JPS6345870A - 光電変換装置 - Google Patents

光電変換装置

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JPS6345870A
JPS6345870A JP61188535A JP18853586A JPS6345870A JP S6345870 A JPS6345870 A JP S6345870A JP 61188535 A JP61188535 A JP 61188535A JP 18853586 A JP18853586 A JP 18853586A JP S6345870 A JPS6345870 A JP S6345870A
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JP
Japan
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light
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photocell
light source
photocells
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JP61188535A
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JPH073881B2 (ja
Inventor
Yasuhiro Koyama
泰宏 小山
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数半導体受光素子を同一基板上に設けた光
電変換装置に関する。
〔従来技術〕
一般に各々直列接続されたフォトダイオードが同一基板
上に設けられた7オトダイオードアレフオトセルに例え
ば点光源の光を照射する場合、各フォトセルが受光する
光強度は異なり、光源から離れたフォトセルはど光強度
は弱くなる。等面積の7オトセルから得られる光電流は
照射される光強度に比例し、光源から離れたフォトセル
の光電流は光源に近いフォトセルの光電流より小さくな
る。これらのセルが直列に接続さrL&フォトダイオー
ドアレイに流れる短絡社流は光源から最も離れたセルに
流れる電流すなわち最小の光電流に決まる。一方1つの
フォトセルの開放電圧は光強度に大きく依存されずフォ
トダイオードアレイの線間放電圧は、各セルの開放電圧
の総和となるので受光面積を効率良く便用することがで
きなかった0 〔発明が解決する問題点〕 従来の等面積の7オトセルで構成されたフォトダイオー
ドアレイにおいて例えば点光源のように各7オトセルに
不均一な光が照射される場合、フォトセルが直列接線さ
れたフォトダイオードアレイに流れる電流が、各セルに
流れ得る電流のうち最小値に決まりてしまうことから光
源に近く受光強度の大きいフォトセルからより大きい電
流を得ることができず、−a流と電圧が制限されて、7
オトダイオードアレイの効率が悪いという欠点があった
本発明では、一定面積の7オトダイオードアレイにおい
て各セルからより大きい電圧及び電流が得られ、効率の
良い光電変換装置を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の光゛WL変換装置は、半導体基板上に複数設け
られる半導体受光素子の面積が各々半導体受光素子に照
射される光強度に対応して異なることを特徴とする。
〔作用〕
点光源から照射される光の強度は点光源からの距離によ
し決まり、点光源から離れる程、光強度が弱くなる。本
発明では、一定面積の光電変換装置において点光源から
近い半導体受光素子の受光面積を小さく、点光源から遠
い半導体受光素子の受光面積を大きく構成することによ
り、各セルに流れる短絡電流が略等しくなるようにした
。本発明では、従来の等面積の半導体受光素子で構成さ
れた光電変換装置のように得られる光電流が、最小値に
限定されることがない。
〔実施例〕
本発明の一実施例を第1図に示した例えばLEDのよう
な点光源1に対向して設置されたフォトダイオードアレ
イ2において説明する。同一半導体基板3上に各々が直
列接続されたフォトダイオードからなる複数のフォトセ
ル4が形成され、フォトダイオードアレイ2を構成して
いる。各々のフォトダイオード(フォトセル)4は、点
光源lからの距離によって受光面積を異にしており、点
光源1から最短距離に設置されたフォトセル40は最小
面積に形成され、点光源1から最長距離に設置されたフ
ォトセル4bは、最大面積に形成される。各々の7オト
セルは配線5により直列に接続されている。
上述し九−実施例の具体的実験例について説明する。こ
の実験は、全受光面積が一定のフォトダイオードプレイ
において、第2図に示す従来のような各々等しい受光面
積のフォトセルに光強度の異なる光を照射したものと、
本発明を施した第3図及び第4図に示すような各々受光
面積の異なるフォトセルに光強度の異なる光を照射した
ものとを使用した。これらのフォトセルに色温1i28
70にの標準タングステン電球から光を照射する。光強
度は照度計により測定し、照射する際、光強度の強い側
はフォトセルの受光面積を小さく、光強度の弱い側はフ
ォトセルの受光面積を大きく設定する。それぞれの7オ
トダイオードアレイの開放電圧及び短絡電流を各々電圧
計、電流計により測定し、比較をする。以下に測定の結
果を示す。
第2図(alはフォトダイオードプレイの平面図。
(b)は等価回路であり、フォトセル11及び12ti
それぞれ受光面積a、7(+aJ]の等しいフォトセル
であり、フォトセル11には1.0 (mW/cd 〕
の光、フォト七ル12には2.0 (mW/d )の光
を照射した結果、フォトセル11とフォトセル12とが
直列接続されたフォトダイオードアレイ 13から64
0(mV)の開放電圧、  11[μ入〕の短絡電流が
得られた。
次に第3図に示したフォトダイオードアレイ17は、受
光面積が8.7(J)の7オトセル14と、受光面積が
4.a5(j)の7オトセル2個15.16とから構成
される。フォトダイオード14に1.0 (mW/d)
の光、フォトタイオード15及び16に2.0 (mW
/、14 )の光を照射した結果、7オトダイオードア
レイ17から9ao(my)の開放電圧、11〔μ人〕
の短絡電流が得られた。
続いて第4図に示したフォトダイオードアレイ20は、
受光面積が10.88 (−〕の7オトセル18と受光
面積が6.52(j)のフォトセル19とかう構成され
る。フォトセル18に1.OC”W/cffl〕の光、
フォトセル19に2.0(mW/d)の光を照射した結
果、フォトダイオードアレイ20から640(mv)の
開放電圧、16〔μ人〕の短絡電流が得られた。
以上の結果より、等面積に構成された(セル)にそれぞ
れ照射される光強度が異なる場合(第2図)に比べ、第
3図のように光強度の強いフォトセルを分割して直列接
続した場合は、半導体受光素子アレイの総開放電圧がお
よそ1.5倍に向上した。また、第4図のように光強度
の弱いフォトセルの受光面積の占める割合を大きくとる
と7オトダイオードアレイの短絡電流は、およそ1.5
倍に向上した。このように光強度によってフォトセルの
受光面積を最適化すれば、光源から照射された不均一の
光を一定面積の受光装置で受ける場合、従来に比べ、光
電変換装置に流れる短絡電流、及び総開放電圧を大きく
することができて、受光面積に対する効率が上る。
本実施例では、半導体受光素子アレイを形成するフォト
セルとしてフォトダイオードを使用したがこれに限定さ
れることはない。また、光源から離れたフォトセルを互
いに並列に接続して1−りの大きなフォトセルとして光
源からより近い7オトセルち直列に接続することにより
、開放電圧を向上させるもできる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、半導体受光装置の基板上に複数形成さ
れた半導体受光素子の受光面積を光強度に対応して異な
らせたことにより、一定面積の光電変換装置から得られ
る総開放電圧及び短絡電流が向上し、変換効率の良い光
電変換装置が得られた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示し、第2図(a) fb
) 。 第3図(a) (b)及び第4図(a) (b)は本発
明の実験例を示す0

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 半導体基板と、 この半導体基板上に複数個形成され、第1導電型領域と
    この第1導電型領域内に各々形成された第2導電型領域
    とからなる半導体受光素子と、互いに隣合った前記半導
    体受光素子を電気的に直列接続する手段とからなり、 前記第1導電型領域及び第2導電型領域の表面を受光面
    とする前記半導体受光素子の受光面積は、半導体受光素
    子に照射される光強度に対応して異なり、受光強度の強
    い半導体受光素子が受光強度の弱い半導体受光素子より
    小さく形成されることを特徴とする光電変換装置。
JP61188535A 1986-08-13 1986-08-13 光電変換装置 Expired - Lifetime JPH073881B2 (ja)

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