JPS58109811A - 圧力伝送装置 - Google Patents
圧力伝送装置Info
- Publication number
- JPS58109811A JPS58109811A JP56212307A JP21230781A JPS58109811A JP S58109811 A JPS58109811 A JP S58109811A JP 56212307 A JP56212307 A JP 56212307A JP 21230781 A JP21230781 A JP 21230781A JP S58109811 A JPS58109811 A JP S58109811A
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- Japan
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- pressure
- circuit
- range
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Technology Law (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、流体の圧力を検知して電気量に変換して伝送
する圧力伝送＠ｔＫ関する。
する圧力伝送＠ｔＫ関する。
発明の技術的背景および背景技術の問題点第１図は従来
の圧力伝送器の一例を示したものである。同図において
、ｌは圧力変換器で、ｆｉえばンリ；ン単結晶板上に不
純物を拡散してピエゾ抵抗素子を一辺に有するホイート
ストンッリッジ回路に電圧（ま７ｔに電流）を与え、圧
力に応じてピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化する現象を利
用して、抵抗変化によって生ずる不平衡電圧を検出する
！Ｉ軛を有する。２は圧力変換器ｌに一定の電圧を与え
る基準電圧発生回路、３は圧力変換器ｌの出力を増幅す
る前置増幅器、４に増幅されｔ電圧を電流に変換し、圧
力に比例し友１例えばＤＣ４〜２０ ｍ Ａの電流信号
に制御する電圧・電ｆｔ変換制御＠路、Ｓは外部負荷抵
抗、６に基準電源である。
の圧力伝送器の一例を示したものである。同図において
、ｌは圧力変換器で、ｆｉえばンリ；ン単結晶板上に不
純物を拡散してピエゾ抵抗素子を一辺に有するホイート
ストンッリッジ回路に電圧（ま７ｔに電流）を与え、圧
力に応じてピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化する現象を利
用して、抵抗変化によって生ずる不平衡電圧を検出する
！Ｉ軛を有する。２は圧力変換器ｌに一定の電圧を与え
る基準電圧発生回路、３は圧力変換器ｌの出力を増幅す
る前置増幅器、４に増幅されｔ電圧を電流に変換し、圧
力に比例し友１例えばＤＣ４〜２０ ｍ Ａの電流信号
に制御する電圧・電ｆｔ変換制御＠路、Ｓは外部負荷抵
抗、６に基準電源である。
この圧力伝送器は、内翼する圧力変彎器ｌの種１ＩＩＫ
よ２て測定圧力彎・棚が決まり、その範Ｈ内の圧力に応
じて４〜２０！ｌムの範囲内で出力電流が変化する。
よ２て測定圧力彎・棚が決まり、その範Ｈ内の圧力に応
じて４〜２０！ｌムの範囲内で出力電流が変化する。
ところで、この圧力伝送器をプラントの制御に用いる場
合１例えば１００ｑｉ近辺の圧力での運転制御、５０１
ｓ近辺の圧力での運転制御、２５−近辺の圧力での運転
制御等と、ｆｉ１３−ラインで、何段階もの圧力値でそ
の近辺を高楕賓に制御し丸い場合がある。このような場
合、従来は制御範囲の全体をカッ−する一定範囲を持つ
、高？ｌｆの圧力伝送器が用いられている。しかしなが
ら、ｅ、の圧力伝送器の帽変がフルスケール（Ｏ〜１０
０チ）で±０．２ｓであったとすると、θ〜５０９Ｉの
範囲では２倍の±０．４−１０〜２５ｓの範囲では４倍
の±０．８畳のｖｆＩＩ蜜となる。
合１例えば１００ｑｉ近辺の圧力での運転制御、５０１
ｓ近辺の圧力での運転制御、２５−近辺の圧力での運転
制御等と、ｆｉ１３−ラインで、何段階もの圧力値でそ
の近辺を高楕賓に制御し丸い場合がある。このような場
合、従来は制御範囲の全体をカッ−する一定範囲を持つ
、高？ｌｆの圧力伝送器が用いられている。しかしなが
ら、ｅ、の圧力伝送器の帽変がフルスケール（Ｏ〜１０
０チ）で±０．２ｓであったとすると、θ〜５０９Ｉの
範囲では２倍の±０．４−１０〜２５ｓの範囲では４倍
の±０．８畳のｖｆＩＩ蜜となる。
この関係を第２図に示す、圧力伝送器の賽際の特性−ｉ
ＩＸが真値Ｙから内示のように外れており、圧力Ｐ、に
おける誤差Ｅ、は、その圧力伝送器のレンジがＯ〜Ｐ１
で設定されているとすると、フルスケールでｆｆ１Ｋ。
ＩＸが真値Ｙから内示のように外れており、圧力Ｐ、に
おける誤差Ｅ、は、その圧力伝送器のレンジがＯ〜Ｐ１
で設定されているとすると、フルスケールでｆｆ１Ｋ。
／Ｐ、が誤差（９１）であるのに対し、Ｏ％Ｐ、のレン
ジでみるとＥ１／ Ｐｓとなり、さらに０〜Ｐ、のレン
ジでみるとＥ 、／ Ｐ、となる＊ ｐ、＜ ｐ、＜
ｐ、なって誤差はＥ、／Ｐ、＜Ｅ、／ Ｐｘ ＜ ｉｊ
、／ Ｉ’、となる。
ジでみるとＥ１／ Ｐｓとなり、さらに０〜Ｐ、のレン
ジでみるとＥ 、／ Ｐ、となる＊ ｐ、＜ ｐ、＜
ｐ、なって誤差はＥ、／Ｐ、＜Ｅ、／ Ｐｘ ＜ ｉｊ
、／ Ｉ’、となる。
これに対する対策として、一般に圧力伝送器の測定範囲
は較正を行なうととくよル変えることができるようＫな
っている。しかし、これを行なうには、その都度そのラ
インを停止しなければならず、ｔた手作業であるため１
時間と費用を要するという問題があった。
は較正を行なうととくよル変えることができるようＫな
っている。しかし、これを行なうには、その都度そのラ
インを停止しなければならず、ｔた手作業であるため１
時間と費用を要するという問題があった。
発明の目的
本発明の目的に、測定レンジの切換を自動的に短時間で
行なうことのできる圧力伝送ａｔを提供する仁とＫある
。
行なうことのできる圧力伝送ａｔを提供する仁とＫある
。
発明の概要
本発明の圧力伝送装置は、被１１１１Ｊ定圧力範囲の全
体について圧カー電気！換を行なう第１の圧力変換−と
、着糊定圧力範囲を何段階の分割範囲かに分割し、その
各々の分割範囲について圧力−電気変換を行なう複数の
第２の圧力変換器と、前記第１の圧力変換器の出力信号
を処理して伝送する第１の信号部ｊ１回路と、 ＩｊＩ
ＩＪ定されている圧力を含む分割間１！！について圧力
−電気変換を行なうＬＩＩｓ２の圧力変換器の出力信号
を選択し処理して出力する第２の信号処ｍ回路とを備え
たものである。
体について圧カー電気！換を行なう第１の圧力変換−と
、着糊定圧力範囲を何段階の分割範囲かに分割し、その
各々の分割範囲について圧力−電気変換を行なう複数の
第２の圧力変換器と、前記第１の圧力変換器の出力信号
を処理して伝送する第１の信号部ｊ１回路と、 ＩｊＩ
ＩＪ定されている圧力を含む分割間１！！について圧力
−電気変換を行なうＬＩＩｓ２の圧力変換器の出力信号
を選択し処理して出力する第２の信号処ｍ回路とを備え
たものである。
発明の興總儒
第５ｓｒｃ、本発明の圧力伝送装鎗の一実施例を示した
ものである。同１１において、１１は全測定箱Ｉ１ｇに
ついてあ為一定のｗｆて圧力に対応する電気信号を発生
する圧力変換器、１２〜１４に、全測定範囲を３分割し
た３つの分割範囲の各々について。
ものである。同１１において、１１は全測定箱Ｉ１ｇに
ついてあ為一定のｗｆて圧力に対応する電気信号を発生
する圧力変換器、１２〜１４に、全測定範囲を３分割し
た３つの分割範囲の各々について。
圧力に対応する電気信号を発生する圧力変換器。
１５〜１８ハ圧力変換９１１〜１４の出力信号を増幅す
ゐ前置増幅器であゐ、圧力変換器１１〜１４と対応する
前蓋増幅器１５〜１８を組合わせｔ圧カー電気借９！籍
性はそれぞれ第４図に曲＊２．〜ｚ４で示す通９である
。１９は前蓋増幅器１５〜！８の出方信号を、後述の論
理演算回路ρからのデジタル選択信号に応じて。
ゐ前置増幅器であゐ、圧力変換器１１〜１４と対応する
前蓋増幅器１５〜１８を組合わせｔ圧カー電気借９！籍
性はそれぞれ第４図に曲＊２．〜ｚ４で示す通９である
。１９は前蓋増幅器１５〜！８の出方信号を、後述の論
理演算回路ρからのデジタル選択信号に応じて。
順々に選択して出力するアナログマルチプレクサ、２０
は前置増幅器１５の出方信号を処理する信号処理回路、
２１はマルチプレクサ１９の出力をＡ−Ｄ（アナログ−
デジタル）変換するムーＤ変換回路、ｎにＡ−Ｄ変換回
路乙の出力信号に所定の論理演算を行なう論理演算回路
、２３は記憶回路、２４ばＤ−Ａ変換礪能を持ち、ＤＣ
４〜２０ｍＡの出方信号を発生する出力回路で、マルチ
プレクサ１９．Ａ−Ｄ変換回路４．論理演算回路ρ、記
憶回路る。出力回路々によシ、前置増幅器１６〜１８の
出方を選択して処理する信号処理回路δが形成されてい
る。論理演算回路ｎおよび記憶回路２３にコンピュータ
（ｆｌえばマイクロコンぜエータ）により構成すること
ができる。
は前置増幅器１５の出方信号を処理する信号処理回路、
２１はマルチプレクサ１９の出力をＡ−Ｄ（アナログ−
デジタル）変換するムーＤ変換回路、ｎにＡ−Ｄ変換回
路乙の出力信号に所定の論理演算を行なう論理演算回路
、２３は記憶回路、２４ばＤ−Ａ変換礪能を持ち、ＤＣ
４〜２０ｍＡの出方信号を発生する出力回路で、マルチ
プレクサ１９．Ａ−Ｄ変換回路４．論理演算回路ρ、記
憶回路る。出力回路々によシ、前置増幅器１６〜１８の
出方を選択して処理する信号処理回路δが形成されてい
る。論理演算回路ｎおよび記憶回路２３にコンピュータ
（ｆｌえばマイクロコンぜエータ）により構成すること
ができる。
陶圧力変換器１１〜１４および各回路の電Ｓは１例えば
１１１１図に示したのと同様にして供給される。
１１１１図に示したのと同様にして供給される。
即ち、第１図のような２１１式（同一の線で電榔（ｆｌ
えばＤＣ２４ｖ）の供給と信号（例えばＤＣ４〜２０ｍ
Ａ）の伝送とを行なう方式）が採用される場合、王妃の
圧力歓送＠１１１台について２ｉ！！の信号ラインを２
組併設し、１組には信号処理囲路加の出力の伝送と圧力
変換器１１，４ｔｒｌｌ増幅器１５および＊＊処処理回
路への電源の供給とを行なわせ。
えばＤＣ２４ｖ）の供給と信号（例えばＤＣ４〜２０ｍ
Ａ）の伝送とを行なう方式）が採用される場合、王妃の
圧力歓送＠１１１台について２ｉ！！の信号ラインを２
組併設し、１組には信号処理囲路加の出力の伝送と圧力
変換器１１，４ｔｒｌｌ増幅器１５および＊＊処処理回
路への電源の供給とを行なわせ。
他方の組には信号処理回路５の出力の伝送と圧力変換１
１１２〜１４．前電増幅器１６〜！８．信号処理回路δ
への電源の供給を行なわせる。
１１２〜１４．前電増幅器１６〜！８．信号処理回路δ
への電源の供給を行なわせる。
この場會田力蜜換器１２〜１４．＃ｌｌ増幅器１６〜１
８のすべてＫｆｉｌｔ１時に電源を供給することとすれ
ば負荷が大きくなるので、マルチプレクサ１９によシ選
択されてｉる時にのみ、電源を供給するよう、マルチプ
レクサ１９と連動するマルチプレクサを設けることとし
てもよい。
８のすべてＫｆｉｌｔ１時に電源を供給することとすれ
ば負荷が大きくなるので、マルチプレクサ１９によシ選
択されてｉる時にのみ、電源を供給するよう、マルチプ
レクサ１９と連動するマルチプレクサを設けることとし
てもよい。
配憶回路２３には、圧力変換器１１の圧カー出力特性−
纏と圧力変換！８１２〜１４の動作範囲とが記憶されて
−る。記憶回路るには、ま交圧力変換器１１〜１４から
の出力４ｒ１号がデジタルテンタとして遂時記憶される
・論層演算回路２２ハ、記憶回路乙に記憶されたデータ
を参照し、圧力変換′ａ１１からの出力信号がどの範囲
にあるかを判定し、これに基いて圧力変換器１２〜１４
の出力信号のいずれかを選択し。
纏と圧力変換！８１２〜１４の動作範囲とが記憶されて
−る。記憶回路るには、ま交圧力変換器１１〜１４から
の出力４ｒ１号がデジタルテンタとして遂時記憶される
・論層演算回路２２ハ、記憶回路乙に記憶されたデータ
を参照し、圧力変換′ａ１１からの出力信号がどの範囲
にあるかを判定し、これに基いて圧力変換器１２〜１４
の出力信号のいずれかを選択し。
出力回路必を介して出力させる。
論理演算回＠２２ｕ、圧力変換器１１の出力信号が例え
ば第４図のＱ、の点（ム、〜Ａ、の［ｉ！Ｓ内）にある
と判定し友ときは、圧力変換器校の出力信号を選択して
出力させる。同様に、圧力変換ａｎの出力信号が、Ｑ、
（Ａ、〜Ａ、の範囲内）、Ｑ。
ば第４図のＱ、の点（ム、〜Ａ、の［ｉ！Ｓ内）にある
と判定し友ときは、圧力変換器校の出力信号を選択して
出力させる。同様に、圧力変換ａｎの出力信号が、Ｑ、
（Ａ、〜Ａ、の範囲内）、Ｑ。
（Ａ、〜Ａ、の範囲内）にあると判定したときは。
圧力変換器１３ 、１４の出力信号をそれぞれ選択して
出力させる。
出力させる。
論理演算回路乙に、また、圧力変換器１２〜１４の出力
信号を、出力回路２４ｔ−介して出力させるに尚たシ、
予め記憶回路る内に記憶された補正データ（９！えば非
直馨性の補正の友めのデータ）Ｋ基いて補正を行なう。
信号を、出力回路２４ｔ−介して出力させるに尚たシ、
予め記憶回路る内に記憶された補正データ（９！えば非
直馨性の補正の友めのデータ）Ｋ基いて補正を行なう。
このようにする結果、信号処理囲路Ｉからは。
被−１定圧力がどの範囲にあろうと、圧力変換器１１の
出力信号を処理したものが出力され、信号処理回路５か
らは、禎醐定圧力がどの範囲にあるかに応じて選択され
ｔ圧力変換器１２〜１４の出力信号のいずれかが出力さ
れる。Ｉ従って、圧力変換器１２〜１４が圧力変換器１
１と同程度の？ｗｖを持つものであっても、１１Ｍ処理
回路δからはより梢寂の高いデータが得られる。
出力信号を処理したものが出力され、信号処理回路５か
らは、禎醐定圧力がどの範囲にあるかに応じて選択され
ｔ圧力変換器１２〜１４の出力信号のいずれかが出力さ
れる。Ｉ従って、圧力変換器１２〜１４が圧力変換器１
１と同程度の？ｗｖを持つものであっても、１１Ｍ処理
回路δからはより梢寂の高いデータが得られる。
なお、圧力変換器１１〜１４Ｋに、Ｉｊｆｌ−の圧力が
加えられるので、圧力変換器１２ 、１３にとっては、
使用圧力範囲を越える過大圧力となるものが頻繁に加か
ることくなるが１周知の過大圧力保＃Ｉ？１ｌＩＩＩＦ
を内蔵させる仁とにより、破壊を防止し得る。
加えられるので、圧力変換器１２ 、１３にとっては、
使用圧力範囲を越える過大圧力となるものが頻繁に加か
ることくなるが１周知の過大圧力保＃Ｉ？１ｌＩＩＩＦ
を内蔵させる仁とにより、破壊を防止し得る。
王妃の実施例では、全測定範囲を３つに分割し。
これに対応して３つの圧力変換器１２〜１４を設は友が
１分割する数は電力供給の制限内で、必要に応じて任意
に定めうる。
１分割する数は電力供給の制限内で、必要に応じて任意
に定めうる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、全測定範囲について、同
一の圧力変換器からの御ｊ定データが得られるとと４に
、被側定圧力がどの範囲にあるかに応じて、その範ｉ！
ｌを受は持つ圧力変換器からより精實の高いデータが得
られる。しかも、圧力変換器の選択、即ちレンジの切替
が自動的に行なわれるので１手作業が不要であシ、ライ
ンの停止をする必要がなく、ｄ！たメンテナンスも簡単
となる。
一の圧力変換器からの御ｊ定データが得られるとと４に
、被側定圧力がどの範囲にあるかに応じて、その範ｉ！
ｌを受は持つ圧力変換器からより精實の高いデータが得
られる。しかも、圧力変換器の選択、即ちレンジの切替
が自動的に行なわれるので１手作業が不要であシ、ライ
ンの停止をする必要がなく、ｄ！たメンテナンスも簡単
となる。
第１図は従来の圧力伝送器を示す概略図、第２図は圧力
伝送器の圧力−出力特性を示す線図、ｓＩ３図は本発明
一実施例の圧力伝送装置を示す！ロック図、第４図は第
３図の制電の圧力変換器の圧力−出力特性を示す＠Ｗで
ある。 １１〜１４・・・圧力変換器、 １９・・・ｉルチプレ
クサ。 加、３・・・僅号処理回路、乙・・・論理演算回路、２
３・・・記憶回路、２４・・・出力回路。 出願人代理人 猪 股 清
伝送器の圧力−出力特性を示す線図、ｓＩ３図は本発明
一実施例の圧力伝送装置を示す！ロック図、第４図は第
３図の制電の圧力変換器の圧力−出力特性を示す＠Ｗで
ある。 １１〜１４・・・圧力変換器、 １９・・・ｉルチプレ
クサ。 加、３・・・僅号処理回路、乙・・・論理演算回路、２
３・・・記憶回路、２４・・・出力回路。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、着糊定圧力範囲の全体について圧力−電気変換を行
な５ｍ１１１の圧力変換器と、被測定範囲の一部につ−
て圧力−電気変換を行なう複数の第２の圧力変換器と一
＠ＥＩＲｘの圧力変換器の出力信号を処理して出力する
第１の信号処理回路と、Ｓ＋定されている圧力を含む範
囲について圧カー電気変換を行なう第２の圧力変換器の
出刃備考を選択し処理して出力する第２の信号処理回路
とを備えた圧力伝送Ｉｌ奮。 ２、＃Ｉ記観２の信号処理回路は、前記第１および第２
の圧力変換器の出力４Ｉ！号を順次選択して出力すゐア
ナログマルチプレクサと、前記マルチゾＶｌｔの出力を
アナログ−デジタル変換するアナ關ｌ−デジタル質換器
と、前記マルチゾＶクナシよび前記アナロダーデジタル
変換器管介して送られた前配置１１１および第２の圧力
変換器の出力を記憶する記憶回路と、前記記憶囲路を参
照し、前記第１の圧力変換器の出力に基いて。 前記第２の圧力変換器の出力のうちのいずれかを選択す
る論理演算（ロ）路と、前記論理演算回路で選択された
出力をデジタル−アナログ変換して出力する出力回路と
を備えた。ｓ軒請求の範囲第１項記載の圧力伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56212307A JPS58109811A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 圧力伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56212307A JPS58109811A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 圧力伝送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58109811A true JPS58109811A (ja) | 1983-06-30 |
| JPS6351488B2 JPS6351488B2 (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=16620391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56212307A Granted JPS58109811A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 圧力伝送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58109811A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5917126A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 差圧伝送装置 |
| JPS63212872A (ja) * | 1987-03-02 | 1988-09-05 | Yamaha Motor Co Ltd | 船速検出装置 |
| JP2001163582A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-19 | Kato Works Co Ltd | デリックシリンダ圧力の検出装置 |
| WO2001045150A1 (fr) * | 1999-12-14 | 2001-06-21 | Tokyo Electron Limited | Procede de regulation de pression |
| JP2007110004A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Ckd Corp | 薬液供給システム |
| CN102353496A (zh) * | 2011-05-06 | 2012-02-15 | 三一重工股份有限公司 | 一种压力变送器 |
| JP2015114156A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 株式会社バルコム | 差圧計測用圧力計 |
| JP2018040758A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ、その中継基板、及び、その中継基板ユニット |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP56212307A patent/JPS58109811A/ja active Granted
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5917126A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 差圧伝送装置 |
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| CN100388433C (zh) * | 1999-12-14 | 2008-05-14 | 东京毅力科创株式会社 | 压力控制方法及等离子加工装置 |
| US6908864B2 (en) | 1999-12-14 | 2005-06-21 | Tokyo Electron Limited | Pressure control method and processing device |
| WO2001045150A1 (fr) * | 1999-12-14 | 2001-06-21 | Tokyo Electron Limited | Procede de regulation de pression |
| US7553773B2 (en) | 1999-12-14 | 2009-06-30 | Tokyo Electron Limited | Pressure control method and processing device |
| JP2007110004A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Ckd Corp | 薬液供給システム |
| JP4668027B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-04-13 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給システム |
| CN102353496A (zh) * | 2011-05-06 | 2012-02-15 | 三一重工股份有限公司 | 一种压力变送器 |
| JP2015114156A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 株式会社バルコム | 差圧計測用圧力計 |
| JP2018040758A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ、その中継基板、及び、その中継基板ユニット |
| US10481029B2 (en) | 2016-09-09 | 2019-11-19 | Saginomiya Seisakusho, Inc. | Pressure sensor, relay substrate therefor, and relay substrate unit therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6351488B2 (ja) | 1988-10-14 |
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