JPS6350736A

JPS6350736A - 表面汚染検査装置

Info

Publication number: JPS6350736A
Application number: JP19588986A
Authority: JP
Inventors: Sumio Yamagami; 山上　純夫; Kiichi Komada; 駒田　紀一
Original assignee: Mitsubishi Metal Corp
Current assignee: Mitsubishi Metal Corp
Priority date: 1986-08-21
Filing date: 1986-08-21
Publication date: 1988-03-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野〕本発明は、ドラム缶等の被検査体の表面に付着した成用
性物質、右ｍ物質等の馬乗物質（異物）を検査する表面
汚染検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、ドラム缶等の被検査体の表面汚染を検査するもの
としては、１１１紙を用いて被検査体の表面を拭き取り
、その濾紙に付着した）１ｊ染物質を測定器にＪ、り計
測することにＪ：って、）り染の有無を検出するもの（
スミャ法）が知られている。

〔発明が解決しようと覆る１７１題貞〕しかしながら、
上記従来の通紙を用いて被検査体の表面を拭き取って検
査Ｊるものにあっては、次のような問題があった。りな
わら、 ■被検査体の表面には凹凸や角部等があるために完全に
濾紙によって拭き取ることができず、拭き残しが出るお
それがある。

■濾紙による拭き取りは、被検査体の表面のある程度の
面積を拭いての検査であるので、被検査体のどの部分が
汚染されているかを１）定寸ろことが難しい。

■濾紙による拭き取りによって被検査体の表面汚染個所
が拡散づるおそれがある。

そこで、上記問題点を解潤しようとして、被検査体の表
面に粘る物を付着ざＵてその粘る力によって汚染物質を
粘着物の粘着面に転着させ、この粘る物を剥離させてそ
の粘査面の汚染を測定するものが提案されている（特開
昭６１−５６９８７８公複参照）。しかしながら、この
場合には、粘着物が被検査体に残留するおそれがある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、凹凸（例えば、コンクリート、セメン
ト等の粗い表面を持つもの）等の表面の形状、あるいは
材７′１にかかわらず、円滑にかつ容易に表面汚染の検
査を行なうことができ、短時間に広い表面を′精度良く
検査できる表面汚染検査装置を提供することにある。

〔問題点を解決１ろための手段〕上記目的を達成づるために、本発明は、被検査体の表面
にレーザーパルスを照射するレーザー発振器と、このレ
ーザーパルスにＪ：って被検査体の表面から剥離した異
物を浦集り°る捕集手段とをｔ）Ｈえたことを主な特徴
とする。

〔作　用〕

本発明の表面汚染検査装置にあっては、レーザー発振器
ににってレーザーパルスを被検査体の一人面に照射して
、このレーザーパルスのエネルギーによって被検査体の
表面に付着している異物を剥離し、捕集手段によって、
この剥離した異物を回収する。

〔実施例〕

以下、第１図ないし第５図に基づいて本発明の詳細な説
明する。

第１図ないし第４図は本発明の第１実施例を示すもので
、第１図は側面図、第２図は平面図、第３図は濾紙供給
門構の斜視図、第４図はフードへのカセットの装着を示
す斜・視図である。これらの図において、符号１は、レ
ーザーパルスを発射するレーザー発振器であり、このレ
ーザー発振器１ｔよ、前後方向にレーザー発条器１を移
動調整させる照準機構２上に＆！置されている。そして
、この照準機構２は電源３上に設置されている。また、
上記レーザー発振器１には、光学測距器４が設置されて
おり、この光学測距器４が、反射鏡５、半透明鏡６を介
して、回転台７上の被検査体（ドラム缶）８の表面まで
の距離を測定することにより、レーザー発振器１が照準
機構２によって前後に移９）Ｉ　して、レーザーパルス
の照準を被検査体８の表面に合わせるようになっている
。なお、上記照準を合わせるものとしてｔよ、上記Ｒ械
系以外に光学系の調整によってもよい。

上記回転台７は、その下部に設置された回転装置９によ
り回転せしめられると共に、この回転装ｒＩ９を昇降可
能に支持する上下移動装ｆｆ１１０により上下に移動せ
しめられるように構成されている。

また、上記シー１発成光成器１の下部には、支持アーム
１１が連結されており、この支持アーム１１の先端には
、略椀形状のフード１２が固定されている。そして、こ
のフード１２の中央部に（よ、上記レーザー発振器１の
発するレーザ−パルスを透過させるための窓が形成され
、この窓には透明板１３が嵌め込まれている。さらに、
フード１２の側部には、濾紙Ｐを挟み込んだカセット１
４を嵌め込むための凹所１５が形成されており、かつ凹
所１５はカセット１４が装？；され易いようにフード１
２の外方に向かって広がるテーパー状に形成されている
と共に、凹所１５内には、吸引口１６が開口している。

そして、この吸引口１６の周囲には、０リング等のガス
ケット１７が装着されており、上記凹所１５に装着され
たカセット１４と）−ド１２側との気密性を保持づるよ
うになっている。さらにまた、上記フード１２の凹所１
５にカセット１４を押し付けて吸引するコーン状の吸口
部１８が支持ロッド１９に支持されて、フード１２に対
しで接離自在に配設されており、この吸口部１８の先端
側にも、ガスケット１７が装置されている。そして、こ
の吸口部１８はフレキシブルホース２０を介してバック
アップフィルター２１に連結されており、このバックア
ップフィルター２１には吸引装置２２が連結されている
。また、上記フード１２には、散布液タンク２３内の水
等の散布液を散布づるスプレー２４が付設されている。

上記カセット１４は、金属等で形成された２枚のカセッ
トハーフ１４ａ、１４ｂが開閉自在に連結されると共に
、両カセットハーフ１４ａ、１４ｂ間には、両名を閉じ
た際に係合するように、突起及びこれに嵌合する凹部の
ような係止手段が形成されている。また、両力セットハ
ーフ１４ａ。

１４、　ｂの下部には、それぞれ吸引窓１４Ｃが形成さ
れ、かつカセットハーフ１４ｂの吸引窓１４Ｃには保護
ネット１４ｄが装着されている。さらに、カセッ１−ハ
ーフｉ４ａの上部には、ナンバーリング２５のためのス
ペースが設けられて、１３つ、かつカセッ１〜１４の上
端には、係合フック２６が取付けられている。この係合
フック２６は、濾紙Ｐを１火み込んだカセット１４を、
プーリ２７．２７間に張設した索条２８に取付けられた
係止フック２９に引っＵ）りて−Ｌ記ノード１２まで搬
送するためのらのである。

上記ノｊｔッ１〜１４に濾紙Ｐを挟み込む装置として（
よ、例えば、第３図に示づ」：うに、［］−ル状の濾紙
Ｐを巻きｕトけておく給紙（コーラ３０と、このロール
状のｄ紙Ｐを挾持して送る送りローラ３１と、ロール状
の濾紙Ｐを所定長さに切断するカッター３２と、この所
定長ざに切断されたｄ紙Ｐの下方から、開いた状態のカ
セット１７′ｌを供給して該凹部Ｐを両力ヒットハーフ
１４ａ、１４ｂ間に挟み込むカセッ１〜フィーダー３３
とを主体として荀１成されている。そして、濾紙Ｐを１
火み込／υだカセット１４は、上記プーリ２７と係止フ
ック２９何の索条２８とからなる搬送機構３４によって
フード１２の凹所１５まで移送されるようになっている
。なお、上記所定長さに切断された濾紙Ｐをカセット１
４内に挟み込む際に、濾紙Ｐがロール状にならないよう
に案内するガイドｄ構を設置してもよい。

上記のように４７４成された表面汚染検査装置を用いて
被検査体８の表面）ｌ染を検査する場合には、まず、回
転装置９及び−に下移！ｌＪ装買１０を用いて被検査体
８を回転あるいは？を降させると共に、光学」、ｌＩ距
器４及び照準数構２によってレーザー発振器１の発錆づ
るレーザーパルスが被検査体８の所定の検査領域に照射
されるように調整し、また、上記濾紙Ｐを挟み込んだ状
態のカセット１４をＵＱ送は構３４によってフード１２
の凹所１５に移送し、かつ吸口部１８ににっでカセット
１４を凹所１５内に押し付ける。これにより、フード１
２の吸引口１Ｇ、カセット１４の吸引窓１０００吸口部
１８が連通し、かつ各ガスケット１７によって気密性が
保１゛Ｉされる。

この状態において、レーザー発振器１から被検査体８の
材質笠にｙ、（づいて、レーザーパルスの出力密度、パ
ルス輻、パルス数等を適宜選択してレーザーパルスを照
０＝１づろと共に、吸引装置２２により、フード１２内
のエアーを吸引する。この」８合、上記レーザーパルス
の特徴どして、高エネル１゛−密度とｎｊ照（ト）時間
があるために、積分照’ｒｆエネルギーは被検査体８に
とっては問題にならない程度に十分に小さ°く、かつ、
被検査体８、表面ｙ゛・；物等の熱伝導率が有限かつ、
エネルギー密度が充分に高く、従って、表面のみを瞬間
的に高温にづることができる。この結束、被検査体８の
表面に照射されたシー１アーパルスによって、該表面に
付着している安物が、熱せられて蒸発し表面から部れた
後に冷ｊＪＩされて粒子状となり、あるい（，１異物と
被検査体８、あるいは両者の間に介在する空気との間の
熱膨張゛ν・の差によって熱’ｔ５ｊ撃を受けて＾；ｊ
離し、次いで、上記吸引装置２２により、フード１２の
吸引口１６から吸引されて、カセット１４に挟み込まれ
た慮組Ｐ上に付着する。また、必要に応じて、あらかじ
めスプレー２４によって′Ｐ１．検査休検査表８に散布
液を散イ５　Ｌ／た状態でレーザーパルスを照射すれば
、レーザーパルスにより散布液が熱せられて急激に蒸発
することにより、表面に付着きれた異物が容易に剥離す
ると共に、レーザーパルスが照射されていない領域にお
いては、上記散布液の界面エネルギーの作用により、表
面に付着している異物が離れにくいため、レーザーパル
スの照射領域（検査部ｂｙ、　＞だけの異物がカセット
１４の濾紙Ｐに円滑に付着し、確実に回収される。

このようにして、被検査体８の所定箇所の検査が完了す
ると、フード１２から吸口部１８を引き離す。この場合
、カセット１４は、その係合フック２６を索条２８の係
止フック２９に引っ掛けた状態にあるから、フード１２
の凹所１５から引き離され、次いで、搬送様描３４を作
動させることにより、上記カセット１４は検査装置まで
移送されて、表面汚染が検査される。

上述したように、本実施例によれば、短時間に被検査体
８の広い表面を測定でき、かつ自動化も容易に行なえる
。また、平滑でない表面、土、砂のような粒状、粉状の
表面汚染検査休８の表面の形状、材質等にかかわらず、
円滑に表面汚染の検査が行なえる。さらに、レーザーパ
ルスによって、被検査体８の表面に付？？シた異物だけ
を簡単に剥離させることができるので、従来の濾紙で拭
き取る場合のようにこづっただけでは剥ｎ１できないよ
うな異物も回収でき、採取データがばらつくことなく、
検査精度の向上を図ることができる。さらにまた、被検
査体８の検査部位は、回転装置９及び上下移動装置１０
を用いて、任意に変更でき、例えば、乱数を使用して、
適宜検査部位を変えてもよい。また、１回に被検査体８
の表面に照ＱＪ　ｉるレープ−パルスの照射面積は特定
できるので、１個のカセット１４の濾紙Ｐで検査した被
検査体８の検査面積は、レーザーパルスの照準回数を計
数することによって割出すことができる。さらに、濾紙
Ｐの前後の吸引圧力の差を検知することにより、圧力差
が過大になった場合に濾紙Ｐが目詰りしたと判定してカ
セット１４の交換を行なうことが可能である。

なお、本実施例においては、ドラム缶８の表面検査につ
いて説明したが、バイブ内面等の狭隘部を検査する場合
には、第５図に示すように、レーザー発振器１に光ファ
イバ３５を連結して、パイプ内面３６の被検査面にレー
ザーパルスを導くようにすればよい。また、スプレー２
４で散布する液体は、レーザー光の吸収効率が小さい、
あるいは大きいものを適宜選択して、検査表面を特定づ
るようにする。ざらに、捕集手段としては、異物を帯電
させて電極に吸引付着させる静電付谷ないし、サイクロ
ン等固気分離装置を用いて捕集してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、被検査体の表面
゛にレーザーパルスを照射するレーザー発振器と、この
レーザーパルスによって被検査体の表面から剥印した異
物を捕集づる捕集手段とを備えたものであるから、凹凸
、すき間等被検査体の表面の形状、あるいは材り１にか
かわらず、円滑にかつ容易に表面汚染検査を行なうこと
ができ、短時間に広い表面を精度良く検査できる。また
、被検査体の表面にあらかじめ付着液を散布あるいは塗
布しておくことにより、検査領域以外の部分の異物が表
面から離れにくく、かつ検査領域の安物が、付着液の蒸
発作用により、−・層容易に表面から剥離するから、検
査精度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の第１実施例を示すもので
、第１図は側面図、第２図は平面図、第３図は濾紙供給
部の斜視図、第４図はフードのカセット装着部の斜視図
、第５図（よ本発明の第２実施例を示′Ｉｊ説明図であ
る。１・・・・・・レーザー発振器、８・・・・・・被検査体くドラム缶）、９・・・・・・
１１’＋１転装置、１０・・・・・・」上下移動装置、１２・・・・・・フード、１／Ｉ・・・・・・カセット、１８・・・・・・吸口部、２２・・・・・・吸引装置、２４・・・・・・スプレー（付着装置）、Ｐ・・・・・
・濾紙（検査紙）。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被検査体の表面に付着した異物を剥離するために
、該被検査体の表面にレーザーパルスを照射するレーザ
ー発振器と、剥離した異物を捕集する捕集手段とを具備
したことを特徴とする表面汚染検査装置。
（２）捕集手段を、被検査体の表面を覆うフードと、こ
のフードに連結された吸引装置と、この吸引装置の吸引
口に設けられた検査紙とから構成したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の表面汚染検査装置。
（３）検査紙を所定検査間隔毎に交換可能に設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の表面汚染検査
装置。
（４）被検査体とレーザー発振器とを相対移動可能に設
置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項
、または第３項記載の表面汚染検査装置。
（５）被検査体の近傍に、該被検査体に付着液を散布ま
たは塗布する付着装置を設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項、第２項、第３項、または第４項記載の
表面汚染検査装置。