JPS6343229A - 真空しや断器 - Google Patents
真空しや断器Info
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- JPS6343229A JPS6343229A JP61187262A JP18726286A JPS6343229A JP S6343229 A JPS6343229 A JP S6343229A JP 61187262 A JP61187262 A JP 61187262A JP 18726286 A JP18726286 A JP 18726286A JP S6343229 A JPS6343229 A JP S6343229A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
-
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- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
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- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
-
- H—ELECTRICITY
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- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
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- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
- H01H2033/66284—Details relating to the electrical field properties of screens in vacuum switches
Landscapes
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空しゃ断器、特にそのシールド構造に関
するものである。
するものである。
第7図は例えは実公昭53−43491号公報に示され
た従来の真空しゃ断器の構造を示す断面図である。図に
おいて、(1)はガラス又はセラミックにより作られた
絶縁筒であり、絶縁筒(1)の上端には円筒状の封着金
具(3)を介して第17ランジ(4)が取付けられ、:
Fe Rg(1)の下端には円筒状の封着金具(5)を
介して第27ランジ(6)が取付けられている。第17
ランジ(4)の中央には下端部に固定電極(7)を有す
る固定電極棒(8)が固着され、第2フランジ(6)の
中央には軸方向に伸びるベローズ(91が固着され、ぺ
p−ズ(9)の他端にけ先端に固定電極(7)と対向す
る可動電極(1(lを有する可動電極棒αDが取付けら
れてφる。両組柵棒(a)Qllけ同一直線上にあ抄、
絶縁筒(1)、封着金具(3”I(5)、7ランジ(4
)(6)およびベローズ(9)は真空容器口を形成する
。03は画電極(71QQを包むように適宜彎曲し、中
央部より両端部の径が小さく形成された断面円形の筒状
主シールドであり、その中央部が絶縁筒(1)の中央部
に取付けられている。また、主シールドa3は、その上
下端縁部が円形に巻かれている。第17ランジ(4)の
内面上には外シールドα4が立設され、第27ランジ(
6)の上面にも外シールド側が立設されて≠る。また、
外シールドα4J(至)は、軸方向長さが封着金jf!
(31tr、+よりやや長い円筒形状で、その端gは
内側に彎曲して主シールド0との対向面が凹面状になる
ように形成されている。さらに、外シールドα41QI
liの端部と主シールド[相]の両端部とは、耐電圧に
必要なギャップが、かつアーク放電によη生じる金属蒸
気の拡散による絶縁筒(1)の汚損を完全に防ぐギャッ
プが軸方向に設けられている。を念、ベローズ(9)の
周囲を覆うぺp−ズシールド錦が可動電極俸圓に取付け
られている。
た従来の真空しゃ断器の構造を示す断面図である。図に
おいて、(1)はガラス又はセラミックにより作られた
絶縁筒であり、絶縁筒(1)の上端には円筒状の封着金
具(3)を介して第17ランジ(4)が取付けられ、:
Fe Rg(1)の下端には円筒状の封着金具(5)を
介して第27ランジ(6)が取付けられている。第17
ランジ(4)の中央には下端部に固定電極(7)を有す
る固定電極棒(8)が固着され、第2フランジ(6)の
中央には軸方向に伸びるベローズ(91が固着され、ぺ
p−ズ(9)の他端にけ先端に固定電極(7)と対向す
る可動電極(1(lを有する可動電極棒αDが取付けら
れてφる。両組柵棒(a)Qllけ同一直線上にあ抄、
絶縁筒(1)、封着金具(3”I(5)、7ランジ(4
)(6)およびベローズ(9)は真空容器口を形成する
。03は画電極(71QQを包むように適宜彎曲し、中
央部より両端部の径が小さく形成された断面円形の筒状
主シールドであり、その中央部が絶縁筒(1)の中央部
に取付けられている。また、主シールドa3は、その上
下端縁部が円形に巻かれている。第17ランジ(4)の
内面上には外シールドα4が立設され、第27ランジ(
6)の上面にも外シールド側が立設されて≠る。また、
外シールドα4J(至)は、軸方向長さが封着金jf!
(31tr、+よりやや長い円筒形状で、その端gは
内側に彎曲して主シールド0との対向面が凹面状になる
ように形成されている。さらに、外シールドα41QI
liの端部と主シールド[相]の両端部とは、耐電圧に
必要なギャップが、かつアーク放電によη生じる金属蒸
気の拡散による絶縁筒(1)の汚損を完全に防ぐギャッ
プが軸方向に設けられている。を念、ベローズ(9)の
周囲を覆うぺp−ズシールド錦が可動電極俸圓に取付け
られている。
従来の真空しゃ断器は上記のような構成であり、画電極
(7)QGが接触状態にあり、画電極$9(11αυに
電流が流れている時雨電極(7) (10が開放きれる
と、両電極間(7) Q(Iにはアークが発生する。こ
のアークは画電極(7)(1υを溶融させ金属蒸気を発
生し、これを真空空間に拡散する。この金属蒸気による
絶縁容器口)の汚損を防ぐため、主シールドQ3 t−
&ti2し、大部分の金属蒸気を捕捉していた。また、
主シールド[相]の上下から抜は出た金属蒸気は主シー
ルド0との対向面を凹面状に形成された外シールドa3
α4及び7ランジ(4) (6)により主シールドG内
にはね返していた0このような作用は、発生するアーク
の電流が比較的小さい時、あるいは画電極(7) (1
(Iと主シールドDの空間が広一時の現象であり、非常
にコンパクトになった真空しゃ断器では画電極(7)Q
Gに発生したアークは自己磁界により画電極(7)αO
外周部へ駆動され、主シールド■を溶融する場合屯あっ
た。
(7)QGが接触状態にあり、画電極$9(11αυに
電流が流れている時雨電極(7) (10が開放きれる
と、両電極間(7) Q(Iにはアークが発生する。こ
のアークは画電極(7)(1υを溶融させ金属蒸気を発
生し、これを真空空間に拡散する。この金属蒸気による
絶縁容器口)の汚損を防ぐため、主シールドQ3 t−
&ti2し、大部分の金属蒸気を捕捉していた。また、
主シールド[相]の上下から抜は出た金属蒸気は主シー
ルド0との対向面を凹面状に形成された外シールドa3
α4及び7ランジ(4) (6)により主シールドG内
にはね返していた0このような作用は、発生するアーク
の電流が比較的小さい時、あるいは画電極(7) (1
(Iと主シールドDの空間が広一時の現象であり、非常
にコンパクトになった真空しゃ断器では画電極(7)Q
Gに発生したアークは自己磁界により画電極(7)αO
外周部へ駆動され、主シールド■を溶融する場合屯あっ
た。
従来の真空しゃ断器は以上のように構成されているので
、溶融した主シールドa3の小片は主シールド(至)の
軸方向へ飛散し、彎曲部へ到達すると主シールド0の上
下端部及び画電極(71QG K il結していた。こ
のため、ttt8i!(7)−シールド03間及び電極
aG−シールド(至)間の距離が狭くなり、電流しゃ断
時の絶縁回復特性ならびに電流しゃ断後の耐電圧特性が
低下するといった問題点があった。
、溶融した主シールドa3の小片は主シールド(至)の
軸方向へ飛散し、彎曲部へ到達すると主シールド0の上
下端部及び画電極(71QG K il結していた。こ
のため、ttt8i!(7)−シールド03間及び電極
aG−シールド(至)間の距離が狭くなり、電流しゃ断
時の絶縁回復特性ならびに電流しゃ断後の耐電圧特性が
低下するといった問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、電流しゃ断時の絶縁回復特性ならびに電流し
ゃ断後の耐電圧特性を損うことのない真空しゃ断器を得
ろことを目的としている@〔問題点を解決するための手
段〕 この発明に係る真空しゃ断器は、主シールドの軸方向の
長さLを、開極時における固定T@極と可動電極間のギ
ャップ長と画電極の厚みを加算した距III?1と、上
記主シールドと上記電極との最短距1111T2とを用
いて、T1以上で(T1+Tz tan45°)以下と
したものである。
たもので、電流しゃ断時の絶縁回復特性ならびに電流し
ゃ断後の耐電圧特性を損うことのない真空しゃ断器を得
ろことを目的としている@〔問題点を解決するための手
段〕 この発明に係る真空しゃ断器は、主シールドの軸方向の
長さLを、開極時における固定T@極と可動電極間のギ
ャップ長と画電極の厚みを加算した距III?1と、上
記主シールドと上記電極との最短距1111T2とを用
いて、T1以上で(T1+Tz tan45°)以下と
したものである。
この発明における真空しゃ断器は、主シールドの軸方向
の長さを適正な長さにすることにより溶融した主シール
ドの小片の飛散による影響をなくすO 〔実施例〕 以下この発明の一実施例を図について説明する。
の長さを適正な長さにすることにより溶融した主シール
ドの小片の飛散による影響をなくすO 〔実施例〕 以下この発明の一実施例を図について説明する。
第1図において(1)はガラス又はセラミックにより作
られた絶縁筒であり、絶縁筒(1)の上端には円筒状の
封着金具【3)を介して第17ランジ(4)が取付けら
れ、絶縁筒(1)の下端には円筒状の封着金具f5)を
介して第27ランジ(6)が取付けられている0第17
ランジ(4)の中央には下端部に固定電極(7)を有す
る固定電極棒(8mが固着され、第27ランジ(6)の
中央には軸方向に伸びるべ豐−ズ(9)が固着され、ベ
ローズ(9)の他端には先端に固定電極(7)と対向す
る可動電極(1(lを有する可動電極棒anが取付けら
れている。両組柵棒C3)0は同−直線上にあり絶縁筒
(1)、封着金具r3)(51、7ランジ(4) (6
)及びベローズ(9)け真空容器α2を形成する。絶a
m(1)には両電極(7)αOに対して適正な長さの主
シールド0が配置されている。第17ランジ(4)及び
第27ランジ(6)には外シールドα滲及び(至)が主
シールド03と適宜のギャップを隔てて同心的に形成さ
れている。また、ベロ°−ズ(9)の周囲を覆うベロー
ズシールド錦が可動電極棒Iに取付けられている。
られた絶縁筒であり、絶縁筒(1)の上端には円筒状の
封着金具【3)を介して第17ランジ(4)が取付けら
れ、絶縁筒(1)の下端には円筒状の封着金具f5)を
介して第27ランジ(6)が取付けられている0第17
ランジ(4)の中央には下端部に固定電極(7)を有す
る固定電極棒(8mが固着され、第27ランジ(6)の
中央には軸方向に伸びるべ豐−ズ(9)が固着され、ベ
ローズ(9)の他端には先端に固定電極(7)と対向す
る可動電極(1(lを有する可動電極棒anが取付けら
れている。両組柵棒C3)0は同−直線上にあり絶縁筒
(1)、封着金具r3)(51、7ランジ(4) (6
)及びベローズ(9)け真空容器α2を形成する。絶a
m(1)には両電極(7)αOに対して適正な長さの主
シールド0が配置されている。第17ランジ(4)及び
第27ランジ(6)には外シールドα滲及び(至)が主
シールド03と適宜のギャップを隔てて同心的に形成さ
れている。また、ベロ°−ズ(9)の周囲を覆うベロー
ズシールド錦が可動電極棒Iに取付けられている。
次に、主シールドa3の軸方向の長さについて説明する
。第6図は真空しゃ断器に対するシールド溶融片の飛散
状況の分布図である。この図でわかるように、両電極(
7)αOの近傍にはシールド溶融痕のみであり、シール
ド溶融片の飛散部は両電極(7)00背部から11の距
離を超えた部分より始まっている。そして、この11の
距mけ、電極(7)αGの外径φ1とシールド0の内径
φ2で決まる空間と電極(7) (1Gの背部からの角
度θにより決められることが実験的にわかった。すなわ
ち、1l−((φ2−φ1)/2〕・tanθ で表わ
すことができ、θ−45であることを実験的に確認した
。
。第6図は真空しゃ断器に対するシールド溶融片の飛散
状況の分布図である。この図でわかるように、両電極(
7)αOの近傍にはシールド溶融痕のみであり、シール
ド溶融片の飛散部は両電極(7)00背部から11の距
離を超えた部分より始まっている。そして、この11の
距mけ、電極(7)αGの外径φ1とシールド0の内径
φ2で決まる空間と電極(7) (1Gの背部からの角
度θにより決められることが実験的にわかった。すなわ
ち、1l−((φ2−φ1)/2〕・tanθ で表わ
すことができ、θ−45であることを実験的に確認した
。
なお、この値については、電極(7)αG−シールド(
至)間距離30mmまでWi認しな。
至)間距離30mmまでWi認しな。
従って、本願の主シールド0の軸方向の長さLけ、固定
電極(7)の厚さをtl * i!流しゃ断時の固定電
極(7)と可動電極aaのギャップ長をtl、可動電極
GOの厚さをtsとすると、下記(1)式で求められる
値以下とすることを特徴としている。
電極(7)の厚さをtl * i!流しゃ断時の固定電
極(7)と可動電極aaのギャップ長をtl、可動電極
GOの厚さをtsとすると、下記(1)式で求められる
値以下とすることを特徴としている。
(t1+t2+tg+(φ2−φ1)・tan45 )
・・・(1)式ただし、今まで主シールド0に付着して
いたシールド溶融片及び両電極(7)αOからの金属蒸
気は主シールドa3を除く部分すなわち絶縁筒C1)に
付着することが予想されるが、この点については電流し
ゃ断による付着物が絶縁筒(1)の一部に付着しても絶
縁特性及び耐電圧特性に支障を与えないことを確認して
いる。なお、¥シールド0の軸方向の長さLは、下記(
2)式で求められる値以上でなけれは絶縁特性及び耐電
圧特性に支障を与えることも実験的に確認している。
・・・(1)式ただし、今まで主シールド0に付着して
いたシールド溶融片及び両電極(7)αOからの金属蒸
気は主シールドa3を除く部分すなわち絶縁筒C1)に
付着することが予想されるが、この点については電流し
ゃ断による付着物が絶縁筒(1)の一部に付着しても絶
縁特性及び耐電圧特性に支障を与えないことを確認して
いる。なお、¥シールド0の軸方向の長さLは、下記(
2)式で求められる値以上でなけれは絶縁特性及び耐電
圧特性に支障を与えることも実験的に確認している。
tl −) tl + t5・・・・・・・・・〔2)
式なお、上記実施例では主シールドa3を単純な同筒形
状としたが、第2図に示すような彎曲部(至)及び小口
径部αηを持つ主シールドlにおいても同様の効果を奏
する。また、第3図に示すように2つの絶縁容器(la
) (11))を接続金具(2)で接続し1その中間部
分に主シールドlを配置したものでも同様の効果を奏す
。
式なお、上記実施例では主シールドa3を単純な同筒形
状としたが、第2図に示すような彎曲部(至)及び小口
径部αηを持つ主シールドlにおいても同様の効果を奏
する。また、第3図に示すように2つの絶縁容器(la
) (11))を接続金具(2)で接続し1その中間部
分に主シールドlを配置したものでも同様の効果を奏す
。
また、上記実施例では一対の固定電極(7)と可動電極
aOを真空容器面内に設は念ものについて示しなか、第
4図に示すように線対称にある2対の固定電極()l)
(72)と可動電極(wl)(w2)を並列に真空容
器面内に設けた場合でも、真空容器(2)的中心線から
電極の外端までをφ1とし上記(1)式及び(2)式に
あてはめることによって主シールド(至)の軸方向の長
さLの上限と下限を求めてもよい。さらに、第5図に示
すように固定電極(7)の上部に可動電極(101)を
、下部に可動電極(102)を固定電極(7)と同一軸
上に設けた場合でも、第1の可動電極(101)の厚さ
をtl1.第2の可動電極(102)の厚さをts2.
第1の可動電極(101)と固定電極(7)との電流し
ゃ断時のギャップ長をtl1.第2の可動電極(io2
)と固定電極(7)との電流しゃ断時のギャップ長をt
22とし、改めてtl −tl1 + t22 r
ts ”” tl1 +t32 として上記(1)
式及び(2)式にあてはめることによって主シールド(
至)の軸方向の長さ乙の上限と下限を求めてもよい。
aOを真空容器面内に設は念ものについて示しなか、第
4図に示すように線対称にある2対の固定電極()l)
(72)と可動電極(wl)(w2)を並列に真空容
器面内に設けた場合でも、真空容器(2)的中心線から
電極の外端までをφ1とし上記(1)式及び(2)式に
あてはめることによって主シールド(至)の軸方向の長
さLの上限と下限を求めてもよい。さらに、第5図に示
すように固定電極(7)の上部に可動電極(101)を
、下部に可動電極(102)を固定電極(7)と同一軸
上に設けた場合でも、第1の可動電極(101)の厚さ
をtl1.第2の可動電極(102)の厚さをts2.
第1の可動電極(101)と固定電極(7)との電流し
ゃ断時のギャップ長をtl1.第2の可動電極(io2
)と固定電極(7)との電流しゃ断時のギャップ長をt
22とし、改めてtl −tl1 + t22 r
ts ”” tl1 +t32 として上記(1)
式及び(2)式にあてはめることによって主シールド(
至)の軸方向の長さ乙の上限と下限を求めてもよい。
なお、電極の数は上述のものに限るものではないO
また、本発明は、真空スイッチ管に限られたものではな
く、真空ヒユーズ等の真空放電装置にも適用できる。
く、真空ヒユーズ等の真空放電装置にも適用できる。
以上のように、この発明によれば、主シールドの軸方向
のシールド長を適正な長さに構成することにより、シー
ルド溶融片による絶縁回復特性、耐電圧特性への悪影響
を防止できる効果がある。
のシールド長を適正な長さに構成することにより、シー
ルド溶融片による絶縁回復特性、耐電圧特性への悪影響
を防止できる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による真空しゃ断器を示す
断面図、第2図乃至第5図はこの発明の他の実施例を示
す真空しゃ断器の断面図、第6図は真空しゃ断器におけ
るシールド溶解片の飛散状況を示す分布図、第7図は従
来の真空しゃ断器を示す断面図である。 図にお−て、(1)は絶縁筒、(31(51は封着金具
、(4)は第17ランジ、(6)は第27ランジ、ff
)(7x) (72)は固定電極、(8)は固定電極棒
、(9)はベローズ、Ql)(xox) (xo2)
は可動i!極、αυけ可動電極棒、(2)は真空容器
、0は主シールド、α4)a9は外シールドである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
断面図、第2図乃至第5図はこの発明の他の実施例を示
す真空しゃ断器の断面図、第6図は真空しゃ断器におけ
るシールド溶解片の飛散状況を示す分布図、第7図は従
来の真空しゃ断器を示す断面図である。 図にお−て、(1)は絶縁筒、(31(51は封着金具
、(4)は第17ランジ、(6)は第27ランジ、ff
)(7x) (72)は固定電極、(8)は固定電極棒
、(9)はベローズ、Ql)(xox) (xo2)
は可動i!極、αυけ可動電極棒、(2)は真空容器
、0は主シールド、α4)a9は外シールドである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (4)
- (1)少なくとも一対の接離可能な固定電極と可動電極
、及びこれら電極を包囲する主シールドを真空容器内に
設けた真空しや断器において、開極時における上記両電
極間のギャップ長と両電極の厚みを加算した距離をT1
、上記主シールドと上記電極との最短距離をT2とする
と、上記主シールドの軸方向の長さLがT_1以上、(
T_1+T_2tan45)以下であることを特徴とす
る真空しや断器。 - (2)一対の同一外径φ_1の固定電極と可動電極及び
内径φ_2の主シールドを設け、上記固定電極の厚さを
t_1、上記可動電極の厚さをt_3、上記電極間の開
極時におけるギャップ長をt_2とすると、上記主シー
ルドの長さLが(t_1+t_2+t_3)以上、{t
_1+t_2+t_3+(φ_2−φ_1)tan45
}以下であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の真空しや断器。 - (3)主シールドが単純な円筒形状であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項又は第2項記載の真空しや断
器。 - (4)主シールドの中心部の内径がφ_2で、その両端
に彎曲部と小口径部を有することを特徴とする特許請求
の範囲第1項又は第2項記載の真空しや断器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61187262A JPS6343229A (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 | 真空しや断器 |
KR1019870002826A KR900002076B1 (ko) | 1986-08-07 | 1987-03-27 | 진공차단기 |
US07/080,425 US4740662A (en) | 1986-08-07 | 1987-07-31 | Vacuum circuit interrupter |
EP87306954A EP0256780B1 (en) | 1986-08-07 | 1987-08-05 | Vacuum circuit interrupter |
DE8787306954T DE3782118T2 (de) | 1986-08-07 | 1987-08-05 | Vakuumschalter. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61187262A JPS6343229A (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 | 真空しや断器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6343229A true JPS6343229A (ja) | 1988-02-24 |
Family
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Family Applications (1)
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JP61187262A Pending JPS6343229A (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 | 真空しや断器 |
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JP (1) | JPS6343229A (ja) |
KR (1) | KR900002076B1 (ja) |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5343491Y2 (ja) * | 1973-04-06 | 1978-10-19 | ||
US3889080A (en) * | 1973-12-19 | 1975-06-10 | Westinghouse Electric Corp | Vacuum interrupter shield protector |
DE7428808U (de) * | 1974-08-26 | 1980-04-03 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Vakuumschaltrohr |
JPS6025926B2 (ja) * | 1976-10-01 | 1985-06-21 | シャープ株式会社 | 水晶振動子 |
DE2906767A1 (de) * | 1978-02-22 | 1979-08-23 | Hitachi Ltd | Verfahren zur herstellung eines vakuum-leistungsschalters |
JPS5855609B2 (ja) * | 1979-07-23 | 1983-12-10 | 株式会社明電舎 | 真空しや断器 |
US4440995A (en) * | 1981-01-19 | 1984-04-03 | Westinghouse Electric Corp. | Vacuum circuit interrupter with on-line vacuum monitoring apparatus |
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- 1986-08-07 JP JP61187262A patent/JPS6343229A/ja active Pending
-
1987
- 1987-03-27 KR KR1019870002826A patent/KR900002076B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1987-07-31 US US07/080,425 patent/US4740662A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-05 EP EP87306954A patent/EP0256780B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-05 DE DE8787306954T patent/DE3782118T2/de not_active Revoked
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015099671A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 三菱電機株式会社 | 真空バルブ |
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US4740662A (en) | 1988-04-26 |
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EP0256780A3 (en) | 1989-10-11 |
KR900002076B1 (ko) | 1990-03-31 |
DE3782118T2 (de) | 1993-05-13 |
EP0256780A2 (en) | 1988-02-24 |
KR880003361A (ko) | 1988-05-16 |
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