JPS6354790A - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPS6354790A JPS6354790A JP19800786A JP19800786A JPS6354790A JP S6354790 A JPS6354790 A JP S6354790A JP 19800786 A JP19800786 A JP 19800786A JP 19800786 A JP19800786 A JP 19800786A JP S6354790 A JPS6354790 A JP S6354790A
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- mirrors
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 22
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08081—Unstable resonators
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
この発明はレーザー媒質を励起し、共振器を用いてレー
ザー発振を行なうレーザー発振装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Purpose of the Invention (Industrial Application Field) This invention relates to a laser oscillation device that excites a laser medium and performs laser oscillation using a resonator.
（従来の技術）
従来、レーザー共振器のアライメントは研究用装置を除
けば手動で行なっているのが普通である。しかし、レー
ザーのアライメントはがなりの熟練を要し、利用者がア
ライメントを行なうのは一般に困難である。特に不安定
型共振器の場合、アライメントは、非常に困難である。(Prior Art) Conventionally, laser resonator alignment has generally been performed manually, except in research equipment. However, laser alignment requires considerable skill and is generally difficult for users to perform alignment. Alignment is very difficult, especially for unstable resonators.
従来の不安定型共振器に対するアライメントのやり方の
一例を第２図に示す。凹面ミラー１の中心の細孔から、
レーザービームを共振器内に入射すると、共振器内で多
重反射をくり返し、第２図のビームパターンとして示す
ような分布でレーザー光が外に取り出される。このパタ
ーンが軸対称になるように２つのミラーを調整する。し
かし、この光は広がっているため非常に暗くなっており
、調整はかなり困難となる。まして、自動アライメント
番行なうことはほとんど不可能である。An example of how to align a conventional unstable resonator is shown in FIG. From the pore at the center of concave mirror 1,
When a laser beam enters a resonator, multiple reflections occur within the resonator, and the laser beam is extracted to the outside in a distribution as shown in the beam pattern in FIG. Adjust the two mirrors so that this pattern is axially symmetrical. However, because this light is spread out, it is very dim and adjustment is quite difficult. Furthermore, it is almost impossible to perform automatic alignment.
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は、前述した複雑なアライメントを容易にすると
ともに、自動アライメントも可能にし、更に、発振ビー
ムの光路を望む位置にもってくることのできるような、
アライメントシステムを提供し、信頓性の高いレーザー
発振装置を提供することを目的としている。(Problems to be Solved by the Invention) The present invention not only facilitates the complicated alignment described above, but also enables automatic alignment, and furthermore, allows the optical path of the oscillation beam to be brought to a desired position.
The purpose is to provide an alignment system and provide a highly reliable laser oscillation device.
【発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明は、不安定型共振器を構成する２枚のミラーの中
心に小さな細孔を開け、出力ミラーの裏面の細孔の周囲
を鏡面とし、アライメント用のレーザービームを出力ミ
ラー側から、２つの細孔を通過するように通すことによ
りアライメントを行なうものである。この時、レーザー
ビームが、２つの細孔を通過しているかどうかは、凹面
ミラーの後方に設置した光検出器で調べ、光が通過して
いれば、２つのミラーの軸が一致しており、アライメン
トが良好であることを示している。また、レーザービー
ムの径が、出力ミラーの細孔により大きくなるようにし
ておけば、レーザービームの一部は細孔の周囲の鏡面で
反射するため、この反射光が、元の位置にもどるように
すれば、出力ミラーのみの調整を容易に行なうことがで
き、この時、不安定共振器によって発振したビームの光
路は、アライメント用レーザービームの光路に一致する
。[Structure of the Invention] (Means for Solving Problems) The present invention has a small pore formed in the center of two mirrors constituting an unstable resonator, and the periphery of the pore on the back surface of the output mirror is mirror-finished. Alignment is performed by passing an alignment laser beam from the output mirror side through two pores. At this time, whether the laser beam is passing through the two pores is checked using a photodetector installed behind the concave mirror. If the light is passing through, the axes of the two mirrors are aligned. , indicating good alignment. Also, if the diameter of the laser beam is made larger by the pore of the output mirror, a portion of the laser beam will be reflected by the mirror surface around the pore, and this reflected light will return to its original position. By doing so, it is possible to easily adjust only the output mirror, and at this time, the optical path of the beam oscillated by the unstable resonator coincides with the optical path of the alignment laser beam.
反射光の位置測定も光検出器を用いて行なうことができ
る。更に、これら光検出器の出力を信号処理し、ミラー
駆動装置を動かすことにより、自動アライメントも可能
となる。Position measurement of reflected light can also be performed using a photodetector. Furthermore, automatic alignment is also possible by signal processing the outputs of these photodetectors and moving the mirror drive device.
（作用）
本発明は、細孔を開けた２つのミラーを通過するレーザ
ービームの強度を光検出器で測定することにより、ミラ
ーのアライメントを行なうとともに、出力ミラーの裏面
から反射してくるレーザー光の位置検出を光検出器で行
なうことにより、出力ミラーのみの調整を独立に行なう
とともに発振ビームの光路を望む位置にもってくること
ができるようにしたものであり、更に、光検出器の出力
を信号処理しミラー駆動装置を動かすことにより、自動
アライメントも可能としたものである。(Function) The present invention aligns the mirrors by measuring the intensity of the laser beam passing through two mirrors with pores with a photodetector, and also aligns the laser beam reflected from the back surface of the output mirror. By detecting the position of the output mirror using a photodetector, only the output mirror can be adjusted independently and the optical path of the oscillation beam can be brought to the desired position. Automatic alignment is also possible by processing signals and moving the mirror drive device.
（実施例）
本発明の実施例を第１図に示す。不安定共振器は凹面ミ
ラー１と出力ミラー２で構成されており、それぞれの中
心に細孔（直径の１／１０以下）があけられている。こ
の２つの細孔の軸が完全に一致すると２つのミラーの光
軸が完全に一致するように、２つの細孔が開けられてお
り、更に、出力ミラーの裏面の細孔の周囲を′鏡面に仕
上げこの面が、前記細孔の軸に直角になるようになって
いる。アライメントの手順は以下のようになる。まず、
アライメント用レーザービームを、折り返しミラー１０
によって曲げ、出力ミラーの中心に導びく、この時、レ
ーザービームの径より細孔の径が小さくなるようにして
おくと、レーザービームの一部は細孔の周囲の鏡面で反
射され、ビームスブリッタフによって光路を曲げられ、
光検出器６によって、反射ビームの位置をけんゆつする
ことができる。この時、ビームが元にもどるように出力
ミラーを調節すると、出力ミラーの光軸とレーザービー
ムの光軸が一致し、ビームは出力゛ミラーの中心の細孔
を通過するようになる。次に、光検出器５に入射するビ
ーム強度が最大になるように凹面ミラー１を調節するこ
とにより、２つのミラーの光軸が一致し、アライメント
が完了する。この時、ミラーの光軸は、アライメント用
レーザービームと同じ光路を通る。また、光検出器５．
６の出力を信号処理装置８によって信号処理を行ない、
ミラー駆動装置を励かすことによって、自動アライメン
トを行なうことができる。また、ミラーの細孔の直径の
１／１０以下にすれば、面積透過率は１％以下となり、
共振器内損失としては無視できる大きさとなる。(Example) An example of the present invention is shown in FIG. The unstable resonator is composed of a concave mirror 1 and an output mirror 2, each of which has a pore (1/10 or less in diameter) at its center. Two pores are opened so that when the axes of these two pores are perfectly aligned, the optical axes of the two mirrors are completely aligned. This surface is perpendicular to the axis of the pore. The alignment procedure is as follows. first,
The alignment laser beam is folded back to the mirror 10.
At this time, if the diameter of the pore is made smaller than the diameter of the laser beam, part of the laser beam will be reflected by the mirror surface around the pore, causing beam splitting. The optical path is bent by the tough,
A photodetector 6 makes it possible to determine the position of the reflected beam. At this time, when the output mirror is adjusted so that the beam returns to its original state, the optical axis of the output mirror and the optical axis of the laser beam coincide, and the beam passes through the pore in the center of the output mirror. Next, by adjusting the concave mirror 1 so that the beam intensity entering the photodetector 5 is maximized, the optical axes of the two mirrors are aligned, and alignment is completed. At this time, the optical axis of the mirror passes through the same optical path as the alignment laser beam. In addition, a photodetector 5.
The output of 6 is subjected to signal processing by a signal processing device 8,
Automatic alignment can be achieved by energizing the mirror drive. In addition, if the diameter of the pores of the mirror is made 1/10 or less, the area transmittance will be 1% or less,
The loss within the resonator is negligible.
以上、本発明を用いることにより、従来アライメントの
困難であった不安定型共振器のアライメントを容易に行
なうことができ、同時に、発振ビームの光路を望む位置
に正確にもってくることが容易にできる。更に、自動ア
ライメントも容易に行なうことができる。As described above, by using the present invention, it is possible to easily align an unstable resonator, which has been difficult to align in the past, and at the same time, it is possible to easily bring the optical path of the oscillation beam to a desired position accurately. Furthermore, automatic alignment can be easily performed.
［発明の効果］
本発明を用いることにより、従来アライメントの困難で
あった不安定型共振器のアライメントを容易に行なうこ
とができ、同時に発振ビームの方向も望む方向に正確に
合わせることが容易にでき、更に、自動アライメントも
容易に行なうことができる。その結果、信頓性の高い、
扱いやすいレーザー発振装置を提供することができる。[Effects of the Invention] By using the present invention, it is possible to easily align an unstable resonator, which has been difficult to align in the past, and at the same time, it is also possible to easily align the direction of the oscillation beam in the desired direction. Furthermore, automatic alignment can be easily performed. As a result, highly reliable,
A laser oscillation device that is easy to handle can be provided.
第１図は本発明の実施例を示す概略図、第２図は従来の
アライメント方式を示す概略図である。
１、凹面ミラー ２．出力ミラー ３．細孔４、細孔
５．光検出器 ６．光検出器７、ビームスプリッタ−８
，信号処理装置９、ミラー駆動装置
１０、アライメント用レーザービーム折り返しミ代理人
弁理士 則 近 憲 佑
同 竹 花 喜久男
第１図
第２図FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram showing a conventional alignment method. 1. Concave mirror 2. Output mirror 3. Pore 4, Pore
5. Photodetector 6. Photodetector 7, beam splitter 8
, signal processing device 9, mirror drive device 10, laser beam return mirror for alignment Patent attorney Noriyuki Chika Yudo Kikuo Takehana Figure 1 Figure 2
Claims (3)
て、２つのミラーの中心に、それぞれミラー直径の１／
１０以下の細孔を、それぞれのミラー球面の中心を向く
ようにあけ、かつ、出力側のミラー裏面の前記細孔の周
囲を鏡面とし、その鏡面が、前記細孔に直角になるよう
に仕上げられていることを特徴とするレーザー発振装置
。(1) In a laser oscillation device with an unstable resonator, a
Drill 10 or less pores facing the center of each mirror spherical surface, and make a mirror surface around the pores on the back surface of the mirror on the output side, and finish the mirror surface so that it is perpendicular to the pores. A laser oscillation device characterized by:
、別のレーザービームを、前記レーザービームの不安定
型共振器ミラーの中心に向けて発し、その２枚のミラー
の中心に開けた細孔を通過したレーザービームを検出す
るために、凹面ミラー後方に設置された光検出器と、前
記出力ミラー裏面の鏡面から反射してくるレーザービー
ムの位置を検出するための光検出器を備えた特許請求の
範囲第１項記載のレーザー発振装置。(2) Another laser beam is emitted from the center of the beam transmission path of the laser oscillation device toward the center of the unstable resonator mirror of the laser beam, and a pore opened in the center of the two mirrors is A patent claim comprising: a photodetector installed behind the concave mirror for detecting the laser beam that has passed; and a photodetector for detecting the position of the laser beam reflected from the mirror surface on the back surface of the output mirror. The laser oscillation device according to item 1.
安定型共振器のミラーをそれぞれ駆動するための、信号
処理装置及び、ミラー駆動装置を有する特許請求の範囲
第２項記載のレーザー発振装置。(3) The laser according to claim 2, comprising a signal processing device and a mirror driving device for processing the output signals of the two photodetectors and driving the mirrors of the unstable resonator, respectively. Oscillation device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19800786A JPS6354790A (en) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19800786A JPS6354790A (en) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6354790A true JPS6354790A (en) | 1988-03-09 |
Family
ID=16383958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19800786A Pending JPS6354790A (en) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6354790A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429178A (en) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Canon Inc | Image forming device |
| JPH0711438A (en) * | 1993-06-29 | 1995-01-13 | Nec Corp | Method and device for forming film while controlling temperature of substrate |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP19800786A patent/JPS6354790A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429178A (en) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Canon Inc | Image forming device |
| JPH0711438A (en) * | 1993-06-29 | 1995-01-13 | Nec Corp | Method and device for forming film while controlling temperature of substrate |
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