化層3と、二酸化シリコン(Si0
2)等からなる絶縁層4が被着されている。
窒化タンクル(TaN)等からなる複数個の抵抗発熱体
5と、NiCr  Au−Cr等からなり抵抗発熱体5
に電流を供給する導体層6は絶縁層4の上に形成されて
おり、抵抗発熱体5はTa205等からなる保護層7に
よって保護されている。
蓄熱層の形成に用いたポリイミド樹脂は温度を順次高め
ながら3段階の焼成を行うことが推奨されており、従来
のサーマルヘッドの製造では第4図に示す如(耐熱性基
板1の上にポリイミド樹脂を塗布した後、90℃で60
分、180℃で60分、300℃で60分、合計180
分の焼成を行っている。第5図に示す如くポリイミド樹
脂は300℃で60分、または350℃で30分の焼成
を行うことによって略100%イミド化し縮合が完了す
る。
ポリイミド樹脂は熱伝導率(0,2〜0.3W/mK)
が、ガラスの熱伝導率(1,1〜1.4W/mK)に比
べて十分低く耐熱性に優れており、耐熱性基板1と抵抗
発熱体5の間にかかる蓄熱層2を有するサーマルヘッド
は、M処理をガラスで形成したサーマルヘッドに比べ印
加エネルギの利用効率を向上させることができる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしポリイミド樹脂からなるM処理を300℃で60
分焼成した従来のサーマルヘッドは、印刷中に抵抗発熱
体の断線や保護層における亀裂が発生するという問題が
あった。
前述の如り300℃で60分焼成すればポリイミド樹脂
の略100%がイミド化し縮合が完了する。しかしかか
る状態は分子が平面的に結合しているだけで厚さ方向の
結合は不十分である。したがって印刷時に蓄熱層に焼成
温度より高い熱を印加されると熱分解が始まる。
抵抗発熱体の断線や保護層における亀裂の発生は、熱分
解により発生したガスが密着性強化Fa3または絶縁層
4を変形せしめ、しかも感熱紙または熱転写フィルムと
保護層7との間に硬度の高い塵埃が浸入した結果惹起さ
れたものである。
第6図は従来の条件で焼成したポリイミド樹脂の機械的
特性を示す図である。
従来の蓄熱層と同じ条件で焼成したポリイミド樹脂に熱
を印加しなから引張試験を行うと、第4図に示す如り5
00°Cの近傍で伸び率が急激に変化している。これは
500℃の近傍で熱分解が始まりポリイミド樹脂の特性
が変化していることを表している。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点は耐熱性基板上に形成された複数個の抵抗発
熱体を有し、該当抵抗発熱体にパルス電流を通電するこ
とによって、文字や図形を印刷するサーマルヘッドを製
造するに当たり、縮合或いは重合することにより高分子
化する耐熱性の有機材料からなる蓄熱層2を、耐熱性基
板1と抵抗発熱体5の間に形成し、且つ有機材料が完全
に縮合或いは重合する温度より高く、有機材料が熱分解
しはじめる温度より低い温度で、蓄熱層2を焼成する本
発明になるサーマルヘッドの製造方法によって解決され
る。
〔作用〕
耐熱性基板上に形成された有機材料からなる蓄熱層を焼
成する際に、有機材料が完全に縮合或いは重合する温度
より高く、有機材料が熱分解しはじめる温度より低い温
度で焼成することによって、有機材料の熱分解温度が高
くなり抵抗発熱体の断線や保護層に発生する亀裂を低減
することができる。
〔実施例〕
以下添付図により本発明の実施例について説明する。第
1図は本発明の一実施例における蓄熱層の焼成条件を示
す図、第2図は本発明の製造方法における条件で焼成し
たポリイミド樹脂の機械的特性を示す図である。
第1図において耐熱性基板1の上にポリイミド樹脂を塗
布した後、90℃で60分、180℃で60分、300
℃で60分、合計180分の焼成を行った後、450℃
で更に60分の焼成を行っている。ポリイミド樹脂は3
00℃で60分、または350℃で30分の焼成を行う
ことによって略100%イミド化し縮合が完了する。か
かる樹脂を更に有機材料が完全に縮合或いは重合する温
度(350°C)より高く、有機材料が熱分解しはじめ
る温度(500℃)より低い温度、叩ち450℃で更に
60分の焼成を行うことによって、有機材料の熱分解温
度が高(なり抵抗発熱体の断線や保護層に発生する亀裂
を低減することができる。
ちなみに本発明の製造方法における条件で焼成したポリ
イミド樹脂に熱を印加しなから引張試験を行うと、第2
図に示す如<550℃の近傍で伸び率が急激に変化して
いる。これは550℃の近傍で熱分解が始まりポリイミ
ド樹脂の特性が変化していることを表し、同図に破線で
示した従来の蓄熱層と同じ条件で焼成したポリイミド樹
脂に比べ、ポリイミド樹脂の熱分解温度が約50℃高く
なっていることを示している。
〔発明の効果〕
上述の如く本発明によれば熱伝導率がガラスに比べて低
い耐熱性有機材料を用いて蓄熱層を形成し、印加エネル
ギの利用効率を高めたサーマルヘッドを提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における蓄熱層の焼成条件を
示す図、 第2図は本発明の製造方法における条件で焼成したポリ
イミド樹脂の機械的特性を示 す図、 第3図はサーマルヘッドの層構成を示す断面図、第4図
は従来のN処理の焼成条件を示す図、第5図は一般的な
ポリイミド樹脂の焼成条件を示す図、 第6図は従来の条件で焼成したポリイミド樹脂の機械的
特性を示す図、 である。 印 、かヰ 二屋i 度 C′C) 第2圀 ;見へ晴M(へり 印力σl濱(’cジ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)耐熱性基板上に形成された複数個の抵抗発熱体を有
    し、該当抵抗発熱体にパルス電流を通電することによっ
    て、文字や図形を印刷するサーマルヘッドを製造するに
    当たり、 縮合或いは重合することにより高分子化する耐熱性の有
    機材料からなる蓄熱層(2)を、該耐熱性基板(1)と
    該抵抗発熱体(5)の間に形成し、且つ該有機材料が完
    全に縮合或いは重合する温度より高く、該有機材料が熱
    分解しはじめる温度より低い温度で、該蓄熱層(2)を
    焼成することを特徴としたサーマルヘッドの製造方法。 2)上記蓄熱層(2)を構成する有機材料としてポリイ
    ミド樹脂を用い、該蓄熱層(2)を350℃を超え70
    0℃未満の温度で焼成する、特許請求の範囲第1項記載
    のサーマルヘッドの製造方法。
JP61210265A 1986-09-05 1986-09-05 サ−マルヘツドの製造方法 Pending JPS6364767A (ja)

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JPS6364767A true JPS6364767A (ja) 1988-03-23

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