JPS6361150A - 光情報記録媒体の欠陥検査方法 - Google Patents
光情報記録媒体の欠陥検査方法Info
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- JPS6361150A JPS6361150A JP20628586A JP20628586A JPS6361150A JP S6361150 A JPS6361150 A JP S6361150A JP 20628586 A JP20628586 A JP 20628586A JP 20628586 A JP20628586 A JP 20628586A JP S6361150 A JPS6361150 A JP S6361150A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は有機薄膜系記録層を有する光情報記録媒体の欠
陥検査方法に関する。
陥検査方法に関する。
従来技術
レーザー光、特に半導体レーザー光で記録、再生を行な
うための光情報記録媒体（いわゆる光ディスク）として
ガラス又はプラスチック基板上に色素のよりな有機材料
の薄膜からなる記録層を設けたものが知られている。こ
の種の光情報記録媒体における欠陥の検査方法としては
従来、記録層面に通常光（白色光）を当ててその反射光
又は透過光の変動を目視で直接調べるか、或いは光ピツ
クアップで光学的に拡大して調べていた。しかし目視に
よる検査方法では欠陥の検出自体が困難であるため、検
出精度が低く、高精度の検査を行なうには熟練を要する
し、また光ピツクアップによる検出方法では検出精度は
きわめて高いが、再生装置並の複雑な装置が必要である
上、検査に時間がかかるという問題があった。
うための光情報記録媒体（いわゆる光ディスク）として
ガラス又はプラスチック基板上に色素のよりな有機材料
の薄膜からなる記録層を設けたものが知られている。こ
の種の光情報記録媒体における欠陥の検査方法としては
従来、記録層面に通常光（白色光）を当ててその反射光
又は透過光の変動を目視で直接調べるか、或いは光ピツ
クアップで光学的に拡大して調べていた。しかし目視に
よる検査方法では欠陥の検出自体が困難であるため、検
出精度が低く、高精度の検査を行なうには熟練を要する
し、また光ピツクアップによる検出方法では検出精度は
きわめて高いが、再生装置並の複雑な装置が必要である
上、検査に時間がかかるという問題があった。
目 的
不発明の目的は目視でも熟練を必要とせず、しかも簡単
な装置できわめて容易、迅速、且つ高精度に欠陥を検出
できる光情報記録媒体の欠陥検査方法を提供することで
ある。
な装置できわめて容易、迅速、且つ高精度に欠陥を検出
できる光情報記録媒体の欠陥検査方法を提供することで
ある。
構成
本発明による光情報記録媒体の欠陥検査方法は有機薄膜
系記録層を有する光情報記録媒体の記録層に、有機薄膜
の最大吸収波長以下の波長をカットし得る光学フィルタ
ーを介して白色光を照射してその反射光又は透過光の部
分的変動を検出することｔ特車とするものである。
系記録層を有する光情報記録媒体の記録層に、有機薄膜
の最大吸収波長以下の波長をカットし得る光学フィルタ
ーを介して白色光を照射してその反射光又は透過光の部
分的変動を検出することｔ特車とするものである。
従来の１視による欠陥検査方法で検出精度が低いのは次
のような理由による。第１図において人間の目の視感度
は曲線ａで、また白色光、例えばタングステンランプ（
色温度ａｏｏｏＯＫ）光の分光特性（透過率又は反射率
）は曲線すで表わされる。実際に人間の目に入る光の分
光特性はこの視感度＆と光の分光特性すとの積ａ×ｂで
表わされる。これを第２図の曲線Ｃで示す。
のような理由による。第１図において人間の目の視感度
は曲線ａで、また白色光、例えばタングステンランプ（
色温度ａｏｏｏＯＫ）光の分光特性（透過率又は反射率
）は曲線すで表わされる。実際に人間の目に入る光の分
光特性はこの視感度＆と光の分光特性すとの積ａ×ｂで
表わされる。これを第２図の曲線Ｃで示す。
一方、記録層、即ち有機薄膜の最大吸収波長は半導体レ
ーザー光（波長７００〜９００ｎｍ）ｔ−適用する必要
から７００〜９００ ｎｍの範囲にある。また有機薄膜
の吸収スペクトルの半値巾は通常３００ ｎｍ以下であ
ることから、有機薄膜の吸収域は５５０〜１０５０ ｎ
票の範囲となる。これを第２図の１つの斜線部分ｄで示
す。欠陥の検査はこの有機薄膜の分光特性の部分的な変
動を検出することによシ行なわれるが、従来の目視によ
る方法では曲線“ｅ（ａＸｂ）内の面積人に対するの部
の面積Ｂ（曲線Ｃ内の面積と有機薄膜の吸収域ｄの面積
との重複部分で、２つの斜線で示す。）〔正確には実際
に目に感じている光の分光特性（曲線Ｃ）と有機薄膜の
分光特性との積〕の比と欠陥による分光特性の変化率Ｘ
（例えば反射率が２０％低下した等）との積（Ｂ ／
Ａ Ｘ ｘ ）として検出していた。この式から判るよ
うに従来法では人の値に対しＢＸＣ０値が小さいため、
検出能が充分ではなく、検出精度が低いことになる。本
発明者は人（正確にはＡ−Ｂ）の値を小さくすると、検
出能が向上することに注目し、白色光のうち低波長域に
属する有機薄膜の最大吸収波長以下の波長を光学フィル
ターでカットして人の値を小さくしたところ、検出能が
飛躍的に向上することを見出した。
ーザー光（波長７００〜９００ｎｍ）ｔ−適用する必要
から７００〜９００ ｎｍの範囲にある。また有機薄膜
の吸収スペクトルの半値巾は通常３００ ｎｍ以下であ
ることから、有機薄膜の吸収域は５５０〜１０５０ ｎ
票の範囲となる。これを第２図の１つの斜線部分ｄで示
す。欠陥の検査はこの有機薄膜の分光特性の部分的な変
動を検出することによシ行なわれるが、従来の目視によ
る方法では曲線“ｅ（ａＸｂ）内の面積人に対するの部
の面積Ｂ（曲線Ｃ内の面積と有機薄膜の吸収域ｄの面積
との重複部分で、２つの斜線で示す。）〔正確には実際
に目に感じている光の分光特性（曲線Ｃ）と有機薄膜の
分光特性との積〕の比と欠陥による分光特性の変化率Ｘ
（例えば反射率が２０％低下した等）との積（Ｂ ／
Ａ Ｘ ｘ ）として検出していた。この式から判るよ
うに従来法では人の値に対しＢＸＣ０値が小さいため、
検出能が充分ではなく、検出精度が低いことになる。本
発明者は人（正確にはＡ−Ｂ）の値を小さくすると、検
出能が向上することに注目し、白色光のうち低波長域に
属する有機薄膜の最大吸収波長以下の波長を光学フィル
ターでカットして人の値を小さくしたところ、検出能が
飛躍的に向上することを見出した。
本発明方法で用いられるフィルターとしてはこのように
有機薄膜の最大吸収波長以下の波長（１５０ｎｍ）以下
をカットするものが使用される。
有機薄膜の最大吸収波長以下の波長（１５０ｎｍ）以下
をカットするものが使用される。
これよシ長波長域でカットするフィルターでは検出光食
自体が少なくなるので検出能が低下するし、またこれよ
）短波長域でカットするフィルターではおる程度効果は
見られるが、徐々に検出能が低下する。
自体が少なくなるので検出能が低下するし、またこれよ
）短波長域でカットするフィルターではおる程度効果は
見られるが、徐々に検出能が低下する。
欠陥の検査は有機薄膜系記録層にこのようなフィルター
を通した白色光を照射してその反射光又は透過光の部分
的な変動を検出することによシ行なわれる。この場合、
簡単な光学レンズ系を用いて拡大して検査することも勿
論可能である。
を通した白色光を照射してその反射光又は透過光の部分
的な変動を検出することによシ行なわれる。この場合、
簡単な光学レンズ系を用いて拡大して検査することも勿
論可能である。
以下に本発明を実施例によって説明する。
実施例
内径３５ｎ１外径２００ｍ、厚さ１．２ ｍのディスク
状ポリメチルメタクリレート基板上に下記構造式のシア
ニン色素の１．２−ジクロルエタン溶液をスピンコード
し、乾燥して厚さ０．６μｍの記録層を設けた。
状ポリメチルメタクリレート基板上に下記構造式のシア
ニン色素の１．２−ジクロルエタン溶液をスピンコード
し、乾燥して厚さ０．６μｍの記録層を設けた。
得られた光情報記録媒体は最大吸収波長７９０ｎＷＬ、
半値巾２８０ ｎｍであった。その分光特性を第５図の
曲線ｆで示す。
半値巾２８０ ｎｍであった。その分光特性を第５図の
曲線ｆで示す。
次に第３図の装置（図中１は光源、２は拡散板、３は光
学フィルター、５はレンズ系）を用いて透過光の目視に
よる有機薄膜の欠陥検査を行なったところ、光学フィル
ターを通さない白色光による従来の目視検査に比べて容
易、迅速、且つ高精度に欠陥が検出できた。またこの記
録媒体を第４図の装置を用いて反射光の目視による有機
薄膜の欠陥検査を行なったところ、同様に良好な結果が
得られた。なおこれら装置で用いた光学フィルターの分
光特性を第５図の曲線ｇで示した。
学フィルター、５はレンズ系）を用いて透過光の目視に
よる有機薄膜の欠陥検査を行なったところ、光学フィル
ターを通さない白色光による従来の目視検査に比べて容
易、迅速、且つ高精度に欠陥が検出できた。またこの記
録媒体を第４図の装置を用いて反射光の目視による有機
薄膜の欠陥検査を行なったところ、同様に良好な結果が
得られた。なおこれら装置で用いた光学フィルターの分
光特性を第５図の曲線ｇで示した。
効果
以上の如く本発明方法は有機薄膜の最大吸収波長をカッ
トし得る光学フィルターを用いたので、欠陥検出能が大
巾に向上し、その結果、目視でも熟練を必要とせずに、
しかも簡単な装置できわめて容易、迅速、且つ高精度に
光情報記録媒体の欠陥を検出することができる。
トし得る光学フィルターを用いたので、欠陥検出能が大
巾に向上し、その結果、目視でも熟練を必要とせずに、
しかも簡単な装置できわめて容易、迅速、且つ高精度に
光情報記録媒体の欠陥を検出することができる。
第１図は目の視感度ａ及び白色光の分光感度ｂを示す曲
線図、第２図は目に入る光の分光稠性曲線Ｃ１有機薄膜
の吸収域ｄ及び前記曲線Ｃ内の面積と吸収域ｄの面積と
の重複部分・をがす図、第３図及び第４図は各々実施例
で使用した装置図、第５図は実施例で作った光情報記の
媒体の分光特性ｆ及び実施例の装置で使用した光学フィ
ルターの分光特性ｇを示す曲線図である。 １・・・光 源 ２・・・拡散板３・・・光
学フィルター ４・・・光情報記録媒俳５・・・レン
ズ 特許出願人 株式会社 リ コ − 代理人弁理士 月 村 茂 外１名Ｍ１図
線図、第２図は目に入る光の分光稠性曲線Ｃ１有機薄膜
の吸収域ｄ及び前記曲線Ｃ内の面積と吸収域ｄの面積と
の重複部分・をがす図、第３図及び第４図は各々実施例
で使用した装置図、第５図は実施例で作った光情報記の
媒体の分光特性ｆ及び実施例の装置で使用した光学フィ
ルターの分光特性ｇを示す曲線図である。 １・・・光 源 ２・・・拡散板３・・・光
学フィルター ４・・・光情報記録媒俳５・・・レン
ズ 特許出願人 株式会社 リ コ − 代理人弁理士 月 村 茂 外１名Ｍ１図
Claims (1)
- １、有機薄膜系記録層を有する光情報記録媒体の記録層
に、有機薄膜の最大吸収波長以下の波長をカットし得る
光学フィルターを介して白色光を照射してその反射光又
は透過光の部分的変動を検出することを特徴とする光情
報記録媒体の欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20628586A JPS6361150A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20628586A JPS6361150A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6361150A true JPS6361150A (ja) | 1988-03-17 |
Family
ID=16520777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20628586A Pending JPS6361150A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6361150A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7884466B2 (en) | 2006-04-25 | 2011-02-08 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device with double-sided electrode structure and its manufacturing method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52126219A (en) * | 1976-04-15 | 1977-10-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | Film pinhole detector |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP20628586A patent/JPS6361150A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52126219A (en) * | 1976-04-15 | 1977-10-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | Film pinhole detector |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7884466B2 (en) | 2006-04-25 | 2011-02-08 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor device with double-sided electrode structure and its manufacturing method |
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