JPS6346995B2 - - Google Patents
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体レーザー装置、特に高電圧側電極
に高電圧電流を供給する回路の耐絶縁性を向上さ
せることにより、電極への印加電圧を上げて大き
な出力のレーザービームが得られるようにした気
体レーザー装置に関するものである。Detailed Description of the Invention The present invention improves the insulation resistance of a gas laser device, particularly a circuit that supplies high voltage current to a high voltage side electrode, thereby increasing the voltage applied to the electrode and producing a large output laser beam. The present invention relates to a gas laser device capable of obtaining the following.
ガスレーザー媒質を無声放電により励起して、
連続してレーザービームを放出させる気体レーザ
ー装置が周知であり、そのレーザービームを利用
して金属等の穴明け、溶接その他の加工が行われ
ている。 Excite the gas laser medium by silent discharge,
2. Description of the Related Art Gas laser devices that continuously emit a laser beam are well known, and the laser beam is used to perform drilling, welding, and other processing in metals and the like.
以下気体レーザー装置のうち、高出力無声放電
式の炭酸ガスレーザーを例にとつて説明する。第
１図は上記炭酸ガスレーザーの構造を示す原理図
であり、第２図はその電極の詳細説明図である。 Among gas laser devices, a high-output silent discharge type carbon dioxide laser will be described below as an example. FIG. 1 is a principle diagram showing the structure of the carbon dioxide laser, and FIG. 2 is a detailed explanatory diagram of its electrodes.
第１図において１０は接地側電極である金属電
極で、接地側電極１０は接地線１１を介して接地
されている。１２は高電圧側電極である誘電体電
極で、金属性の高電圧側電極１２の表面は誘電体
１４で被覆されている。１６は放電空間であり、
放電空間１６の両端には全反射鏡１８および部分
反斜鏡２０が固定配置され、光共振器が形成され
ている。２２は当該炭酸ガスレーザーを収納して
いる容器であり、容器２２内には放電空間１６内
を循環するレーザー媒質を冷却するための熱交換
器２４およびレーザー媒質を加速するためのブロ
ワー２６が装填されている。 In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a metal electrode which is a grounding side electrode, and the grounding side electrode 10 is grounded via a grounding wire 11. A dielectric electrode 12 is a high voltage side electrode, and the surface of the metallic high voltage side electrode 12 is covered with a dielectric 14 . 16 is a discharge space;
A total reflection mirror 18 and a partial anti-oblique mirror 20 are fixedly arranged at both ends of the discharge space 16 to form an optical resonator. 22 is a container housing the carbon dioxide laser, and a heat exchanger 24 for cooling the laser medium circulating in the discharge space 16 and a blower 26 for accelerating the laser medium are loaded in the container 22. has been done.
２８は誘電体電極１２を冷却するための純水を
冷却する冷却器であり、３０は冷却水を供給する
ためのポンプであり、３２は冷却水を純水化する
ためのイオン交換樹脂を内蔵した純水器である。
３４は交流電源を示し、交流電源３４により誘電
体電極１２と、接地側電極１０とに高電圧電流が
供給されるようになつている。 28 is a cooler for cooling pure water for cooling the dielectric electrode 12, 30 is a pump for supplying cooling water, and 32 is a built-in ion exchange resin for purifying the cooling water. It is a water purifier.
Reference numeral 34 indicates an AC power supply, and the AC power supply 34 supplies high voltage current to the dielectric electrode 12 and the ground side electrode 10.
以上のような構成により、交流電源３４から
10KHz、10KV（実効値）程度の高電圧高周波電流
が電極１０，１２間に印加されると、放電空間１
６に無声放電として知られる安定なグロー状の放
電が生起される。 With the above configuration, from the AC power supply 34
When a high voltage, high frequency current of about 10 KHz and 10 KV (effective value) is applied between the electrodes 10 and 12, the discharge space 1
6, a stable glow-like discharge known as a silent discharge is generated.
放電空間１６内にはレーザー媒質が循環してお
り、レーザー媒質は、通常炭酸ガスを主成分と
し、ヘリウム、チツ素等を含む混合ガスが用いら
れている。レーザー媒質は、溶器２２内の熱交換
器２４により冷却され、ブロワー２６により加速
されて、放電空間１６内を放電方向と直交して循
環するように構成されている。このレーザー媒質
が循環している放電空間にグロー放電が生起され
ると、その放電エネルギがレーザー媒質に与えら
れて炭酸ガス分子がレーザー励起され、前述した
レーザー媒質の循環方向および放電方向の両者と
直交するすなわち光共振器の光軸方向にレーザー
ビームの励起が行われ、光共振器による共振増幅
が行われた後、その一部が部分反射鏡２０からレ
ーザービームとして外部へと放出される。 A laser medium circulates within the discharge space 16, and the laser medium is usually a mixed gas containing carbon dioxide gas as a main component and helium, nitrogen, and the like. The laser medium is cooled by a heat exchanger 24 in the fuser 22, accelerated by a blower 26, and is configured to circulate within the discharge space 16 perpendicular to the discharge direction. When a glow discharge is generated in the discharge space in which this laser medium is circulating, the discharge energy is given to the laser medium and carbon dioxide molecules are excited by the laser, which causes both the circulation direction of the laser medium and the discharge direction as described above. The laser beam is excited perpendicularly, that is, in the direction of the optical axis of the optical resonator, and after resonance amplification is performed by the optical resonator, a portion of the excitation is emitted from the partially reflecting mirror 20 to the outside as a laser beam.
なお、放電空間１６内を循環するレーザー媒質
の温度が上昇すると、レーザー発振のエネルギ効
率およびその出力が低下するため、レーザー媒質
は、熱交換器２４にて冷却され、かつブロワー２
６にて高速循環されて、レーザー媒質の温度上昇
が一定値以下に抑制されている。同様に誘電体電
極１２の温度上昇による誘電体１４の熱破壊を防
止するために誘電体電極１２内には冷却水が強制
循環され、直接冷却されるようになつており、冷
却水は冷却器２８内で冷却され純水器３２により
純水化されてポンプ３０により強制供給されてい
る。 Note that when the temperature of the laser medium circulating in the discharge space 16 increases, the energy efficiency of laser oscillation and its output decrease, so the laser medium is cooled by the heat exchanger 24 and
6, the laser medium is circulated at high speed to suppress the temperature rise of the laser medium to below a certain value. Similarly, in order to prevent thermal breakdown of the dielectric 14 due to a rise in the temperature of the dielectric electrode 12, cooling water is forcedly circulated within the dielectric electrode 12 for direct cooling. The water is cooled in 28, purified by a water purifier 32, and then forcibly supplied by a pump 30.
第２図に示す炭酸ガスレーザー装置の電極の詳
細説明図により誘電体電極の構造をさらに詳しく
説明すると、誘電体電極１２には高圧線３６を介
して交流電源３４からの高電圧電流が供給され、
高圧線３６は導線３８が高耐電圧の絶縁体４０に
て被覆された構造から成り、また高圧線３６は高
圧ブツシング４２により容器２２に絶縁保持され
ている。誘電体電極１２の内部には冷却パイプ４
４ａの一方から冷却水が供給され、また他の冷却
パイプ４４ｂから誘電体電極１２内の冷却水が排
出され、両パイプ４４ａ、および４４ｂは絶縁ポ
ート４６により容器２２に絶縁保持されている。
前述した両パイプ４４ａ、および４４ｂは、可撓
性を有する高耐電圧パイプから形成されている。 The structure of the dielectric electrode will be explained in more detail with reference to the detailed explanatory diagram of the electrode of the carbon dioxide laser device shown in FIG. ,
The high voltage wire 36 has a structure in which a conducting wire 38 is covered with an insulator 40 having a high withstand voltage, and the high voltage wire 36 is insulated and held in the container 22 by a high voltage bushing 42. A cooling pipe 4 is provided inside the dielectric electrode 12.
Cooling water is supplied from one of the cooling pipes 4a, and the cooling water inside the dielectric electrode 12 is discharged from the other cooling pipe 44b, and both pipes 44a and 44b are insulated and held in the container 22 by an insulating port 46.
Both pipes 44a and 44b described above are formed from flexible high voltage withstand pipes.
以上説明したように炭酸ガスレーザー装置の誘
電体電極１２には高電圧電流が供給されるので、
その高電圧供給回路は絶縁耐力の大きなものでな
ければならない。 As explained above, since high voltage current is supplied to the dielectric electrode 12 of the carbon dioxide laser device,
The high voltage supply circuit must have a high dielectric strength.
しかしながら、従来装置においては、前述した
ように高圧ブツシング４２と絶縁体４０に被覆さ
れた高圧線３６との接続部分４８、および高圧線
３６と誘電体電極１２との接続部分４９の高圧線
３６の導線３８の一部が外部に露出しているの
で、露出した導線３６の一部と金属製の容器２２
との間に放電破壊を生ずる恐れがあり、必ずしも
充分な絶縁耐力を得られないという欠点があつ
た。そのため誘電体電極１２への印加電圧が制限
され、レーザー装置への投入電力の増加が図れず
大きな出力レーザービームを従来構造の炭酸ガス
レーザー装置から取り出すことが出来なかつた。
この様な放電破壊を防止するのには露出導線をエ
ポキシ樹脂等の絶縁物で被覆する必要があるが、
この様な絶縁物で露出した高圧線３６の接続部分
４８，４９を被覆してしまうと、高圧電流供給回
路や誘電体電極１２の保守、交換が困難となる難
点がある。 However, in the conventional device, as described above, the connection portion 48 between the high voltage bushing 42 and the high voltage wire 36 covered with the insulator 40, and the connection portion 49 between the high voltage wire 36 and the dielectric electrode 12, Since a part of the conducting wire 38 is exposed to the outside, the exposed part of the conducting wire 36 and the metal container 22
There is a possibility that discharge breakdown may occur between the two, and there is a drawback that sufficient dielectric strength cannot necessarily be obtained. Therefore, the voltage applied to the dielectric electrode 12 is limited, and the power input to the laser device cannot be increased, making it impossible to extract a large output laser beam from the carbon dioxide laser device of the conventional structure.
In order to prevent such discharge damage, it is necessary to cover the exposed conductor with an insulating material such as epoxy resin.
If the exposed connecting portions 48 and 49 of the high voltage wire 36 are covered with such an insulator, maintenance and replacement of the high voltage current supply circuit and the dielectric electrode 12 will be difficult.
また、高圧線３６自体も、金属製の導線３８が
誘電体である絶縁体４０で被覆されており、前述
した誘電体電極１２と同様の構成を成していて、
高圧線３６と高圧線付近の容器２２の内壁との間
には火花放電破壊には至らなくとも微細な無声放
電を生ずる場合があり、これは高圧線３６の表面
劣化の原因となつている。これを防止するのに
は、高圧線３６の導線３８を被覆している絶縁体
４０を厚くし、高圧線３６の絶縁耐力を上げる必
要があるが、この様な厚い絶縁体４０を用いた特
殊な高圧線は別途制作しなければならずその入手
が困難である等の難点がある。 In addition, the high voltage line 36 itself has a metal conducting wire 38 covered with an insulator 40 that is a dielectric, and has the same configuration as the dielectric electrode 12 described above.
A minute silent discharge may occur between the high-voltage line 36 and the inner wall of the container 22 near the high-voltage line, even if it does not cause spark discharge damage, and this is a cause of surface deterioration of the high-voltage line 36. To prevent this, it is necessary to thicken the insulator 40 covering the conductor 38 of the high voltage line 36 to increase the dielectric strength of the high voltage line 36. There are some drawbacks, such as the fact that the high-voltage wire must be manufactured separately and is difficult to obtain.
さらに、上述高圧線３６と容器２２内壁との間
の放電破壊を防止するために、高圧線３６と容器
２２との間の距離を充分確保する必要があり、こ
れが当該レーザー装置をより小型化することがで
きず、その容器２２内の空間利用率を低下させる
一因となつている。 Furthermore, in order to prevent discharge damage between the high voltage line 36 and the inner wall of the container 22, it is necessary to ensure a sufficient distance between the high voltage wire 36 and the container 22, which makes the laser device more compact. This is one of the causes of a decrease in the space utilization rate within the container 22.
本発明は上記従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は気体レーザー装置の高電圧側電
極に高圧電流を供給する耐絶縁性の良好な供給回
路を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and its object is to provide a supply circuit with good insulation resistance for supplying high voltage current to the high voltage side electrode of a gas laser device.
上記目的を達成するために、本発明は、放電容
器内に配設された高電圧側電極と接地側電極間に
外部電源から高周波交流高電圧を印加して両電極
間で無声放電を行い、放電空間のレーザ媒質を励
起する気体レーザー装置において、前記高電圧側
電極の高電圧電流供給回路に用いる高圧線を、導
線を中心として同軸状にその内側から順に固体絶
縁物、絶縁性気体、固体絶縁物で覆い、且つ外側
の固体絶縁物先端部を前記高電圧側電極に密着固
定して容器内部における高圧線全体を容器内の放
電空間から完全に遮断したことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention applies a high frequency AC high voltage from an external power supply between a high voltage side electrode and a ground side electrode arranged in a discharge vessel to cause a silent discharge between the two electrodes. In a gas laser device that excites a laser medium in a discharge space, the high-voltage wire used for the high-voltage current supply circuit of the high-voltage side electrode is coated with a solid insulator, an insulating gas, and a solid in order from the inside coaxially around the conductor. It is characterized in that it is covered with an insulator, and the tip of the outer solid insulator is closely fixed to the high voltage side electrode, so that the entire high voltage line inside the container is completely isolated from the discharge space inside the container.
本発明において、高電圧側電極である誘電体電
極の高圧電流供給回路の導線を被覆している内側
および外側の両固体絶縁物に可撓性部材を用いる
ことが好適であり、また誘電体電極の高圧電流回
路の導線を被覆している固体絶縁物内の絶縁性気
体として空気を用いることも好適である。 In the present invention, it is preferable to use flexible members for both the inner and outer solid insulators covering the conductor wire of the high-voltage current supply circuit of the dielectric electrode, which is the high-voltage side electrode. It is also suitable to use air as the insulating gas within the solid insulation covering the conductors of the high voltage current circuit.
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例につ
いて説明する。 Preferred embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第３図には本発明に係る気体レーザー装置の好
適な実施例が示され、第２図の従来装置と同一部
材には同一符号を付して説明を省略する。 FIG. 3 shows a preferred embodiment of the gas laser device according to the present invention, and the same members as those in the conventional device shown in FIG. 2 are given the same reference numerals and their explanations will be omitted.
本発明において特徴的なことは、誘電体電極１
２へ高圧電流を供給する高圧線３６が、導線３８
を中心として同軸状にその内側から可撓性を有す
るチユーブ状の固体絶縁物５０、絶縁性気体５２
である空気、さらに可撓性を有するチユーブ状の
固体絶縁物５４で被覆されていることである。ま
た高圧線３６と高圧ブツシング４２との接続部分
４８は、容器２２の外部の大気中に露出してお
り、高圧線３６は絶縁ポート５６により固体絶縁
物５４に被覆されたままで容器２２に絶縁保持さ
れている。高圧線３６を覆つているチユーブ状の
固体絶縁物５０、および５４の先端は容器２２内
より外部に突出していて高圧線３６の内側および
外側を被覆している固体絶縁物５０，５４の内部
空間に大気中の空気が自由に流入できるようにな
つている。高圧線３６を被覆している外側のチユ
ーブ状の固体絶縁物５４の電極側先端は、容器２
２内の誘電体電極１２の表面に直接固着され、封
ぜられている。 The characteristic feature of the present invention is that the dielectric electrode 1
The high voltage wire 36 that supplies high voltage current to the conductor 38
A tube-shaped solid insulator 50 and an insulating gas 52 having flexibility coaxially from the inside centering on the
It is covered with air and a flexible tube-shaped solid insulator 54. Further, a connecting portion 48 between the high voltage wire 36 and the high voltage bushing 42 is exposed to the atmosphere outside the container 22, and the high voltage wire 36 is kept insulated in the container 22 while being covered with the solid insulator 54 through the insulating port 56. has been done. A tube-shaped solid insulator 50 covering the high-voltage wire 36 and an inner space of the solid insulators 50 and 54 whose tips protrude outside from the inside of the container 22 and cover the inside and outside of the high-voltage wire 36 air from the atmosphere can freely flow into the area. The electrode-side tip of the outer tube-shaped solid insulator 54 covering the high-voltage wire 36 is connected to the container 2.
It is directly fixed to the surface of the dielectric electrode 12 inside the electrode 2 and sealed.
従つて、本発明において、容器２２内における
高圧線３６は完全に放電空間から遮断されること
となり、両固体絶縁物５０及び５４間の絶縁空間
は、大気に連通した全くの別空間となることが埋
解される。 Therefore, in the present invention, the high voltage line 36 inside the container 22 is completely cut off from the discharge space, and the insulation space between the two solid insulators 50 and 54 becomes a completely separate space that communicates with the atmosphere. is buried.
この結課、供給される高周波交流高電圧が容器
２２の絶縁ポート５６から誘電体電極１２への伝
送径路中で容器２２内部の低気圧空間に向けて無
声放電を発生することはほぼ完全に防止でき、容
器２２と高圧線３６との間における放電破壊及び
これに伴う電圧伝送効率の低下を効果的に防止可
能となる。 This consequence almost completely prevents the supplied high-frequency AC high voltage from generating silent discharge toward the low-pressure space inside the container 22 in the transmission path from the insulated port 56 of the container 22 to the dielectric electrode 12. This makes it possible to effectively prevent discharge breakdown between the container 22 and the high-voltage line 36 and the resulting decrease in voltage transmission efficiency.
レーザー媒質は前述のように炭酸ガス、チツ
素、ヘリウムの混合ガスであり、その容器２２内
への最適封入圧は通常100Torr前後であり、高く
ても300Torrである。この様な低気圧のレーザー
媒質中では、大気中で放電を発生させる場合に比
べて、約５分の１程度の電圧で放電を生じさせる
ことができる。換言すれば高圧線３６を包む固体
絶縁物５０，５４間の大気圧と同一の気圧を有す
る空気は、容器２２内の気体すなわちレーザー媒
質よりもはるかに耐絶縁性に富んでおり、高圧線
３６は従来のものと比較してさらにチユーブ状の
固体絶縁体５４で被覆されているため、高圧線３
６の耐絶縁性が従来のものと比べて飛躍的に向上
し、容器２２と高圧線３６との間の放電破壊をほ
ぼ完壁に防止することができる。 As mentioned above, the laser medium is a mixed gas of carbon dioxide, nitrogen, and helium, and the optimal sealing pressure in the container 22 is usually around 100 Torr, and at most 300 Torr. In such a low-pressure laser medium, a discharge can be generated at a voltage that is about one-fifth of that in the case of generating a discharge in the atmosphere. In other words, air having the same pressure as the atmospheric pressure between the solid insulators 50 and 54 surrounding the high-voltage line 36 has much better insulation resistance than the gas in the container 22, that is, the laser medium, and the high-voltage line 36 is further covered with a tube-shaped solid insulator 54 compared to the conventional one, so the high voltage line 3
The insulation resistance of 6 is dramatically improved compared to the conventional one, and discharge breakdown between the container 22 and the high voltage line 36 can be almost completely prevented.
なお上述実施例において固体絶縁物５０，５４
として可撓性を有する部材を用いているが、これ
は高圧電流供給路の取り付け、保守を容易とする
ためであり、場合によつては可撓性部材を用いな
くても良い。 Note that in the above embodiment, the solid insulators 50, 54
Although a flexible member is used as the structure, this is to facilitate installation and maintenance of the high-voltage current supply path, and depending on the case, the flexible member may not be used.
また、絶縁性気体５２として簡便さを目的に大
気中の空気を利用しているが、N2、SF6などの耐
絶縁性気体を簡単な気体封入手段を用いて高圧線
３６を被覆している内側と外側の固体絶縁物５
０，５４間に封入するようにしても良い。 Although air in the atmosphere is used as the insulating gas 52 for simplicity, it is also possible to coat the high voltage line 36 with an insulating gas such as N 2 or SF 6 using a simple gas filling means. Inside and outside solid insulation 5
It may be enclosed between 0 and 54.
この様に、本発明によれば、容器２２内の高電
圧側電極である誘電体電極１２への高圧電流供給
路の高圧線３６の導線３８の露出部分が無くな
り、かつ高圧線３６の耐絶縁性が飛躍的に向上す
る結果、誘電体電極１２あるいは金属高圧電極６
２への印加電圧を上げて大出力のレーザー装置を
供給することが可能となる。 As described above, according to the present invention, there is no exposed portion of the conductor 38 of the high voltage wire 36 in the high voltage current supply path to the dielectric electrode 12 which is the high voltage side electrode in the container 22, and the insulation resistance of the high voltage wire 36 is eliminated. As a result, the dielectric electrode 12 or the metal high voltage electrode 6
By increasing the voltage applied to 2, it becomes possible to supply a high output laser device.
また、高圧線３６は従来のごとく固体絶縁体５
０で被覆され、さらに絶縁性気体５２、および固
体絶縁体５４で覆われているため、耐絶縁性が著
しく向上し、従来装置で生ずる可能性のあつた高
圧線３６表面と容器２２との間の火花放電破壊は
勿論のこと、微細な無声放電の発生をも完全に防
止することができる。その結果高圧線３６の表面
劣化が生ぜず、また固体絶縁体５０の表面劣化も
生じなくる。また、この様に高圧線３６の絶縁耐
力が向上した結果容器２２に接近させて高圧電流
供給回を配置することができるようになり、装置
の小型化、容器内の空間利用率の向上が図れる。 In addition, the high voltage line 36 is covered with a solid insulator 5 as in the conventional case.
0, and is further covered with an insulating gas 52 and a solid insulator 54, the insulation resistance is significantly improved, and the gap between the surface of the high voltage line 36 and the container 22, which could occur in conventional equipment, is improved. It is possible to completely prevent not only spark discharge damage but also the occurrence of minute silent discharges. As a result, no surface deterioration of the high voltage line 36 occurs, and no surface deterioration of the solid insulator 50 occurs either. Furthermore, as a result of the improved dielectric strength of the high-voltage line 36, it is now possible to arrange the high-voltage current supply circuit close to the container 22, making it possible to downsize the device and improve space utilization inside the container. .
さらに、高圧線３６と高圧ブツシング４２との
接続部分が容器２２外部に露出しており、誘電体
電極１２や高圧線３６の修理、交換等の保守が容
易に行えるようになる。 Further, the connecting portion between the high voltage line 36 and the high voltage bushing 42 is exposed to the outside of the container 22, so that maintenance such as repair and replacement of the dielectric electrode 12 and the high voltage line 36 can be easily performed.
さらにまた、高圧電流供給回用として入手の困
難な絶縁性の高い特殊な高圧線３６を用いる必要
がなく、従来からある高圧線３６の外側を絶縁性
気体５２、および固体絶縁体５４で覆えば耐絶縁
性の大きい当該高圧電流供給路が得られる等の効
果を有する。 Furthermore, there is no need to use a special high-voltage wire 36 with high insulation properties that is difficult to obtain for high-voltage current supply circuits, and the outside of the conventional high-voltage wire 36 can be covered with an insulating gas 52 and a solid insulator 54. This has the effect of providing the high voltage current supply path with high insulation resistance.
第１図は従来の無声放電式炭酸ガスレーザー装
置の構成原理図、第２図はその電極部分の詳細説
明図、第３図はこの発明の好適な実施例を示す炭
酸ガスレーザー装置の電極部分の詳細説明図であ
る。
各図中同一部材には同一符号を付し、１０は低
電圧側電極、１２は高電圧側電極、１６は放電空
間、３６は高圧線、３８は導線、５０は固体絶縁
物、５２は絶縁性気体、５４は固体絶縁物であ
る。
Fig. 1 is a diagram showing the basic structure of a conventional silent discharge type carbon dioxide laser device, Fig. 2 is a detailed explanatory diagram of its electrode portion, and Fig. 3 is an electrode portion of a carbon dioxide laser device showing a preferred embodiment of the present invention. FIG. The same members in each figure are given the same symbols, 10 is the low voltage side electrode, 12 is the high voltage side electrode, 16 is the discharge space, 36 is the high voltage wire, 38 is the conductor, 50 is the solid insulator, and 52 is the insulation. 54 is a solid insulator.
Claims (1)
側電極間に外部電源から高周波交流高電圧を印加
して両電極間で無声放電を行い、放電空間のレー
ザ媒質を励起する気体レーザー装置において、 前記高電圧側電極の高電圧電流供給回路に用い
る高圧線を、導線を中心として同軸状にその内側
から順に固体絶縁物、絶縁性気体、固体絶縁物で
覆い、且つ外側の固体絶縁物先端部を前記高電圧
側電極に密着固定して容器内部における高圧線全
体を容器内の放電空間から完全に遮断したことを
特徴とする気体レーザー装置。 ２ 特許請求の範囲１記載の気体レーザー装置に
おいて、高電圧側電極の高電圧電流供給回路の導
線を被覆している内側及び外側の両固体絶縁物に
可撓性部材を用いたことを特徴とする気体レーザ
ー装置。 ３ 特許請求の範囲１、２のいずれかに記載の気
体レーザー装置において、高電圧側電極の高電圧
電流供給回路の導線を被覆している固体絶縁物内
の絶縁性気体として大気中の空気を用いたことを
特徴とする気体レーザー装置。[Claims] 1. A high frequency AC high voltage is applied from an external power source between a high voltage side electrode and a ground side electrode arranged in a discharge vessel to cause a silent discharge between the two electrodes, thereby discharging the laser medium in the discharge space. In a gas laser device that excites A gas laser device characterized in that the tip of the outer solid insulator is closely fixed to the high-voltage side electrode to completely isolate the entire high-voltage line inside the container from the discharge space inside the container. 2. The gas laser device according to claim 1, characterized in that flexible members are used for both the inner and outer solid insulators covering the conductor of the high voltage current supply circuit of the high voltage side electrode. gas laser device. 3. In the gas laser device according to claim 1 or 2, atmospheric air is used as an insulating gas in the solid insulator covering the conductor of the high voltage current supply circuit of the high voltage side electrode. A gas laser device characterized in that it is used.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12819479A JPS5651887A (en) | 1979-10-04 | 1979-10-04 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12819479A JPS5651887A (en) | 1979-10-04 | 1979-10-04 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5651887A JPS5651887A (en) | 1981-05-09 |
| JPS6346995B2 true JPS6346995B2 (en) | 1988-09-20 |
Family
ID=14978772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12819479A Granted JPS5651887A (en) | 1979-10-04 | 1979-10-04 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5651887A (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6194365U (en) * | 1984-11-26 | 1986-06-18 | ||
| JP2009041198A (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Furukawa Rock Drill Co Ltd | Tunnel work truck |
| CN102889432A (en) * | 2012-10-11 | 2013-01-23 | 武汉博莱科技发展有限责任公司 | Metal vacuum cavity electric insulation sealing device |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4868997A (en) * | 1971-12-23 | 1973-09-19 | ||
| JPS5018926A (en) * | 1973-06-11 | 1975-02-27 | ||
| JPS5247976U (en) * | 1975-09-30 | 1977-04-05 |
-
1979
- 1979-10-04 JP JP12819479A patent/JPS5651887A/en active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4868997A (en) * | 1971-12-23 | 1973-09-19 | ||
| JPS5018926A (en) * | 1973-06-11 | 1975-02-27 | ||
| JPS5247976U (en) * | 1975-09-30 | 1977-04-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5651887A (en) | 1981-05-09 |
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