JP3030424B2 - 光情報記録媒体の欠陥検査方法 - Google Patents
光情報記録媒体の欠陥検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光情報記録媒体の欠陥を
検査する方法に関する。
検査する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来の
光情報記録媒体の欠陥を検査する方法としては、タング
ステンハロゲンランプや水銀灯による透過光、反射光の
変化をＣＣＤイメージセンサにより検出する方法、ある
いはレーザ光による透過光、反射光、回折光、散乱光の
変化をフォトディテクターにより検出する方法などがあ
る。
光情報記録媒体の欠陥を検査する方法としては、タング
ステンハロゲンランプや水銀灯による透過光、反射光の
変化をＣＣＤイメージセンサにより検出する方法、ある
いはレーザ光による透過光、反射光、回折光、散乱光の
変化をフォトディテクターにより検出する方法などがあ
る。
【０００３】タングステンランプ、水銀灯による光照射
を行いＣＣＤイメージセンサを利用する検査方法は、全
面走査時間が比較的短かいという利点があるが、欠陥の
検出感度はあまりよくない。一方、レーザ光照射による
方法では上記の方法に比べて高感度となりえるという利
点がある。このレーザ光による欠陥検査方法としては、
スパイラル走査法、ポリゴンミラー等を用いた走査法が
あるが、コスト的にみてスパイラル走査が一般的と言え
る。このレーザ光のスパイラル走査では通常走査タクト
との絡みでレーザ光のビーム径を数十μｍオーダーにし
ている。この数十μｍというビーム径は、比較的大きな
欠陥を検出するには十分であるが、例えばビーム径に比
べて非常に小さい欠陥や、欠陥の明暗コントラストの低
いものについては必ずしも十分な検出感度があるとは言
えない。
を行いＣＣＤイメージセンサを利用する検査方法は、全
面走査時間が比較的短かいという利点があるが、欠陥の
検出感度はあまりよくない。一方、レーザ光照射による
方法では上記の方法に比べて高感度となりえるという利
点がある。このレーザ光による欠陥検査方法としては、
スパイラル走査法、ポリゴンミラー等を用いた走査法が
あるが、コスト的にみてスパイラル走査が一般的と言え
る。このレーザ光のスパイラル走査では通常走査タクト
との絡みでレーザ光のビーム径を数十μｍオーダーにし
ている。この数十μｍというビーム径は、比較的大きな
欠陥を検出するには十分であるが、例えばビーム径に比
べて非常に小さい欠陥や、欠陥の明暗コントラストの低
いものについては必ずしも十分な検出感度があるとは言
えない。
【０００４】このビーム径に比べて非常に小さい欠陥
や、明暗のコントラストの低い欠陥で実際の記録、再生
時に欠陥となるようなものはフォトディテクターでの閾
値を下げてやれば良いが、この状態では雑音レベル（欠
陥無のレベル）との間のマージンが少なくなってしま
い、誤検出の恐れが出てしまう。又、レーザ光のビーム
径を絞ることにより欠陥検出感度を上げることができる
が、これも検査時間との関係である程度の制限を受けて
しまう。
や、明暗のコントラストの低い欠陥で実際の記録、再生
時に欠陥となるようなものはフォトディテクターでの閾
値を下げてやれば良いが、この状態では雑音レベル（欠
陥無のレベル）との間のマージンが少なくなってしま
い、誤検出の恐れが出てしまう。又、レーザ光のビーム
径を絞ることにより欠陥検出感度を上げることができる
が、これも検査時間との関係である程度の制限を受けて
しまう。
【０００５】例えば、従来のレーザ欠陥検査の場合、走
査ビーム径が４０μφである場合に約１０μφの大きさ
の欠陥を検出しようとする場合を考える。今、簡単のた
め１０μφの欠陥によってレーザビームが完全に遮断さ
れてしまう、あるいは１０μφの領域で測定物が完全に
かけている場合を考えると、この欠陥により検出器に入
る光量はＩdo±Ｉdo（５2／２０2）＝（１±１／１６）
Ｉdoとなり、この(±1/16)Ｉdoという微小の欠陥信号を
検出しなければならない。したがって、従来法では欠陥
有無間のマージンが少なく、微小欠陥検出にこだわると
雑音レベルまで検出してしまうことになる。そこでビー
ム径を絞ることなく、従来のビーム径で高速に全面欠陥
検査を行い、かつ、微小欠陥と雑音レベル（欠陥有と欠
陥無の場合）のマージンを大きくし、欠陥の検出感度が
高い欠陥検査方法の実現が望まれていた。
査ビーム径が４０μφである場合に約１０μφの大きさ
の欠陥を検出しようとする場合を考える。今、簡単のた
め１０μφの欠陥によってレーザビームが完全に遮断さ
れてしまう、あるいは１０μφの領域で測定物が完全に
かけている場合を考えると、この欠陥により検出器に入
る光量はＩdo±Ｉdo（５2／２０2）＝（１±１／１６）
Ｉdoとなり、この(±1/16)Ｉdoという微小の欠陥信号を
検出しなければならない。したがって、従来法では欠陥
有無間のマージンが少なく、微小欠陥検出にこだわると
雑音レベルまで検出してしまうことになる。そこでビー
ム径を絞ることなく、従来のビーム径で高速に全面欠陥
検査を行い、かつ、微小欠陥と雑音レベル（欠陥有と欠
陥無の場合）のマージンを大きくし、欠陥の検出感度が
高い欠陥検査方法の実現が望まれていた。
【０００６】本発明はこのような従来技術の実情に鑑み
てなされたもので、高感度で高速に光情報記録媒体の欠
陥検査を行うことができる方法を提供することを目的と
する。
てなされたもので、高感度で高速に光情報記録媒体の欠
陥検査を行うことができる方法を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】前記課題は、光
情報記録媒体にレーザ光を照射し、その透過光量変化を
検出することにより光情報記録媒体の欠陥を検査する方
法において、光情報記録媒体を介してレーザ光源とは反
対側に、又はレーザ光源側とレーザ光源とは反対側との
両方に、該レーザ光を反射させるミラーを設置し、入射
レーザ光が複数回光情報記録媒体を透過した後の透過光
量変化を検出することを特徴とする光情報記録媒体の欠
陥検査方法により解決される。
情報記録媒体にレーザ光を照射し、その透過光量変化を
検出することにより光情報記録媒体の欠陥を検査する方
法において、光情報記録媒体を介してレーザ光源とは反
対側に、又はレーザ光源側とレーザ光源とは反対側との
両方に、該レーザ光を反射させるミラーを設置し、入射
レーザ光が複数回光情報記録媒体を透過した後の透過光
量変化を検出することを特徴とする光情報記録媒体の欠
陥検査方法により解決される。
【０００８】以下本発明について図面をもって説明す
る。図１に従来のレーザ透過型の欠陥検査方法における
欠陥検出原理図を示す。今、レーザ光の強度をＩo、光
情報記録媒体１が無欠陥である時の透過率をＴ、欠陥２
による透過光量の変化分を△Ｔとすると、欠陥２がない
時の検出器に入る光強度Ｉdo'及び欠陥２が存在する時
に検出器に入る光強度Ｉdf'はそれぞれ Ｉdo'＝ＩoＴ …（１） Ｉdf'＝Ｉo(Ｔ−△Ｔ) …（２） となる。したがってこの場合、欠陥検出のための閾値は
ＩdoとＩdfとの間に設ければよく、そのマージンは Ｉm'＝Ｉdo'−Ｉdf'＝Ｉo△Ｔ …（３） となる。
る。図１に従来のレーザ透過型の欠陥検査方法における
欠陥検出原理図を示す。今、レーザ光の強度をＩo、光
情報記録媒体１が無欠陥である時の透過率をＴ、欠陥２
による透過光量の変化分を△Ｔとすると、欠陥２がない
時の検出器に入る光強度Ｉdo'及び欠陥２が存在する時
に検出器に入る光強度Ｉdf'はそれぞれ Ｉdo'＝ＩoＴ …（１） Ｉdf'＝Ｉo(Ｔ−△Ｔ) …（２） となる。したがってこの場合、欠陥検出のための閾値は
ＩdoとＩdfとの間に設ければよく、そのマージンは Ｉm'＝Ｉdo'−Ｉdf'＝Ｉo△Ｔ …（３） となる。
【０００９】一方、本発明によるレーザ透過型の欠陥検
査方法における欠陥検出原理図(1回の反射を利用した
系)を図２に示す。この系において、レーザ光の強度を
Ｉo、光情報記録媒体１が無欠陥である場合のレーザ光
源側から反射部材３への透過率をＴ、反射部材３での反
射率をＲ、反射部材３側からレーザ光源側への透過率を
Ｔ’、光情報記録媒体１の欠陥２によるレーザ光源側か
ら反射部材３への透過率の変化分を△Ｔ、反射部材３側
からレーザ光源側への透過率の変化分を△Ｔ’とする
と、欠陥２がない時の検出器に入る光強度Ｉdo及び欠陥
２が存在する時に検出器に入る光強度Ｉdfはそれぞれ Ｉdo＝ＩoＲＴＴ'≒ＩoＲＴ2 …（４） Ｉdf＝ＩoＲ(Ｔ−△Ｔ)(Ｔ'−△Ｔ')≒ＩoＲ(Ｔ−△Ｔ)2 …（５） となる。したがってこの場合、欠陥検出のための閾値は
ＩdoとＩdfとの間に設定すればよく、そのマージンは Ｉm＝Ｉdo−Ｉdf＝−ＩoＲ(△Ｔ−Ｔ)2＋ＩoＲＴ2 …（６） となる。そして従来検出法での無欠陥状態信号レベルと
欠陥信号レベルとの間のマージン量と、本発明での無欠
陥状態信号レベルと欠陥信号レベルとの間のマージン量
を比較すると図３のようになる。
査方法における欠陥検出原理図(1回の反射を利用した
系)を図２に示す。この系において、レーザ光の強度を
Ｉo、光情報記録媒体１が無欠陥である場合のレーザ光
源側から反射部材３への透過率をＴ、反射部材３での反
射率をＲ、反射部材３側からレーザ光源側への透過率を
Ｔ’、光情報記録媒体１の欠陥２によるレーザ光源側か
ら反射部材３への透過率の変化分を△Ｔ、反射部材３側
からレーザ光源側への透過率の変化分を△Ｔ’とする
と、欠陥２がない時の検出器に入る光強度Ｉdo及び欠陥
２が存在する時に検出器に入る光強度Ｉdfはそれぞれ Ｉdo＝ＩoＲＴＴ'≒ＩoＲＴ2 …（４） Ｉdf＝ＩoＲ(Ｔ−△Ｔ)(Ｔ'−△Ｔ')≒ＩoＲ(Ｔ−△Ｔ)2 …（５） となる。したがってこの場合、欠陥検出のための閾値は
ＩdoとＩdfとの間に設定すればよく、そのマージンは Ｉm＝Ｉdo−Ｉdf＝−ＩoＲ(△Ｔ−Ｔ)2＋ＩoＲＴ2 …（６） となる。そして従来検出法での無欠陥状態信号レベルと
欠陥信号レベルとの間のマージン量と、本発明での無欠
陥状態信号レベルと欠陥信号レベルとの間のマージン量
を比較すると図３のようになる。
【００１０】この図３においては先の仮定により△Ｔ≧
０としている。△Ｔ≧０の部分、つまり光情報記録媒体
１に欠陥２が存在することにより透過率が減る場合、△
Ｔが小さい時、つまり微小欠陥に対する欠陥有と欠陥無
とでの信号レベルの差（マージン）が、本発明による欠
陥検出方法の方が従来法より大きくなることがわかる。
これはつまり本発明の欠陥検査方法を用いることにより
微小欠陥に対する欠陥検出感度が向上していることを意
味している。色素系の記録膜のような欠陥検査を従来法
で行う場合、その透過率の高さのため微小欠陥に対する
検出感度に問題があったが、この問題は本発明によって
解決される。
０としている。△Ｔ≧０の部分、つまり光情報記録媒体
１に欠陥２が存在することにより透過率が減る場合、△
Ｔが小さい時、つまり微小欠陥に対する欠陥有と欠陥無
とでの信号レベルの差（マージン）が、本発明による欠
陥検出方法の方が従来法より大きくなることがわかる。
これはつまり本発明の欠陥検査方法を用いることにより
微小欠陥に対する欠陥検出感度が向上していることを意
味している。色素系の記録膜のような欠陥検査を従来法
で行う場合、その透過率の高さのため微小欠陥に対する
検出感度に問題があったが、この問題は本発明によって
解決される。
【００１１】さらに△Ｔ≦０の部分、つまり光情報記録
媒体１にピンホール、泡状の欠陥等、透過光の増光に寄
与する欠陥が存在することにより透過率が上がる場合、
図３を見てもわかるように、本発明による方法を用いる
と従来法に比べ微小欠陥から大欠陥までの検出感度が飛
躍的に向上する。
媒体１にピンホール、泡状の欠陥等、透過光の増光に寄
与する欠陥が存在することにより透過率が上がる場合、
図３を見てもわかるように、本発明による方法を用いる
と従来法に比べ微小欠陥から大欠陥までの検出感度が飛
躍的に向上する。
【００１２】なお、欠陥の存在により透過率が低下する
ような場合、△Ｔの大きい所で従来法の方が本発明より
マージンが大きくなっているが、例えばＲ≒１、Ｔ≒
０．８程度とすると（２ＲＴ−１）／Ｒ≒０．６とな
り、欠陥の存在により透過率が６０％以上遮断される場
合この現象が起こる。つまり大欠陥でのマージンにかか
わるものでこれは実質上問題とはなりえない。
ような場合、△Ｔの大きい所で従来法の方が本発明より
マージンが大きくなっているが、例えばＲ≒１、Ｔ≒
０．８程度とすると（２ＲＴ−１）／Ｒ≒０．６とな
り、欠陥の存在により透過率が６０％以上遮断される場
合この現象が起こる。つまり大欠陥でのマージンにかか
わるものでこれは実質上問題とはなりえない。
【００１３】但し、図３のような従来法と本発明方法の
△Ｔ・マージン関係が成り立つためには（２ＲＴ−１）
／Ｒ＞０である必要がある。つまり（２ＲＴ−１）／Ｒ
＞０となるようなＲ，Ｔを選べば良いことになる。通常
Ｒは１に近いものを用いることができるし、欠陥検査用
のレーザは記録層等をいためないため透過率のある程度
高い波長を用いる方が好ましいと言えるので、Ｔも比較
的大きく上記の条件は満たされ易い。
△Ｔ・マージン関係が成り立つためには（２ＲＴ−１）
／Ｒ＞０である必要がある。つまり（２ＲＴ−１）／Ｒ
＞０となるようなＲ，Ｔを選べば良いことになる。通常
Ｒは１に近いものを用いることができるし、欠陥検査用
のレーザは記録層等をいためないため透過率のある程度
高い波長を用いる方が好ましいと言えるので、Ｔも比較
的大きく上記の条件は満たされ易い。
【００１４】以上本発明の１例について入射レーザ光が
同光路上に反射されて返ってくる場合を例に述べてきた
が、次に本発明の他の例について説明する。
同光路上に反射されて返ってくる場合を例に述べてきた
が、次に本発明の他の例について説明する。
【００１５】図４は入射レーザ光を光情報記録媒体表面
法線方向に対して傾けた場合である（但し反射部材３は
入射レーザ光を同光路に反射させるような配置以外なら
どの様な角度に傾けてもよい）。このような配置にすれ
ば１つのレーザ光で同時に２つの領域の欠陥が検出でき
る。したがって従来程度（数十秒程度）の全面欠陥検査
時間内での検査であればビーム径を絞ることができ、欠
陥検出の感度を向上することができる。又、ビーム径を
それほど絞らなくてもよければ全面欠陥検査時間を短縮
することができる。さらに図４では反射部材３を入射レ
ーザ光源とは反対側に１個配置しただけであるが、入射
レーザ光源側にも反射部材３を配置して複数回透過・反
射を繰返せば、ビーム径が絞れて検出感度を上げること
ができ、更に全面欠陥検査時間も短かくすることができ
る。
法線方向に対して傾けた場合である（但し反射部材３は
入射レーザ光を同光路に反射させるような配置以外なら
どの様な角度に傾けてもよい）。このような配置にすれ
ば１つのレーザ光で同時に２つの領域の欠陥が検出でき
る。したがって従来程度（数十秒程度）の全面欠陥検査
時間内での検査であればビーム径を絞ることができ、欠
陥検出の感度を向上することができる。又、ビーム径を
それほど絞らなくてもよければ全面欠陥検査時間を短縮
することができる。さらに図４では反射部材３を入射レ
ーザ光源とは反対側に１個配置しただけであるが、入射
レーザ光源側にも反射部材３を配置して複数回透過・反
射を繰返せば、ビーム径が絞れて検出感度を上げること
ができ、更に全面欠陥検査時間も短かくすることができ
る。
【００１６】前述の図４の方法の応用として図５のよう
な方法がある。つまり、図４の場合、全面欠陥検査の時
間は短縮できるが、従来法と比較して感度を上げるには
ビーム径を絞る必要がある。そこで図５の方法では、勿
論ビーム径を絞ってもよいのだが、ビーム径を絞らなく
ても欠陥の検出感度を高めることができる。これは原理
的には図２の方法と同様である。つまりこの図５の方法
は欠陥検出感度が高く、高速に欠陥検出できる系の１例
である。
な方法がある。つまり、図４の場合、全面欠陥検査の時
間は短縮できるが、従来法と比較して感度を上げるには
ビーム径を絞る必要がある。そこで図５の方法では、勿
論ビーム径を絞ってもよいのだが、ビーム径を絞らなく
ても欠陥の検出感度を高めることができる。これは原理
的には図２の方法と同様である。つまりこの図５の方法
は欠陥検出感度が高く、高速に欠陥検出できる系の１例
である。
【００１７】今、入射レーザ光強度をＩｏ、レーザ光源
側からの第１回目の透過率をＴ１、逆光路での透過率を
Ｔ１’、レーザ光源反対側の第１の反射部材３の反射率
をＲ１、第１の反射部材３からの第２回目の透過率をＴ
２、逆光路の透過率をＴ２’、及び第２の反射部材３の
反射率をＲ２とする（図５（Ｂ）参照）。ここで簡単の
ため、Ｔ１＝Ｔ１’、Ｔ２＝Ｔ２’、Ｒ１＝Ｒ２とす
る。又、透過率Ｔ１の方の光路に欠陥があった時の透過
率の低下分を△Ｔ１（△Ｔ１＞０）、透過率Ｔ２の方の
光路に欠陥があった時の透過率の低下分を△Ｔ２（△Ｔ
２＞０）とする。すると、Ｔ１光路、Ｔ２光路両方に欠
陥が存在しなかった場合の欠陥検出信号レベルＩｄ
ｏ’’は Ｉｄｏ’’＝ＩｏＲ３（Ｔ１Ｔ２）２ ……（７） Ｔ１光路、Ｔ２光路に欠陥が存在した場合の欠陥信号レ
ベルＩｄｆ’’は Ｉｄｆ’’＝ＩｏＲ３（Ｔ１−△Ｔ１）２（Ｔ２−△Ｔ２）２ ……（８） となる。したがって欠陥有と無とでの信号レベルの差、
すなわちマージンは、 Ｉｍ’’＝Ｉｄｏ’’−Ｉｄｆ’’ ……（９） ＝ＩｏＲ３（Ｔ１Ｔ２）２−ＩｏＲ３（Ｔ１−△Ｔ１）２（Ｔ２ −△Ｔ２）２ となる。今、計算の簡略化のため、片方の光路にのみ欠
陥が存在した場合を考える（△Ｔ １ ＝０とする）。又、
△Ｔ２に関する３次以上の項を無視すると（９）式は Ｉｍ’’＝−ＩｏＲ３Ｔ１２（△Ｔ２−Ｔ２）２＋ＩｏＲ３Ｔ１２Ｔ２２ ……（１０） となる。この図５に示す欠陥検査方法のマージンＩ
ｍ’’（（１０）式）と従来法のマージンＩｍ’
（（３）式）とを比較すると図８のようになる。このグ
ラフから見てわかるように、本発明によれば、確かに微
小欠陥に対するマージンが大きくなって欠陥検出の感度
が高められることがわかる。但しこの場合微小欠陥に対
する感度が向上されるためには（明暗両方の欠陥に対し
て）（２Ｔ ２ Ｔ １ ２ Ｒ ３ −１）／Ｒ ３ Ｔ １ ２ ＞０である
必要があるが、通常の場合この関係は満足される。
側からの第１回目の透過率をＴ１、逆光路での透過率を
Ｔ１’、レーザ光源反対側の第１の反射部材３の反射率
をＲ１、第１の反射部材３からの第２回目の透過率をＴ
２、逆光路の透過率をＴ２’、及び第２の反射部材３の
反射率をＲ２とする（図５（Ｂ）参照）。ここで簡単の
ため、Ｔ１＝Ｔ１’、Ｔ２＝Ｔ２’、Ｒ１＝Ｒ２とす
る。又、透過率Ｔ１の方の光路に欠陥があった時の透過
率の低下分を△Ｔ１（△Ｔ１＞０）、透過率Ｔ２の方の
光路に欠陥があった時の透過率の低下分を△Ｔ２（△Ｔ
２＞０）とする。すると、Ｔ１光路、Ｔ２光路両方に欠
陥が存在しなかった場合の欠陥検出信号レベルＩｄ
ｏ’’は Ｉｄｏ’’＝ＩｏＲ３（Ｔ１Ｔ２）２ ……（７） Ｔ１光路、Ｔ２光路に欠陥が存在した場合の欠陥信号レ
ベルＩｄｆ’’は Ｉｄｆ’’＝ＩｏＲ３（Ｔ１−△Ｔ１）２（Ｔ２−△Ｔ２）２ ……（８） となる。したがって欠陥有と無とでの信号レベルの差、
すなわちマージンは、 Ｉｍ’’＝Ｉｄｏ’’−Ｉｄｆ’’ ……（９） ＝ＩｏＲ３（Ｔ１Ｔ２）２−ＩｏＲ３（Ｔ１−△Ｔ１）２（Ｔ２ −△Ｔ２）２ となる。今、計算の簡略化のため、片方の光路にのみ欠
陥が存在した場合を考える（△Ｔ １ ＝０とする）。又、
△Ｔ２に関する３次以上の項を無視すると（９）式は Ｉｍ’’＝−ＩｏＲ３Ｔ１２（△Ｔ２−Ｔ２）２＋ＩｏＲ３Ｔ１２Ｔ２２ ……（１０） となる。この図５に示す欠陥検査方法のマージンＩ
ｍ’’（（１０）式）と従来法のマージンＩｍ’
（（３）式）とを比較すると図８のようになる。このグ
ラフから見てわかるように、本発明によれば、確かに微
小欠陥に対するマージンが大きくなって欠陥検出の感度
が高められることがわかる。但しこの場合微小欠陥に対
する感度が向上されるためには（明暗両方の欠陥に対し
て）（２Ｔ ２ Ｔ １ ２ Ｒ ３ −１）／Ｒ ３ Ｔ １ ２ ＞０である
必要があるが、通常の場合この関係は満足される。
【００１８】本発明による更に別の方法を実施する系の
構成図を図６、図７に示すが、それぞれ図４、図５と基
本原理は全く同じである。
構成図を図６、図７に示すが、それぞれ図４、図５と基
本原理は全く同じである。
【００１９】以上の説明においては光情報記録媒体表面
での反射光による影響を無視し基本的に欠陥検査で用い
るレーザ光の光源は検査媒体に対して比較的透過率が高
いと仮定した。
での反射光による影響を無視し基本的に欠陥検査で用い
るレーザ光の光源は検査媒体に対して比較的透過率が高
いと仮定した。
【００２０】なお本発明での欠陥検査の対象に制限はな
く基板単体、基板＋記録膜、基板＋ハードコート層とい
ったように欠陥検査対象物を自由に選択できる。
く基板単体、基板＋記録膜、基板＋ハードコート層とい
ったように欠陥検査対象物を自由に選択できる。
【００２１】
【実施例】次に本発明の実施例を説明する。 （実施例１）１３０ｍｍφのポリカーボネート基板上
に、下記化１に示す構造式のシアニン系色素を、メタノ
ール／１，２−ジクロロエタン（１０：２）溶液に溶解
したものをスピンコートにより塗布して記録膜を形成
し、光情報記録媒体を得た。この光情報記録媒体に対
し、図２に示す方法により欠陥検査を行った。但し、レ
ーザとしてはＨｅ−Ｎｅレーザを用い、コリメートレン
ズを通してビーム径約４０μｍの平行光を得た。又、反
射部材としてＨｅ−Ｎｅレーザ用の全反射ミラーを用
い、回転数３６００ｒｐｍで全面スパイラル欠陥検査を
行った。
に、下記化１に示す構造式のシアニン系色素を、メタノ
ール／１，２−ジクロロエタン（１０：２）溶液に溶解
したものをスピンコートにより塗布して記録膜を形成
し、光情報記録媒体を得た。この光情報記録媒体に対
し、図２に示す方法により欠陥検査を行った。但し、レ
ーザとしてはＨｅ−Ｎｅレーザを用い、コリメートレン
ズを通してビーム径約４０μｍの平行光を得た。又、反
射部材としてＨｅ−Ｎｅレーザ用の全反射ミラーを用
い、回転数３６００ｒｐｍで全面スパイラル欠陥検査を
行った。
【化１】
【００２２】（比較例１）図１の欠陥検査法を用いた
（反射部材なし）こと以外は、実施例１と同一の条件で
欠陥検査を行った。
（反射部材なし）こと以外は、実施例１と同一の条件で
欠陥検査を行った。
【００２３】表１に同一の光情報記録媒体に対し欠陥検
査した実施例１及び比較例１のデータを示す。但し欠陥
検出のスラッシュレベルを調整し、雑音レベルを拾わ
ず、しかも欠陥率で１０−５以上の欠陥を検出し１０
−６以下の欠陥を検出しないようにした。
査した実施例１及び比較例１のデータを示す。但し欠陥
検出のスラッシュレベルを調整し、雑音レベルを拾わ
ず、しかも欠陥率で１０−５以上の欠陥を検出し１０
−６以下の欠陥を検出しないようにした。
【００２４】
【表１】 〇…欠陥無と判断 ×…欠陥有と判断
【００２５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ビーム径を従来程度とした場合には、欠陥の検出
感度を上げることができ、欠陥検査のスピードを上げる
ことができる。また、ビーム径を従来法よりも小さくし
た場合には、更に欠陥の検出感度を上げることができ、
欠陥検査のスピードを従来程度あるいはそれ以上にする
ことができる。更に、本発明は、色素系記録膜の欠陥検
査（透過率が高く欠陥のコントラストの低いもの）に有
用である。
れば、ビーム径を従来程度とした場合には、欠陥の検出
感度を上げることができ、欠陥検査のスピードを上げる
ことができる。また、ビーム径を従来法よりも小さくし
た場合には、更に欠陥の検出感度を上げることができ、
欠陥検査のスピードを従来程度あるいはそれ以上にする
ことができる。更に、本発明は、色素系記録膜の欠陥検
査（透過率が高く欠陥のコントラストの低いもの）に有
用である。
【図１】従来のレーザ透過型の欠陥検査方法における欠
陥検出原理図。
陥検出原理図。
【図２】本発明によるレーザ透過型の欠陥検査方法にお
ける欠陥検出原理図。
ける欠陥検出原理図。
【図３】本発明方法と従来法のマージン量の比較図。
【図４】入射レーザ光を光情報記録媒体表面法線方向に
対して傾けた場合の説明図。
対して傾けた場合の説明図。
【図５】図４の方法の応用例の方法の説明図。
【図６】本発明による更に別の方法を実施する系の構成
図。
図。
【図７】本発明による更に別の方法を実施する系の構成
図。
図。
【図８】図５に示す欠陥検査方法と従来法のマージン量
の比較図。
の比較図。
１ 光情報記録媒体 ２ 欠陥 ３ 反射部材
Claims (3)
- 【請求項１】 光情報記録媒体にレーザ光を照射し、そ
の透過光量変化を検出することにより光情報記録媒体の
欠陥検査を行う方法において、光情報記録媒体を介して
レーザ光源とは反対側に、又はレーザ光源側とレーザ光
源とは反対側との両方に、該レーザ光を反射させる反射
部材を設置し、入射レーザ光が複数回光情報記録媒体を
透過した後の透過光量変化を検出することを特徴とする
光情報記録媒体の欠陥検査方法。 - 【請求項２】 入射レーザ光を光情報記録媒体表面法線
方向に対して斜めに入射させることを特徴とする請求項
１に記載の光情報記録媒体の欠陥検査方法。 - 【請求項３】 レーザ光源とは反対側の反射部材、又は
レーザ光源側の反射部材、又はその両方の反射部材を、
入射レーザ光の光路と垂直な方向に対して傾斜させて設
置することを特徴とする請求項１又は２に記載の光情報
記録媒体の欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096422A JP3030424B2 (ja) | 1991-04-02 | 1991-04-02 | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096422A JP3030424B2 (ja) | 1991-04-02 | 1991-04-02 | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04305146A JPH04305146A (ja) | 1992-10-28 |
| JP3030424B2 true JP3030424B2 (ja) | 2000-04-10 |
Family
ID=14164550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3096422A Expired - Fee Related JP3030424B2 (ja) | 1991-04-02 | 1991-04-02 | 光情報記録媒体の欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3030424B2 (ja) |
-
1991
- 1991-04-02 JP JP3096422A patent/JP3030424B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04305146A (ja) | 1992-10-28 |
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