JPS6351488B2 - - Google Patents
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- JPS6351488B2 JPS6351488B2 JP56212307A JP21230781A JPS6351488B2 JP S6351488 B2 JPS6351488 B2 JP S6351488B2 JP 56212307 A JP56212307 A JP 56212307A JP 21230781 A JP21230781 A JP 21230781A JP S6351488 B2 JPS6351488 B2 JP S6351488B2
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- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Technology Law (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、流体の圧力を検知して電気量に変換
して伝送する圧力伝送装置に関する。
して伝送する圧力伝送装置に関する。
発明の技術的背景および背景技術の問題点
第１図は従来の圧力伝送器の一例を示したもの
である。同図において、１は圧力変換器で、例え
ばシリコン単結晶板上に不純物を拡散して形成さ
れるピエゾ抵抗素子を一辺に有するホイートスト
ンブリツジ回路に電圧（または電流）を与え、圧
力に応じてピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化する現
象を利用して、抵抗変化によつて生ずる不平衡電
圧を検出する機能を有する。２は圧力変換器１に
一定の電圧を与える基準電圧発生回路、３は圧力
変換器１の出力を増幅する前置増幅器、４は増幅
された電圧を電流に変換し、圧力に比例した、例
えばDC4〜20ｍＡの電流信号に、制御する電圧・
電流変換制御回路、５は外部負荷抵抗、６は基準
電源である。
である。同図において、１は圧力変換器で、例え
ばシリコン単結晶板上に不純物を拡散して形成さ
れるピエゾ抵抗素子を一辺に有するホイートスト
ンブリツジ回路に電圧（または電流）を与え、圧
力に応じてピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化する現
象を利用して、抵抗変化によつて生ずる不平衡電
圧を検出する機能を有する。２は圧力変換器１に
一定の電圧を与える基準電圧発生回路、３は圧力
変換器１の出力を増幅する前置増幅器、４は増幅
された電圧を電流に変換し、圧力に比例した、例
えばDC4〜20ｍＡの電流信号に、制御する電圧・
電流変換制御回路、５は外部負荷抵抗、６は基準
電源である。
この圧力伝送器は、内蔵する圧力変換器１の種
類によつて測定圧力範囲が決まり、その範囲内の
圧力に応じて４〜20ｍＡの範囲内で出力電流が変
化する。
類によつて測定圧力範囲が決まり、その範囲内の
圧力に応じて４〜20ｍＡの範囲内で出力電流が変
化する。
ところで、この圧力伝送器をプラントの制御に
用いる場合、例えば100％近辺の圧力での運転制
御、50％近辺の圧力での運転制御、25％近辺の圧
力での運転制御等と、同一ラインで、何段階もの
圧力値でその近辺を高精度に制御したい場合があ
る。このような場合、従来は制御範囲の全体をカ
バーする測定範囲を持つ、高精度の圧力伝送器が
用いられている。しかしながら、この圧力伝送器
の精度がフルスケール（０〜100％）で±0.2％で
あつたとすると、０〜50％の範囲では２倍の±
0.4％、０〜25％の範囲では４倍の±0.8％の精度
となる。この関係を第２図に示す。圧力伝送器の
実際の特性曲線Ｘが真値Ｙから図示のように外れ
ており、圧力P1における誤差E1は、その圧力伝
送器のレンジがＯ〜P3で設定されているとする
と、フルスケールではE1／P3が誤差（％）であ
るのに対し、Ｏ〜P2のレンジでみるとE1／P2と
なり、さらにＯ〜P1のレンジでみるとE1／P1と
なる。P1＜P2＜P3なつて誤差はE1／P2＜E1／P2
＜E1／P1となる。
用いる場合、例えば100％近辺の圧力での運転制
御、50％近辺の圧力での運転制御、25％近辺の圧
力での運転制御等と、同一ラインで、何段階もの
圧力値でその近辺を高精度に制御したい場合があ
る。このような場合、従来は制御範囲の全体をカ
バーする測定範囲を持つ、高精度の圧力伝送器が
用いられている。しかしながら、この圧力伝送器
の精度がフルスケール（０〜100％）で±0.2％で
あつたとすると、０〜50％の範囲では２倍の±
0.4％、０〜25％の範囲では４倍の±0.8％の精度
となる。この関係を第２図に示す。圧力伝送器の
実際の特性曲線Ｘが真値Ｙから図示のように外れ
ており、圧力P1における誤差E1は、その圧力伝
送器のレンジがＯ〜P3で設定されているとする
と、フルスケールではE1／P3が誤差（％）であ
るのに対し、Ｏ〜P2のレンジでみるとE1／P2と
なり、さらにＯ〜P1のレンジでみるとE1／P1と
なる。P1＜P2＜P3なつて誤差はE1／P2＜E1／P2
＜E1／P1となる。
これに対する対策として、一般に圧力伝送器の
測定範囲は較正を行なうことにより変えることが
できるようになつている。しかし、これを行なう
には、その都度そのラインを停止しなければなら
ず、また手作業であるため、時間と費用を要する
という問題があつた。
測定範囲は較正を行なうことにより変えることが
できるようになつている。しかし、これを行なう
には、その都度そのラインを停止しなければなら
ず、また手作業であるため、時間と費用を要する
という問題があつた。
発明の目的
本発明の目的は、測定レンジの切換を自動的に
短時間で行なうことのできる圧力伝送装置を提供
することにある。
短時間で行なうことのできる圧力伝送装置を提供
することにある。
発明の概要
本発明の圧力伝送装置は、被測定圧力範囲の全
体について圧力−電気変換を行なう第１の圧力変
換器と、被測定圧力範囲を何段階の分割範囲かに
分割し、その各々の分割範囲について、上記第１
の圧力変換器よりも高感度で圧力−電気変換を行
なうｎ（ｎ＝２以上の自然数）の第２の圧力変換
器と、前記第１の圧力変換器の出力信号を処理し
て伝送する第１の信号処理回路と、測定されてい
る圧力を含む分割範囲について圧力−電気変換を
行なう第２の圧力変換器の出力信号を選択し処理
して出力する第２の信号処理回路とを備えたもの
である。
体について圧力−電気変換を行なう第１の圧力変
換器と、被測定圧力範囲を何段階の分割範囲かに
分割し、その各々の分割範囲について、上記第１
の圧力変換器よりも高感度で圧力−電気変換を行
なうｎ（ｎ＝２以上の自然数）の第２の圧力変換
器と、前記第１の圧力変換器の出力信号を処理し
て伝送する第１の信号処理回路と、測定されてい
る圧力を含む分割範囲について圧力−電気変換を
行なう第２の圧力変換器の出力信号を選択し処理
して出力する第２の信号処理回路とを備えたもの
である。
発明の実施例
第３図は、本発明の圧力伝送装置の一実施例を
示したものである。同図において、１１は全測定
範囲についてある一定の精度で圧力に対応する電
気信号を発生する圧力変換器、１２〜１４は、全
測定範囲を３分割した３つの分割範囲の各々につ
いて、圧力に対応する電気信号を発生する圧力変
換器、１５〜１８は圧力変換器１１〜１４の出力
信号を増幅する前置増幅器である。圧力変換器１
１〜１４と対応する前置増幅器１５〜１８を組合
わせた圧力−電気信号特性はそれぞれ第４図に曲
線Z1〜Z4で示す通りである。１９は前置増幅器１
５〜１８の出力信号を、後述の論理演算回路２２
からのデジタル選択信号に応じて、順々に選択し
て出力するアナログマルチプレクサ、２０は前置
増幅器１５の出力信号を処理する信号処理回路、
２１はマルチプレクサ１９の出力をＡ−Ｄ（アナ
ログ−デジタル）変換するＡ−Ｄ変換回路、２２
はＡ−Ｄ変換回路２１の出力信号に所定の論理演
算を行なう論理演算回路、２３は記憶回路、２４
はＤ−Ａ変換機能を持ち、DC4〜20ｍＡの出力信
号を発生する出力回路で、マルチプレクサ１９、
Ａ−Ｄ変換回路２１、論理演算回路２２、記憶回
路２３、出力回路２４により、前置増幅器１６〜
１８の出力を選択して処理する信号処理回路２５
が形成されている。論理演算回路２２および記憶
回路２３はコンピユータ（例えばマイクロコンピ
ユータ）により構成することができる。
示したものである。同図において、１１は全測定
範囲についてある一定の精度で圧力に対応する電
気信号を発生する圧力変換器、１２〜１４は、全
測定範囲を３分割した３つの分割範囲の各々につ
いて、圧力に対応する電気信号を発生する圧力変
換器、１５〜１８は圧力変換器１１〜１４の出力
信号を増幅する前置増幅器である。圧力変換器１
１〜１４と対応する前置増幅器１５〜１８を組合
わせた圧力−電気信号特性はそれぞれ第４図に曲
線Z1〜Z4で示す通りである。１９は前置増幅器１
５〜１８の出力信号を、後述の論理演算回路２２
からのデジタル選択信号に応じて、順々に選択し
て出力するアナログマルチプレクサ、２０は前置
増幅器１５の出力信号を処理する信号処理回路、
２１はマルチプレクサ１９の出力をＡ−Ｄ（アナ
ログ−デジタル）変換するＡ−Ｄ変換回路、２２
はＡ−Ｄ変換回路２１の出力信号に所定の論理演
算を行なう論理演算回路、２３は記憶回路、２４
はＤ−Ａ変換機能を持ち、DC4〜20ｍＡの出力信
号を発生する出力回路で、マルチプレクサ１９、
Ａ−Ｄ変換回路２１、論理演算回路２２、記憶回
路２３、出力回路２４により、前置増幅器１６〜
１８の出力を選択して処理する信号処理回路２５
が形成されている。論理演算回路２２および記憶
回路２３はコンピユータ（例えばマイクロコンピ
ユータ）により構成することができる。
第５図は圧力変換器１１の詳細な構成を示す回
路図であり、不純物を拡散して形成されるピエゾ
抵抗素子PZRと、抵抗器Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３とを
この順でリング状に接続することにより、抵抗器
Ｒ１およびＲ２を比例辺とするホイートストンブ
リツジ回路が構成されており、このうち、ピエゾ
抵抗素子PZRおよび抵抗器Ｒ１の相互接合点と、
抵抗器Ｒ２および抵抗器Ｒ３の相互接合点との間
に基準電圧を印加し、抵抗器Ｒ１および抵抗器Ｒ
２の相互接合点と、ピエゾ抵抗素子PZRおよび
抵抗器Ｒ３の相互接合点との間から、ピエゾ抵抗
素子PZRに加わる圧力に対応した出力電圧を得
るようになつている。また、第６図はほぼ同一に
構成される圧力変換器１２〜１４のうち、圧力変
換器１２の詳細な構成を示す回路図であり、上述
した圧力変換器１１を構成する抵抗器Ｒ１とＲ２
との間に可変抵抗器VRを挿入し、この可変抵抗
器VRの摺動端子と、ピエゾ抵抗素子PZRおよび
抵抗器Ｒ３の相互接合点との間から、ピエゾ抵抗
素子PZRに加わる圧力に対応した出力電圧を得
るようになつている。かかる構成によれば、可変
抵抗器VRを調整するだけでゼロ点を調整でき、
圧力変換器１２〜１４として同一の素子を用いる
ことができる。
路図であり、不純物を拡散して形成されるピエゾ
抵抗素子PZRと、抵抗器Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３とを
この順でリング状に接続することにより、抵抗器
Ｒ１およびＲ２を比例辺とするホイートストンブ
リツジ回路が構成されており、このうち、ピエゾ
抵抗素子PZRおよび抵抗器Ｒ１の相互接合点と、
抵抗器Ｒ２および抵抗器Ｒ３の相互接合点との間
に基準電圧を印加し、抵抗器Ｒ１および抵抗器Ｒ
２の相互接合点と、ピエゾ抵抗素子PZRおよび
抵抗器Ｒ３の相互接合点との間から、ピエゾ抵抗
素子PZRに加わる圧力に対応した出力電圧を得
るようになつている。また、第６図はほぼ同一に
構成される圧力変換器１２〜１４のうち、圧力変
換器１２の詳細な構成を示す回路図であり、上述
した圧力変換器１１を構成する抵抗器Ｒ１とＲ２
との間に可変抵抗器VRを挿入し、この可変抵抗
器VRの摺動端子と、ピエゾ抵抗素子PZRおよび
抵抗器Ｒ３の相互接合点との間から、ピエゾ抵抗
素子PZRに加わる圧力に対応した出力電圧を得
るようになつている。かかる構成によれば、可変
抵抗器VRを調整するだけでゼロ点を調整でき、
圧力変換器１２〜１４として同一の素子を用いる
ことができる。
尚圧力変換器１１〜１４および各回路の電源
は、例えば第１図に示したのと同様にして供給さ
れる。即ち、第１図のような２線式（同一の線で
電源（例えばDC24V）の供給と信号（例えば
DC4〜20ｍＡ）の伝送とを行なう方式）が採用さ
れる場合、上記の圧力伝送装置１台について２線
の信号ラインを２組併設し、１組には信号処理回
路２０の出力の伝送と圧力変換器１１、前置増幅
器１５および信号処理回路２０への電源の供給と
を行なわせ、他方の組には信号処理回路２５の出
力の伝送と圧力変換器１２〜１４、前置増幅器１
６〜１８、信号処理回路２５への電源の供給を行
なわせる。
は、例えば第１図に示したのと同様にして供給さ
れる。即ち、第１図のような２線式（同一の線で
電源（例えばDC24V）の供給と信号（例えば
DC4〜20ｍＡ）の伝送とを行なう方式）が採用さ
れる場合、上記の圧力伝送装置１台について２線
の信号ラインを２組併設し、１組には信号処理回
路２０の出力の伝送と圧力変換器１１、前置増幅
器１５および信号処理回路２０への電源の供給と
を行なわせ、他方の組には信号処理回路２５の出
力の伝送と圧力変換器１２〜１４、前置増幅器１
６〜１８、信号処理回路２５への電源の供給を行
なわせる。
この場合圧力変換器１２〜１４、前置増幅器１
６〜１８のすべてに同時に電源を供給することと
すれば負荷が大きくなるので、マルチプレクサ１
９により選択されている時にのみ、電源を供給す
るよう、マルチプレクサ１９と連動するマルチプ
レクサを設けることとしてもよい。
６〜１８のすべてに同時に電源を供給することと
すれば負荷が大きくなるので、マルチプレクサ１
９により選択されている時にのみ、電源を供給す
るよう、マルチプレクサ１９と連動するマルチプ
レクサを設けることとしてもよい。
記憶回路２３には、圧力変換器１１の圧力−出
力特性曲線と圧力変換器１２〜１４の動作範囲と
が記憶されている。記憶回路２３には、また圧力
変換器１１〜１４からの出力信号がデイジタルデ
ータとして遂時記憶される。論理演算回路２２
は、記憶回路２３に記憶されたデータを参照し、
圧力変換器１１からの出力信号がどの範囲にある
かを判定し、これに基いて圧力変換器１２〜１４
の出力信号のいずれかを選択し、出力回路２４を
介して出力させる。
力特性曲線と圧力変換器１２〜１４の動作範囲と
が記憶されている。記憶回路２３には、また圧力
変換器１１〜１４からの出力信号がデイジタルデ
ータとして遂時記憶される。論理演算回路２２
は、記憶回路２３に記憶されたデータを参照し、
圧力変換器１１からの出力信号がどの範囲にある
かを判定し、これに基いて圧力変換器１２〜１４
の出力信号のいずれかを選択し、出力回路２４を
介して出力させる。
論理演算回路２２は、圧力変換器１１の出力信
号が例えば第４図のQ1の点（A0〜A1の範囲内）
にあると判定したときは、圧力変換器１２の出力
信号を選択して出力させる。同様に、圧力変換器
１１の出力信号が、Q2（A1〜A2範囲内）、Q3（A2
〜A3の範囲内）にあると判定したときは、圧力
変換器１３，１４の出力信号をそれぞれ選択して
出力させる。
号が例えば第４図のQ1の点（A0〜A1の範囲内）
にあると判定したときは、圧力変換器１２の出力
信号を選択して出力させる。同様に、圧力変換器
１１の出力信号が、Q2（A1〜A2範囲内）、Q3（A2
〜A3の範囲内）にあると判定したときは、圧力
変換器１３，１４の出力信号をそれぞれ選択して
出力させる。
論理演算回路２２は、また、圧力変換器１２〜
１４の出力信号を、出力回路２４を介して出力さ
せるに当たり、予め記憶回路２３内に記憶された
補正データ（例えば非直線性の補正のためのデー
タ）に基いて補正を行なう。
１４の出力信号を、出力回路２４を介して出力さ
せるに当たり、予め記憶回路２３内に記憶された
補正データ（例えば非直線性の補正のためのデー
タ）に基いて補正を行なう。
このようにする結果、信号処理回路２０から
は、被測定圧力がどの範囲にあろうと、圧力変換
器１１の出力信号を処理したものが出力され、信
号処理回路２５からは、被測定圧力がどの範囲に
あるかに応じて選択された圧力変換器１２〜１４
の出力信号のいずれかが出力される。従つて、圧
力変換器１２〜１４の圧力変換器１１と同程度の
精度を持つものであつても、信号処理回路２５か
らはより精度の高いデータが得られる。
は、被測定圧力がどの範囲にあろうと、圧力変換
器１１の出力信号を処理したものが出力され、信
号処理回路２５からは、被測定圧力がどの範囲に
あるかに応じて選択された圧力変換器１２〜１４
の出力信号のいずれかが出力される。従つて、圧
力変換器１２〜１４の圧力変換器１１と同程度の
精度を持つものであつても、信号処理回路２５か
らはより精度の高いデータが得られる。
なお、圧力変換器１１〜１４には、同一の圧力
が加えられるので、圧力変換器１２，１３にとつ
ては、使用圧力範囲を超える過大圧力となるもの
が頻繁に加わることになるが、周知の過大圧力保
護機構を内蔵させることにより、破壊を防止し得
る。
が加えられるので、圧力変換器１２，１３にとつ
ては、使用圧力範囲を超える過大圧力となるもの
が頻繁に加わることになるが、周知の過大圧力保
護機構を内蔵させることにより、破壊を防止し得
る。
なお、上記実施例では、圧力変換器１２〜１４
として、比例辺を構成する抵抗器Ｒ１，Ｒ２の間
に可変抵抗器VRを挿入したものを用いたが、こ
の代わりに、可変抵抗器を除去して、厚さや外形
の異なるピエゾ抵抗素子をそれぞれ用いるように
しても上述したと同様な圧力変換データが得られ
る。
として、比例辺を構成する抵抗器Ｒ１，Ｒ２の間
に可変抵抗器VRを挿入したものを用いたが、こ
の代わりに、可変抵抗器を除去して、厚さや外形
の異なるピエゾ抵抗素子をそれぞれ用いるように
しても上述したと同様な圧力変換データが得られ
る。
上記の実施例では、全測定範囲を３つに分割
し、これに対応して３つの圧力変換器１２〜１４
を設けたが、分割する数は電力供給の制限内で、
必要に応じて任意に定めうる。
し、これに対応して３つの圧力変換器１２〜１４
を設けたが、分割する数は電力供給の制限内で、
必要に応じて任意に定めうる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、全測定範囲につ
いて、同一の圧力変換器からの測定データが得ら
れるとともに、被測定圧力がどの範囲にあるかに
応じて、その範囲を受け持つ圧力変換器からより
精度の高いデータが得られる。しかも、圧力変換
器の選択、即ちレンジの切替が自動的に行なわれ
るので、手作業が不要であり、ラインの停止をす
る必要がなく、またメンテナンスも簡単となる。
いて、同一の圧力変換器からの測定データが得ら
れるとともに、被測定圧力がどの範囲にあるかに
応じて、その範囲を受け持つ圧力変換器からより
精度の高いデータが得られる。しかも、圧力変換
器の選択、即ちレンジの切替が自動的に行なわれ
るので、手作業が不要であり、ラインの停止をす
る必要がなく、またメンテナンスも簡単となる。
第１図は従来の圧力伝送器を示す概略図、第２
図は圧力伝送器の圧力−出力特性を示す線図、第
３図は本発明一実施例の圧力伝送装置を示すブロ
ツク図、第４図は第３図の装置の圧力変換器の圧
力−出力特性を示す線図、第５図および第６図は
この圧力変換器の詳細な構成を示す回路図であ
る。 １１〜１４……圧力変換器、１９……マルチプ
レクサ、２０，２５……信号処理回路、２２……
論理演算回路、２３……記憶回路、２４……出力
回路。
図は圧力伝送器の圧力−出力特性を示す線図、第
３図は本発明一実施例の圧力伝送装置を示すブロ
ツク図、第４図は第３図の装置の圧力変換器の圧
力−出力特性を示す線図、第５図および第６図は
この圧力変換器の詳細な構成を示す回路図であ
る。 １１〜１４……圧力変換器、１９……マルチプ
レクサ、２０，２５……信号処理回路、２２……
論理演算回路、２３……記憶回路、２４……出力
回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定圧力範囲の全体について圧力−電気変
換を行う第１の圧力変換器と、前記被圧力測定範
囲の全体をｎ（ｎ＝２以上の自然数）個に分割し
た分割範囲をそれぞれ受持つて、前記第１の圧力
変換器よりも高感度で圧力−電気変換を行うｎ個
の第２の圧力変換器と、前記第１の圧力変換器の
出力信号を処理して出力する第１の信号処理回路
と、前記第１の圧力変換器の出力信号に基づき測
定されている圧力が属する前記分割範囲を決定
し、決定された前記分割範囲を受持つ前記第２の
圧力変換器の出力信号を選択し処理して出力する
第２の信号処理回路とを備えたことを特徴とする
圧力伝送装置。 ２ 前記第２の信号処理回路は、前記第１および
第２の圧力変換器の出力信号を順次選択して出力
するアナログマルチプレクサと、このアナログマ
ルチプレクサの出力をデイジタル信号に変換する
アナログ−デイジタル変換器と、前記アナログマ
ルチプレクサおよび前記アナログ−デイジタル変
換器を介して送られた前記第１および第２の圧力
変換器の出力を記憶する記憶回路と、この記憶回
路を参照し、前記第１の圧力変換器の出力に基づ
いて、測定されている圧力が属する前記分割範囲
を決定し、決定された前記分割範囲に対応する前
記第２の圧力変換器の出力を選択する論理演算回
路と、この論理演算回路で選択された出力をアナ
ログ信号に変換して出力する出力回路とを備えた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
力伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56212307A JPS58109811A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 圧力伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56212307A JPS58109811A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 圧力伝送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58109811A JPS58109811A (ja) | 1983-06-30 |
| JPS6351488B2 true JPS6351488B2 (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=16620391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56212307A Granted JPS58109811A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 圧力伝送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58109811A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5917126A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 差圧伝送装置 |
| JP2572586B2 (ja) * | 1987-03-02 | 1997-01-16 | ヤマハ発動機株式会社 | 船速検出装置 |
| JP2001163582A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-19 | Kato Works Co Ltd | デリックシリンダ圧力の検出装置 |
| JP4695238B2 (ja) | 1999-12-14 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 圧力制御方法 |
| JP4668027B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-04-13 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給システム |
| CN102353496B (zh) * | 2011-05-06 | 2013-12-18 | 三一重工股份有限公司 | 一种压力变送器 |
| JP6106074B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2017-03-29 | 株式会社バルコム | 差圧計測用圧力計 |
| JP6656125B2 (ja) | 2016-09-09 | 2020-03-04 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ、その中継基板、及び、その中継基板ユニット |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP56212307A patent/JPS58109811A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58109811A (ja) | 1983-06-30 |
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