JPS6350035A - 収納基板取り出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は複数のウェハ又はレチクル（本明細書では両者
を総称して基板という）を収納するキャリアから基板を
１枚ずつ取り出すウェハ取り出し装置に関する。

（従来の技術） 従来、ウェハ（基板の一例）を並列に収納したキャリア
から１枚ずつウェハを取り出しこれをウェハ検査装置や
その他の装置に供給するウェハ取り出し装置が知られて
いる。この装置は移動可能なアーム（保持手段の一例）
を備えており、このアームでウェハを保持し、アームを
出し入れすることにより、ウェハを取り出すものである
。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながらウェハがキャリアに正しい姿勢で載置され
ていない場合にはウェハ自身あるいはアーム等を破損し
てしまうという問題点があった。

本発明はこのような問題点を解決し、キャリア内でウェ
ハが傾けられた状態で載置されていてもウェハあるいは
アーム等を破損せずにウェハを取り出せる装置を提供す
ることを目的としている。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、キャリア内のウェハの姿勢を非接触で検知す
る検知手段と、アームの姿勢制御手段と、検知手段の信
号に基づいてアームの姿勢を正しくアームがウェハに合
った姿勢をとる信号を姿勢制御手段に伝える演算手段を
備えたことを特徴としている。

（実施例１） 第１図〜第７図は本発明における第１の実施例を示し、
第１図は実施装置の斜視図、第２図はキャリアの断面図
、第３図はブロック図、第４図及び第５図はフローチャ
ート、第６図、第７図はキャリアの断面図である。

第１図において、パレット１ば不図示の搬送機構により
入方向に移動される。ウェハキャリア２はパレット１に
載置される。キャリア２は第２図に示す如く複数の段部
２ａ−２ａ’　、２ｂ−２ｂ’、２ｃｍ２ｃ’　、２ｄ
−２ｃｌ’　−−−−を有している。

ウェハ３ａ、３ｂ、３　ｃ−−−−３ｋ、　３　Ｉｌは
それぞれ段部２ａ−２ａ’　、２ｂ−２ｂ’　、２ｃｍ
２ｃ’　−−−−２に−２に’　、２４！−２１’　に
載置されている。各段部はウェハを水平に載置するよう
構成されている。キャリア２の前面には、ウェハ３ａ。

３ｂ−−−−３ｋ、３ｐの取り出しを可能にする開口２
Ｍが形成され、またこれと対向する後面にも、開口２Ｎ
が形成されている。ただし、この開口２Ｎはうエバ３ａ
、３ｂ−〜−−３ｚの取り出しを阻止する大きさである
。

昇降機４は搬送機構により送られてきたパレット１を上
方（Ｂ方向）へ上昇させるものであり、モータ５　（第
３図参）により駆動される。

投光器６ａ、６ｂは水平方向に並置される。受光器７ａ
、７ｂも水平方向に並置され、それぞれ投光器６ａ、６
ｂ対向する。これらの投光器と受光器が、本発明の検知
手段の一例である。

ガイド棒８とオネジ９は互いに平行となるように支持板
１０．１１に支持されている。オネジ９はモータ１２に
よって支持板１０．１１上で回転される。

アーム支持台１３はガイド棒８に嵌合し、ネジ９に螺合
している。アーム１４は支持台１３の回転軸１３ａを中
心にＣ方向に回転可能で、またアーム１４を支持する回
転軸３２ａ末端上にはモータ３２が取付けてあり、アー
ム１４は回転軸３２ａを中心にＣ方向にも回転可能であ
る。アーム１４はモータ１５（第３図参）により駆動さ
れる。接触センサ１６、投光器３０、受光器３１はアー
ム１４の先端に設けられている。

第３図に示す如く、前述したモータ５．１２．１５．３
２は全て、演算処理部、メモリ一部、１１０部等からな
るマイクロコンピュータ１７　（以下ＣＰＵと称す）に
より制御される。また接触センサ１６及び後述する投光
器３０、受光器３１もＣＰＵ１７に接続されている。

以下第４図及び第５図のフローチャートを参照して実施
例の装置の動作を説明する。

まず搬送機構によりキャリアを載せたパレット１がＡ方
向に駆動され、パレット１が所定位置にもたらされると
、ＣＰＵ１７から■初期検出位置セントの指令が出力さ
れる。そしてモータ５　（図示せず）が駆動されて昇降
機４がパレット１を上昇させて、キャリア２の最上段２
ａ−２ａ’に載置されたウェハ３ａが投光器６ａ、６ｂ
から開口２Ｎ、２Ｍを介して受光器７ａ、７ｂへ至る光
路内に位置づけられると、昇降機４が動作を停止する。

次にＣＰＵ１７は■受光器７ａ、７ｂの出力を取り込み
、ウェハの姿勢を判別する。第２図において・印で示し
た２１ａ、２１ｂはそれぞれ投光器６ａ、６ｂから受光
器７ａ、７ｂへ至る光路を示す。仮に第２図の如く段部
２ａ−２ａ’　の上にウェハ３ａが正しい姿勢で！１置
されていれば、ウェハ３ａに遮光されて、受光器７ａ、
７ｂの出力はともに大きく減小することとなり、ＣＰＵ
１７はウェハが正しい姿勢で載置されていることを判別
する（Ｘ）。ウェハが正しい姿勢で載置されていること
を判別すると、ＣＰＵ１７は■判別出力をメモリーに記
憶する。次にＣＰＵ１７は■ウェハを全数チェックした
か判別する。この場合、−枚目のウェハがチェックされ
たばかりである力）ら、判別出力は全数チェックされて
いない旨の出力となる。したがってＣＰＵ１７は■モー
タ５を作動し、昇降機４を予め設定されたキャリアの１
段分詳しくはある段部からこの段部に隣接する別の段部
に至る距離だけ上昇させる。そして２段目２ｂ−２ｂ’
　に載置され、たウェハ３ｂは投光器６ａ。

６ｂから受光器７ａ、７ｂへ至る光路内に位置づけられ
る。第２図の・印２２ａ、２２ｂはこの時の光路を示す
。この場合、ウェハ３ｂは段部２ｂ〜２ｂ’　に正しい
姿勢で載置されているので再び前述した■〜■の工程を
経て、昇降機４がキャリアの１段分さらに上昇する。

そしてＣＰＵ１７は■の工程へ至る。第２図の・印２３
ａ、２３ｂはこの時の投光器６ａ、６ｂから受光器７ａ
、７ｂへ至る光路を示す。この場合は本来３段目２Ｃ−
２ｃ’　に載置されているはずのウェハ３Ｃが３段目の
段部２Ｃと４段目の段部２ｂ’　の間に斜めに載置され
ている。したがってＣＰＵ１７は、受光器７ａ、７ｂの
出力より、すなわち７ａの出力が小さく、７ｂの出力が
大きいことより、ウェハ３Ｃが正しい姿勢で載置されて
いないことを判別（ｙ）し、■判別出力をメモリーに記
憶する。次にＣＰＵ１７は光路（投光器６ａ、６ｂから
受光器７ａ、７ｂへ至る光路）とキャリア２内に傾けら
れて載置されたウェハ３Ｃとの交点（３Ｃ１，３Ｃ２）
を検出するために、昇降機４を上方（Ｂ方向）へ微動さ
せる旨の命令をする。そして、■■の工程に移行する。

昇降機４は上方に微動し受光器６ｂで検出される出力が
最小になる位置（３Ｃ１）を検出し、その位置（３ｃ＋
）を■メモリーに記憶される。＠ｌｏの工程も同様に昇
降機４は上方へ微動しもう一方の受光器６ａで検出され
る出力が最小になる位置（３ｃｚ）を検出し、その位置
（３（、ｚ　）も０メモリーに記憶される。

そして■の工程を経て■の工程に移る。第２図に示すよ
うに、水平（キャリア内にウェハを正しい姿勢で載置す
る）方向に対して垂直方向における３ｃ、　、３ｃｚの
位置が段部２ｃｍ２ｃ’　、２ｄ−２ｄ’　の間に存在
するためにＣＰＵ１７はその間の隣接した段部２ｅ−２
ｅ’　まで昇降機４を上昇させる。５段目の段部２ｅ−
２ｅ′に載置されているウェハ３ｅは正しい姿勢である
と判別されると再び■〜■の工程を経て昇降機４はキャ
リア２の１段分上昇する。

段部２ｆ−２ｆ’上に本来載置されているべきウェハの
位置を、投光器６ａ、６ｂから受光器７ａ、７ｂへ至る
光路内に位置づける。しかしながらこの段部２ｌ−２ｆ
’上にはウェハが存在していない。したがってＣＰＵ１
７が■の判別動作に移ると、受光器７ａ、７ｂの出力が
ともに大きいことからＣＰＵ１７は段部２ｆ−２ｆ”上
にウェハが存在しないことを判別する（Ｚ）。そしてＣ
ＰＵ１７は０判別出力をメモリーに記憶する。

次にＣＰＵＩ　７は■、■の工程を経て、再び■の工程
に便り、■〜■の工程を繰り返すことにより各段にウェ
ハが正しい姿勢で載置されているが否かを判別してゆく
。そして最下段のウェハ３７！が投光器６ａ、６ｂと受
光器７ａ、７ｂとを結ぶ光路内に位置づけられ、■■の
工程を経て、■の工程に至り、ウェハを全数チェックし
たことを判別すると、第５図のフローチャートに従った
動作に移る。

上述したのように第４図のフローチャートでは、■の工
程でウェハの姿勢が正しいと判別された場合（ｘ）には
■〜■を経て■へ戻る。また姿勢が正しくないと判別さ
れた場合（ｙ）には■〜０、■を経て■へ戻る。さらに
またウェハが存在しないと判別された場合（Ｚ）には［
相］、■、■を経て■へ戻る。

次にＣＰＵ１７の第５図のフローチャートに従った動作
を説明する。まずＣＰＵ１７が［相］キャリア２に収納
された全ウェハについてウェハ検査（後の工程）を終了
し、この後全ウェハがキャリア２に収納されたか否かを
判別する。この時点で全ウェハにっていウェハ検査が終
了し、全ウェハがキャリア２に収納されていれば第５図
のフローは終了する。全ウェハについてウェハ検査と収
納がなされていなければ次の工程［相］へ移行する。Ｃ
ＰＵ１７は＠ＣＰＵ１７のメモリーに蓄積された情報（
■■［相］判別出力）より、これから取り出そうとする
ウェハが段部上に存在するか否かを判別する。ウェハが
存在しない場合は、ＣＰＵ１７が［相］モータ５を駆動
し、昇降機４をキャリアの１段分下降させる。取り出そ
うとするウェハが段部に存在すれば０の工程に移行しウ
ェハが正しい姿勢で載置されていると［相］の工程に移
行する。

この実施例の場合にはキャリア２の最下段２ρ−２Ｉ！
゛　にあるウェハ３ｐから取り出すように設定されてい
る。そして最下段２ｎ−２＃’　にはウェハが存在し、
更に正しい姿勢で載置されている。

したがって［相］、Ｏの工程の後に、ＣＰＵ１７が［相
］アーム１４をセットする旨の指令を出すと、モータ１
２が駆動され、オネジ９の回転とともに支持台１３がガ
イド棒８に案内されてＤ方向に移動する。そしてアーム
１４が開口２Ｍよりウェハ３１の下、段部２Ｉｌと２１
゛　の間に入り込み、停止する。この時、まだアーム１
４とウェハ３βは接触していない。次にＣＰＵ１７は［
相］昇降機４を下方へ微動する旨指令を出す。したがっ
てモータ５が駆動され、昇降機４がパレット１及びキャ
リア２を下方（Ｆ方向）へわずかに移動する。次にＣＰ
Ｕ１７は［相］接触センサ１６から信号を取込み、セン
サ１６にウェハ３１が接触したか否かを判別する。

接触しない場合には［相］に戻り、接触するまで昇降機
４の下降を繰り返す。接触したことを判別した場合には
、ＣＰＵ１７は■昇降機４をさらに下方へ微動する旨の
指令を出す。そして、モータ５が駆動され、昇降機４が
パレット１及びキャリア２を下方（Ｆ方向）へわずかに
移動する。その移動量はウェハ３１が段部２ｆｉ−２Ａ
’　かられずかに浮き、かつウェハ３１がその上の段部
２に−２に゛に接しない程度である。こうしてウェハ３
１がアーム１４のウェハに載置される。次にＣＰＵ１７
は＠ウェハを取り出す旨の指令を出す。したがってモー
タ１２が駆動され、支持台１３がＥ方向に移動され、ウ
ェハ３ｐが取り出される。

その後、さらにモータ１５が駆動され、アーム１４がＣ
方向に回転してウェハ検査装置（不図示）にウェハ３１
が供給される。不図示のウェハ検査装置は供給されたウ
ェハについてウェハ検査を行なう。

ＣＰＵ１７は［相］ウェハ検査装置に供給されたウェハ
についてウェハ検査が終了したか否かを判別する。ウェ
ハ検査が終了していなければ所定時間ごとにこの判別を
繰り□返す。これが待機状態である。

ウェハ検査が終了したことを判別した時点で。

ＣＰＵ１７は［相］ウェハが傾けられて載置されていた
かを判別（このことは後に説明する）し、この場合、ウ
ェハ３１は水平に載置されているのでウェハ３１をキャ
リア２内の元の位置に収納する。

この動作は［相］〜［相］に示した動作と全く逆の動作
であるので詳述しない。こうしてウェハ検査を終了した
ウェハ３１が元の位置（２β−２１２’）に戻される。

ＣＰＵ１７は［相］の工程の最後にモータ５を駆動し、
昇降ｎ４をキャリア１段分下降させる。その後、ＣＰＵ
１７は＠の工程に戻る。上述の動作を繰り返すことによ
りウェハ３ｋ、３ｊ−−−−３ｇのウェハ検査がなされ
ていく。

ウェハ３ｇの検査を終了後、ウェハ３ｇはキャリア内に
収納され、再び動作は［相］の工程に戻り、［相］の工
程に移る。段部２ｆ−２ｆ’　にはウェハが存在しない
ことをＣＰＵＩ　７は判別し［相］昇降機４をキャリア
１段分下降させる。再び■の工程に戻り、［相］を経て
Ｏの工程に移る。ＣＰＵ１７は段部２ｅ−２ｅ”にウェ
ハ３ｅが正しい姿勢で載置されていることを判別し［相
］〜■の工程を経てＣＰＵ１７は昇降機４をキャリア１
段分下降させ、動作は再び［相］の工程に戻る。

同じように■の工程を経て［相］の工程に移行する。

しかし、この場合ＣＰＵＩ　７はウェハ３ｃが段部２ｃ
ｍ２ｃ’　と２ｄ−２ｄ’間で傾いた姿勢で載置されて
いると判別する。するとＣＰＵ１７が０アーム１４をセ
ットする旨の命令を出し、今までの動作と同様に、モー
タ１２が駆動され、オネジ９の回転により支持台１３が
ガイド棒８に案内されてＤ方向に移動する。そしてアー
ム１４が開口２Ｍより傾けられて載置されたウェハ３ｃ
の下、段部２ｄと２ｄ″の間に入り込み、停止する。

次に第６図に示すようにＣＰＵ１７は［相］アーム１４
とウェハ３Ｃとの平行にするために投光器３０から光を
出射する旨の命令を出す。ところが、第６図に示すよう
に、ウェハ３ｃと平行になっていないために出射された
光がウェハ３ｃの裏を反射しても受光器３１に入射しな
い。そのため、次にＣＰＵ１７は［相］アーム１４とウ
ェハ３ｃとの平行を合わせる旨の命令を出す。すると、
モータ３２が駆動され、アーム１４はＧ方向に微動する
。

第７図に示すように、アーム１４とウェハ３ｃが平行に
なると、投光器３０から出射された光はウェハ３ｃの裏
を反射してから受光器３１に入射し受光器３１の出力信
号は最大になる。この信号により、アーム１４を停止さ
せる。

次に［相］工程に移行する。ＣＰＵ１７は昇降４１！４
を下方へ微動する旨の命令を出す。モータ５が駆動され
、昇降機４がパレット１及びキャリア２を下方（Ｆ方向
）へわずかに移動させ、次にＣＰＵ１７は接触センサ１
６からの信号を取り込み、センサ１６にウェハ３Ｃが接
触したことを判別すると、昇降機４をわずかに下方に移
動させる。この移動量はウェハ３ｃが段部２Ｃ−２ｄ’
かられずかに浮く程度である。つぎにＣＰＵ１７はモー
タ１２を駆動させてアーム１４をＥ方向に後退させるこ
とによりウェハ３Ｃを取り出し、キャリア２からウェハ
３Ｃを取り出した時点でモータ３２を駆動させてアーム
１４を水平に戻して、つぎの検査工程に供給する。検査
を終了すると［相］工程に移行する。

［相］工程について説明する。キャリア２からウェハ３
ｃを取り出してから［相］の工程までの間、アーム１４
．はキャリア２の段部２ｃｍ２ｃ’　と２ｄ−２ｄ’　
間の高さにあるために、このままではキャリア２内に収
納することができない。そのため、ウェハ３Ｃを段部２
ｃｍ２ｃ’　に収納するためにＣＰＵ１７は昇降機４を
下方に微動させなければならない。このことから、昇降
機４を下方に微動させるには、まずＣＰＵ１７はウェハ
がキャリア内で傾けられて載置されていたかどうかを判
別しなければならない。そのため、ＣＰＵ１７はウェハ
３Ｃがキャリア内で傾けられて載置されていたことを判
別し、［相］工程に移行する。

ＣＰＵＩ　７はモータ１２を駆動させＤ方向にアーム１
４を前進させ同時に、キャリア２内の段部２ｃｍ２ｃ”
にウェハ３Ｃを収納するために、昇降機４を下方に微動
させ、ウェハ３ｃを段部２Ｃ−２Ｃ’　に収納する旨の
命令をする。そして、［相］工程でウェハ３Ｃは段部２
ｃｍ２ｃ”に載置され昇降機４は１段上昇し、再び［相
］の工程に戻り以降の工程を操り返すことになる。最後
のウェハ３ａのウェハ検査が終了して［相］の工程を終
了すると、［相］の工程へ移り、ＣＰＵ１７はキャリア
２に収納された全ウェハについてウェハ検査が終了した
ことを判別する。こうして第５図のフローチャートにし
たがった動作が終了する。この後は昇降機４が下降され
、搬送機構によりパレット１がＡ方向に搬送される。

尚１本実施例では投光器６ａ、６ｂ、３０と受光器７ａ
、７ｂ、３１とＣＰＵ１７とで姿勢検査手段が構成され
ている。

（実施例２） 第８図〜第１２図は本発明の実施例２を示し、第８図は
実施例装置の斜視図、第９図はキャリアの断面図、第１
０図はブロック図、第１１図及び第１２図はフローチャ
ートである。

実施例２の装置の構成は実施例１と比べるとアーム１４
上に投光器３０と受光器３１が取付られていないだけで
それ以外は同様なので実施例２の装置の構成の説明は省
略する。

第１０図に示す如く、前述したモータ５．１２．１５．
３２は全て、演算処理部、メモリ一部、１１０部等から
なるマイクロコンピュータ２７　（以下ＣＰＵと称す）
により制御される。また接触センサ１６もＣＰＵ２７に
接続されている。

以下第１１図及び第１２図のフローチャートを参照して
実施例装置の動作を説明する。

まず搬送機構によりパレット１がＡ方向に駆動され、パ
レット１が所定位置にもたらされると、ＣＰＵ２７から
０初期検出位置セットの指令力咄力される。そしてモー
タ５　（図示せず）が駆動されて昇降［４がパレット１
を上昇させ、キャリア２の最上段２ａ−２ａ’　に載置
されたウェハ３ａが投光６ａ、６ｂから開口２Ｎ、２Ｍ
を介して受光器７ａ、７ｂへ至る光路内に位置づけられ
ると、昇降機４が動作を停止する。次にＣＰＵ２７は０
工程で受光器７ａ、７ｂの出力を取り込み、ウェハの姿
勢を判別する。

第２図において・印で示した２１ａ、２１ｂはそれぞれ
投光器６ａ、６ｂから受光器７ａ、７ｂへ至る光路を示
す。すなわち第９図の如く段部２ａ−２ａ”の上にウェ
ハ３ａが正しい姿勢で載置されていれば、受光器？ａ、
７ｂの出力はともに大きく減小することとなり、ＣＰＵ
２７はウェハが正しい姿勢で載置されていることを判別
する（Ｘ）。ウェハが正しい姿勢で載置されていること
を判別すると、ＣＰＵ２７は０工程で判別出力をメモリ
ーに記憶する。次にＣＰＵ２７は０工程でウェハを全数
チェックしたかを判別する。この場合、−枚目のウェハ
がチェックされたばかりであるから、判別出力は全数チ
ェックされていない旨の出力となる。したがって、ＣＰ
Ｕ２７は０工程でモータ５を作動し、昇降機４を予め設
定されたキャリアの１段分、詳しくはある段部からこの
段部に隣接する別の段部に至る距離だけ上昇させる。そ
して２段目２ｂ−２ｂ”に載置されたウェハ３ｂが投光
器６ａ、６ｂから受光器７ａ、７ｂへ至る光路内に位置
づけられる。第９図の・印２２ａ、２２ｂはこの時の光
路を示す。この場合。

ウェハ３ｂは段部２ｂ−２ｂ’　に正しい姿勢で載置さ
れているので再び前述した０〜＠の工程を経て、昇降機
４がキャリアの１段分さらに上昇する。

そしてＣＰＵ２７は■の工程へ至る。第９図の・印２３
ａ、２３ｂはこの時の投光器６ａ、６ｂから受光器７ａ
、７ｂへ至る光路を示す。この場合は本来３段目２ｃｍ
２ｃ’　に載置されているはずのウェハ３Ｃが３段目の
段部２ｃと４段目の段部２ｂ’　の間に斜めに載置され
ている。したがって、ＣＰＵ２７は受光器７ａ、７ｂの
出力より、すなわち７ａの出力が小さく、７ｂの出力が
大きいことより、ウェハ３ｃが正しい姿勢で載置されて
いないことを判別（ｙ）Ｌ＠工程で判別出力をメモリー
に記憶する。次に、ＣＰＵ２７は光路（投光器６ａ、６
ｂから受光器７ａ、７ｂへ至る光路）とキャリア２内に
傾けられて載置されたウェハ３Ｃとの交点（３Ｇ７，３
Ｃ２）を検出するために、昇降ｍ４を上方（Ｂ方向）へ
微動させる旨の命令をする。そして、０、＠の工程に移
行する。昇降機４は上方に微動し受光器６ｂで検出され
る出力が最小になる位置（３Ｃ，）を検出しその位置（
３Ｃｏ）枢伯工程でメモリーに記憶される。［相］、■
の工程も同様に昇降機４は上方へ微動し、もう一方の受
光器６ａで検出される出力が最小になる位置（３Ｃ２）
を検出し、その位置（３Ｃ２）もＯ工程でメモリーに記
憶される。次にＯの工程に移りＣＰＵ２７は０、Ｏの工
程で記憶された情報から第９図に示すように水平方向と
ウェハ３Ｃが傾けられて載置された方向とのなす角θを
求めてＯ工程でメモリーに記憶される。次に０の工程を
経て０の工程に移行し、第９図に示すように、水平（キ
ャリア内にウェハを正しい姿勢で載置する）方向に対し
て垂直方向における３ｃ、、３Ｃ２の位置が段部２ｃｍ
２ｃ’　、２ｄ−２ｄ’の間に存在するためにＣＰＵ２
７はその隣接した段部２ｅ−２ｅ’　まで昇降機４を上
昇させ、０の工程に戻る。

キャリア２の５段目２ｅ−２ｅ’　のウェハ３ｅは正し
い姿勢されているので再び０〜０の工程を経て昇降機４
はキャリア２の１段分上昇する。

段部２ｆ−２ｆ”上に本来載置されているべきウェハの
位置を、投光器６ａ、６ｂから受光器７ａ、７ｂへ至る
光路内に位置づける。しかしながらこの段部２ｆ−２１
上にはウェハが存在していない。したがってＣＰＵ２７
が０工程での判別動作に移ると、受光器７ａ、７ｂの出
力がともに大きいことからＣＰＵ２７は段部２ｆ−２１
上にウェハが存在しないことを判別する（２）。そして
ＣＰＵ２７はＯ工程で判別出力をメモリーに記憶する。

次にＣＰＵ２７は０、＠の工程を経て、再び０の工程に
戻り、◎〜０の工程を繰り返すことにより各段にウェハ
が正しい姿勢で載置されているか否かを判別してゆく。

そして最下段のウェハ３７！が投光器６ａ、６ｂと受光
器７ａ、７ｂとを結ぶ光路内に位置づけられ、０．０の
工程を経て、■の工程に至り、ウェハを全数チェックし
たことを判別すると、第１２図のフローチャートに従っ
た動作に移る。

上述した記載から明らかなように第１１図のフローチャ
ートでは、■の工程で、ウェハの姿勢が正しいと判別さ
れた場合（Ｘ）には０〜＠を経て４２へ戻る。また姿勢
が正しくないと判別された場合（ｙ）には［有］〜０．
０．０の工程を経７０工程へ戻る。さらにまたウェハが
存在しないと判別された場合（Ｚ）には工程Ｏ１０，０
を経て０へ戻る。

次にＣＰＵ２７の第１２図のフローチャートに従った動
作を説明する。まずＯ工程でＣＰＵ２７がキャリア２に
収納された全ウェハについてウェハ検査（後の工程）を
終了し、この後全ウェハがキャリア２に収納されたか否
かを判別する。この時点で全ウェハにっていウェハ検査
が終了し、全ウェハがキャリア２に収納されていれば第
１２図のフローは終了する。全ウェハについてウェハ検
査と収納がなされていなければ次の工程Ｏに移行する。

ＣＰＵ２７は工程ＯにおいてＣＰＵ２７のメモリーに蓄
積された情報（０、＠、０の判別出力）より、これから
取り出そうとするウェハが段部上に存在するか否かを判
別する。ウェハが存在しない場合は、工程Ｏに移行しＣ
ＰＵ２７がモータ５を駆動し、昇降機４をキャリアの１
段分下降させる。

取り出そうとするウェハが段部に存在すればＯの工程に
移行する。この実施例の場合にはキャリア２の最下段２
Ａ−１！’　にあるウェハ３１から取り出すように設定
されている。そして最下段２ｊ！−２ｎ’　にはウェハ
が存在し、更に正しい姿勢で載置されている。したがっ
て、＠、Ｑの工程の後に、ＣＰＵ２７がＯの工程でアー
ム１４をセットする旨の指令を出すと、モータ１２が駆
動され、オネジ９の回転とともに支持台１３がガイド棒
８に案内されてＤ方向に前進する。そしてアーム１４が
開口３Ｍよりうエバ３２の下、段部Ｈと２β゛の間に入
り込み、停止する。この時まだアーム１４とウェハ３７
！は接触していない。

次にＣＰＵ２７はＯの工程で昇降機４を下方へ微動する
旨の指令を出す。したがってモータ５が駆動され、昇降
機４がパレット１及びキャリア２を下方（Ｆ方向）へわ
ずかに移動する。次にＣＰＵ２７は［相］の工程で接触
センサ１６から信号を取込み、センサ１６にウェハ３１
が接触したか否かを判別する。

接触しない場合にはＯに戻り、接触するまで昇降ｗ、４
の下降を繰り返す。接触したことを判別した時には、Ｃ
ＰＵ２７はＯの工程で昇降機４をさらに下方へ微動する
旨の指令を出す。モータ５が駆動され、昇降機４がパレ
ット１及びキャリア２を下方（Ｆ方向）へわずかに移動
させる。その移動量はウェハ３１が段部２７！−２ｊ！
’かられずかに浮き、かつウェハ３１がその上の段部２
に−２に゛　　に接しない程度である。こうしてウェハ
３１がアーム１４の上に載置される。次にＣＰＵ２７は
Ｏの工程でウェハな取り出す旨の指令を出す。

モータ１２が駆動されて、支持台１３がＥ方向に後退し
、ウェハ３１が取り出される。その後、モータ１５が駆
動され、アーム１４がＣ方向に回転してウェハ検査装置
（不図示）にウェハ３１が供給される。

不図示のウェハ検査装置は供給されたウェハについてウ
ェハ検査を行なう。ＣＰＵ２７はＯの工程でウェハ検査
装置に供給されたウェハについてウェハ検査が終了した
か否かを判別する。ウェハ検査が終了していなければ所
定時間ごとにこの判別を繰り返す。これが待機状態であ
る。

ウェハ検査が終了したことを判別した時点で、Ｏ工程で
ウェハ３ｃがキャリア内に傾けられて載置されていたこ
とを判別（このことは後に説明する）し、０工程に移行
しＣＰＵ１７はの工程でウェハをキャリア２内の元の位
置に収納する。この動作はＯ−Ｏに示した動作と全く逆
の動作であるので詳述しない。こうしてウェハ検査を終
了したウェハ３１が元の位置（２Ｍ！−２Ａ”）に戻さ
れる。そしてｃ　Ｐ　Ｕ　２７　ａ；！（かの工程の最
後にモータ５を駆動し、昇降機４をキャリア１段分下降
させる。その後、ＣＰＵ２７はＯの工程に戻る。上述の
動作を繰り返すことによりウェハ３に、３ｊ−−３ｇの
ウェハ検査がなされていく。

ウェハ３ｇの検査を終了後、ウェハ３ｇはキャリア２内
に収納され再び動作はＯの工程に戻り、Ｏの工程に移る
。段部２ｆ−２ｆ”にはウェハが存在しないことをＣＰ
Ｕ２７は判別しＯ工程で昇降機４をキャリア１段分下降
させる。再びＯの工程に戻りＯの工程を経てＯの工程に
移る。ＣＰＵ２７は段部２ｅ−２ｅ’　にウェハ３ｅが
正しい姿勢で載置されていることを判別（０の判別出力
）しＯ−＠の工程を経てＣＰＵ２７は昇降機４をキャリ
ア１段分下降させ動作は再びＯの工程に戻る。

同じように、Ｏの工程を経てＯの工程に移行する。しか
し、この場合ＣＰＵ２７はウェハ３ｃが段部２ｃｍ２ｃ
′と２ｄ−２ｄ’間で傾いた姿勢で載置されていると判
別（＠の判別出力）する。

するとＣＰＵ２７がアーム１４をセットする旨の命令を
出し、今までの動作と同様に、モータ１２が駆動され、
オネジ９の回転により支持台１３がガイド８棒に案内さ
れてＤ方向に前進する。そして、アーム１４が開口２Ｍ
より傾けられて載置されたウェハ３Ｃの下、段部２ｄと
２ｄ’　の間に入り込み、停止する。次にＯ工程に移り
ＣＰＵ２７はアーム１４をキャリア２内に傾けて載置さ
れたウェハ３Ｃとの平行を合わせるためにＯ工程で記憶
された情報よりθだけアーム１４を傾ける旨の命令をす
る。これにより、第１３図に示すようにモータ３２が駆
動しアーム１４はウェハ３ｃと平行になるように、Ｇ方
向にθだけ傾けられる。

アーム１４とウェハ３ｃが平行になると、［相］工程に
移行する。

ＣＰＵ２７は昇降機４を下方へ微動する旨の命令を出す
。したがって、モータ５が駆動され、昇降機４がパレッ
ト１及びキャリア２を下方（Ｆ方向）へわずかに移動さ
せる。次にＣＰＵ２７は接触センサ１６からの信号を取
り込み、センサ１６にウェハ３ｃが接触したことを判別
すると、昇降機４をわずかに下方に移動させる。この移
動量はウェハ３ｃが段部２ｃ〜２ｄ’かられずかに浮く
程度である。次にＣＰＵ２７はモータ１２を駆動させウ
ェハ３ｃを取り出し、キャリア２からウェハ３Ｃを取り
出した時点でモータ３２を駆動させてアーム１４を水平
に戻し、つぎの検査工程に供給する。検査を終了するヘ
ノ工程に移行する。

［有］工程について説明する。キャリア２がらウェハ３
ｃを取り出してから＠の工程までの間、アーム１４はキ
ャリア２の段部２ｃｍ２ｃ’　と２ｄ−２ｄ’　間の高
さにあるためにこのままではキャリア２内に収納するこ
とができない。そのため、ウェハ３Ｃを段部２ｃｍ２ｃ
’　に収納するためにＣＰＵ２７は昇降機４を下方に微
動させなければならない。このことから、昇降機４を下
方に微動させるには、まずＣＰＵ２７はウェハがキャリ
ア内で傾けられて載置されていたかどうかを判別しなけ
ればならない。そのため、ＣＰＵ２７はウェハ３Ｃがキ
ャリア内で傾けられて載置されていたことを判別し、＠
工程に移行する。

ＣＰＵ２７はモータ１２を駆動させてＤ方向にアーム１
４を前進させ、同時にキャリア２内の段部２　ｃ　−２
ｃ　’にウェハ３ｃを収納するために、昇降機４を下方
に微動させ、ウェハ３ｃを段部２ｃｍ２ｃ′に収納する
旨の命令を出す。そして、■工程でウェハ３ｃは段部２
ｃｍ２ｃ”に載置され昇降機４は１段上昇し、再びＯの
工程に戻り以降の工程を繰り返すことになる。

最後、のウェハ３ａのウェハ検査が終了して０の工程を
終了すると、ｏの工程へ移り、ＣＰＵ１７はキャリア２
に収納された全ウェハについてウェハ検査が終了したこ
とを判別する。こうして第１２図のフローチャートに従
った動作が終了する。

この後は昇降機４が下降され、搬送機構によりパレ゛ン
ト１がＡ方向に搬送される。

上述した如く本実施例によれば、投光器６ａ、６ｂ及び
受光器７ａ、７ｂによりキャリア内の各ウェハの姿勢を
検知することができる。したがって、ウェハが正しい姿
勢にない場合でもウェハを取り出すことができ、アーム
の先端が斜めに収納されたウェハの端面に当接し、ウェ
ハ自身あるいはアームを壊してしまうことがない。

尚、本実施例では投光器６ａ、６ｂと受光器７ａ、７ｂ
、とＣＰＵ２７とで姿勢検知手段が構成されている。

上述した実施例ではキャリアがウェハを収納している場
合について述べたが、ウェハがレチクルであっても全く
同様である。

また上述した実施例ではキャリアから取り出したウェハ
をウェハ検査装置に供給したが、必ずしもウェハ検査装
置に供給しなくともよい。すなわちその他の別の装置に
供給するようにしてやってもよい。

（発明の効果） 以上詳述した如く本発明によれば、キャリア内で基板が
傾けられて載置されていても、基板自身あるいは基板を
取り出す保持手段を破壊せずにその基板ウェハを取り出
すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第７図は本発明の実施例１を示し、第１図は実
施例装置の斜視図、第２図はキャリアの断面図、第３図
はブロック図、第４図は各ウェハの状態を検知する時の
フローチャート、第５図は各ウェハを取り出す時のフロ
ーチャート、第６図、第７図は傾けて載置されたウェハ
の状態を検知する時のキャリアの断面図である。 第８図〜第１２図は本発明の実施例２を示し、第８図は
実施例装置の斜視図、第９図はキャリアの断面図、第１
Ｏ図はブロック図、第１１図は各ウェハの状態を検知す
る時のフローチャート、第１２図は各ウェハを取り出す
時のフローチャートである。 第１３図は傾けられて載置されたウェハに対してアーム
をθ傾けて平行を合わせた時のキャリアの断面図である
。 〔主要部分の符号の説明〕 ２−−ｍ−キャリア ２ａ−２ａ’　、２ｂ−２ｂ’　−−−−２１２−２１
１’−一一一段部 ３　ａ、　３　ｂ−−−−−−−−３４！　　　−−−
−ウェハ５．１２．１５−−−−モータ ３２−−−−モータ（姿勢制御手段の一例）８−−一一
ガイド棒 ９−−一一オネジ １０．１１−−−一支持板 １３−−−−アーム支持台 １３ａ−−−−回転軸 １４−−−−アーム １６−−−−接触センサ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 キャリア内に並列に収納された基板を保持手段で保持し
   、該保持手段を移動させることにより基板を一枚ずつキ
   ャリアから取出す基板取り出し装置に於いて、 収納された基板の姿勢を非接触で検知する姿勢検知手段
   と、前記保持手段の姿勢制御手段と、前記検知手段から
   出力された基板の姿勢信号に基づいて、前記保持手段が
   基板を誤りなく保持できる姿勢となる駆動信号を前記姿
   勢制御手段に出力する演算手段とを備えてなる基板取り
   出し装置。