JPS6362662A - 超音波振動と低周波振動を重畳させた砥石車による精密仕上加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業−にの利用分野） 本発明は従来の研削方法では困難とされているゴム及び
セラミックス等を容易に精密研削できる砥石車に超音波
振動と低周波振動を１１−（畳させて研削する複合仕」
三方法に関する。。

（従来技術） 切削・研削工具によって精密加工するためには、］−作
物に与える力を少しでも軽減するツノ・θ（によって加
工する必要がある。１回１１ｖ；円板１・にＩｕｌ刃を
有限数設けた例えばフライスを高速回転させて切削する
ことによって切削力が軽減する。　　　　　　　゛回転
円板トに無数に砥粒を分布させた砥石車を高速回転させ
て研削することによって、砥粒１刀あたりの切込みがさ
らに小さくなって工作物に作用する力が激減して精密加
工できるようになる。しかし、一方、約２０００ｍ／ｍ
ｉｎに及ぶ高速研削のため多量の研削液によって工作物
および砥石＋１（を冷却しなければならない程平均研削
温度が著しく−Ｉ〕昇することも既に周知のところであ
る。６砥石車の高速回転にともなう、この著しい発熱現
象があるにもかかわらず、工作物に作用する力の激減効
果が絶大であるため砥石車による研削前Ｉ：が広く常用
されているのが現状である。従来のに作物の材質は、金
属が主体で発熱があっても熱伝達効率がよく冷却効果が
よいので適切な研削液を多量に使用することによって精
密研削をｎＪ能としていた。

（発明か解決しようとする問題点） しかし、今日では精密加工理論、技術の有無にかかわら
ず、新素材が開発されてきてよダリ、そのなかにはゴム
、Ｆ”　ＲＰ　、セラミックスのように熱伝達効率の悪
い新素材が多く含まれ−Ｃいる。そして、これらにも極
めて１１°６い加−１、精度が要求されてきている。

これらに対する精密加工の期待に応えるためには、平均
研削温度」二）１をより少なくして研削力をさらに激減
させることができろ研削力ρζが必要である。ゴムのよ
うな軟くてねばい）４料、金属、セラミックスのような
硬くてもろい材７２１に共通な精密研削方法がないとい
う問題点がＪろっだ。

（問題点を解決するための手段） 本発明は平均研削温度−ｈ−）１により少なくして研削
力をより軽減していかなるＨ料に＾１してでも同じ加工
条件で精密研削することができることを［１的とするも
ので、砥石車を軸方向及び又は半径方向に超音波振動さ
せ乍ら、詠砥石中又は工作物を切込み方向に低周波振動
させて１）ｊりくずを微細に寸断する如くなした砥石中
に超音波１１Ｊ！動と低周波振動を重畳させて研削する
ことを特徴とするものである。

（実施例） 以１：１図示した実施例に基ついて具体的に説明する。

第１図は従来の研削法のときの研削機構と研削力波形を
示す。研削速度Ｖで矢印３の方向に高速回転する砥石車
１を工作物２に対して切込みしを与えて研削するときの
研削機構トこおいて砥石ｉＩｔ内の１つの砥粒は斜線で
示した面積Δ１３　Ｃを切削する。砥粒は高速回転して
いるために、砥石車の切込みは１．であっても、砥粒１
刃の見掛は上の切込みｇ。は極めて小さくなる。

このときのω■削方力波形円筒面に間隔をもって分布す
る砥粒の高速回転と砥粒の弾性振動によって周期的に変
化する。これをモデル化して表オー）すと、図示４のよ
うに主分力ｐｃ、背分力Ｐｔともに、Ｐ　ｍ（！ａｎ　
＋ｐ　Ｓｉｎωを形で表わされる。工作物の背分力方向
のばね定数をに、角固有振動数をω、とすると、ω１に
ωの関係で研削しているのが−・般であるため、加工精
度に関係する工作物の背分力方向の工作物の弾性変位１
７Ｌｘは、にはこの変位［ｉｌｘを軽減させる必・掛が
牛ずろ。

そのためには、砥石車を工作物に押えつける力を軽減さ
せる必要が生ずる３、すなわり、Ｉ’ｍｅＪｕ＋の値を
少さくして切れ味を向−１−させる必要がある。

発明者は今日までに砥石ｉ１ｔをω１削方向すなわち、
第２図における砥石車を５の矢印１°Ｈｆｉの方向に超
音波ねじり振動させて研削速度Ｖ＜２πａｆの研削速度
で振動研削する方法を発明した。この方θミによって研
削力波形は図示のようにパルス研削力波形６となり、パ
ルス研削力の絶対値をＩ〕′　とすると、背分力方向の
変位Ｘは、動−サイクルでの正味研削時間、゛「は振動
周期である。このとき、諸摩擦抵抗が減少する効果と作
用時間が短くなるのでＬＬ　、ｔＪトけＩ・のＩＲＪ込
みが浅くなる効果によってＰ’＜Ｉ”となる。すなわち
、研削砥石接触面での研削力１１′　も減少し、加工精
度に関係する工作物の背分力方向の変イ立Ｘは従来の研
削方法における同じ研削速度のときの変位に比べてＹ（
十〜±九二減少する。

さらに、第３図のように、矢印７の方向しこＦ〈ｆの低
い振動を重畳して与え、研削速度Ｖ〈２πΔＦで研削す
ると、その研削力波形は断続パルス切削力波形８となっ
て工作物に作用する。

そして、不感性振動切削機構と零位瞬間振動切削との重
畳振動切削機構効果により、研削砥石接触面の研削力Ｐ
　Ｒが減少し、加工精度しこ関係する−１−作物の背分
力方向の変位Ｘが連続）（ルス研削力の場合に比へてさ
らに減少し、精密研削加−■二を可能とする。しかし、
このとき、研削速度■は低速となるので、２０００ｍ／
ｍｊｎの研削速度のときのｇ。に等しくさせて研削しよ
うとすると、工作物の送り速度■９は遅し）速度となり
、ω（１°ｉｌｌ能皐が約Ｍｏ〜％ｏしこ低減する欠点
が生ずる。

そこで、上述の特徴を生かして研削能率が低ドしないよ
うな新しい研削方法について考えた。

砥石車の周速度は極端に低速しなし）で切りくず長さを
寸断するようにしてパルス切削力波形を発生させること
に着眼して考案した。

第４図のように、砥石車をに作物の周速度と直角方向で
砥石車の回転軸と直角をなす方向の矢印１０の方向に低
周波振動させて低周波振動砥石１１とし、これに切込み
ｌをｌｊえて−１−作物２を周速度Ｖ９で直進運動させ
ろと、振動Ｉ　Ｊ＋’ｌ１期によって切りくず１２を約
％Ｆの長さに切断することができる。これによ−）て供
用研削１・′＝０、Ａ＝Ｏのときには切込み１．を７ｊ
、えて研削するときの砥粒１刃あたりのＩ切込み深さｌ
ζｃ　ｌｅｔ研削点各点で一様であるが、第４図の場合
には、ｇ（、の値は時々刻々変化し、パルス切削力も時
々刻々変化して、最大振動速度２　％　Ａ　Ｆの４＋Ｉ
近で最大研削力Ｐ４を示ずようか断続研削力波形１３と
することができる。これを第５図のように、砥石車の回
転軸方向１．　／Ｉの方向に４ｈ←１すＪ数１゛、振幅
ａ５の超音波振動させて軸方向超音波振動砥石車１５と
して、これを高速回転させ、切込み方向の矢印］−〇の
方向に低周波振動させて研削すると、研削面における各
砥粒刃先の運動軌跡が相互に文部して、切りくずが短く
切断できる機構とな１）で、不揃いな砥粒先端が切りく
ずをさらに細かく微粒化して第４図ではＰ　ｍｅａｎ＋
ｐｓｉｎω１．で表オ〕される断続研削力波形を図示の
ようなパルス研削力波形とすることができる。

そして、その最大値ｒ）、をＰ　ｓ　＜　Ｐ　４のよう
に軽減させることができる。

また、第６図のように砥石車の半径方向１６の方向に振
動数ｆ、振幅ａｌ−で超音波振動させて半径方向超音波
振動砥石車１７としてこれを高速回転させ、さらに矢印
１０の方向に振動数Ｆ、振幅へで低周波振動させて研削
することにより、研削面における各砥粒の１刃あたりの
切込み深さを規則的に曵、深と変化させることができ、
これに不揃いな砥粒先端切刃の切込み深さの差による切
りくず長さの寸断効果が相乗されて図示のようなパルス
研削力波形とすることができる。そして、その最大値Ｐ
６をＰｃ＜ｐ４のように軽減することができる。

この第５図、第６図の研削方法を１【畳、複合させるこ
とによって第７図に示したようにパルス研削力Ｐ７をＰ
６．Ｐ５よりもさらに激減させて最小値を示すような断
続パルス研削力波形とし、発熱のない超精密研削を可能
とする、１すなわち、第７図において、砥石車の軸方向
１４の方向に振動数１、振幅ａδで超音波振動させ、か
つ半径方向に振動数ｆ、振幅ｔｌＹ−で超音波振動させ
て軸方向、半径方向超音波振動砥石車１８として、これ
を回転させ、矢印１０のｌｊ向に振動数Ｆ、振幅Ａで低
周波振動させて研削することによって、研削面における
各砥粒の運動軌跡が相互に激しく交錯する機構と、切込
み深さが断続する機構との相乗効果により切りくずを極
細化してパルス研削力の値の小さい、断続パルス研削力
波形を発生させることができ精密研削を実現させる。

次に、本発明による各種研削方法について説明する。

半径方向用ｔ″を波振動砥石１７による代表釣餌用法を
第８図によって説明する。平面研削は縦超音波振動子を
用いて半径方向に超音波振動する砥石車」７を約２００
０ｍ／ｍｊｎ程度の研削速度■で矢印３方向に回転させ
、その主軸台あるいは工作物を電気油圧振動駆動装置で
工作物の周速度と直角方向で砥石車の回転軸と直角をな
す方向に振動数Ｆ、振幅八へ低周波振動させ、直進運動
する工作物に周速度Ｖを与えて精密平面研削する。円筒
研削は半径方向に振動数ｆ、振幅ａで超音波振動する砥
石車１，７を研削速度Ｖで矢印３方向に回転させ、その
主軸台あるいは工作物を電気油圧振動駆動装置によって
図示の方向に振動数Ｆ、振幅へで低周波振動させ、工作
物に周速度■を与えて精密円筒研削する。内面研削は円
筒研削同様に半径方向に振動数ｆ、振幅ａで超音波振動
する砥石車１−７を矢印方向に回転させ、その主軸台あ
るいは工作物を電気油圧振動ｌψ動装置によって図示の
方向に振動数Ｆ、振幅へで低周波振動させ、工作物２を
周速度■で回転させて精密内面研削する。

回転軸方向超？ｆ波振動砥石１５による代表的研削法を
第９図によって説明する。・１１而研削ＩＪ、回転軸方
向に超音波振動する砥石ｊｌｊ　１．５を研削速度Ｖで
矢印３方向に回転させ、その−１：、軸台あるいは工作
物を電気油圧振動駆動装Ｆ？に」；って図示の方向に振
動数Ｆ、振幅へで低周波］ｈＳ　！ｌ！ＩＩさせ、直進
運動する工作物に周速度■をりえて精密平面研削する。

円筒研削は回転軸す向に振動数ｆ、振幅ａで超音波振動
ずろ砥石中１５を研削速度Ｖで矢印３方向に回転させ、
そのｔ″、Ｉｔｉ＋ｌｔ台あるいは工作物を電気浦／Ｉ
Ｅ　４１Ｉ！動１ｔｊ７動装置ｔ１１°で図示の方向に
振動数１？、振幅Δで低周波振動させ、工作物に周速度
■を与えて精密円筒研削する。。

内面研削は円筒研削同様に回−Ｌ軸方向に振動数ｆ、振
幅ａで超音波振動する砥石ｉ１．　ｌ　５を矢印方向に
回転させ、その主軸台あるいは■作物物を電気油圧振動
駆動装置で図示の方向に振ｉ１ｉ＃数１・゛、振幅Ａで
低周波振動させ、１ユ作物２を周速ル′Ｖで回転させて
精密内面研削する３、砥石ｉｌ′Ｉ径は振動数ｆを高め
ることによって小径化することができる１、縦振動系砥
石にすると、さらに極小径化することができるので任意
直径の穴径に対して本発明を実施することができる。直
径の小さい砥石による本発明は穴加工のみでなく、この
砥石軸をに作物表面の法線方向に直立させて本発明を実
施して溝加工に適用して画期的効果を発揮する。。

軸方向と半径方向に超音波振動する砥石車１８による代
表的研削法を第１０図によって説明する。平面研削は縦
超音波振動子によって半径方向と回転軸方向に超音波振
動する砥石車１８を研削速度Ｖで矢印３方向に回転させ
、その主軸台あるいばＥに作物を電気油圧振動駆動装置
で図示の方向に振動数ド、振幅へで低周波振動させ、直
進）ｌ！動する工作物に周速度■を与えて精密平面研削
する。１円筒研削は半径方向と回転軸方向に超音波振動
する砥石車」８を研削速度Ｖで矢印３−、ｌｉ向に回転
させ、その主軸台あるいは工作物を電気油圧振Ｕ」駆動
装置で図示の方向に振動数Ｆ、振幅Ａで低周波振動させ
、工作物に周速１１一 度ＶをＪｊえて精密円筒研削する。、内面研削は円筒研
削同様に半径方向に１辰動数■゛、振幅＋１ト、軸方向
に振動数ｆ、振幅＋１８で、超ｒ″ｆ波４１＋！動する
砥石車１８を矢印方向３に回転させ、そのＬ軸台あるい
は工作物を電気ｎｌ圧］ｈ！動１１ｊ４動装Ｆ？で図示
の方向に振動数Ｆ、振幅Δで低周波４Ｉｌ！　ｌ１ｉｌ
ｌさせ、工作物２を周速度Ｖて回転させて精密内面研削
する。

以」二は本発明の砥石１１（の円筒部を使用して本発明
を実施する場合を円筒部−１−１甲而加」−１内面加工
の代表的例についで説明したが、このほかに本発明の砥
石車の端面を使用して本消明る・実施する場合としてｑ
１面加工がある１、この場合には１ニ作物表面の法線方
向に本発明の各砥石の砥石軸を直立させて、それぞ扛超
音波振動させて高速回転さぜ、この主軸台あるいは＋’
、（１物を電気油圧振動１駆動装置？ｆで工作物の送り
速度の方向と直角力向でかつ砥石回転軸と直角方向をな
す方向しこ低周波振動数Ｆパ、振幅Ａで低周波１１〕（
動させて送り速度■を工作物にＩｊえて精密１１１而研
削ずろことによって本発明が実施される。砥粒１刃あた
りの切削長さが長いこの場合には、本発明を実施した場
合と従来の研削法による場合との差が顕著に現れ、研削
抵抗とくに法線方向研削抵抗を激減させ、砥石や工作物
を発熱させないでセラミックス、ゴムなどの精密平面研
削を可能にする。

次に本発明を具体的に実施するための研削盤−１：、軸
振動系および砥石車形状を第１１−図によって説明する
。

図は縦超音波振動子１９を主軸２０の尾部に設け、先端
に用音波振１ｖＪ砥石を設りてなる本発明を実施するだ
めの研削盤主軸および砥石車振動系を示す図である。砥
石車の直径および幅、主軸の直イＹ、長さには一連の関
係があって、例えは縦超音波振動子１９の固有振動数を
２０に１１ｚとしたどき、ｋ　ＩＱＩ　２０を直径ｄを
５０冊とし、その」（さＱを］波長として２６０＋ｎｍ
、砥石車の直径Ｉ）を］　（ｉ　５ｎｌｎ、幅［）を：
３２　ｍｎ＋とすると、砥石車を半径方向に超音波振動
させることができる。

砥石車は、砥石車中心部に設けたテーバ穴あるいはテー
バ突起部、又はねじ部を利用し、主ΦＩＩ［にはめあオ
〕ぜて取付け、取外しを行うことができる。砥石車の主
軸への着脱は容易にか−〕迅速、確実に行うことができ
、取（＝Ｉけ部での異′＋；Ｃ発振や異常発熱を伴うこ
となく効率」；＜超音波振動を砥石車に伝達することが
できる。まへ幅））を２０Ｍ１とすることによって砥石
！Ｉｔ　３　’ｌ’：径ツノ゛自と同時に回転軸方向す
なわち砥石中のｊ＋！み方向に超音波振動させることが
できる。

さらに、幅すを］ｏ１１■どすることににって砥石車を
振動数２０　Ｋ　Ｉｌｚを＋ｉって回転軸方向すなわち
、砥石車のｆｌｌみ方向に超１゛ｆ波振動させることが
できる。

次に第１−２図、第１３３図に従い本発明を実施する研
削盤の・実施例に−〕いて説明する、。

２０　Ｋ　＋１７．縦超音波型わい振動子１９を）、、
］１１１１１２０の尾部に、先端には回ｄ’ｚ：軸、゛
１′、径方向超ｒ′丁波振動砥石２１を取付ける。そし
て、その主軸に７１・する２個の振動節にまたがるスリ
ーブ２２を振動節の位置に銀ろう付けして固定し、該ス
リーブを２個の高精度ころがり軸受２３で支持して主軸
を摩擦少なく回転できるようにする。ころがり軸受をハ
ウジング内に固定し研削盤用土軸台２４を構成する。ス
リーブ２２にはプーリー２５およびスリップリンク２６
を取付ける。スリップリングにはプラッシュを摩擦少な
く接触させる。プラッシュと超音波発振機２７の出力端
子とを接続する。主軸台には主軸回転駆動用の−Ｅ４１
１誘導電動機２８を取付け、ベルｉ〜２９で−を臼１ｉ
＋ｌｉに回転動力を伝達する。そして主軸を矢印３０の
方向に回転させ、約２０００＋ｎ　／　ｍｊ、ｎで砥石
車を回転させる。この主軸台を研削盤ベル１−３１の往
復台３２に設けた往復台の送り方向３３の方向に摩擦少
なく往復運動できるローラガイド３３に固定する。ロー
ラガイドの尾部髪連結棒；３４によって往復台上に取付
けた電気油圧振動駆動装置３５と連結する。そして、油
圧ユニッ１〜：３　（３＠作動させて圧油を供給し、制
御装置３７で制御することによって、砥石車を矢印３８
の１５一 方向に例えばＦ＝］００１１ｚ、　Ａ＝　（］、２ｎｎ
＋で４Ｊａ動させることができる。工作物３９を研削盤
のチャック４０にチャックして、その・端を心押台４１
で押して、」−作物を回転させ、往復台に送り速度Ｓを
与えて田地研削することによって、Ｉ辰動数ｆ　＝　２
０　Ｋ　Ｉｌｚ〜６０　Ｋ　＋１７．．１１′怪方向振
幅叶、回転軸方向振幅ｆ１３ともに５７１ｍ−２０μＩ
１１１１″度で超音波振動し、かつ回転軸方向に振動数
１＝”　＝　２（１〜２００１１ｚ、振幅Ａ＝０．０２
〜０．２０Ｍ１１で低周枝振（１す」する砥石による本
発明が実施され精密円筒ＩＡＪ　ｄ！ＩＩ研削が行われ
る。第１１で説明した形状Ｎ１θミの砥石車を使用する
と、それぞれの振動方向の砥石車による本発明が実施さ
れる３、砥石車の砥粒は、Ａ砥粒、ＷＡ砥粒、Ｇ　Ｃ砥
粒、１）砥］′）”／、ＣＩ（Ｎ砥粒など現在使用され
ている砥粒ず）＼てか使用できる。に作物形状には、鉄
金属、非鉄金属、ゴムなどの非金属り業材刺およびセラ
ミツ））スなとのずべての工業材料に適用されて画期的
効果に発揮する。

次に、第４４図に従って本発明を実施する。

振動＼１１面イσ［削盤の一実施例について説明する。

第１１図で説明した形状寸法の砥石車および主軸によっ
て振動平面研削盤用土軸台４２を構成する。ｉｌＺ面研
削盤コラム３８にテーブル左右運動方向と垂直方向に摩
擦少なく−に下運動できるローラガイド４３上に該−Ｌ
軸台を固定する。別途このコラ１１３８には電気油圧振
動駆動装置３５を固定し、連結棒４９で両者を連結する
。そして、油圧ユニソｈ３６ｔｒ作動させて圧油を供給
し、制御装置：３７によって制御して、砥石車を４１を
切込み方向である矢印４８の方向に例えばＦ”　＝　１
．００１１７．　、　Ａ　＝　０．２１ＷＴｌとして低
周波振動させる。超？’ｆ波発振機２７からの超音波励
振電圧によって砥石車を矢印４７の方向に振動数２０に
１１ｚ、Ｊ）ｉｘ　ＩＩ：ｊ　ｌ　ｌ−１μＴ１１で超
音波振動させる。これを電動機４．４によって砥石車の
周速を約５００〜１０００ｍ／　ｍ　ｉ　ｎで回□ｌし
、させ、平面研削盤テーブル４５に取付けた−１−作物
４Ｇを精密平面研削することによって本発明が実施され
る。

他の１例どして、振動内面研削盤について第１５図によ
って説明する。細長いパイプ状の−１：。

軸５２の先端にホーン５１を振動節を利用して固定し、
縦超音波振動子５０をホーン５１の足部に取付は小径砥
石車５３をその先端に設け、超音波発振機２７によって
該砥石車を回転軸方向５８の方向に縦超音波振動させ、
これを五和誘導電動機で回転させて精密内面研削するこ
とができるようにして内面研削用主軸台５４を構成し、
これをベッド５９上の往復台６０１−に設けたガイドロ
ーラー上に取付け、これに同じく往復台」二に設けた電
気油圧振動１１動装置ｆＴ　５４によって切込み方向で
ある矢印６１の方向に振動数Ｆおよび振幅Ａで低周波振
動させる。、　−＋：作物５６を主軸チャック５７にチ
ャックして回転させて低周波振動に超音波振動をＩｎ畳
させて陽動する砥石車５３を回転させて精密内面加゛［
：することができる。

（効　果） 第１２図による円筒研削による効果について説明する。

ダイヤモンド砥石Ｃ１（＃　２００を２０に＋１ｚ縦超
音波電わい振動子を用いてｆ　＝　２０　Ｋ、　Ｈｚ、
ａＹ半８μｍ、ａｓΦ１０μｍで超音波振動させ、研削
速度］　２００ｍ　／　ｍｊ　ｎとして、これを低周波
振動数Ｆ＝Ｉ００１１ｚ、振幅０．２ｍで低周波振動さ
せて、直径１０　＋ｎ＋ｎ、長さ１５０ｍ＋ｎのセラミ
ックス（ジルコニア）丸棒を周速８ｍ／ｍｊｎで回転さ
せて切込みＯ，Ｉｎ１１１を！ｊ、えて本発明による円
筒研削をすることによって異常な研削台を発生すること
なく、従来の研削の約％〜鯵の研削力で、工作物を折損
することなく研削熱を発生させないで、表面ＮＴＩさ０
．７　μｎ＋　Ｒｍａｘ、真円度０．５μｍ、円筒度１
．２０１ｍ１あたり２μｍという精度で能率よく研削で
きるようになって。また、直径２０＋ｎｍ、長さ３００
肛の軟質ゴム円筒表面を本発明によって従来の研削では
過大な研削力のために端面がだれて正しい円筒面に研削
できなかった欠点を解消して真直度、円筒度を向」−さ
せて正しい円筒面に加−１ユすることに成功した。これ
らはいずれも本発明の研削法の特徴である研削力が激減
する効果、研削熱が発生しない効果、相乗効果によるも
のである。

他の１例として、第１４図による＋Ｊ／、而研削面つい
て説明する。ダイヤモンド砥石車＃２０（ｌを２０ＫＩ
Ｉｚ縦超音波電わい振動子を用いてｆ’＝２００＋１ｚ
、　ａｙ：８　μｍ、ａｓ−ｉ＝　１０７１ｍで超？ｆ
波振動させ、研削速度１５００ｍ／ｍｉｎで高速回転さ
せ、これを振動数１ｉ”　＝　１００ＴＩｚ、振幅Ａ　
＝　０　、２　ｎｗｎで低周波振動させて、本発明を実
施することによって５０ｍ角、板厚８ｍのセラミックス
（アルミナ）素材に対する精密平面研削が異常研削前の
発生を皆無にして、砥石寿命をながくして従来の研削の
約Ａ〜糸の研削力で研削表面を錫−）けることなく、能
率よ〈実施できるようになった。また、直径４ｍのゴｌ
＼製品端面を本発明によって精密平面研削することによ
って、従来の研削では１０〜１５μｍも中凹みになって
平坦になＬ゛）なかったものが短時間に平面度キＯとす
ることに成功した。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の研削機構と研削力波形タ説明−２０＝ するモデル図、第２図は振動研削機構と研削力波形を説
明するモデル図、第３図は重畳研削機構と断続パルス研
削力波形を説明するモデル図。 第４図は砥石車を工作物の周速度と直角方向で砥石車の
回転軸と直角をなす方向に振動数Ｆ、振幅Ａで低周波振
動させて平面研削したときの１周期ごとの断続する研削
面積と断続研削力波形を説明する図、第５図は砥石車を
工作物の周速度と直角方向で砥石車の回転軸と直角をな
す方向に振動数Ｆ、振幅Ａで低周波振動させ、さらに軸
方向に超音波振動させて研削する本発明の研削方法とそ
のときの断続パルス研削力波形を説明する図、第６図は
砥石車を工作物の周速度と直角方向で砥石車の回転軸と
直角になす方向に振動数Ｆ、振幅Ａで低周波振動させ、
さらに半径方向に超音波振動させて研削する本発明の研
削方法とそのときの断続パルス研削力波形を説明する図
、第７図は砥石車を工作物の周速度と直角方向で砥石車
の回転軸と直角をなす方向に振動数ド、振幅Ａで低周波
振動させ、さらに軸方向と半径方向に用音波振！ｌ！１
１さ［て研削する本発明の研削方法とそのときの断続パ
ルス研削力波形を説明する図、第８図け１へ径方向超音
波振動砥石車によって本発明を実施ずろときの平面研削
法、円筒研削法、内面研削法を説明する図、第９図は軸
方向超音波振動砥石中によって本発明を実施するときの
ｉｌ／、面研削θ；、円筒研削法、内面研削法を説明す
る図、第１０図は軸方向および半径方向超音波振動砥石
中によ−」て本発明を実施するときの平面研削θ（、円
πｊ＋ω［削性、内面研削θ、を説明する図、第１１図
は半径方向超音波振動砥石車、軸方向超音波振動砥石車
、軸方向および半径方向超音波振動砥石中の形状・ｊ′
法の１例を示す図、第１２１図は本発明の具体的実施例
の１例を示す円筒研削盤の上面図、第１−３図はその側
面図、第１４図は本発明の」１、体的実施例の１例を示
す１ＴＬ面研削盤の側面図、第１５図は本発明の具体的
実施例の１例を示す内面研削盤の上面図である。 ６・・パルス研削力波形 ８・断続パルス研削力波形 １０・・・低周波振動 １１　・低周波振動砥石１１シ １４　・軸方向超音波振動 １５・・軸方向超音波振動砥石車 １６・・半径方向超音波振動 １７　半径方向超音波振動砥石車 １８・・軸方向、半径方向超音波振動砥石車１−９・・
樅超ｒイ波振動子 ２７・超音波発振機

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 砥石車を軸方向及び又は半径方向に超音波振動させ乍ら
   、該砥石車又は工作物を切込み方向に低周波振動させて
   切りくずを微細に寸断する如くなした超音波振動と低周
   波振動を重畳させた砥石車による精密仕上加工方法。