JPS6358832A

JPS6358832A - ドライエツチング装置

Info

Publication number: JPS6358832A
Application number: JP20173886A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Maegaki; 嘉一前垣
Original assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1986-08-29
Filing date: 1986-08-29
Publication date: 1988-03-14
Anticipated expiration: 2009-03-30
Also published as: JPH0624185B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］ ′ｆＪＬＬ″の９分野）本発明はドライエツチング装置に関し、特に放電管の外
側で発生するオゾンの排気に改良を施したドライエツチ
ング装置に係わる。

（従来の技術）従来、ドライエツチング装置としては、例えば第２図に
示すものが知られている。

図中の１は真空容器である。この真空容器１の内部には
、被処理物２を載置する載置台３が配設され、上記真空
容器１の上面にはエツチングガスを真空容器内に均一に
導入するためのガス分散管４が取り付けられている。こ
のガス分散管４には、ガス導入管５が接続されている。

このガス導入管５の中途部には、石英管からなる放電管
６か設けられており、この放電管６に導波管、７を介し
て高周波出力８を印加することによりプラズマを発生さ
せるようになっている。また、上記真空容器１の下面に
は、図示しないが真空ポンプに接続されるガス排出管９
がマニホールド１０を介して接続されている。

上記装置においては、載置台３の上面に被処理物２を′
Ｎｃ置し、ガス排出管９を介して真空容器１の真空排気
を行なう。その後、ガス導入管５によリＣＦ４．０２等
の不活性ガスを送り、真空容器１内を所定圧力のガス雰
囲気とし、放電管６の外側にマイクロ波発生器１１によ
りマイクロ波（μ波）を照射することによりガスプラズ
マを発生させる。そして、このガスプラズマの発生によ
りエツチングガスとしてのフッ素ラジカルが生成され、
真空容器１内の被処理物２のエツチングを行なうように
なっている。また、プラズマが放たれると、紫外線が放
電管６の周辺の酸素と反応してオゾンが大量に発生する
。

そこで、従来は、第３図に示すように導波管１２より窒
素（Ｎ２）を導入し、酸素と買換することによりオゾン
発生を防いでいる。

しかし、従来技術によれば、Ｎ２を大量に使用するので
不経済であるとともに、換気の悪い小さな部屋では酸欠
状態となり作業者が危険である。

また、例えば操作ミス、使用中にＮ２ボンベが空になる
等の理由でＮ２が導入されなかった場合、放電管６の周
辺に０２が入り込み、プラズマ放電の紫外線と反応して
大量のオゾンが発生し部屋中に充満し、危険である。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、放電管の外
側で発生したオゾンが作業部屋内に広がることを防止で
きるドライエツチング装置を提供することを目的とする
。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段と作用）本発明は、導波
管に排気用ファン又は排気ガイドを接続し、放電管の外
側で発生したオゾンを排気することにより、オゾンが作
業部屋に広がることを防止でき、作業者の安全を確保で
きる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

但し、本発明に係るドライエツチング装置は第２図（従
来装置）と略同じであるため、同部材は同符号を付して
説明を省略し、要部のみを説明する。

図中の２１は導波管７の中途部に設けられた排気用ダク
トであり、このダクト２１には排気用ファン２２が連結
されている。このように排気用ダクト２１と排気用ファ
ン２２とから排気機構が構成され、これにより放電管の
外側で発生したオゾンか排気される。

上記実施例によれば、導波管７の中途部に排気用ダクト
２１と排気用ファン２２とからなる排気機構が設けられ
ているため、放電管６の外側でオゾンが発生しても排気
機構により排気される。従って、従来のようにＮ２を全
く使用する必要がなくなり、Ｎ２による作業部屋内の酸
欠や、部屋内にオゾンが充満することがなく、作業者の
安全を確保できる。

なお、上記実施例では、排気機構として排気用ファンと
排気用ダクトを用いた場合について述べたが、これに限
らず、排気用ダクトだけでも放電管の外側に発生したオ
ゾンをある程度排気できる。

［発明の効果］以上詳述した如く本発明によれば、放電管の外側で発生
したオゾンが作業部屋内に広がるのを防止し、もって作
業者の安全を確保できるドライエツチング装置を提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るドライエ・ソチング装
置の要部の断面図、第２図は従来のドライエツチング装
置の説明図、第３図は同装置の要部の断面図である。１・・・真空容器、２・・・被処理物、３・・・載置台
、４・・・ガス分散管、５・・・ガス導入管、６・・・
放電管、７・・・導波管、８・・・高周波出力、９・・
・ガス排出管、１０・・・マニホールド、１１・・・マ
イクロ波発生器、２１・・・排気用ダクト、２２・・・
排気用ファン。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第１図第２図第３図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）放電管に導波管を介して高周波出力を印加するこ
とによりプラズマを発生させ、これにより真空容器内の
被処理物のエッチングを行なうドライエッチング装置に
おいて、前記導波管に排気機構を接続し、放電管の外側
で発生したオゾンを排気することを特徴とするドライエ
ッチング装置。
（２）前記排気機構が、排気用ファンと排気用ダクトと
から構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のドライエッチング装置。