JPS6358336B2 - - Google Patents
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- JPS6358336B2 JPS6358336B2 JP56003779A JP377981A JPS6358336B2 JP S6358336 B2 JPS6358336 B2 JP S6358336B2 JP 56003779 A JP56003779 A JP 56003779A JP 377981 A JP377981 A JP 377981A JP S6358336 B2 JPS6358336 B2 JP S6358336B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/022—Quinonediazides
- G03F7/0226—Quinonediazides characterised by the non-macromolecular additives
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Description
本発明は平版印刷版、多色印刷の校正刷版、
IC回路やホトマスクの製造に適するポジ型感光
性組成物に関するものであり、特にキノンジアジ
ド化合物を含有してなる感光性組成物に、増感剤
を添加して高感度化したポジ型感光性組成物に関
するものである。さらに詳しくは、現像許容性に
悪影響を及ぼすことなく、感度を高め、かつ網点
再現性を大きくする（点減り効果を小さくする）
ことができるポジ型感光性組成物に関する。 キノンジアジド化合物を含有してなる感光性組
成物は、非常に優れたポジ型感光性組成物として
平版印刷版の製造やホトレジストとして工業的に
用いられてきた。従来、このキノンジアジト系の
ポジ型感光性組成物の感光性を高める方法につい
て種々の提案がなされてきたが、満足すべきもの
は得られていない。たとえばキノンジアジド化合
物の量を少なくすると、当然感度は上昇するが、
それに伴つて現像時における現像許容性（最適現
像が得られる時間巾、以下、同じ。）が狭くなり、
実用的でなくなるという欠点が生じる。また、キ
ノンジアジド化合物にアルカリ水溶液溶解性の大
きいバインダー樹脂を組合せた系は、やはり見か
けの感度は上昇するが、前記の場合と同じく、現
像許容性が狭くなるという欠点を有している。 また、キノンジアジド化合物を含む感光性組成
物に非感光性の化合物（増感剤）を添加して感度
を上昇させる技術が提案されているが、いずれも
充分な効果を得られておらず、また種々の欠点を
有しているのが現状である。 例えば米国特許第3661582号明細書に記載され
ているように、一定の複素環式化合物、例えば２
−アザシクロノナン−２−オン、インドール、キ
ナゾリン及びテトラゾールの添加によつて感度を
上昇させることができるが、この場合も上記した
場合と同様に極度に狭い現像許容性を有するにす
ぎない。 特公昭46−42449号公報には、写真感光度を上
昇させるための種々の添加剤、例えばトリフエニ
ルメタン染料、ベンズアルデヒド−ｍ−トリルヒ
ドラゾン、ハロゲン化炭化水素及びアゾ染料が記
載されているが、これらの化合物は高感度につい
て顕著な作用を有しない。 また、同じ目的でｏ−安息香酸スルフイミド、
ヒダントイン及びその誘導体、チオヒダントイン
及びその誘導体の添加が提案されている（特開昭
50−36203号公報参照。）。同じ目的で環式酸無水
物の添加剤が提案されている（特開昭52−80022
号公報、および後記実施例の「比較例２」参
照。）。これらの場合にも、感度の上昇が認められ
る程度の添加量においては、現像時における現像
許容性が極端に狭く実用的でない。 さらに、ポリヒドロキシベンゾフエノンを含有
する感光性複写材料についても提案されている
（特開昭52−54503号公報及び後記比較例４参照。）
が、該化合物は支持体への接着性を改善するため
に添加されており、これと関連して、感度を高め
ている技術であつて、高感度についての顕著さは
みられず、また高感度化に必要かつ充分量だけ添
加すると現像許容性が狭くなる。また、感度上昇
を目的としてヒドロキシベンゾフエノンとホルム
アルデヒドとの縮合生成物の添加が提案されてい
る（特開昭55−73045号公報、および後記実施例
の「比較例３」参照。）が、この場合は、前記特
開昭52−54503号公報中の化合物の場合と同様に、
明らかな感度の上昇が認められるにはかなりの添
加量が必要であり、現像許容性と耐薬品性の低下
は甘受しなければならない。 そこで、本発明の目的は、特定の添加物を含有
させることにより、この際、現像許容性等の他の
重要な性質に不利な影響を与えることなしに、キ
ノンジアジド型感光性物質の感度を向上させるこ
とができるポジ型感光性組成物を提供するにあ
る。 本発明の他の目的は、網点再現性を大きくする
（点減り効果を小さくする）ことができるポジ型
感光性組成物を提供するにある。 本発明のその他の目的は、本明細書の以下の記
述によつて明らかであろう。 本発明の上記目的は、キノンジアジド型のポジ
型感光性物質および下記一般式〔Ｉ〕で示される
化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性
組成物によつて達成される。 一般式〔Ｉ〕 一般式〔Ｉ〕中、R1、R2、R3はそれぞれ水素
原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、
置換アリール基、アシル基、ハロゲノ基、ニトロ
基または水酸基を示す。但し、R3はそれぞれ同
一の基もしくは原子または異なつた種類の組合せ
からなるものとする。 このうち、アルキル基としては炭素原子数１〜
18のものが含まれ、好ましくは炭素原子数１〜４
のものであり、これらは直鎖でも分岐していても
良く、このアルキル基の具体例としては、メチ
ル、エチル、ｉ−プロピル、ｔ−ブチル、ｉ−ア
ミル、ｎ−ヘキシル、ｎ−オクチル、ラウリル、
セチルおよびステアリル等の各基があげられる。
アルコキシ基の例としては、メトキシ、エトキ
シ、ｉ−プロポキシ、ｔ−ブトキシ等の各基があ
げられ、このうち好ましくはメトキシおよびエト
キシである。アリール基及び置換アリール基にお
けるアリール基としてはフエニル、ナフチル、ア
ントリル、フエナントリル等の各基があげられ
る。置換アリール基におけるアリール基への置換
基としては、低級アルキル基（炭素原子数１〜
４）、アルコキシ基（炭素原子数１〜４）、アシル
基（炭素原子数２〜４）、ハロゲノ基（クロル、
ブロムなど）、ニトロ基および水酸基等があげら
れる。R1、R2またはR3で示されるアシル基の例
としては、アセチル、プロピオニル、ブチリル、
ベンゾイル等の各基があげられる。R1、R2また
はR3で示されるハロゲノ基としては、フルオル、
クロル、ブロム、ヨードなどがあげられ、好まし
くはクロルとブロムである。また、一般式〔Ｉ〕
中、R1、R2、R3は各々同一でも異つてもよく、
組合せは任意にとれる。 本発明に用いられるキノンジアジト化合物とし
ては、１，２−ジアゾベンゾキノンスルホン酸ク
ロライドとポリヒドロキシフエニルとのエステル
または１，２−ジアゾナフトキノンスルホン酸ク
ロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒド樹脂と
のエステルであるのが最も好ましい。その他の好
適なキノンジアジト化合物としては、米国特許第
3046120号および同第3188210号の各明細書中に記
載されている１，２−ジアゾベンゾキノンスルホ
ン酸クロライドまたは１，２−ジアゾナフトキノ
ンスルホン酸クロライドとフエノール−ホルムア
ルデヒド樹脂とのエステルがある。その他の有用
なキノンジアジド化合物としては、数多くの特許
公報等に報告され、知られている。たとえば、特
開昭47−5303号、同48−63802号、同48−63803
号、同48−96575号、同48−13354号、同49−
38701号、特公昭41−11222号、同43−28403号、
同45−9610号、同49−17481号の各公報、米国特
許第2797213号、同第3454400号、同第3544323号、
同第3573917号、同第3674495号、同第3785825号、
英国特許第1227602号、同第1251345号、同第
1267005号、同第1329888号、同第1330932号、ド
イツ特許第854890号などの各明細書中に記載され
ているものをあげることができる。 また、本発明に係る感光性組成物中には必要に
応じてバインダー成分を添加することができる。
例えば好適なものとしてアルカリ水溶液可溶性の
ノボラツク樹脂があげられる。このようなノボラ
ツク樹脂の例としては、フエノール−ホルムアル
デヒド樹脂、クレゾール−ホルムアルデヒド樹
脂、ｐ−tert−ブチルフエノール−ホルムアルデ
ヒド樹脂、フエノール変性キシレン樹脂などを代
表例としてあげることができる。 全組成物中のキノンジアジド化合物の量は10〜
50重量％であり、より好ましくは20〜40重量％で
ある。また、上記バインダー成分の配合量は全組
成物中の45〜80重量％であり、好ましくは50〜70
重量％である。 本発明においてキノンジアジド化合物と組合せ
て使用される上記一般式〔Ｉ〕で示される化合物
としては、あらゆる種類の１，４−ナフトキノン
及び１，４−ナフトキノン誘導体を含み、例えば
次のようなものが代表例としてあげられる。すな
わち、１，４−ナフトキノン、２−メチル−１，
４−ナフトキノン、２−エチル−１，４−ナフト
キノン、２−プロピル−１，４−ナフトキノン、
２，３−ジメチル−１，４−ナフトキノン、２，
５−ジメチル−１，４−ナフトキノン、２−メト
キシ−１，４−ナフトキノン、２−フエニル−
１，４−ナフトキノン、２−（ｐ−トリル）−１，
４−ナフトキノン、２−アセチル−１，４−ナフ
トキノン、３−クロル−１，４−ナフトキノン、
６−クロル−１，４−ナフトキノン、６−ブロム
−１，４−ナフトキノン、６−ニトロ−１，４−
ナフトキノン、２−ヒドロキシ−１，４−ナフト
キノンなどが挙げられ、これらの１種または２種
以上を混合、あるいは他の増感剤と組合せて使用
される。これらの化合物のうち、特に好ましい化
合物は１，４−ナフトキノン、２−メチル−１，
４−ナフトキノン及び６−クロル−１，４−ナフ
トキノンである。 上記一般式〔Ｉ〕で示される化合物の添加量
は、全組成物中の0.5〜20重量％が適当であり、
より好ましくは１〜７重量％である。 本発明に係る感光性組成物中には、さらに充て
ん剤、色素、染料、顔料、光分解性酸発生剤、塗
布性改良のための界面活性剤及び他の常用の添加
剤及び助剤を含有することができる。これらの添
加剤類はその種類によつても異なるが、概してそ
の添加量は全組成物に対して0.01〜20重量％、好
ましくは0.05〜10重量％が適当である。本発明に
おいて好ましく用いられる染料としては、塩基性
染料および油溶性染料がある。具体的には、ビク
トリア・ピユア・ブルー・BOH、ビクトリア・
ブルー・BH、メチル・バイオレツト、アイゼ
ン・マラカイト・グリーン（以上、保土谷化学工
業製）、パテント・ピユア・ブルー・VX、ロー
ダミン・Ｂ、メチレン・ブルー（以上、住友化学
工業製）等の塩基性染料、並びにスーダン・ブル
ー・、ビクトリア・ブルー・F4R（以上、B.A.
S.F.製）、オイル・ブルー・＃603、オイル・ブル
ー・BOS、オイル・ブルー・Ｎ（以上、オリエ
ント化学工業製）等の油溶性染料があげられる。 本発明に係る感光性組成物は、アルミニウム
板、亜鉛板、銅板、クロームメツキが施こされた
鉄板、プラスチツクフイルム、紙、例えばバイメ
タル、トライメタル、プリント配線用銅・プラス
チツク板、酸化クロム蒸着ガラス板の如き積層板
など適当な支持体上に塗布乾燥して種々の用途に
供される。この際、支持体は、接着性改良等の目
的で電気的、機械的あるいは化学的に表面処理さ
れていてもよい。 本発明に係る感光性組成物は、塗布する際には
種々の有機溶媒に溶かして使用に供されるが、こ
こで使用する溶媒としては、エチレンジクロライ
ド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メ
チルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロ
ソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ジオキサン、酢酸エチル、ジメチルホルムア
ミドなどがあり、これらを単独あるいは混合して
使用することができる。上記塗布液成分中の固形
分濃度は、１〜50重量％の範囲が望ましい。ま
た、塗布量は用途によつても異なるが一般的に固
形分として0.5〜3.0g／m2が適当である。また、
塗布方法としては従来公知のあらゆる塗布技術を
用いることができる。 こうして得られた感光材料の使用に際しては従
来から常用されている方法が適用され得、例えば
線画像、網点画像などを有する透明原画を感光面
に密着して露光し、次いでこれをアルカリ水溶液
にて現像することにより、原画に対してポジ型の
レリーフ像が得られる。露光に好適な光源として
は、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンラ
ンプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯などが
使用され、現像に使用されるアルカリ水溶液とし
てはケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、水酸化
ナトリウム、水酸化カリウム、第三リン酸ナトリ
ウム、第二リン酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、
炭酸カリウムなどの水溶液のようなアルカリ水溶
液がある。このときのアルカリ水溶液の濃度は、
感光性組成物およびアルカリの種類により異なる
が、概して0.1〜10重量％の範囲が適当であり、
また該アルカリ水溶液には必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えること
もできる。 本発明に係る感光性組成物を用いた感光材料、
特に平版印刷版は、従来のポジ型感光性組成物を
用いて成るそれに比べて感度が高く、従つて露光
時間が短縮でき、作業性が向上する。さらに、驚
いたことには、これらの感光材料を網点スケール
を通して露光し、感光材料上での網点面積率を調
べたところ、網点再現性が該化合物を添加しない
場合に比べて増大する（点減り効果を抑制する）
ことが判つた。こうした傾向は、オフセツト印刷
版には場合としては適さないが、他の方式の印刷
版、例えば校正版やICホトマスク用には好まし
い傾向である。 このように本発明に係る感光性組成物を用いた
感光材料、特に平版印刷版は極めて有用であり、
他の感光性組成物を用いた場合にない特徴をも付
与することができる。 以下実施例を挙げて本発明を例証するが、これ
により本発明の実施態様が限定されるものではな
い。 実施例 １ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒ
ド樹脂とのエステル化物 3.00g クレゾール−ホルムアルデヒド−ノボラツク樹
脂 9.00g １，４−ナフトキノン 0.36g ビクトリア・ピユア・ブルー・BOH（保土谷化
学工業株式会社製、染料） 0.12g メチルセロソルブ 100g 上記組成の感光性塗布液を、電気化学的に粗面
化され、かつ陽極酸化されたアルミニウム板に塗
布した。このときの乾燥後の膜重量は2.5g／m2で
あつた。 こうしてつくられた感光板の表面にポジ透明原
画を密着させて、2KWのメタルハライドランプ
で70cmの距離から60秒間露光し２％メタ珪酸ソー
ダ水溶液により、25℃で45秒間現像を行なつた。
この時の適正露光時間は濃度差0.15のグレースケ
ール（さくらステツプタブレツト・タイプTPS
−Ａ）で５段が完全にクリアーとなる点とした。
この際、同時に150線／インチの網点スケール
（さくらステツプ・タブレツト・タイプTPS−
Ｂ）を通して、露光を行ない感光板上の網点面積
の再現性（以下、網点再現性と称す。）をみた。
網点解析装置（さくらエリアダツク−1000）によ
つて原稿面積率49％の網点の感光板上での面積率
を測定したところ、42.8％であつた。 また、２％メタ珪酸ソーダ水溶液で25℃におい
て上記グレースケールでクリアー段数変化が一段
以内となる時間（以下、現像許容性と称す。）は
６分間以内であつた。 以上のようにして得られた印刷版をオフセツト
印刷機にかけて印刷したところ、画像良好な印刷
物が多数枚得られた。 比較例 １ 上記実施例１において用いた感光性塗布液中、
１，４−ナフトキノンを除外した以外は、実施例
１と同じくして感光板をつくつた。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行なつ
た。同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケ
ールで５段が完全にクリアーとなる点（最適露光
時間）は125秒間であつた。 上記実施例１と該比較例１の結果から明らかな
ように、感光度は１，４−ナフトキノンを感光層
に添加することによつて約２倍上昇することがわ
かる。 また、このとき実施例１と同一の網点スケール
を用いて感光板上での網点面積率を測定したとこ
ろ、40.2％であつた。 従つて、実施例１に示す１，４−ナフトキノン
添加によつてこの比較例１の添加しない場合と比
べて約2.5％網点再現性を大きくする（点減り効
果を小さくする）ことができることがわかる。 また、上記比較例１の感光板は、２％メタ珪酸
ソーダ水溶液を用いた25℃における現像許容性は
６分間以内であつて、実施例１の結果と同じであ
つた。従つて、本発明による１，４−ナフトキノ
ン添加の悪影響は見られないことがわかる。 比較例 ２ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとピロガロール−アセトン樹脂
とのエステル化物（米国特許第3635709号、実
施例１に記載のもの） 0.30g クレゾールノボラツク樹脂 0.97g テトラヒドロ無水フタル酸 0.05g ベンジルアルコールとコロネートＬ（日本ポリ
ウレタン工業株式会社製）との付加物 0.03g （コロネートＬ：トリメチロールプロパン１モ
ルにトルエンジイソシアネート３モルを付加さ
せたポリイソシアネート化合物） オイルブルー＃603（オリエント化学工業株式会
社製、染料） 0.01g エチレンジクロライド 10g 酢酸２−メトキシエチル 10g 上記組成の感光性塗布液（特開昭52−80022号
公報の実施例１参照。）を、電気化学的に粗面化
され、かつ陽極酸化されたアルミニウム板に塗布
した。このときの乾燥後の膜重量は2.5g／m2とな
るようにした。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行なつ
た。同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケ
ールで５段が完全にクリアーとなる点（最適露光
時間）は85秒間であつた。また、このとき実施例
１と同一の網点スケールを用いて感光板上での網
点面積率を測定したところ、39.6％であつた。 また、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を用いた25℃
における現像許容性は４分間以内であつた。 以上の結果からわかるように、こうした環状酸
無水物を添加した系は明らかに感光度の上昇は見
られるが、本発明に用いられる化合物に比して効
果が小さく、現像許容性への影響も無視できな
い。 比較例 ３ ２，３，４−トリヒドロキシベンゾフエノン１
モルとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−
スルホニルクロライド３モルとからなるエステ
ル化生成物 0.73g ２，2′−ジヒドロキシ−ジナフチル−（１，1′）
−メタン１モルとナフトキノン−１，２−ジア
ジド−５−スルホニルクロライド２モルとから
なるエステル化生成物 0.55g ナフトキノン−１，２−ジアジド−４−スルホ
ニルクロライド 0.17g クレゾール−ホルムアルデヒド−ノボラツク樹
脂（軟化点105〜120℃） 5.33g クリスタルバイオレツト（B.A.S.F製、染料）
0.06g ２，３，４−トリヒドロキシベンゾフエノンと
ホルムアルデヒドとの縮合生成物 0.68g メチルセロソルブ 40g テトラヒドロフラン 50g 酢酸ブチル 10g 上記組成の感光性塗布液（特開昭55−73045号
公報の実施例１参照。）を、電気化学的に粗面化
され、かつ陽極酸化されたアルミニウム板に塗布
した。このときの乾燥後の膜重量は2.5g／m2とな
るようにした。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行なつ
た。同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケ
ールで５段が完全にクリアーとなる点（最適露光
時間）は100秒間であつた。また、このとき実施
例１と同一の網点スケールを用いて感光板上での
網点面積率を測定したところ、40.7％であつた。
また、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を用いた25℃に
おける現像許容性は６分間以内であつた。 以上の結果からわかるように、こうしたヒドロ
キシベンゾフエノン−ホルムアルデヒド樹脂の添
加は現像許容性への影響はほとんどないが、感光
度の上昇については本発明に用いられる化合物に
比して効果が著しく小さい。 実施例 ２ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとｍ−クレゾール−ホルムアル
デヒド樹脂とのエステル化物 4.00g （特公昭45−9610号公報の実施例３参照。） クレゾール−ノボラツク樹脂 8.00g ２−メチル−１，４−ナフトキノン 0.48g ビクトリア・ピユア・ブルー・BOH（保土谷化
学工業株式会社製、染料） 0.06g オイルブルー2N（オリエント化学工業株式会社
製、染料） 0.04g エチルセロソルブ 100g 上記組成の感光性塗布液を、実施例１と同じ電
解研磨および陽極酸化のアルミニウム板に、乾燥
後の膜重量が2.3g／m2となるように塗布した。 こうして得られた感光板を実施例１と同じくし
て、最適露光時間及び現像許容性を調べた。その
結果、最適露光時間は65秒間であり、現像許容性
は６分間以内であつた。また実施例１と同一の網
点スケールを用いて感光板上での網点再現性を測
定したところ、43.0％であつた。 以上のようにして得られた印刷版をオフセツト
印刷機にかけて印刷したところ、画像良好な印刷
物が多数枚得られた。 実施例 ３ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒ
ド樹脂とのエステル化物 3.50g クレゾール−フエノール−ホルムアルデヒド−
ノボラツク樹脂 8.50g ６−クロル−１，４−ナフトキノン 0.33g オイルブルー＃603（オリエント化学工業株式会
社製、染料） 0.07g クリスタルバイオレツト（B.A.S.F製、染料）
0.07g メチルセロソルブ 90g シクロヘキサノン 10g 上記組成の感光性塗布液を、ナイロンブラシに
よつて機械的に粗面化されかつ陽極酸化されたア
ルミニウム板に塗布した。このときの乾燥後の膜
重量は2.1g／m2であつた。 こうして得られた感光板を実施例１と同じくし
て、最適露光時間及び現像許容性を調べた。その
結果、最適露光時間は59秒間であり、現像許容性
は６分間以内であつた。また実施例１と同一の網
点スケールを用いて感光板上での網点再現性を測
定したところ、42.1％であつた。 以上のようにして得られた印刷版をオフセツト
印刷機にかけて印刷したところ、画像良好な印刷
物が多数枚得られた。 比較例 ４ 上記実施例１において用いた感光性塗布液中、
１，４−ナフトキノンに代えて下記表１に記載の
化合物を用いた以外は、実施例１と同じくして感
光板をつくつた。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行つた。
同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケール
で５段が完全にクリアーとなる点（最高露光時
間）を測定し、同表に示した。 また、このとき実施例１と同一の網点スケール
を用いて感光板上での網点面積率を測定し、同表
に示した。 更に、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を用いた25℃
における現像許容性を実施例１と同じく測定し、
同表に示した。
IC回路やホトマスクの製造に適するポジ型感光
性組成物に関するものであり、特にキノンジアジ
ド化合物を含有してなる感光性組成物に、増感剤
を添加して高感度化したポジ型感光性組成物に関
するものである。さらに詳しくは、現像許容性に
悪影響を及ぼすことなく、感度を高め、かつ網点
再現性を大きくする（点減り効果を小さくする）
ことができるポジ型感光性組成物に関する。 キノンジアジド化合物を含有してなる感光性組
成物は、非常に優れたポジ型感光性組成物として
平版印刷版の製造やホトレジストとして工業的に
用いられてきた。従来、このキノンジアジト系の
ポジ型感光性組成物の感光性を高める方法につい
て種々の提案がなされてきたが、満足すべきもの
は得られていない。たとえばキノンジアジド化合
物の量を少なくすると、当然感度は上昇するが、
それに伴つて現像時における現像許容性（最適現
像が得られる時間巾、以下、同じ。）が狭くなり、
実用的でなくなるという欠点が生じる。また、キ
ノンジアジド化合物にアルカリ水溶液溶解性の大
きいバインダー樹脂を組合せた系は、やはり見か
けの感度は上昇するが、前記の場合と同じく、現
像許容性が狭くなるという欠点を有している。 また、キノンジアジド化合物を含む感光性組成
物に非感光性の化合物（増感剤）を添加して感度
を上昇させる技術が提案されているが、いずれも
充分な効果を得られておらず、また種々の欠点を
有しているのが現状である。 例えば米国特許第3661582号明細書に記載され
ているように、一定の複素環式化合物、例えば２
−アザシクロノナン−２−オン、インドール、キ
ナゾリン及びテトラゾールの添加によつて感度を
上昇させることができるが、この場合も上記した
場合と同様に極度に狭い現像許容性を有するにす
ぎない。 特公昭46−42449号公報には、写真感光度を上
昇させるための種々の添加剤、例えばトリフエニ
ルメタン染料、ベンズアルデヒド−ｍ−トリルヒ
ドラゾン、ハロゲン化炭化水素及びアゾ染料が記
載されているが、これらの化合物は高感度につい
て顕著な作用を有しない。 また、同じ目的でｏ−安息香酸スルフイミド、
ヒダントイン及びその誘導体、チオヒダントイン
及びその誘導体の添加が提案されている（特開昭
50−36203号公報参照。）。同じ目的で環式酸無水
物の添加剤が提案されている（特開昭52−80022
号公報、および後記実施例の「比較例２」参
照。）。これらの場合にも、感度の上昇が認められ
る程度の添加量においては、現像時における現像
許容性が極端に狭く実用的でない。 さらに、ポリヒドロキシベンゾフエノンを含有
する感光性複写材料についても提案されている
（特開昭52−54503号公報及び後記比較例４参照。）
が、該化合物は支持体への接着性を改善するため
に添加されており、これと関連して、感度を高め
ている技術であつて、高感度についての顕著さは
みられず、また高感度化に必要かつ充分量だけ添
加すると現像許容性が狭くなる。また、感度上昇
を目的としてヒドロキシベンゾフエノンとホルム
アルデヒドとの縮合生成物の添加が提案されてい
る（特開昭55−73045号公報、および後記実施例
の「比較例３」参照。）が、この場合は、前記特
開昭52−54503号公報中の化合物の場合と同様に、
明らかな感度の上昇が認められるにはかなりの添
加量が必要であり、現像許容性と耐薬品性の低下
は甘受しなければならない。 そこで、本発明の目的は、特定の添加物を含有
させることにより、この際、現像許容性等の他の
重要な性質に不利な影響を与えることなしに、キ
ノンジアジド型感光性物質の感度を向上させるこ
とができるポジ型感光性組成物を提供するにあ
る。 本発明の他の目的は、網点再現性を大きくする
（点減り効果を小さくする）ことができるポジ型
感光性組成物を提供するにある。 本発明のその他の目的は、本明細書の以下の記
述によつて明らかであろう。 本発明の上記目的は、キノンジアジド型のポジ
型感光性物質および下記一般式〔Ｉ〕で示される
化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性
組成物によつて達成される。 一般式〔Ｉ〕 一般式〔Ｉ〕中、R1、R2、R3はそれぞれ水素
原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、
置換アリール基、アシル基、ハロゲノ基、ニトロ
基または水酸基を示す。但し、R3はそれぞれ同
一の基もしくは原子または異なつた種類の組合せ
からなるものとする。 このうち、アルキル基としては炭素原子数１〜
18のものが含まれ、好ましくは炭素原子数１〜４
のものであり、これらは直鎖でも分岐していても
良く、このアルキル基の具体例としては、メチ
ル、エチル、ｉ−プロピル、ｔ−ブチル、ｉ−ア
ミル、ｎ−ヘキシル、ｎ−オクチル、ラウリル、
セチルおよびステアリル等の各基があげられる。
アルコキシ基の例としては、メトキシ、エトキ
シ、ｉ−プロポキシ、ｔ−ブトキシ等の各基があ
げられ、このうち好ましくはメトキシおよびエト
キシである。アリール基及び置換アリール基にお
けるアリール基としてはフエニル、ナフチル、ア
ントリル、フエナントリル等の各基があげられ
る。置換アリール基におけるアリール基への置換
基としては、低級アルキル基（炭素原子数１〜
４）、アルコキシ基（炭素原子数１〜４）、アシル
基（炭素原子数２〜４）、ハロゲノ基（クロル、
ブロムなど）、ニトロ基および水酸基等があげら
れる。R1、R2またはR3で示されるアシル基の例
としては、アセチル、プロピオニル、ブチリル、
ベンゾイル等の各基があげられる。R1、R2また
はR3で示されるハロゲノ基としては、フルオル、
クロル、ブロム、ヨードなどがあげられ、好まし
くはクロルとブロムである。また、一般式〔Ｉ〕
中、R1、R2、R3は各々同一でも異つてもよく、
組合せは任意にとれる。 本発明に用いられるキノンジアジト化合物とし
ては、１，２−ジアゾベンゾキノンスルホン酸ク
ロライドとポリヒドロキシフエニルとのエステル
または１，２−ジアゾナフトキノンスルホン酸ク
ロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒド樹脂と
のエステルであるのが最も好ましい。その他の好
適なキノンジアジト化合物としては、米国特許第
3046120号および同第3188210号の各明細書中に記
載されている１，２−ジアゾベンゾキノンスルホ
ン酸クロライドまたは１，２−ジアゾナフトキノ
ンスルホン酸クロライドとフエノール−ホルムア
ルデヒド樹脂とのエステルがある。その他の有用
なキノンジアジド化合物としては、数多くの特許
公報等に報告され、知られている。たとえば、特
開昭47−5303号、同48−63802号、同48−63803
号、同48−96575号、同48−13354号、同49−
38701号、特公昭41−11222号、同43−28403号、
同45−9610号、同49−17481号の各公報、米国特
許第2797213号、同第3454400号、同第3544323号、
同第3573917号、同第3674495号、同第3785825号、
英国特許第1227602号、同第1251345号、同第
1267005号、同第1329888号、同第1330932号、ド
イツ特許第854890号などの各明細書中に記載され
ているものをあげることができる。 また、本発明に係る感光性組成物中には必要に
応じてバインダー成分を添加することができる。
例えば好適なものとしてアルカリ水溶液可溶性の
ノボラツク樹脂があげられる。このようなノボラ
ツク樹脂の例としては、フエノール−ホルムアル
デヒド樹脂、クレゾール−ホルムアルデヒド樹
脂、ｐ−tert−ブチルフエノール−ホルムアルデ
ヒド樹脂、フエノール変性キシレン樹脂などを代
表例としてあげることができる。 全組成物中のキノンジアジド化合物の量は10〜
50重量％であり、より好ましくは20〜40重量％で
ある。また、上記バインダー成分の配合量は全組
成物中の45〜80重量％であり、好ましくは50〜70
重量％である。 本発明においてキノンジアジド化合物と組合せ
て使用される上記一般式〔Ｉ〕で示される化合物
としては、あらゆる種類の１，４−ナフトキノン
及び１，４−ナフトキノン誘導体を含み、例えば
次のようなものが代表例としてあげられる。すな
わち、１，４−ナフトキノン、２−メチル−１，
４−ナフトキノン、２−エチル−１，４−ナフト
キノン、２−プロピル−１，４−ナフトキノン、
２，３−ジメチル−１，４−ナフトキノン、２，
５−ジメチル−１，４−ナフトキノン、２−メト
キシ−１，４−ナフトキノン、２−フエニル−
１，４−ナフトキノン、２−（ｐ−トリル）−１，
４−ナフトキノン、２−アセチル−１，４−ナフ
トキノン、３−クロル−１，４−ナフトキノン、
６−クロル−１，４−ナフトキノン、６−ブロム
−１，４−ナフトキノン、６−ニトロ−１，４−
ナフトキノン、２−ヒドロキシ−１，４−ナフト
キノンなどが挙げられ、これらの１種または２種
以上を混合、あるいは他の増感剤と組合せて使用
される。これらの化合物のうち、特に好ましい化
合物は１，４−ナフトキノン、２−メチル−１，
４−ナフトキノン及び６−クロル−１，４−ナフ
トキノンである。 上記一般式〔Ｉ〕で示される化合物の添加量
は、全組成物中の0.5〜20重量％が適当であり、
より好ましくは１〜７重量％である。 本発明に係る感光性組成物中には、さらに充て
ん剤、色素、染料、顔料、光分解性酸発生剤、塗
布性改良のための界面活性剤及び他の常用の添加
剤及び助剤を含有することができる。これらの添
加剤類はその種類によつても異なるが、概してそ
の添加量は全組成物に対して0.01〜20重量％、好
ましくは0.05〜10重量％が適当である。本発明に
おいて好ましく用いられる染料としては、塩基性
染料および油溶性染料がある。具体的には、ビク
トリア・ピユア・ブルー・BOH、ビクトリア・
ブルー・BH、メチル・バイオレツト、アイゼ
ン・マラカイト・グリーン（以上、保土谷化学工
業製）、パテント・ピユア・ブルー・VX、ロー
ダミン・Ｂ、メチレン・ブルー（以上、住友化学
工業製）等の塩基性染料、並びにスーダン・ブル
ー・、ビクトリア・ブルー・F4R（以上、B.A.
S.F.製）、オイル・ブルー・＃603、オイル・ブル
ー・BOS、オイル・ブルー・Ｎ（以上、オリエ
ント化学工業製）等の油溶性染料があげられる。 本発明に係る感光性組成物は、アルミニウム
板、亜鉛板、銅板、クロームメツキが施こされた
鉄板、プラスチツクフイルム、紙、例えばバイメ
タル、トライメタル、プリント配線用銅・プラス
チツク板、酸化クロム蒸着ガラス板の如き積層板
など適当な支持体上に塗布乾燥して種々の用途に
供される。この際、支持体は、接着性改良等の目
的で電気的、機械的あるいは化学的に表面処理さ
れていてもよい。 本発明に係る感光性組成物は、塗布する際には
種々の有機溶媒に溶かして使用に供されるが、こ
こで使用する溶媒としては、エチレンジクロライ
ド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メ
チルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロ
ソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ジオキサン、酢酸エチル、ジメチルホルムア
ミドなどがあり、これらを単独あるいは混合して
使用することができる。上記塗布液成分中の固形
分濃度は、１〜50重量％の範囲が望ましい。ま
た、塗布量は用途によつても異なるが一般的に固
形分として0.5〜3.0g／m2が適当である。また、
塗布方法としては従来公知のあらゆる塗布技術を
用いることができる。 こうして得られた感光材料の使用に際しては従
来から常用されている方法が適用され得、例えば
線画像、網点画像などを有する透明原画を感光面
に密着して露光し、次いでこれをアルカリ水溶液
にて現像することにより、原画に対してポジ型の
レリーフ像が得られる。露光に好適な光源として
は、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンラ
ンプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯などが
使用され、現像に使用されるアルカリ水溶液とし
てはケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、水酸化
ナトリウム、水酸化カリウム、第三リン酸ナトリ
ウム、第二リン酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、
炭酸カリウムなどの水溶液のようなアルカリ水溶
液がある。このときのアルカリ水溶液の濃度は、
感光性組成物およびアルカリの種類により異なる
が、概して0.1〜10重量％の範囲が適当であり、
また該アルカリ水溶液には必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えること
もできる。 本発明に係る感光性組成物を用いた感光材料、
特に平版印刷版は、従来のポジ型感光性組成物を
用いて成るそれに比べて感度が高く、従つて露光
時間が短縮でき、作業性が向上する。さらに、驚
いたことには、これらの感光材料を網点スケール
を通して露光し、感光材料上での網点面積率を調
べたところ、網点再現性が該化合物を添加しない
場合に比べて増大する（点減り効果を抑制する）
ことが判つた。こうした傾向は、オフセツト印刷
版には場合としては適さないが、他の方式の印刷
版、例えば校正版やICホトマスク用には好まし
い傾向である。 このように本発明に係る感光性組成物を用いた
感光材料、特に平版印刷版は極めて有用であり、
他の感光性組成物を用いた場合にない特徴をも付
与することができる。 以下実施例を挙げて本発明を例証するが、これ
により本発明の実施態様が限定されるものではな
い。 実施例 １ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒ
ド樹脂とのエステル化物 3.00g クレゾール−ホルムアルデヒド−ノボラツク樹
脂 9.00g １，４−ナフトキノン 0.36g ビクトリア・ピユア・ブルー・BOH（保土谷化
学工業株式会社製、染料） 0.12g メチルセロソルブ 100g 上記組成の感光性塗布液を、電気化学的に粗面
化され、かつ陽極酸化されたアルミニウム板に塗
布した。このときの乾燥後の膜重量は2.5g／m2で
あつた。 こうしてつくられた感光板の表面にポジ透明原
画を密着させて、2KWのメタルハライドランプ
で70cmの距離から60秒間露光し２％メタ珪酸ソー
ダ水溶液により、25℃で45秒間現像を行なつた。
この時の適正露光時間は濃度差0.15のグレースケ
ール（さくらステツプタブレツト・タイプTPS
−Ａ）で５段が完全にクリアーとなる点とした。
この際、同時に150線／インチの網点スケール
（さくらステツプ・タブレツト・タイプTPS−
Ｂ）を通して、露光を行ない感光板上の網点面積
の再現性（以下、網点再現性と称す。）をみた。
網点解析装置（さくらエリアダツク−1000）によ
つて原稿面積率49％の網点の感光板上での面積率
を測定したところ、42.8％であつた。 また、２％メタ珪酸ソーダ水溶液で25℃におい
て上記グレースケールでクリアー段数変化が一段
以内となる時間（以下、現像許容性と称す。）は
６分間以内であつた。 以上のようにして得られた印刷版をオフセツト
印刷機にかけて印刷したところ、画像良好な印刷
物が多数枚得られた。 比較例 １ 上記実施例１において用いた感光性塗布液中、
１，４−ナフトキノンを除外した以外は、実施例
１と同じくして感光板をつくつた。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行なつ
た。同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケ
ールで５段が完全にクリアーとなる点（最適露光
時間）は125秒間であつた。 上記実施例１と該比較例１の結果から明らかな
ように、感光度は１，４−ナフトキノンを感光層
に添加することによつて約２倍上昇することがわ
かる。 また、このとき実施例１と同一の網点スケール
を用いて感光板上での網点面積率を測定したとこ
ろ、40.2％であつた。 従つて、実施例１に示す１，４−ナフトキノン
添加によつてこの比較例１の添加しない場合と比
べて約2.5％網点再現性を大きくする（点減り効
果を小さくする）ことができることがわかる。 また、上記比較例１の感光板は、２％メタ珪酸
ソーダ水溶液を用いた25℃における現像許容性は
６分間以内であつて、実施例１の結果と同じであ
つた。従つて、本発明による１，４−ナフトキノ
ン添加の悪影響は見られないことがわかる。 比較例 ２ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとピロガロール−アセトン樹脂
とのエステル化物（米国特許第3635709号、実
施例１に記載のもの） 0.30g クレゾールノボラツク樹脂 0.97g テトラヒドロ無水フタル酸 0.05g ベンジルアルコールとコロネートＬ（日本ポリ
ウレタン工業株式会社製）との付加物 0.03g （コロネートＬ：トリメチロールプロパン１モ
ルにトルエンジイソシアネート３モルを付加さ
せたポリイソシアネート化合物） オイルブルー＃603（オリエント化学工業株式会
社製、染料） 0.01g エチレンジクロライド 10g 酢酸２−メトキシエチル 10g 上記組成の感光性塗布液（特開昭52−80022号
公報の実施例１参照。）を、電気化学的に粗面化
され、かつ陽極酸化されたアルミニウム板に塗布
した。このときの乾燥後の膜重量は2.5g／m2とな
るようにした。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行なつ
た。同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケ
ールで５段が完全にクリアーとなる点（最適露光
時間）は85秒間であつた。また、このとき実施例
１と同一の網点スケールを用いて感光板上での網
点面積率を測定したところ、39.6％であつた。 また、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を用いた25℃
における現像許容性は４分間以内であつた。 以上の結果からわかるように、こうした環状酸
無水物を添加した系は明らかに感光度の上昇は見
られるが、本発明に用いられる化合物に比して効
果が小さく、現像許容性への影響も無視できな
い。 比較例 ３ ２，３，４−トリヒドロキシベンゾフエノン１
モルとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−
スルホニルクロライド３モルとからなるエステ
ル化生成物 0.73g ２，2′−ジヒドロキシ−ジナフチル−（１，1′）
−メタン１モルとナフトキノン−１，２−ジア
ジド−５−スルホニルクロライド２モルとから
なるエステル化生成物 0.55g ナフトキノン−１，２−ジアジド−４−スルホ
ニルクロライド 0.17g クレゾール−ホルムアルデヒド−ノボラツク樹
脂（軟化点105〜120℃） 5.33g クリスタルバイオレツト（B.A.S.F製、染料）
0.06g ２，３，４−トリヒドロキシベンゾフエノンと
ホルムアルデヒドとの縮合生成物 0.68g メチルセロソルブ 40g テトラヒドロフラン 50g 酢酸ブチル 10g 上記組成の感光性塗布液（特開昭55−73045号
公報の実施例１参照。）を、電気化学的に粗面化
され、かつ陽極酸化されたアルミニウム板に塗布
した。このときの乾燥後の膜重量は2.5g／m2とな
るようにした。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行なつ
た。同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケ
ールで５段が完全にクリアーとなる点（最適露光
時間）は100秒間であつた。また、このとき実施
例１と同一の網点スケールを用いて感光板上での
網点面積率を測定したところ、40.7％であつた。
また、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を用いた25℃に
おける現像許容性は６分間以内であつた。 以上の結果からわかるように、こうしたヒドロ
キシベンゾフエノン−ホルムアルデヒド樹脂の添
加は現像許容性への影響はほとんどないが、感光
度の上昇については本発明に用いられる化合物に
比して効果が著しく小さい。 実施例 ２ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとｍ−クレゾール−ホルムアル
デヒド樹脂とのエステル化物 4.00g （特公昭45−9610号公報の実施例３参照。） クレゾール−ノボラツク樹脂 8.00g ２−メチル−１，４−ナフトキノン 0.48g ビクトリア・ピユア・ブルー・BOH（保土谷化
学工業株式会社製、染料） 0.06g オイルブルー2N（オリエント化学工業株式会社
製、染料） 0.04g エチルセロソルブ 100g 上記組成の感光性塗布液を、実施例１と同じ電
解研磨および陽極酸化のアルミニウム板に、乾燥
後の膜重量が2.3g／m2となるように塗布した。 こうして得られた感光板を実施例１と同じくし
て、最適露光時間及び現像許容性を調べた。その
結果、最適露光時間は65秒間であり、現像許容性
は６分間以内であつた。また実施例１と同一の網
点スケールを用いて感光板上での網点再現性を測
定したところ、43.0％であつた。 以上のようにして得られた印刷版をオフセツト
印刷機にかけて印刷したところ、画像良好な印刷
物が多数枚得られた。 実施例 ３ ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ニルクロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒ
ド樹脂とのエステル化物 3.50g クレゾール−フエノール−ホルムアルデヒド−
ノボラツク樹脂 8.50g ６−クロル−１，４−ナフトキノン 0.33g オイルブルー＃603（オリエント化学工業株式会
社製、染料） 0.07g クリスタルバイオレツト（B.A.S.F製、染料）
0.07g メチルセロソルブ 90g シクロヘキサノン 10g 上記組成の感光性塗布液を、ナイロンブラシに
よつて機械的に粗面化されかつ陽極酸化されたア
ルミニウム板に塗布した。このときの乾燥後の膜
重量は2.1g／m2であつた。 こうして得られた感光板を実施例１と同じくし
て、最適露光時間及び現像許容性を調べた。その
結果、最適露光時間は59秒間であり、現像許容性
は６分間以内であつた。また実施例１と同一の網
点スケールを用いて感光板上での網点再現性を測
定したところ、42.1％であつた。 以上のようにして得られた印刷版をオフセツト
印刷機にかけて印刷したところ、画像良好な印刷
物が多数枚得られた。 比較例 ４ 上記実施例１において用いた感光性塗布液中、
１，４−ナフトキノンに代えて下記表１に記載の
化合物を用いた以外は、実施例１と同じくして感
光板をつくつた。 こうしてつくられた感光板を、実施例１と同一
の条件下で露光し、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を
用いて実施例１と同一の条件下で現像を行つた。
同じ試験条件下で、濃度差0.15のグレースケール
で５段が完全にクリアーとなる点（最高露光時
間）を測定し、同表に示した。 また、このとき実施例１と同一の網点スケール
を用いて感光板上での網点面積率を測定し、同表
に示した。 更に、２％メタ珪酸ソーダ水溶液を用いた25℃
における現像許容性を実施例１と同じく測定し、
同表に示した。
【表】
【表】
表１から明らかなように、表１記載の化合物
を、高感度化に必要かつ充分量だけ用いると、現
像許容性が狭くなり、効果がほとんど見られない
ことがわかる。
を、高感度化に必要かつ充分量だけ用いると、現
像許容性が狭くなり、効果がほとんど見られない
ことがわかる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ キノンジアジド型のポジ型感光性物質および
下記一般式〔Ｉ〕で示される化合物を含有するこ
とを特徴とするポジ型感光性組成物。 一般式〔Ｉ〕 （一般式〔Ｉ〕中、R1、R2、R3はそれぞれ水素
原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、
置換アリール基、アシル基、ハロゲノ基、ニトロ
基または水酸基を示す。但し、R3はそれぞれ同
一の基もしくは原子または異なつた種類の組合せ
からなるものとする。）
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP377981A JPS57118238A (en) | 1981-01-16 | 1981-01-16 | Positive type photosensitive composition |
| US06/336,861 US4460674A (en) | 1981-01-16 | 1982-01-04 | Posi-type quinone diazide photosensitive composition with sensitizer therefor |
| DE19823201151 DE3201151A1 (de) | 1981-01-16 | 1982-01-15 | Positive lichtempfindliche masse und diese enthaltendes positives lichtempfindliches aufzeichnungsmaterial |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP377981A JPS57118238A (en) | 1981-01-16 | 1981-01-16 | Positive type photosensitive composition |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57118238A JPS57118238A (en) | 1982-07-23 |
| JPS6358336B2 true JPS6358336B2 (ja) | 1988-11-15 |
Family
ID=11566666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP377981A Granted JPS57118238A (en) | 1981-01-16 | 1981-01-16 | Positive type photosensitive composition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57118238A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2547905C2 (de) * | 1975-10-25 | 1985-11-21 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial |
| JPS566236A (en) * | 1979-06-28 | 1981-01-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photosensitive material and pattern forming method using it |
-
1981
- 1981-01-16 JP JP377981A patent/JPS57118238A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57118238A (en) | 1982-07-23 |
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