JPS6359441B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6359441B2 JPS6359441B2 JP57032655A JP3265582A JPS6359441B2 JP S6359441 B2 JPS6359441 B2 JP S6359441B2 JP 57032655 A JP57032655 A JP 57032655A JP 3265582 A JP3265582 A JP 3265582A JP S6359441 B2 JPS6359441 B2 JP S6359441B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- half mirror
- receiving element
- light source
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 16
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は位置検出装置に関するものである。
従来の位置検出装置は、第１図に示すように、
撮像管や電荷結合デバイスを用いたテレビジヨン
カメラ１を駆動回路２により作動して、発光ダイ
オードやスポツト反射点等の検査光源３を撮影
し、テレビジヨンカメラ１から出力されるビデオ
信号を位置検出回路４に入力して検査光源３の位
置を算出していた。ところが、テレビジヨンカメ
ラ１では１画面走査毎に１回しか位置検出ができ
ないため、検査光源３が移動している場合には、
位置データを離散的にしか検出できないという問
題を有していた。
撮像管や電荷結合デバイスを用いたテレビジヨン
カメラ１を駆動回路２により作動して、発光ダイ
オードやスポツト反射点等の検査光源３を撮影
し、テレビジヨンカメラ１から出力されるビデオ
信号を位置検出回路４に入力して検査光源３の位
置を算出していた。ところが、テレビジヨンカメ
ラ１では１画面走査毎に１回しか位置検出ができ
ないため、検査光源３が移動している場合には、
位置データを離散的にしか検出できないという問
題を有していた。
したがつて、この発明の目的は、移動する検査
光源位置をリアルタイムで連続的に検出できる位
置検出装置を提供することである。
光源位置をリアルタイムで連続的に検出できる位
置検出装置を提供することである。
この発明の一実施例を第２図に基づいて説明す
る。この位置検出装置は、第２図に示すように、
透明の立方体５の対角線上に立方体５の後面と下
面とに対しそれぞれ45度の角度でハーフミラー６
を組み込み、立方体５の前方に集光レンズ７を配
してその光軸７ａとハーフミラー６間の角度を45
度に設定している。
る。この位置検出装置は、第２図に示すように、
透明の立方体５の対角線上に立方体５の後面と下
面とに対しそれぞれ45度の角度でハーフミラー６
を組み込み、立方体５の前方に集光レンズ７を配
してその光軸７ａとハーフミラー６間の角度を45
度に設定している。
また、立方体５の上面に受光素子２５を配し、
立方体５の後面にハーフミラー２６、NDフイル
タ８および受光素子９を配し、立方体５の下面に
ハーフミラー２７、NDフイルタ１８および受光
素子１０を配し、これら受光素子９，１０，２５
を増幅回路１１，１２，２８を介して演算回路１
３へ接続する。この場合、NDフイルタ８はＸ方
向（第２図下方から上方へ向かう方向）へ透過率
を漸変させ、NDフイルタ１８はＹ方向（第２図
紙面裏側から紙面表側へ向かう方向）へ透過率を
漸変させる。
立方体５の後面にハーフミラー２６、NDフイル
タ８および受光素子９を配し、立方体５の下面に
ハーフミラー２７、NDフイルタ１８および受光
素子１０を配し、これら受光素子９，１０，２５
を増幅回路１１，１２，２８を介して演算回路１
３へ接続する。この場合、NDフイルタ８はＸ方
向（第２図下方から上方へ向かう方向）へ透過率
を漸変させ、NDフイルタ１８はＹ方向（第２図
紙面裏側から紙面表側へ向かう方向）へ透過率を
漸変させる。
また、立方体５は、前面，下面，上面，後面以
外の面をコーテイングして、外乱光の入射を防
ぐ。
外の面をコーテイングして、外乱光の入射を防
ぐ。
動作を説明すると、発光ダイオードやスポツト
反射点等の検査光源１４から出た光１５は、集光
レンズ７により立方体５内に導かれ、立方体５内
のハーフミラー６で透過光１６と反射光１７の２
光線に分光される。このうち、透過光１６はハー
フミラー２６によりその光量半分がNDフイルタ
８を介して受光素子９に受光されるとともに、残
り半分がハーフミラー６へ再反射され、そのハー
フミラー６によりさらにその1/2光量が反射され
て受光素子２５へ導かれる。一方、反射光１７
は、ハーフミラー２７によりその光量半分がND
フイルタ１８を介して受光素子１０に受光される
とともに、残り半分がハーフミラー６へ再反射さ
れ、そのハーフミラー６によりさらにその1/2光
量が透過して受光素子２５へ導かれる。すなわ
ち、立方体５の上面と後面と下面に、それぞれ入
射光量に対し1/4光量の光が投射されることにな
る。これら受光素子９，１０，２５からの出力信
号S9，S10，S25は、増幅回路１１，１２，２８を
経て演算回路１３へ入力される。この場合、ND
フイルタ８，１８はそれぞれＸ方向とＹ方向に透
過率を漸変させているため、各受光素子９，１０
の出力信号S9，S10の強度が検査光源１４のＸ方
向の移動に応じて変化する。一方、受光素子２５
の前面には、NDフイルタを設けていないため、
受光素子２５で受光される光量は検査光源１４の
移動にかかわらず一定である。
反射点等の検査光源１４から出た光１５は、集光
レンズ７により立方体５内に導かれ、立方体５内
のハーフミラー６で透過光１６と反射光１７の２
光線に分光される。このうち、透過光１６はハー
フミラー２６によりその光量半分がNDフイルタ
８を介して受光素子９に受光されるとともに、残
り半分がハーフミラー６へ再反射され、そのハー
フミラー６によりさらにその1/2光量が反射され
て受光素子２５へ導かれる。一方、反射光１７
は、ハーフミラー２７によりその光量半分がND
フイルタ１８を介して受光素子１０に受光される
とともに、残り半分がハーフミラー６へ再反射さ
れ、そのハーフミラー６によりさらにその1/2光
量が透過して受光素子２５へ導かれる。すなわ
ち、立方体５の上面と後面と下面に、それぞれ入
射光量に対し1/4光量の光が投射されることにな
る。これら受光素子９，１０，２５からの出力信
号S9，S10，S25は、増幅回路１１，１２，２８を
経て演算回路１３へ入力される。この場合、ND
フイルタ８，１８はそれぞれＸ方向とＹ方向に透
過率を漸変させているため、各受光素子９，１０
の出力信号S9，S10の強度が検査光源１４のＸ方
向の移動に応じて変化する。一方、受光素子２５
の前面には、NDフイルタを設けていないため、
受光素子２５で受光される光量は検査光源１４の
移動にかかわらず一定である。
したがつて、演算回路１３において、増幅後の
上記出力信号S9，S10を、増幅後の出力信号S25と
それぞれ比較することにより、移動光源１４のＸ
方向とＹ方向の位置をそれぞれ算出することがで
きる。この演算結果は、Ｘ方向位置信号SXとＹ
方向位置信号SYとして出力し、モニタ等で表示す
る。
上記出力信号S9，S10を、増幅後の出力信号S25と
それぞれ比較することにより、移動光源１４のＸ
方向とＹ方向の位置をそれぞれ算出することがで
きる。この演算結果は、Ｘ方向位置信号SXとＹ
方向位置信号SYとして出力し、モニタ等で表示す
る。
この位置検出装置によれば、移動する検査光源
１４のＸ方向とＹ方向の位置を、リアルタイムで
連続的に検出することができる。
１４のＸ方向とＹ方向の位置を、リアルタイムで
連続的に検出することができる。
なお、上記の場合は、検査光源１４の光量が一
定の場合を想定して説明したが、検査光源１４の
光量が変動する場合でも、演算回路１３におい
て、検査光源１４の強度変化による出力信号S9，
S10の変動を出力信号S25により補正することがで
きるため、検査光源１４の位置を正確に検出する
ことができる。
定の場合を想定して説明したが、検査光源１４の
光量が変動する場合でも、演算回路１３におい
て、検査光源１４の強度変化による出力信号S9，
S10の変動を出力信号S25により補正することがで
きるため、検査光源１４の位置を正確に検出する
ことができる。
以上のように、この発明によれば、移動する検
査光源の位置をリアルタイムで連続的に検出でき
るという効果がある。
査光源の位置をリアルタイムで連続的に検出でき
るという効果がある。
第１図は従来例の構成図、第２図はこの発明の
一実施例の構成図である。 ６，２６，２７……ハーフミラー、７……集光
レンズ（集光手段）、８，１８……NDフイルタ、
９，１０，２５……受光素子、１３……演算回
路、１４……検査光源。
一実施例の構成図である。 ６，２６，２７……ハーフミラー、７……集光
レンズ（集光手段）、８，１８……NDフイルタ、
９，１０，２５……受光素子、１３……演算回
路、１４……検査光源。
Claims (1)
- １ 受光面がコ字形に向い合うように上部と中央
と下部にそれぞれ配置した第１、第２、第３の受
光素子と、これら各受光素子によるコ字形受光面
の対角線上に各受光面と45度の角度で配置した第
１のハーフミラーと、検査光源の光を前記第１の
ハーフミラーにより２光線に分光してそれぞれ第
２および第３の受光素子へ集光する集光手段と、
前記第２の受光素子の前面に配してその前面に沿
つて一方向へ透過率を漸変した第１のフイルタ
と、前記第３の受光素子の前面に配してその前面
に沿つて前記一方向の直角方向へ透過率を漸変し
た第２のフイルタと、前記第１および第２のフイ
ルタの前面にそれぞれ平行配置し前記第１のハー
フミラーからの入射光をそれぞれ1/2ずつ反射し
てその反射光を第１のハーフミラーによりさらに
１／２ずつに分光させて前記第１の受光素子へ投射
する第２および第３のハーフミラーと、前記第２
および第３の受光素子の出力信号を前記第１の受
光素子の出力信号と比較して相直交する２方向の
検査光源位置を算出する演算回路とを備えた位置
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3265582A JPS58148905A (ja) | 1982-02-27 | 1982-02-27 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3265582A JPS58148905A (ja) | 1982-02-27 | 1982-02-27 | 位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58148905A JPS58148905A (ja) | 1983-09-05 |
| JPS6359441B2 true JPS6359441B2 (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=12364873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3265582A Granted JPS58148905A (ja) | 1982-02-27 | 1982-02-27 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58148905A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5230799A (en) * | 1975-09-04 | 1977-03-08 | Sumitomo Chem Co Ltd | Method for production of porous carbon |
| JPS5574403A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-05 | Canon Inc | Light position detector |
-
1982
- 1982-02-27 JP JP3265582A patent/JPS58148905A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5230799A (en) * | 1975-09-04 | 1977-03-08 | Sumitomo Chem Co Ltd | Method for production of porous carbon |
| JPS5574403A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-05 | Canon Inc | Light position detector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58148905A (ja) | 1983-09-05 |
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