JPS6350795Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案はプレートヒーター、特に大形のプレー
トヒーターに関するものである。

「従来の技術」 従来のプレートヒーターは、例えば真空中で使
用した場合の内部圧力によるヒーターの膨らみ
や、常圧中で使用した場合の熱歪みによつてヒー
ターの発熱線と上、下プレートの間に隙間が生じ
て熱伝導が悪くなるのを防止するため、第６〜８
図に示す如くヒーター３０の内部に発熱線３１を
収容した上プレート３２と、下プレート３３を一
体に連結するために固定部３４を設けてある。

「考案が解決しようとする問題点」 従来のプレートヒーターは、発熱線３１が膨ら
んで発熱面側３５と反対面側３６の温度が互いに
相違すると、ヒーター３０は湾曲する。即ち、発
熱面側３５が反対面側３６の温度より高く上昇す
ると、第７図に示すように上向きに反り返り、ま
た、反対面側３６の温度が発熱面側３５より高く
なとなると、第８図に示すように下向きに反り返
つてしまう。たとえば、直径800mm、厚さ17mmの
プレートヒーターで発熱面を600℃に昇温し、発
熱面側３５と反対面側３６の温度差を５℃とした
ところ、常温時に比べて外周部分で約７mmの反り
を生じた。

このように従来のプレートヒーターを真空中で
使用すると、内部圧力による膨らみや常圧中で使
用した場合の熱歪みによつてプレートが変形する
と、第５図破線で示す如くヒーター３０とホルダ
ー３９に装着した被加熱材４０との距離が変わつ
て加熱効果が劣化し、ヒーター３０が使用できな
くなるという場合が生ずるという問題点を有して
いた。

「問題点を解決するための手段」 本考案はかかる従来の欠点に鑑みてなされたも
ので、その構成は直径200mm以上の円盤状プレー
トヒーターにおいて、耐熱性素材で一体に形成し
た上、下プレートの内部に発熱線を夫々別個に収
容すると共にこの発熱線の各部を温度制御できる
ように夫々同心状発熱ゾーンに区画して構成した
ことを特徴とする。

「作用」 上、下プレートで一体に構成したプレートヒー
ター内部に発熱線を夫々別個に収容し、各発熱線
を夫々同心状発熱ゾーンに区画して構成したので
ヒーター各部の温度を制御することができる。

「実施例」 本考案の実施例を第１図に基づいて説明する
と、１，２はそれぞれ雰囲気に適合する材質であ
つて耐熱性素材で形成した上、下プレートで、互
いに接する第１発熱面４と第２発熱面３を夫々別
個に設け、両発熱面内に収容する発熱線が雰囲気
によつて腐食しないように上、下プレート１，２
内に密閉構造に収容して円盤状プレートヒーター
６を形成する。５は電源接続用のコード線であ
る。

第２実施例を第２〜３図に基づいて説明する
と、１１，１２は夫々耐熱性素材で形成した上、
下プレートで、互いに接する面には任意形状の凹
溝１３，１４を夫々対称的に設ける。上、下プレ
ート１１，１２には、全体的に複数の小孔１５，
１６を複数貫通させて形成し、且つ各小孔の上下
両端には連結ピン１７の挿通を容易にするために
テーパー状のガイド孔１８，１９を形成してあ
る。

凹溝１３，１４内に夫々細径シースヒーターか
らなる発熱線２０を収容し、夫々伝熱セメント２
１を埋め込み、上、下プレート１１，１２の表面
を平坦に仕上げて円盤状プレートヒーター２６を
形成してある。

次に、本実施例の作用について説明すると、柔
軟性を有した発熱線２０を凹溝３，４内に夫々収
容した後、伝熱セメント２１を充填して互いの接
触面を平坦にする。次いで互いに合致させた上、
下プレート１１，１２の各周面に設けた面取部２
３を接着剤で一体に接着すると共に、上下プレー
ト１１，１２の各小孔１５，１６内に連結ピン１
７を挿通し、上、下プレート１１，１２を一体に
固着して円盤状プレートヒーター２６を形成す
る。

ここで使用状態によつては熱歪みが問題になら
ない場合もあるが、例えば半導体製造等のように
均熱特性を特に良くしたり、ガスの流れを一定に
する必要がある場合や、反り返りのギヤツプＧが
一定に限定される場合、予め熱歪みを考慮して常
温中に逆歪みを与えておいても許容歪みを越える
とギヤツプが限界値を越えたり、或いは半導体に
接触してしまつてヒーターが使用出来なくなつて
しまうことがある。

しかして発熱線２０は、第４図に示すように
夫々別個に温度制御できるように複数の同心状発
熱ゾーン２０ａ，２０ｂ，２０ｃに区画して構成
してあるので、各発熱ゾーンの温度を調整し、円
盤状プレートヒーター全体の温度を均一にするこ
とが出来るものである。

「考案の効果」 本考案は一体に形成する上、下プレート内に
夫々発熱線を別個に収容して同心状発熱パターン
を区画構成して円盤状プレートヒーターを形成す
るため、ヒーター全体の温度を容易に均一化する
ことができ、ヒーターの反りを防止して正確な加
熱作業を行うことができるため、作業能率及び製
品の歩留りを一段と向上させることが出来る利点
を有する。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示したものにして、第
１図は第１実施例の全体の縦断正面図、第２図は
第２実施例の要部拡大断面図、第３図は上プレー
ト及び下プレートを分離させた状態の要部拡大断
面図、第４図はプレートヒーターの発熱ゾーンを
同心状に区画した状態を示す全体の平面図、第５
図はヒーターで被加熱材を加熱する状態を示す正
面図、第６図は従来のプレートヒーターの縦断面
図、第７図はプレートが上側に反つた状態の正面
図、第８図はヒーターで被加熱材を加熱する状態
を示した正面図である。 １，２，１１，１２……プレート、３，４，２
０……発熱線、６，２６……プレートヒーター、
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ……発熱ゾーン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 直径200mm以上の円盤状プレートヒーターにお
   いて、耐熱性素材で一体に形成した上、下プレー
   トの内部に発熱線を夫々別個に収容すると共にこ
   の発熱線の各部を温度制御できるように夫々同心
   状発熱ゾーンに区画して構成したプレートヒータ
   ー。