JPS59150501U - 昇華性物質の回収装置 - Google Patents
昇華性物質の回収装置Info
- Publication number
- JPS59150501U JPS59150501U JP4203383U JP4203383U JPS59150501U JP S59150501 U JPS59150501 U JP S59150501U JP 4203383 U JP4203383 U JP 4203383U JP 4203383 U JP4203383 U JP 4203383U JP S59150501 U JPS59150501 U JP S59150501U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sublimable substance
- substance recovery
- sublimable
- recovery equipment
- pressure gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案に係る昇華性物質の回収装置の一９実施例
を示す系統図、第２図は他の実施例を示す系統図である
。 １・・・・・・回収ライン、３・・・・・・圧力計、４
・−・・・・脱気ライン、５．６・・・・・・仕切弁。
を示す系統図、第２図は他の実施例を示す系統図である
。 １・・・・・・回収ライン、３・・・・・・圧力計、４
・−・・・・脱気ライン、５．６・・・・・・仕切弁。
Claims (1)
- 非凝縮性ガスを含む昇華性物質を回収する昇華性物質の
回収装置において、昇華性物質の回収容器に昇華性物質
の供給ラインと非凝縮性ガスの脱気ラインを接続し、同
回収容器の入口側に臨んで圧力計を設けるとともに、同
圧力計の検知信号に基いて制御される仕切弁を上記各ラ
イン中に設置したことを特徴とする昇華性物質の回収装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4203383U JPS59150501U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 昇華性物質の回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4203383U JPS59150501U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 昇華性物質の回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59150501U true JPS59150501U (ja) | 1984-10-08 |
| JPS6344081Y2 JPS6344081Y2 (ja) | 1988-11-16 |
Family
ID=30172591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4203383U Granted JPS59150501U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 昇華性物質の回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59150501U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117395A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-12 | Toshiba Corp | Impurity removing apparatus |
-
1983
- 1983-03-25 JP JP4203383U patent/JPS59150501U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117395A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-12 | Toshiba Corp | Impurity removing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6344081Y2 (ja) | 1988-11-16 |
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