JPS58114199A - ２線式圧力差圧伝送器 - Google Patents
２線式圧力差圧伝送器Info
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- JPS58114199A JPS58114199A JP21432581A JP21432581A JPS58114199A JP S58114199 A JPS58114199 A JP S58114199A JP 21432581 A JP21432581 A JP 21432581A JP 21432581 A JP21432581 A JP 21432581A JP S58114199 A JPS58114199 A JP S58114199A
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
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- G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
- G01L9/045—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges with electric temperature compensating means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＠明の技術分野
この発明は、感圧素子を用いて圧力検出上行ないその出
力電気信号ｔ−ｉｓ式伝送略伝送路する２巌式圧力差圧
伝送ｔＦＫ関する。
力電気信号ｔ−ｉｓ式伝送略伝送路する２巌式圧力差圧
伝送ｔＦＫ関する。
発明の技術的背景
１ｇ１図は従来の２線式圧力差圧伝送養の構成を示す回
路図でめる。ｌは圧力検出回路の主ｌ！ｓを構成するブ
リッジ回路で、その枝に圧力変化全抵抗変化に変換する
感圧菓子ｔ−イしている。 ｆｆｉ、 ８はそれぞれ感
圧菓子で、例えばシリコン孝結晶板にピエゾ抵抗素子全
形成し、圧力（応じてピエゾ抵抗効果によシ抵抗が変化
すること金利用したものである。
路図でめる。ｌは圧力検出回路の主ｌ！ｓを構成するブ
リッジ回路で、その枝に圧力変化全抵抗変化に変換する
感圧菓子ｔ−イしている。 ｆｆｉ、 ８はそれぞれ感
圧菓子で、例えばシリコン孝結晶板にピエゾ抵抗素子全
形成し、圧力（応じてピエゾ抵抗効果によシ抵抗が変化
すること金利用したものである。
第１図においてはブリッジの枝に感圧菓子２および８が
用いられているが、他の枝にも全て感圧菓子を用いるい
わゆるフルブリッジ方式も同様に用いられる。
用いられているが、他の枝にも全て感圧菓子を用いるい
わゆるフルブリッジ方式も同様に用いられる。
＄１図では感圧素子は２つの枝に挿入されておシ、他の
２つの枝には基準抵抗Ｒ０が挿入てれている。
２つの枝には基準抵抗Ｒ０が挿入てれている。
なお感圧菓子２および８の内部抵抗はそれぞれＲＰ、！
、として示されている。４は１１７７２回路１に電圧を
供給するためのブリッジ電圧供給回路である。６はブリ
ッジ回路ｌからの出力信号音増幅する丸めの前１１増幅
回路、６は前置増幅回路５からの増幅信号ｔ−’ｉｔ流
に変換する電圧電流変換回路である。７は゛電圧ｍ流変
換回路６からの゛電流によって制御′される電流制御用
素子、８は基３１１１屯圧発生回路、９は抵抗器、 １
０は外部の基準電源で。
、として示されている。４は１１７７２回路１に電圧を
供給するためのブリッジ電圧供給回路である。６はブリ
ッジ回路ｌからの出力信号音増幅する丸めの前１１増幅
回路、６は前置増幅回路５からの増幅信号ｔ−’ｉｔ流
に変換する電圧電流変換回路である。７は゛電圧ｍ流変
換回路６からの゛電流によって制御′される電流制御用
素子、８は基３１１１屯圧発生回路、９は抵抗器、 １
０は外部の基準電源で。
ｆｉ常ｐｃ２４ｖ２出力する電源が用いられる。１１は
外部の負荷抵抗で通常最大５００Ω程度が用いられる。
外部の負荷抵抗で通常最大５００Ω程度が用いられる。
第１図に示す回路の動作は次のとおりでおる。
外部の基準電＃ｌＯＫよって供給でれる電力は、基準電
圧発生回路８によって一定電圧に変換され。
圧発生回路８によって一定電圧に変換され。
この圧力検出装置を駆動する。
ブリッジ回路ＩＫ供給される電圧は、ブリッジ電圧供給
回路４を介して行われる。ブリッジ回路ｌは、圧力が加
わらなりｈ状態では平衡状態となって；シ、したがって
出力は前置増幅回路５に入力されない。
回路４を介して行われる。ブリッジ回路ｌは、圧力が加
わらなりｈ状態では平衡状態となって；シ、したがって
出力は前置増幅回路５に入力されない。
しかし感圧素子２および８に圧力が加わるとその抵抗値
が変化することによシブリッジ回路ｌのバランスがくず
れて、出力電圧が発生し、この出力電圧が前置増幅回路
５によシ増幅され電圧電流変換回路６ｔ−介して電流に
変換され圧力に比例した（流（例えば、４〜２０ｉ１ム
Ｄｏ）を２線式信号ラインに流す。この電流ｚＦｉ、図
千に矢印で示しである。
が変化することによシブリッジ回路ｌのバランスがくず
れて、出力電圧が発生し、この出力電圧が前置増幅回路
５によシ増幅され電圧電流変換回路６ｔ−介して電流に
変換され圧力に比例した（流（例えば、４〜２０ｉ１ム
Ｄｏ）を２線式信号ラインに流す。この電流ｚＦｉ、図
千に矢印で示しである。
第１図に示した２Ｉ！１ｌｉ１式圧力差圧云送器は、圧
力に対する・ブリッジ回路の出力電圧変化の特性が直線
的でかつ感圧菓子２および８が温度変化の影響を全く受
けない場合には極めて簡拳で安価にできるという利点が
ある。
力に対する・ブリッジ回路の出力電圧変化の特性が直線
的でかつ感圧菓子２および８が温度変化の影響を全く受
けない場合には極めて簡拳で安価にできるという利点が
ある。
背景技術の問題点
しかし８１図に示した従来の圧力差圧伝送器では、圧力
に対するブリッジ回路の出力電圧の変化彎性は厳密にい
えば、若干の非直線性誤差を含んでいる。そのため高Ｎ
度で圧力検出を行う九めには回路上で補償をするか、又
は感圧素子自体を高度な技術によって高精度に作らなけ
ればならないという欠点がるる。
に対するブリッジ回路の出力電圧の変化彎性は厳密にい
えば、若干の非直線性誤差を含んでいる。そのため高Ｎ
度で圧力検出を行う九めには回路上で補償をするか、又
は感圧素子自体を高度な技術によって高精度に作らなけ
ればならないという欠点がるる。
また感圧素子を半導体で構成した場合には、温度変化に
よる影響を受けやすい丸めどうしても回路上での温度補
償が必要になる。そのため従来からさまざまな補償回路
が考えられてきたが、いずれの場合でも感圧菓子の特性
・に応じて回路菓子を選択するか１．もしくは可変抵ｉ
のように適尚な位置に合せて、Ｊ４整する必要が生じ、
補償回路が複雑になるとともに補償工程が多くなシ、製
造費が高くなるという欠点があった。
よる影響を受けやすい丸めどうしても回路上での温度補
償が必要になる。そのため従来からさまざまな補償回路
が考えられてきたが、いずれの場合でも感圧菓子の特性
・に応じて回路菓子を選択するか１．もしくは可変抵ｉ
のように適尚な位置に合せて、Ｊ４整する必要が生じ、
補償回路が複雑になるとともに補償工程が多くなシ、製
造費が高くなるという欠点があった。
発明の目的
この発明の目的は、回路素子の選択を無くし、しかｔＷ
Ａ償工楊を琴線化した高精度の２線式圧カ壬圧云送滲ｔ
−提供するにある。
Ａ償工楊を琴線化した高精度の２線式圧カ壬圧云送滲ｔ
−提供するにある。
発明のｇｌｌｉ
この発明においては、上記目的ｆｃＳ成するために、感
圧素子の近傍に温度検出回路や静圧力を検出する静圧力
の検出回路上設置してこれらの２つの回路からの出力信
号によって圧力検出回路の出力信号を補正するように構
成した。
圧素子の近傍に温度検出回路や静圧力を検出する静圧力
の検出回路上設置してこれらの２つの回路からの出力信
号によって圧力検出回路の出力信号を補正するように構
成した。
以下、この発明の実施例ｔ−ｍｒＥに基づいて詳細に説
明する。
明する。
＠明の実施例
＠２図はこの発明の一実施例を示す２＋ｌ！１式圧力差
圧伝送器の回路図でめる。
圧伝送器の回路図でめる。
加は圧力検出回路ｔＩｌ成するブリッジ回路で、感圧素
子２１＆よびｎと基準抵抗ＲＤとにょシ構成されている
。２３は＠置憤出回路で、感圧素子２１おに組込まれた
ブリッジ回路によシ構成されている。
子２１＆よびｎと基準抵抗ＲＤとにょシ構成されている
。２３は＠置憤出回路で、感圧素子２１おに組込まれた
ブリッジ回路によシ構成されている。
感圧素子２１．２２と感温素子Ｕとは、例えば、別個に
形成され、あるｉは同一＃？導体基板に形成され゛る。
形成され、あるｉは同一＃？導体基板に形成され゛る。
部はブリッジ回路加および２３ヲはじめとする各構成菓
子に電圧を供給するための基準電圧発生回路である。２
６および２７は前置増幅回路で、そｎぞれブリッジ回路
加および四の出力信号’に４ｇする。２８はマルチグＶ
クサで前置増幅回路部および２７ｔ−それぞれ選択して
切シ変える作用ｔＶする。
子に電圧を供給するための基準電圧発生回路である。２
６および２７は前置増幅回路で、そｎぞれブリッジ回路
加および四の出力信号’に４ｇする。２８はマルチグＶ
クサで前置増幅回路部および２７ｔ−それぞれ選択して
切シ変える作用ｔＶする。
四はム／Ｄ変換回路でマルチプレクサ四からのアナログ
信号をディジタル信号にに！する。美は入力信号を演算
して所定の出力信号を得るための論理演算回路、３１は
記憶慎能ｔＶする記憶回路、３２は論理演算回路３０か
らの出力金再びアナログ信号に変換する機能金持′）Ｄ
／ム変換回路でおる。３３は電圧・電流変換制御回路で
Ｄ ／ Ａ変換回路３２からの出力を圧力に比例した例
えば４〜２０ｍＡＤＯの電流信号としてＢｉ式で外廓へ
伝送する役割を果たす。具は外部の基準電源で逸に２４
ｖＤＣが用いられる。語は外部の負荷抵抗で通常最大５
００Ω程度が重しられる。これら基準電源詞及び負荷抵
抗お以外の前記回路は、使用上の保守上等の便宜性を考
娠して圧力伝送器ケース内に全て収納されてりる。
信号をディジタル信号にに！する。美は入力信号を演算
して所定の出力信号を得るための論理演算回路、３１は
記憶慎能ｔＶする記憶回路、３２は論理演算回路３０か
らの出力金再びアナログ信号に変換する機能金持′）Ｄ
／ム変換回路でおる。３３は電圧・電流変換制御回路で
Ｄ ／ Ａ変換回路３２からの出力を圧力に比例した例
えば４〜２０ｍＡＤＯの電流信号としてＢｉ式で外廓へ
伝送する役割を果たす。具は外部の基準電源で逸に２４
ｖＤＣが用いられる。語は外部の負荷抵抗で通常最大５
００Ω程度が重しられる。これら基準電源詞及び負荷抵
抗お以外の前記回路は、使用上の保守上等の便宜性を考
娠して圧力伝送器ケース内に全て収納されてりる。
次に本実施例の動作について述べる。
基準＠４３４によりて供給される′成力は、基準電圧発
生回路５によりブリッジ回路加および２３を駆動させる
。ブリッジ回路９内の感圧素子２１．２２に圧力が加わ
るとその抵抗１［が変化してブリッジ２０のバランスが
くずれるため出力電圧が発生し、その出力電圧は前置増
幅回路舖により増幅ざｎる。
生回路５によりブリッジ回路加および２３を駆動させる
。ブリッジ回路９内の感圧素子２１．２２に圧力が加わ
るとその抵抗１［が変化してブリッジ２０のバランスが
くずれるため出力電圧が発生し、その出力電圧は前置増
幅回路舖により増幅ざｎる。
なお、感８：素子ムと＝はそれぞれ第２図に示すような
ブリッジ回路加の枝に挿入さ詐、°一方の感圧素子の抵
抗値が増加するときには他方の感圧素子の抵抗が同一変
化分だけ減少するように構成しておけば抵抗変化に対し
て出力電圧の変化がリニアになる。
ブリッジ回路加の枝に挿入さ詐、°一方の感圧素子の抵
抗値が増加するときには他方の感圧素子の抵抗が同一変
化分だけ減少するように構成しておけば抵抗変化に対し
て出力電圧の変化がリニアになる。
一方ブリッジ回路ｎ内の感温素子冴は周囲の製置が変化
することによシ、抵抗が変化し、ブリッジ回路囚のバラ
ンス全くずす、しｔがって同州温度の変化に応じた出力
電圧が発生し、この出力電圧は１１１ｒｒｂ 回路加における圧力に、対するブリッジ回路の出力電圧
変化特性は、感圧素子２１およびｎの特性に↓シー意的
に足まるものである力為ら周囲温度が一足である場合に
は常に同一圧力に対して同一出力電圧変化が得られる。
することによシ、抵抗が変化し、ブリッジ回路囚のバラ
ンス全くずす、しｔがって同州温度の変化に応じた出力
電圧が発生し、この出力電圧は１１１ｒｒｂ 回路加における圧力に、対するブリッジ回路の出力電圧
変化特性は、感圧素子２１およびｎの特性に↓シー意的
に足まるものである力為ら周囲温度が一足である場合に
は常に同一圧力に対して同一出力電圧変化が得られる。
そこでこの圧力に対するブリッジ出力゛隠圧変化時性を
予め製造工程で把層して、七の変化曲縁を折れ線近似等
の方法で記憶回路３１に記憶させておく。
予め製造工程で把層して、七の変化曲縁を折れ線近似等
の方法で記憶回路３１に記憶させておく。
同様に周囲温度変化に対するブリッジ出力電圧変化特性
についても予め製造工程で把掴してその曲線を記憶回路
３１に記憶させておく。
についても予め製造工程で把掴してその曲線を記憶回路
３１に記憶させておく。
ブリッジ回路２０に加わった圧力を検出するためには記
憶回路３１に記憶されて−る自答ｔ−論理演算回路３０
によって絖み出してくればよいが、その際読み出しの入
力信号としてブリッジ回路加の出力電圧と周囲温鍵のｆ
＃報とが必要となる。
憶回路３１に記憶されて−る自答ｔ−論理演算回路３０
によって絖み出してくればよいが、その際読み出しの入
力信号としてブリッジ回路加の出力電圧と周囲温鍵のｆ
＃報とが必要となる。
この周囲温［０情報を提供する働きをするのがブリッジ
−路ｎである。ブリッジ−路訪はブリッジ−略々の屑−
一度に応答して出力信号を発生するので、これを温度情
報として用いることができる。
−路ｎである。ブリッジ−路訪はブリッジ−略々の屑−
一度に応答して出力信号を発生するので、これを温度情
報として用いることができる。
このようＫして前置増幅１１１１２６と前置増幅回路が
の出力とをそれでれマルチプレフナ！ＩＫ！り切炒換え
て論理演算回路３１に入力し、この入力され友信号に対
応する圧力電気信号を読み出して補正演算を行えばブリ
ッジ■賂旙に加わった圧力を算出することかで１！る。
の出力とをそれでれマルチプレフナ！ＩＫ！り切炒換え
て論理演算回路３１に入力し、この入力され友信号に対
応する圧力電気信号を読み出して補正演算を行えばブリ
ッジ■賂旙に加わった圧力を算出することかで１！る。
ム／′Ｄ変換゛回＠ｔＳはこれらの補正演算をディジタ
ル処理するためにいったんアナ璽ダ信号をディジタル信
号に変換するために用いられる４のである。
ル処理するためにいったんアナ璽ダ信号をディジタル信
号に変換するために用いられる４のである。
なお論理演算−路蹄と記憶回路３１とは！イクｐコンピ
ュータをＭｖｈてプ曹グツｔングＫＡ）実行させること
ができる。
ュータをＭｖｈてプ曹グツｔングＫＡ）実行させること
ができる。
論理演算回路莫からの出力信号をＤ／ム変換−路３２に
！つてアナ四グ信号に変換すれば、その後は従来の出力
積と装置と同様の処理を行うことができる。
！つてアナ四グ信号に変換すれば、その後は従来の出力
積と装置と同様の処理を行うことができる。
なお１以上の回路で使用される素子はいずれも低消費電
力であることが必要で１例えば、基皐電源Ｕとして２４
ＶＤＣを用い負荷抵抗３５に最内５０００を使用して４
〜２０電ムＤｏの出力電流Ｉｋ得りうとすれば、この内
部回路の全消費電力が約５０１１ＬＷ以下に々る工うな
ものを構成素子として選ぶのが良い。
力であることが必要で１例えば、基皐電源Ｕとして２４
ＶＤＣを用い負荷抵抗３５に最内５０００を使用して４
〜２０電ムＤｏの出力電流Ｉｋ得りうとすれば、この内
部回路の全消費電力が約５０１１ＬＷ以下に々る工うな
ものを構成素子として選ぶのが良い。
第８図はこの発明の他の実施例を示す回路図である。
なお第８図と同一部分は同一符号を付して示しである。
第２図の冥施例では、印加される圧力の絶対値を検出す
る圧力差圧歓送器の場合を示したが、静圧に対する差圧
を検出する場合には、静圧に対する誤差を補正する必要
がある。
る圧力差圧歓送器の場合を示したが、静圧に対する差圧
を検出する場合には、静圧に対する誤差を補正する必要
がある。
そのため伝送器本体内の一部に静圧力に対して感知する
第２の感圧素子菖、３７を設け、感圧素子ｎお１び四の
近傍に設置して第２の圧力検出回路側を構成し、第１．
の圧力検出回路加の出力をこの出力ＫＬって補正する必
要がある。
第２の感圧素子菖、３７を設け、感圧素子ｎお１び四の
近傍に設置して第２の圧力検出回路側を構成し、第１．
の圧力検出回路加の出力をこの出力ＫＬって補正する必
要がある。
この場合にも第２図において説明し友と同様に予め差圧
を検出する第１の圧力検出（ロ）略々の出力と静圧力と
の関係を求めておいて、これを記憶回路３１に記憶させ
ておいて、前置増ｌＩ！回路３ａを介してブリッジ回路
側の出力に工りこれに対応する圧力情報を記憶回路３１
から読み出して論理演算回路（資）により補正演算を行
って静圧誤差のない信号を算出して出力することができ
る。
を検出する第１の圧力検出（ロ）略々の出力と静圧力と
の関係を求めておいて、これを記憶回路３１に記憶させ
ておいて、前置増ｌＩ！回路３ａを介してブリッジ回路
側の出力に工りこれに対応する圧力情報を記憶回路３１
から読み出して論理演算回路（資）により補正演算を行
って静圧誤差のない信号を算出して出力することができ
る。
なお第２図、第８１１１において圧力検出回路や温度検
出回路における出力電圧の発生をブリッジ直路を用いて
行った場合ｔｌ！明したが、ブリッジ−路のみに＠定さ
れるものではない。
出回路における出力電圧の発生をブリッジ直路を用いて
行った場合ｔｌ！明したが、ブリッジ−路のみに＠定さ
れるものではない。
発明の効果
以上実施例によって詳ｌｌｍ−説明したＬうに本発明に
Ｌれげ、感圧素子の近傍Ｋ１１ｌｌ素子や静圧検出素子
を設けて圧力検出回路の出力を前もって記憶された所望
の関係に従って演算補正し、アナログ電気信号で、かつ
３一式で出力するように構成し友ので、圧力に対する出
力特性の非直線性中湿度誤差を回路素子を選択したり、
調整し曳りして補正する必要がなくなるため補正工種が
簡略化できるという利点がある。
Ｌれげ、感圧素子の近傍Ｋ１１ｌｌ素子や静圧検出素子
を設けて圧力検出回路の出力を前もって記憶された所望
の関係に従って演算補正し、アナログ電気信号で、かつ
３一式で出力するように構成し友ので、圧力に対する出
力特性の非直線性中湿度誤差を回路素子を選択したり、
調整し曳りして補正する必要がなくなるため補正工種が
簡略化できるという利点がある。
さらに感圧素子や感温素子の再現性が良好であ゛れは長
期間使用しても常に補正された適正な出力信号が得られ
る。
期間使用しても常に補正された適正な出力信号が得られ
る。
また従来の回路では感圧素子の特性に個体差が大きい場
合には補正できずにその感圧素子が使用できない場合が
生じたが、この発明に工れば常に個々の感圧素子の特性
に合わせた補正ができるので感圧素子の歩留りが大幅に
向上するという利点がある。
合には補正できずにその感圧素子が使用できない場合が
生じたが、この発明に工れば常に個々の感圧素子の特性
に合わせた補正ができるので感圧素子の歩留りが大幅に
向上するという利点がある。
さらに膚た、この発明では全ての回路を１つのケース内
に収納しているので、伝送器の使用上、保守上々どの取
扱が簡易適確に行える。
に収納しているので、伝送器の使用上、保守上々どの取
扱が簡易適確に行える。
第１図は従来の２線式圧力俸圧云送器の構成を示す回路
図、第２図はこの発明の一実施例を示す回路図、第８図
はこの発明の他の実施例を示す回略図である。 加・・・第１の圧力検出回路、２１．２２・・・感圧素
子、コ・・・温度検出口路、魅・−・感温素子、四・・
・ム／Ｄ変換回路、（資）・・・論理演算回路、３１・
・・記憶回路、３２・・・Ｄ／ム愛換回路、絽・−電圧
・電流変喚制御回路。 ％、３７・・・第２の感圧素子、謔・・・第２の圧力検
出回路。 出願入代１人 猪 股 清
図、第２図はこの発明の一実施例を示す回路図、第８図
はこの発明の他の実施例を示す回略図である。 加・・・第１の圧力検出回路、２１．２２・・・感圧素
子、コ・・・温度検出口路、魅・−・感温素子、四・・
・ム／Ｄ変換回路、（資）・・・論理演算回路、３１・
・・記憶回路、３２・・・Ｄ／ム愛換回路、絽・−電圧
・電流変喚制御回路。 ％、３７・・・第２の感圧素子、謔・・・第２の圧力検
出回路。 出願入代１人 猪 股 清
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 り圧力変化を抵抗変化に変換する感圧素子を金子、圧力
変化ｔ′（気信号の変化として出力する圧力検出回路と
％Ｗｉ記感圧素子の近傍に設置された感は素子によシ前
記感圧素子の近ｇｊ温度変化を電気信号として出力する
＠１度検出回路と、前記圧力と前記温度に対する前記圧
力検出回路の出力１気信号の関係【めらかじめ記１意し
ておく記憶回路と、前記圧力検出回路と前記温度検出回
路の出力電気信号に応答して前記記憶回路から対ろする
出力電気信号を絖み出して前記感圧素子に加わつ九圧力
ｔ−演算する論理演算回路と―前記論理演算回路の出力
信号をアナログ電気信号に変換しそのアナログ電気信号
′ｆ：２線式で出力する回路とｔ−１え、前記全ての回
路を１つのケース内に収納した２ｄＨＩａ圧力差圧伝送
器。 ２ 前記圧力検出回路は、前記感圧素子を少なくとも１
つの枝に含むように構成したブリッジ回路である特許請
求の範囲第１項記載の２ｆｉＡ式圧力差圧云送善。 ８、圧力変化ｔ−抵抗変化に変換する第１の感圧菓子を
含み、圧力変化を電気信号の変化として出力する第１の
圧力検出回路と、前記・第１の感圧素子の近傍に設置さ
れた第２の感圧素子によシ静圧力を電気信号として出力
する第２の圧力検出回路と、前記第１の感圧素子の近傍
に設置された感ａ素子によシ前記第ｌの感圧素子の近冴
温度変化を電気信号として出力する温度検出回路と、前
記圧力と前記静圧力と前記温琥とに対する前記第１の圧
力検出回路の電気ｇ！ｉｖの関係をあらかじめ記憶して
おく記憶回路と前記第１の圧力検出回路と前記第２の圧
力検出回路と前記＠度検出回路の出力電気信号に応答し
て前記記憶回路から対応する圧力′電気信号ｔ−読み出
して前記第゛１の感圧素子に加わった圧力ｔ−演算する
論理演算回路と、＠記論理演算回路の出力堡号全アナロ
グ電気信号に変換しそ−のアナログ電気信号ｔ−２１式
で出力する回路とｔ−備え、前記全ての回路’ｔ’ｌ）
のケース内に収納し九２線式圧力差圧伝送路。 ４、前記第１の圧力検出回路および前記第２の圧力検出
回路は、それぞれ前記第１の感圧素子および前記第２の
感圧素子を少くとも１つの板に一゛ 含むように博成し
九ブリッジ回路でるる特許請求の範囲ｉ＄８項記載の２
線式圧力差圧伝送器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21432581A JPS58114199A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | ２線式圧力差圧伝送器 |
| GB8236449A GB2113849B (en) | 1981-12-26 | 1982-12-22 | Two-wire differential pressure transmitter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21432581A JPS58114199A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | ２線式圧力差圧伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58114199A true JPS58114199A (ja) | 1983-07-07 |
| JPH0243236B2 JPH0243236B2 (ja) | 1990-09-27 |
Family
ID=16653880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21432581A Granted JPS58114199A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | ２線式圧力差圧伝送器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58114199A (ja) |
| GB (1) | GB2113849B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0317524A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Yamatake Honeywell Co Ltd | デイジタル式圧力検出装置 |
| US6329825B1 (en) | 1998-11-26 | 2001-12-11 | Denso Corporation | Sensing apparatus having a sensing bridge circuit and a temperature detecting bridge circuit for detecting a physical quantity and a related temperature compensating method |
| JP2008511834A (ja) * | 2004-08-27 | 2008-04-17 | アシュクロフト−ナガノ インコーポレーテッド | 圧力測定システム及び方法 |
Families Citing this family (11)
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|---|---|---|---|---|
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| JPH0797010B2 (ja) * | 1986-03-26 | 1995-10-18 | 株式会社日立製作所 | 半導体歪ゲ−ジブリツジ回路 |
| US4807151A (en) * | 1986-04-11 | 1989-02-21 | Purdue Research Foundation | Electrical technique for correcting bridge type mass air flow rate sensor errors resulting from ambient temperature variations |
| GB8705192D0 (en) * | 1987-03-05 | 1987-04-08 | Secr Defence | Transducer signal conditioner |
| FR2615618B1 (fr) * | 1987-05-22 | 1990-11-30 | Crouzet Sa | Capteur de pression a compensation numerique |
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1981
- 1981-12-26 JP JP21432581A patent/JPS58114199A/ja active Granted
-
1982
- 1982-12-22 GB GB8236449A patent/GB2113849B/en not_active Expired
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0243236B2 (ja) | 1990-09-27 |
| GB2113849A (en) | 1983-08-10 |
| GB2113849B (en) | 1985-05-30 |
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