JPS6353848A - イオンポンプの活性化方法 - Google Patents
イオンポンプの活性化方法Info
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- JPS6353848A JPS6353848A JP19686686A JP19686686A JPS6353848A JP S6353848 A JPS6353848 A JP S6353848A JP 19686686 A JP19686686 A JP 19686686A JP 19686686 A JP19686686 A JP 19686686A JP S6353848 A JPS6353848 A JP S6353848A
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は電子顕微鏡等の真空排気装置として使用される
イオンポンプの活性化方法に関する。
イオンポンプの活性化方法に関する。
［従来技術］
一般に電子顕微鏡等では、超高真空あるいは油蒸気汚染
のない清浄真空に欠くことのできない排気装置としてイ
オンポンプが使用されている。
のない清浄真空に欠くことのできない排気装置としてイ
オンポンプが使用されている。
イオンポンプを低真空空間に化較的長期間晒した場合に
は、第４図に示すようにイオンポンプ１を構成するアノ
ードセル１ａやカソード１ｂ等が充分に脱ガス処理され
ていない状態で該ポンプを動作させると、電子、イオン
衝撃によりアノードセル１ａやカソード１ｂ等から大組
のガスが放出されたり、又、スパッタイールド（カソー
ドのチタンをスパッタする効率）が低下するため、ポン
プ性能が低下する。そのため、電子顕微鏡等の真空排気
用のイオンポンプにおいては、磁石１Ｃを取り外しイオ
ンポンプにヒータを巻いて加熱づる真空焼き出し処理が
行なわれる。しかしながら、イオンポンプの中枢部を成
すアノードセルとカソードは、これらを覆うポンプ外壁
とは間隙をもって配置され密着されない構造であるため
、真空焼き出し処理を行なってもアノードセルやカソー
ド部分は充分に加熱されず、従って充分な脱ガス処理を
行なうことはできない。そのため、従来は真空焼き出し
の最終段階で、前記アノードセルとカソードの間に例え
ばＡ０３００Ｖ程度を印加すると共に、ポンプ内が０．
３Ｔｏｒｒ程度のアルゴンガスで満たされるようにこの
ガスを導入してグロー放電を発生させ、アノードセルや
カソード等をイオン及び電子衝撃により脱ガスするよう
にしている。
は、第４図に示すようにイオンポンプ１を構成するアノ
ードセル１ａやカソード１ｂ等が充分に脱ガス処理され
ていない状態で該ポンプを動作させると、電子、イオン
衝撃によりアノードセル１ａやカソード１ｂ等から大組
のガスが放出されたり、又、スパッタイールド（カソー
ドのチタンをスパッタする効率）が低下するため、ポン
プ性能が低下する。そのため、電子顕微鏡等の真空排気
用のイオンポンプにおいては、磁石１Ｃを取り外しイオ
ンポンプにヒータを巻いて加熱づる真空焼き出し処理が
行なわれる。しかしながら、イオンポンプの中枢部を成
すアノードセルとカソードは、これらを覆うポンプ外壁
とは間隙をもって配置され密着されない構造であるため
、真空焼き出し処理を行なってもアノードセルやカソー
ド部分は充分に加熱されず、従って充分な脱ガス処理を
行なうことはできない。そのため、従来は真空焼き出し
の最終段階で、前記アノードセルとカソードの間に例え
ばＡ０３００Ｖ程度を印加すると共に、ポンプ内が０．
３Ｔｏｒｒ程度のアルゴンガスで満たされるようにこの
ガスを導入してグロー放電を発生させ、アノードセルや
カソード等をイオン及び電子衝撃により脱ガスするよう
にしている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、従来のイオンポンプ活性化方法では前記
グロー放電を行なわせるため、アノードとカソード間に
ＡＣ３００Ｖ程度を印加丈るための交流電源がイオンポ
ンプ電源（直流電源）とは別に必要となるため、ポンプ
の製造コストが高くなると共に、グローｔｌＩ電による
活性化モードを行なうための操作が必要になり、作業が
繁雑になる欠点があった。
グロー放電を行なわせるため、アノードとカソード間に
ＡＣ３００Ｖ程度を印加丈るための交流電源がイオンポ
ンプ電源（直流電源）とは別に必要となるため、ポンプ
の製造コストが高くなると共に、グローｔｌＩ電による
活性化モードを行なうための操作が必要になり、作業が
繁雑になる欠点があった。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、特別な前記グ
ロー放電用の交流電源を必要とせず、イオンポンプ活性
化を簡単に行ない得るイオンポンプの活性化方法を提供
することを目的としている。
ロー放電用の交流電源を必要とせず、イオンポンプ活性
化を簡単に行ない得るイオンポンプの活性化方法を提供
することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
以上の目的を達成するため本発明は、イオンポンプを加
熱手段により加熱した状態でイオンポンプのカソードと
７ノ一ド間に高電圧を印加して稼働状態にすると共に、
該イ芽ンボンブ内の真空度が１０″′５ＴＯｒｒ〜１Ｏ
−７Ｔｏｒｒオーダとなるようにアルゴンガスを一定時
間該ボンブ内に流入させるようにしたことを特徴として
いる。
熱手段により加熱した状態でイオンポンプのカソードと
７ノ一ド間に高電圧を印加して稼働状態にすると共に、
該イ芽ンボンブ内の真空度が１０″′５ＴＯｒｒ〜１Ｏ
−７Ｔｏｒｒオーダとなるようにアルゴンガスを一定時
間該ボンブ内に流入させるようにしたことを特徴として
いる。
［実施例］
以下本発明を図面を用いて詳述する。
第１図は本発明の方法を実施するための一実施例装置を
示すもので、この図においては、イオンポンプ１内の構
成は従来装置と同様であるため省略する。第１図におい
て、１は真空室２を排気するイオンポンプ、３はイオン
ポンプ１を加熱するためのヒータ、４はヒータ用電源、
５はアルゴンガスが封入されたボンベ、６はバルブ、７
はバルブ駆動機構、８は制御回路、９は真空計、１０は
タイマー、１１はターボ分子ポンプ（以下ＴＭＰと略す
る）、１２は油回転ポンプで１３はバルブである。
示すもので、この図においては、イオンポンプ１内の構
成は従来装置と同様であるため省略する。第１図におい
て、１は真空室２を排気するイオンポンプ、３はイオン
ポンプ１を加熱するためのヒータ、４はヒータ用電源、
５はアルゴンガスが封入されたボンベ、６はバルブ、７
はバルブ駆動機構、８は制御回路、９は真空計、１０は
タイマー、１１はターボ分子ポンプ（以下ＴＭＰと略す
る）、１２は油回転ポンプで１３はバルブである。
このように構成された装置では、先ず、制御回路８に図
示しない操作卓等よりスタート信号が入力されると、Ｔ
ＭＰｌｌが動作し、バルブ１３が開状態となり粗引が開
始される。イオンポンプ１内及び真空室１内が十分高真
空になると、真空計９よりの信号によって、ｆｉｌ制御
回路８はヒータ電源４に加熱開始信号を出力する。この
加熱開始信号によって、ヒータ電源４はイオンポンプ１
に巻回されたヒータ３に加熱電流を供給して、該イオン
ポンプを例えば１００℃になるように加熱する。
示しない操作卓等よりスタート信号が入力されると、Ｔ
ＭＰｌｌが動作し、バルブ１３が開状態となり粗引が開
始される。イオンポンプ１内及び真空室１内が十分高真
空になると、真空計９よりの信号によって、ｆｉｌ制御
回路８はヒータ電源４に加熱開始信号を出力する。この
加熱開始信号によって、ヒータ電源４はイオンポンプ１
に巻回されたヒータ３に加熱電流を供給して、該イオン
ポンプを例えば１００℃になるように加熱する。
一方、制御回路８はアノードセル１ａとカソード１ｂの
間に図示しないイオンポンプの直流電源より例えば７Ｋ
Ｖの直流高電圧を印加してイオンポンプ１を稼働状態に
する。このヒータ３によるイオンポンプ１の加熱とイオ
ンポンプ１の稼動によりイオンポンプ１内の真空疾は徐
々に上昇するが、イオンポンプ１内が例えば１０７Ｔｏ
ｒｒになると真空計９より検出信号が制御回路８に入力
される。該制御回路８は真空計９よりの信号によって、
ＴＭＰＩＩを停止すると共にバルブ１３を開状態にして
粗引を停止する。更に、バルブ駆動機構７を介してバル
ブ６を開状態にすると共にタイマー１０にスタート信号
を出力する。この制御によって、ボンベ５よりのアルゴ
ンガスがイオンポンプ１内に導入されると共にタイマー
１０による計時が開始される。尚、タイマー１０にはア
ルゴンガスを供給する時間が設定されている。このアル
ゴンガスの供給時間は、イオンポンプの容■、加熱・・
温度等によって決定されるが、上記実施例では、７時間
に設定されており、７時間経過後にボンベ６が閉状態と
なるように制御される。ここで、イオンポンプが可動状
態になっているときに、イオンポンプ１内にアルゴンガ
スが供給されると、イオンポンプ１内に導入されたアル
ゴンガスはイオン化されカーソド１ｂに衝突する。この
アルゴンガスによるイオンは比較的スパッタイールドが
大きいため、カソード１ｂよりチタン（Ｔｉ）が大量に
スパッタされ、ポンプ内壁やアノードセル１ａの表面が
チタン（カソードがタンタル（Ｔａ）の場合はタンタル
）で覆われ、イオンポンプ１内の内壁やアノードセルに
フレッシュなゲッター面が形成されポンプが活性化され
る。
間に図示しないイオンポンプの直流電源より例えば７Ｋ
Ｖの直流高電圧を印加してイオンポンプ１を稼働状態に
する。このヒータ３によるイオンポンプ１の加熱とイオ
ンポンプ１の稼動によりイオンポンプ１内の真空疾は徐
々に上昇するが、イオンポンプ１内が例えば１０７Ｔｏ
ｒｒになると真空計９より検出信号が制御回路８に入力
される。該制御回路８は真空計９よりの信号によって、
ＴＭＰＩＩを停止すると共にバルブ１３を開状態にして
粗引を停止する。更に、バルブ駆動機構７を介してバル
ブ６を開状態にすると共にタイマー１０にスタート信号
を出力する。この制御によって、ボンベ５よりのアルゴ
ンガスがイオンポンプ１内に導入されると共にタイマー
１０による計時が開始される。尚、タイマー１０にはア
ルゴンガスを供給する時間が設定されている。このアル
ゴンガスの供給時間は、イオンポンプの容■、加熱・・
温度等によって決定されるが、上記実施例では、７時間
に設定されており、７時間経過後にボンベ６が閉状態と
なるように制御される。ここで、イオンポンプが可動状
態になっているときに、イオンポンプ１内にアルゴンガ
スが供給されると、イオンポンプ１内に導入されたアル
ゴンガスはイオン化されカーソド１ｂに衝突する。この
アルゴンガスによるイオンは比較的スパッタイールドが
大きいため、カソード１ｂよりチタン（Ｔｉ）が大量に
スパッタされ、ポンプ内壁やアノードセル１ａの表面が
チタン（カソードがタンタル（Ｔａ）の場合はタンタル
）で覆われ、イオンポンプ１内の内壁やアノードセルに
フレッシュなゲッター面が形成されポンプが活性化され
る。
第２図は本発明方法を実施した場合の排気時間と真空度
との関係を示したものである。第２図に示す実線ａは本
発明方法を実施した装「ｌの特性であり、点線すはイオ
ンポンプの焼き出し処理のみを行った場合の特性が示さ
れている。、第２図において、ｔ１時点まではイオンポ
ンプ１を加熱すると共に、イオンポンプ１内を分子ポン
プ１１と油回転ポンプ１２により粗引しｔＩ時点でイオ
ンポンプ１を起動する。この場合、実＄！Ｊａで示す本
発明の方法による活性化を並行して実施した装置では、
ポンプ内壁やアノードセル１ａの表面がチタンで覆われ
フレッシュな表面が形成されているため、前記放出ガス
が発生してもゲッタ面にすみやかに吸着されてしまうた
め、−時的に僅かに真空度が低下するものの排気時間が
経過するにしたがって真空度が上昇する。一方、点線す
で示す装置においては、ｔ１時点でイオンポンプを起動
した場合、点線すで示すように一時的に忠激に真空度が
低下する。これは、既に説明したように真空焼き出し処
理等を行なってもアノードセル１ａやカソード１ｂまで
は充分加熱されないため充分脱ガス処理が行なわれれす
、大量のガス放出が行なわれるためである。又、１０″
１ｌＴｏｒｒに到達する時間を比較しても、本発明方法
を実施した装置ではで２時間であり、点線すで示した装
置ではｔ３時間となりポンプダウン特性が本発明方法を
実施した装置では大幅に改善されていることが分かる。
との関係を示したものである。第２図に示す実線ａは本
発明方法を実施した装「ｌの特性であり、点線すはイオ
ンポンプの焼き出し処理のみを行った場合の特性が示さ
れている。、第２図において、ｔ１時点まではイオンポ
ンプ１を加熱すると共に、イオンポンプ１内を分子ポン
プ１１と油回転ポンプ１２により粗引しｔＩ時点でイオ
ンポンプ１を起動する。この場合、実＄！Ｊａで示す本
発明の方法による活性化を並行して実施した装置では、
ポンプ内壁やアノードセル１ａの表面がチタンで覆われ
フレッシュな表面が形成されているため、前記放出ガス
が発生してもゲッタ面にすみやかに吸着されてしまうた
め、−時的に僅かに真空度が低下するものの排気時間が
経過するにしたがって真空度が上昇する。一方、点線す
で示す装置においては、ｔ１時点でイオンポンプを起動
した場合、点線すで示すように一時的に忠激に真空度が
低下する。これは、既に説明したように真空焼き出し処
理等を行なってもアノードセル１ａやカソード１ｂまで
は充分加熱されないため充分脱ガス処理が行なわれれす
、大量のガス放出が行なわれるためである。又、１０″
１ｌＴｏｒｒに到達する時間を比較しても、本発明方法
を実施した装置ではで２時間であり、点線すで示した装
置ではｔ３時間となりポンプダウン特性が本発明方法を
実施した装置では大幅に改善されていることが分かる。
又、第３図はポンプ内圧力と排気速度の関係を示したグ
ラフであり、実線ａで示す本発明方法による装置では点
線すで示す焼き出しのみの場合に比較して明きらかに改
善されている。
ラフであり、実線ａで示す本発明方法による装置では点
線すで示す焼き出しのみの場合に比較して明きらかに改
善されている。
従って、従来装置のように、アノードセルとカソードの
間に交流電圧を印加し、ポンプ内にアルゴンガスを導入
してグロー放電を発生させることなくイオンポンプ内を
活性化することができるため、交流電源が不要となる。
間に交流電圧を印加し、ポンプ内にアルゴンガスを導入
してグロー放電を発生させることなくイオンポンプ内を
活性化することができるため、交流電源が不要となる。
尚、上述した実施例は例示である。上述した実施例では
、該イオンポンプ１を１００℃に加熱し、イオンポンプ
１内を１０−７ Ｔｏ ｒ ｒに設定して、アルゴンガ
スの供給時間を７時間に設定して活性化を行なったが、
これに限定されるものではなく、例えば加熱温度を１５
０℃、真空度を１０″４ＴＯｒｒオーダとし、アルゴン
ガスの供給時間を１０時間等のようにイオンポンプの容
量、その他の条件を考慮して設定するようにしても良い
。
、該イオンポンプ１を１００℃に加熱し、イオンポンプ
１内を１０−７ Ｔｏ ｒ ｒに設定して、アルゴンガ
スの供給時間を７時間に設定して活性化を行なったが、
これに限定されるものではなく、例えば加熱温度を１５
０℃、真空度を１０″４ＴＯｒｒオーダとし、アルゴン
ガスの供給時間を１０時間等のようにイオンポンプの容
量、その他の条件を考慮して設定するようにしても良い
。
［発明の効果１
以上詳述したように本発明方法によれば、イオンポンプ
電源とは別個にグロー放電を発生させるための交流電源
を必要としないため、ポンプの製造コストを低減できる
と共にグロー放電による活性化モードを行なう操作が不
必要になるため、作業が簡単化されたイオンポンプの活
性化方法が提供される。
電源とは別個にグロー放電を発生させるための交流電源
を必要としないため、ポンプの製造コストを低減できる
と共にグロー放電による活性化モードを行なう操作が不
必要になるため、作業が簡単化されたイオンポンプの活
性化方法が提供される。
第１図は本発明方法を実施するための一実施例装置、第
２図及び第３図は本発明を実施した場合のポンプ特性を
説明するための図、第４図はイオンポンプの活性化につ
いて説明するための図である。 １：イオンポンプ、２：真空室、３：ヒータ、４：ヒー
タ用電源、５：ボンベ、６：バルブ、７：バルブ駆動機
構、８：制御回路、９：真空計、１０：タイマー、１１
：ターボ分子ポンプ、１２：油回転ポンプ、１３：バル
ブ。 出願人 日本電子株式会社 ＩＯ 第２図 １Ｙγ 第３図 ホ・シフ曇ｙト序、カ
２図及び第３図は本発明を実施した場合のポンプ特性を
説明するための図、第４図はイオンポンプの活性化につ
いて説明するための図である。 １：イオンポンプ、２：真空室、３：ヒータ、４：ヒー
タ用電源、５：ボンベ、６：バルブ、７：バルブ駆動機
構、８：制御回路、９：真空計、１０：タイマー、１１
：ターボ分子ポンプ、１２：油回転ポンプ、１３：バル
ブ。 出願人 日本電子株式会社 ＩＯ 第２図 １Ｙγ 第３図 ホ・シフ曇ｙト序、カ
Claims (2)
- （１）イオンポンプを加熱手段により加熱した状態でイ
オンポンプのカソードとアノード間に高電圧を印加して
稼働状態にすると共に、該イオンポンプ内の真空度が１
０＾−＾６Ｔｏｒｒ〜１０＾−＾７Ｔｏｒｒオーダとな
るようにアルゴンガスを一定時間該ポンプ内に流入させ
るようにしたことを特徴とするイオンポンプの活性化方
法。 - （２）前記イオンポンプの加熱温度を１００℃〜１５０
℃に保持する特許請求の範囲第１項記載のイオンポンプ
の活性化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19686686A JPS6353848A (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 | イオンポンプの活性化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19686686A JPS6353848A (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 | イオンポンプの活性化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6353848A true JPS6353848A (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=16364949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19686686A Pending JPS6353848A (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 | イオンポンプの活性化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6353848A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05245348A (ja) * | 1991-12-31 | 1993-09-24 | Hoechst Celanese Corp | 一体式乱流プロモーターを有する渦巻き形中空繊維膜織物カートリッジ及びモジュール |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6011423A (ja) * | 1983-05-19 | 1985-01-21 | フリ−ド・クルツプ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 抗生物質を単離し、精製する方法 |
-
1986
- 1986-08-22 JP JP19686686A patent/JPS6353848A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6011423A (ja) * | 1983-05-19 | 1985-01-21 | フリ−ド・クルツプ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 抗生物質を単離し、精製する方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05245348A (ja) * | 1991-12-31 | 1993-09-24 | Hoechst Celanese Corp | 一体式乱流プロモーターを有する渦巻き形中空繊維膜織物カートリッジ及びモジュール |
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