JPS6352649A - 磁気浮上スライダの駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は磁気浮上スライダの駆動装置に関し、特に、
レール上を浮上しながら走行する磁気浮上スライダを駆
動するような駆動装置に関する。

［従来の技術］ 最近では、機械部品などを搬送するために、従来のベル
トコンベアの搬送装置に代えて、リニアパルスモータを
用いた搬送装置が使用されている。

そのようなリニアパルスモータを用いた搬送装置として
、たとえば特開昭６０−９１８５６号公報に記載されて
いるようなものがある。この公報に記載された搬送装置
は、搬送台車の下部に可動子を固定し、主走行レール上
に固定子を取付け、この可動子と固定子とによってリニ
アパルスモータを形成し、このリニアパルスモータを駆
動力として、搬送台ｉＩの車輪が走行レール上に接触し
ながら走行するものである。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、半導体の製造工場などにおいても、半導体ウ
ェハなどを搬送するためにＩ！！２送装買が使用されて
いる。このような半導体製造工場においては、半導体ウ
ェハにごみや埃などが付着すると、品質や信頼性が低下
するため、工場内を無塵化する必要がある。ところが、
上述のリニアパルスを用いたＷ１送装置は、走行レール
上を搬送台車が走行するとき、走行レールと車輪とのｊ
？耗により、金属部）が工場内に散乱するおそれがあり
、このような搬送装置を半導体工場において使用するこ
とができない。

そこで、レールと搬送台車との典械的接触をなくするた
めに、レール上にスライダを設け、磁気軸受によってス
ライダを浮上さび、橢械部品などを搬送させる磁気浮上
式走行装置が実用化されている。このような磁気浮上式
走行装置において、スライダを走行させるために、リニ
アモータが使用される。しかし、リニアモータは、その
構成が非常に複雑になるという欠点がある。

それゆえに、この発明の主たる目的は、レール上を磁気
浮上するスライダを比較的簡単な構成で走行させること
のできるような磁気浮上スライダの駆動装置を提供する
ことである。

［問題点を解決するための手段］ この発明はレール上を浮上し４１がら走行するスライダ
を駆動するための磁気浮上スライダの駆動装置であって
、レールに沿って平行に、回覧可能に設置プられ、その
表面にねじが形成されたねじ部材と、このねじ部材を回
転させるためのモータと、ねじ部材に対向するようにス
ライダに設けられ、ねじ部材を吸引する磁石とによって
構成したものである。

［作用］ この発明の磁気浮上スライダの駆動装置は、スライダに
取付ｔノられた磁石がねじ部材を吸引するため、ねじ部
材を回転することによって、スライダがレール上を浮上
しながら走行させることができる。

［発明の実施例］ 第１図はこの発明の一実施例を示す図であり、特に、第
１図＜ａ　＞は平面図であり、第１図（Ｉ］）は側面図
である。

第１図において、レール１には、メｌ気軸受（図示せず
）によって浮上するスライダ２が設けられている。レー
ル１に対して平行にねじ部材４が回転可能に転がり軸受
７によって軸支される。このねじ部材４はステッピング
モータ５によって回転駆動される。なお、この駆動には
サーボモータを使用するようにしてもよい。また、ねじ
部材４および転がり軸受７は円筒状の非磁性体からなる
カバー６によって覆われている。このカバー６は、転が
り軸受７の摩耗した金属粉が飛散するのを防止する。さ
らに、スライダ２には、ねじ部材４に対向するように２
つの電磁石３．３が取付けられている。この電磁石３．
３はそれぞれ円筒状のカバー６の外周のほぼ半分を囲む
ように半円形のくぼみ部を含む。

上述のごとく駆動装置を構成し、ステッピングモータ５
を駆動すると、ねじ部材４が回転する。

一方、スライダ２の電磁石３．３はそれぞれねじ部材４
のねじ山を吸引するため、ねじ部材４のねじ山が螺旋状
に回転することによって、スライダ２がレール１に沿っ
て走行する。

なお、上述の実施例では、電ｒ６石３を２つ設けること
によって２つの電磁石３が１つのループを構成するので
効率がよくなるが、これは１つあるいは３個以上設ける
ことも可能である。

第２図はこの発明の他の実施例を示す図であり、特に、
第２図（ａ）は正面図であり、第２図（ｂ）は側面図で
ある。

この第２図に示した実施例は、ねじ部材４の下部に４組
の電磁石３１，３２，３３６よび３４と、これらと対に
なった４Ｍ；Ｉの位置ロンサ８１．８２・・・とを備え
たスライダフレーム９によって構成ざれている。ぞして
、Ｘ方向、Ｙ方向のねじ部材４と電磁石３１，３２．３
３および３４との間の隙間を位置センサ８１，８２・・
・によって検出し、予め設定した隙間設定値からの偏差
分を増幅するとともに位置補償し、対応するｆｆ１１石
のコイル印加電圧を１１１１１１することにより、スラ
イダフレーム９をねじ部材４に対して一定の隙間を有し
て保持する。

このようにスライダフレーム９を構成し、ステッピング
モータ又はサーボモータによってねじ部材４を回転させ
ることによって、ねじ山（ま軸方向に移動する。それに
伴なって、スライダフレーム９も軸方向に移動する。こ
のようにして、軸方向の駆ａｌｌ構と磁気浮」二機構と
を一体的に兼ね備えた磁気浮上スライダの駆１７＋装置
を構成することができる。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、レールに沿って平行
にねじ部材を設けるとともに、ねじ部材に対向するよう
にスライダに磁石を取付け、ねじ部材をモータによって
回転さ仕るだけで、スライダをレールに沿って走行させ
ることができる。したがって、従来のようにリニアモー
タを用いてスライダを走行させるものに比べて、構成を
簡単にできる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す図である。 第２図はこの発明の他の実施例を示す図である。 図において、１はレール、２はスライダ、３゜３１．３
２．３３．３４電磁石、４はねじ部材、５はステッピン
グモータ、６はカバー、７は転がり軸受、９はスライダ
フレーム、８１．８２は位置センナを示ザ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）スライダを駆動するための磁気浮上スライダの駆
   動装置であって、 回転可能に設けられ、その表面にねじが形成されたねじ
   部材、 前記ねじ部材を回転させるためのモータ、および 前記ねじ部材に対向するように前記スライダに設けられ
   、該ねじ部材を吸引する磁石を備え、前記ねじ部材の回
   転に伴なって、前記スライダを走行させるようにした、
   磁気浮上スライダの駆動装置。
2. （２）前記ねじ部材に対して平行に設けられかつ前記ス
   ライダがその上を浮上しながら走行するレールを含む、
   特許請求の範囲第１項記載の磁気浮上スライダの駆動装
   置。
3. （３）前記スライダと前記ねじ部材との間の隙間を検出
   するセンサと、 前記ねじ部材を吸引する電磁石と、 前記センサの出力に基づいて、前記電磁石に印加する電
   圧を制御し、前記スライダと前記ねじ部材との間の隙間
   が予め設定した値となるように制御する手段とを含む、
   特許請求の範囲第１項記載の磁気浮上スライダの駆動装
   置。