JPS6344081Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6344081Y2 JPS6344081Y2 JP1983042033U JP4203383U JPS6344081Y2 JP S6344081 Y2 JPS6344081 Y2 JP S6344081Y2 JP 1983042033 U JP1983042033 U JP 1983042033U JP 4203383 U JP4203383 U JP 4203383U JP S6344081 Y2 JPS6344081 Y2 JP S6344081Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recovery
- line
- sublimable
- pressure gauge
- degassing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 55
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 28
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本案は昇華性物質の回収装置に関するものであ
る。
る。
従来、非凝縮性ガスを含む昇華性物質を回収す
る場合、昇華性物質を十分に精製して、非凝縮性
ガスを除去したのち、回収容器を回収しており、
多くの手間を要していた。
る場合、昇華性物質を十分に精製して、非凝縮性
ガスを除去したのち、回収容器を回収しており、
多くの手間を要していた。
本案は前記の問題点に対処するもので、非凝縮
性ガスを含む昇華性物質を回収する昇華性物質の
回収装置において、昇華性物質の回収容器に昇華
性物質の回収ラインと非凝縮性ガスの脱気ライン
とを接続し、同回収ラインの入口側に圧力計を設
けるとともに、同圧力計からの検知信号と脱気時
間設定タイマからの信号とに基づいて制御される
仕切弁を上記各ラインに設け、連続的に流入して
くる昇華性物質を蓄積するバツフアタンクを前記
圧力計上流側の回収ラインに設けたことを特徴と
する昇華性物質の回収装置に係わり、その目的と
する処は、昇華性物質を回収容器に非凝縮性ガス
の精製を行なわずに、連続的に回収できる。回収
容器内の圧力を常時設定圧力以下の圧力に押える
ことができる。さらに回収装置の回収機能を維持
したまま、脱気操作を行なうことができる昇華性
物質の回収装置を供する点にある。
性ガスを含む昇華性物質を回収する昇華性物質の
回収装置において、昇華性物質の回収容器に昇華
性物質の回収ラインと非凝縮性ガスの脱気ライン
とを接続し、同回収ラインの入口側に圧力計を設
けるとともに、同圧力計からの検知信号と脱気時
間設定タイマからの信号とに基づいて制御される
仕切弁を上記各ラインに設け、連続的に流入して
くる昇華性物質を蓄積するバツフアタンクを前記
圧力計上流側の回収ラインに設けたことを特徴と
する昇華性物質の回収装置に係わり、その目的と
する処は、昇華性物質を回収容器に非凝縮性ガス
の精製を行なわずに、連続的に回収できる。回収
容器内の圧力を常時設定圧力以下の圧力に押える
ことができる。さらに回収装置の回収機能を維持
したまま、脱気操作を行なうことができる昇華性
物質の回収装置を供する点にある。
次に本案の昇華性物質の回収装置を第１図に示
す一実施例により説明すると、１が回収ライン、
２が同回収ライン１に設置したバツフアタンク、
３が同回収ライン１の圧力計（なお同圧力計３は
回収ライン１のどの位置につけてもよい）。また
４が非凝縮性ガスＢの脱気ライン、５が脱気時に
回収ライン１と回収容器８との間を遮断する仕切
弁である。なお本仕切弁５はバツフアタンク２と
脱気ライン４への分岐部との間に設置する。また
６が脱気ライン６と回収ライン１との間を遮断す
る仕切弁、７が脱気時間を設定する脱気時間設定
タイマで、仕切弁５，６に接続している。また８
が昇華性ガスＡを凝固回収するための回収容器で
ある。なお予備の回収容器が必要な場合には第２
図に一点鎖線で示したＣ部分を追加する。
す一実施例により説明すると、１が回収ライン、
２が同回収ライン１に設置したバツフアタンク、
３が同回収ライン１の圧力計（なお同圧力計３は
回収ライン１のどの位置につけてもよい）。また
４が非凝縮性ガスＢの脱気ライン、５が脱気時に
回収ライン１と回収容器８との間を遮断する仕切
弁である。なお本仕切弁５はバツフアタンク２と
脱気ライン４への分岐部との間に設置する。また
６が脱気ライン６と回収ライン１との間を遮断す
る仕切弁、７が脱気時間を設定する脱気時間設定
タイマで、仕切弁５，６に接続している。また８
が昇華性ガスＡを凝固回収するための回収容器で
ある。なお予備の回収容器が必要な場合には第２
図に一点鎖線で示したＣ部分を追加する。
次に前記昇華性物質の回収装置の作用を説明す
る。（）回収容器８内に非凝縮性ガスが蓄積さ
れると、回収容器８内の圧力が上昇し、それにつ
れて回収ライン１の圧力が上昇し、これが圧力計
３により検知される。（）圧力計３の指示圧力
が回収圧力の上限（プロセスで許される回収容器
内圧力の上限値）に達したら、それにより仕切弁
５を閉じ、仕切弁６を開く。（）それにより脱
気が行なわれるが脱気時間設定タイマ７に設定し
た時間が経過したら、仕切弁６を閉じ、仕切弁５
を開いて、非凝縮性ガスを含む昇華性ガスの回収
を行なう。以後も上記（）（）（）の工程を
繰り返す。（）前記脱気中に連続的に流入して
くる昇華性ガスＡはバツフアタンク２に蓄積さ
れ、脱気完了後、システムに流入してくる昇華性
ガスＡとともに回収容器８に回収される。（）
バツフアタンク２の容量は次式により計算され
る。
る。（）回収容器８内に非凝縮性ガスが蓄積さ
れると、回収容器８内の圧力が上昇し、それにつ
れて回収ライン１の圧力が上昇し、これが圧力計
３により検知される。（）圧力計３の指示圧力
が回収圧力の上限（プロセスで許される回収容器
内圧力の上限値）に達したら、それにより仕切弁
５を閉じ、仕切弁６を開く。（）それにより脱
気が行なわれるが脱気時間設定タイマ７に設定し
た時間が経過したら、仕切弁６を閉じ、仕切弁５
を開いて、非凝縮性ガスを含む昇華性ガスの回収
を行なう。以後も上記（）（）（）の工程を
繰り返す。（）前記脱気中に連続的に流入して
くる昇華性ガスＡはバツフアタンク２に蓄積さ
れ、脱気完了後、システムに流入してくる昇華性
ガスＡとともに回収容器８に回収される。（）
バツフアタンク２の容量は次式により計算され
る。
Ｖ＝Ｑ・Δt／（p1−p2）・η
ここで、Ｖ：バツフアタンク容量、Ｑ：昇華
性ガス流量（非凝縮性ガスを含む）（Torr・／
min）、Δt：タイマに設定された脱気時間
（min）、η：安全率（η＞１）、p1：回収ライン
の上限圧力（Torr）、p2：圧力計に設定された回
収容器の上限圧力（Torr）、である。（）回収
容器８の故障及び交換などのために、予備の回収
容器８を設ける場合、予備の回収容器８の仕切弁
５，６は、通常閉とする。そして予備の回収容器
８が必要となつた時点で、それまで使つていた回
収容器８の仕切弁５，６を閉じ、予備の方の仕切
弁５を開いて、回収を継続する。
性ガス流量（非凝縮性ガスを含む）（Torr・／
min）、Δt：タイマに設定された脱気時間
（min）、η：安全率（η＞１）、p1：回収ライン
の上限圧力（Torr）、p2：圧力計に設定された回
収容器の上限圧力（Torr）、である。（）回収
容器８の故障及び交換などのために、予備の回収
容器８を設ける場合、予備の回収容器８の仕切弁
５，６は、通常閉とする。そして予備の回収容器
８が必要となつた時点で、それまで使つていた回
収容器８の仕切弁５，６を閉じ、予備の方の仕切
弁５を開いて、回収を継続する。
本案は前記のように非凝縮性ガスを含む昇華性
物質を回収する昇華性物質の回収装置において、
昇華性物質の回収容器８に昇華性物質の回収ライ
ン１と非凝縮性ガスの脱気ライン４とを接続し、
同回収ライン１の入口側に圧力計３を設けるとと
もに、同圧力計３からの検知信号と脱気時間設定
タイマ７からの信号とに基づいて制御される仕切
弁５，６を上記各ライン１，４に設け、連続的に
流入してくる昇華性物質を蓄積するバツフアタン
ク２を前記圧力計３上流側の回収ライン１に設け
ており、昇華性物質を回収容器８に非凝縮性ガス
の精製を行なわずに、連続的に回収できる。また
圧力計３からの検知信号と脱気時間設定タイマ７
からの信号に基づいて回収ライン１と脱気ライン
４との切りかえ（仕切弁５，６の切りかえ）を行
なうもので、回収容器８内の圧力を常時設定圧力
以下の圧力に押えることができる。また上記のよ
うに圧力計３からの検知信号と脱気時間設定タイ
マ７からの信号に基づいて回収ライン１と脱気ラ
イン４との切りかえ（仕切弁５，６の切りかえ）
を行なうので、圧力計３上流側の回収ライン１に
設けたバツフアタンク（連続的に流入してくの昇
華性物質を蓄積するバツフアタンク）２の容積を
脱気時間設定タイマ７に設定した脱気時間により
決めることができて、回収装置の回収機能を維持
したまま、脱気操作を行なうことができる効果が
ある。なお実施例では、脱気時間をセツトしたタ
イマ７と同脱気時間を基に容量を決定したバツフ
アタンク２とを組込んでいるが、このようにする
と、非凝縮性ガスの脱気を行なつても、昇華性物
質の回収装置への回収を１つの回収容器８により
継続できる利点がある。
物質を回収する昇華性物質の回収装置において、
昇華性物質の回収容器８に昇華性物質の回収ライ
ン１と非凝縮性ガスの脱気ライン４とを接続し、
同回収ライン１の入口側に圧力計３を設けるとと
もに、同圧力計３からの検知信号と脱気時間設定
タイマ７からの信号とに基づいて制御される仕切
弁５，６を上記各ライン１，４に設け、連続的に
流入してくる昇華性物質を蓄積するバツフアタン
ク２を前記圧力計３上流側の回収ライン１に設け
ており、昇華性物質を回収容器８に非凝縮性ガス
の精製を行なわずに、連続的に回収できる。また
圧力計３からの検知信号と脱気時間設定タイマ７
からの信号に基づいて回収ライン１と脱気ライン
４との切りかえ（仕切弁５，６の切りかえ）を行
なうもので、回収容器８内の圧力を常時設定圧力
以下の圧力に押えることができる。また上記のよ
うに圧力計３からの検知信号と脱気時間設定タイ
マ７からの信号に基づいて回収ライン１と脱気ラ
イン４との切りかえ（仕切弁５，６の切りかえ）
を行なうので、圧力計３上流側の回収ライン１に
設けたバツフアタンク（連続的に流入してくの昇
華性物質を蓄積するバツフアタンク）２の容積を
脱気時間設定タイマ７に設定した脱気時間により
決めることができて、回収装置の回収機能を維持
したまま、脱気操作を行なうことができる効果が
ある。なお実施例では、脱気時間をセツトしたタ
イマ７と同脱気時間を基に容量を決定したバツフ
アタンク２とを組込んでいるが、このようにする
と、非凝縮性ガスの脱気を行なつても、昇華性物
質の回収装置への回収を１つの回収容器８により
継続できる利点がある。
第１図は本案に係る昇華性物質の回収装置の一
実施例を示す系統図、第２図は他の実施例を示す
系統図である。 １……回収ライン、２……バツフアタンク、３
……圧力計、４……脱気ライン、５……回収ライ
ン１の仕切弁、６……脱気ライン４の仕切弁、７
……脱気時間設定タイマ。
実施例を示す系統図、第２図は他の実施例を示す
系統図である。 １……回収ライン、２……バツフアタンク、３
……圧力計、４……脱気ライン、５……回収ライ
ン１の仕切弁、６……脱気ライン４の仕切弁、７
……脱気時間設定タイマ。
Claims (1)
- 非凝縮性ガスを含む昇華性物質を回収する昇華
性物質の回収装置において、昇華性物質の回収容
器に昇華性物質の回収ラインと非凝縮性ガスの脱
気ラインとを接続し、同回収ラインの入口側に圧
力計を設けるとともに、同圧力計からの検知信号
と脱気時間設定タイマからの信号とに基づいて制
御される仕切弁を上記各ラインに設け、連続的に
流入してくる昇華性物質を蓄積するバツフアタン
クを前記圧力計上流側の回収ラインに設けたこと
を特徴とする昇華性物質の回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4203383U JPS59150501U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 昇華性物質の回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4203383U JPS59150501U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 昇華性物質の回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59150501U JPS59150501U (ja) | 1984-10-08 |
| JPS6344081Y2 true JPS6344081Y2 (ja) | 1988-11-16 |
Family
ID=30172591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4203383U Granted JPS59150501U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 昇華性物質の回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59150501U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117395A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-12 | Toshiba Corp | Impurity removing apparatus |
-
1983
- 1983-03-25 JP JP4203383U patent/JPS59150501U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117395A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-12 | Toshiba Corp | Impurity removing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59150501U (ja) | 1984-10-08 |
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