JPS6339112A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に係り、特に記録媒体ディ
スク上での情報トラックピッチの小さい高密度磁気記録
に好適な薄膜磁気ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスク装置においては、記録密度を上げることが
要求されている。記録密度を上げるには、情報トラック
密度を上げること、および、情報トラック上の記録密度
を高めることが必要である。

従来、トラック密度を上げるにはトラック幅を小さくし
て、また、ヘッドの位置決め精度を向上することで、記
録媒体上での情報トラックピッチを小さくし、記録密度
の向上が図られてきている（特開昭４９−１０６３１０
公報）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の薄膜磁気ヘッドを用いた磁気ディスク装置におい
て、情報トラック幅Ｔｗは、積層して作られた対向する
上下の磁極片の重なり部分の幅で決まるものである。し
かしながら、磁気ヘッドから発生する磁界はこの磁極片
の重なり部分の直下だけでなく横方向の拡がりを持って
いる。このため、データ書込み時には、上記トラック幅
Ｔｗの両端部に更にデータが幅ΔＷだけ不完全に書き込
まれる。このために、磁気ヘッドの位置決め誤差をΔＰ
とすると、トラックピッチＴｐは、隣り合ったトラック
間の干渉を避けるには、Ｔｗ＋２ΔＷ＋２ΔＰ　＜　Ｔ
　ｐの制限を受ける。このために、単に情報トラック幅
Ｔｗを小さくシ、また磁気ヘッドの位置決め誤差を小さ
くするだけでは、トランクピッチを小さくすることに限
界がある。

また、トラック幅を小さくすると再生信号が小さくなる
という問題もあった。

この発明は、情報書き込み時における情報トラック両端
部での前記ΔＷを実効的に小さくしてトラックピッチＴ
Ｐを小さくシ、高密度磁気記録を可能とした薄膜磁気ヘ
ッドの提供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

前記問題点は、薄膜磁気ヘッドが記録媒体対向面で、前
記下部磁性層が前記ギャップ部材との境界の両面で、相
互に、逆方向に角度を持った傾斜面を有し、前記下部磁
性層およびギャップ部材を前記上部磁性層で覆って構成
されることで解決される。

〔作用〕

薄膜磁気ヘッドの先端部において、非磁性層を介して対
抗する上下の磁極片間の間隙は磁気ギャップとなる。磁
極のコア部に形成された導体コイルに電流を流すことに
よって励起された磁力線は、透磁率の高い磁極内に集中
し、前記磁気ヘッド先端部の磁気ギャップ部において磁
極外部に漏れる。

この漏れ磁界を用いて、信号に応じて記録媒体を磁化す
ることによって磁気記録における情報の書込みが行われ
る。

磁気ギャップの両端で、相互に、逆方向の角度を設ける
ことで、情報トラック幅の両端部での漏れ磁界の方向と
杏込みトラック部での書込み磁界の方向との間にある角
度が生ずることにより、記録媒体上の磁化方向において
も、同様にトラック端部の磁化方向とトラック中心部の
磁化方向との間に角度が生じ、しかも、情報トラックの
両端でその磁化方向は互いに、逆の方向に傾斜したもの
となる。このため、隣接トラックを読み出す場合の再生
ヘッドのトラック端部のギャップ方向は、隣接トラック
の端部の磁化の方向と傾斜が逆方向のために、この信号
を再生しない。

〔実施例〕

以下、図面を参照してこの発明の一実施例にっいて説明
する。第１図は１本発明による薄膜磁気ヘッドの構造を
示す斜視図である。

次に、この薄膜磁気ヘッドの製造方法について。

第１図、第２図を参照して説明する。まず、第２図（Ａ
）に示すように、従来と同様に、非磁性基板１上に磁極
の一方となる磁性層２が耐着される。

非磁性基板１は、磁性Ｍ２の耐着が良好となるよう研磨
、洗浄される。磁気ヘッド完成時には、例へば、回転す
る磁気ディスク上に自ら浮揚してヘッド素子を支持する
スライダーを構成するものである。磁性Ｍ２の素材はパ
ーマロイである。

形成した磁性層２の上に、フォトレジスト層３を塗布、
磁極先端の所望トラック幅に対応した幅を持つ形状にか
たどる。

次に、このかたどられたフォトレジスト層３を非磁性基
板１及び下部磁性層２上に耐着せしめた状態で加熱処理
を行うと、第２図（Ｂ）に示すようにこのフォトレジス
ト層３の端面３１は加熱処理前のほとんど非磁性基板１
に対して垂直の状態から変形して、緩やかな角度を成す
ようになり、前記トラック幅Ｔｗの面外側端部でのフォ
トレジスト膜厚は中心部での膜厚に対して薄くなる。し
かる後に、この基板に加速したイオンを衝突させて行う
イオンミリング加工を施すと、フォトレジスト層３の被
っていない磁性層が取り除かれ、磁極の一方の下部磁極
片４に形成される。また、この加工において、前記フォ
トレジスト層３とフォトレジスト５３に覆われていない
前記磁性層２は、同時にそれぞれの上部より取り除かれ
る。かたどりして加熱処理されたフォトレジスト層３の
厚さは次第に減少して、前記トラック幅Ｔｗの面外側端
部でのフォトレジスト膜厚の薄い部分では、このフォト
レジスト層が除かれた後、引き続いて磁性層２が取り除
かれる。この時、フォトレジスト層の厚さに応じて磁性
層の除去される厚さは異なり、フォトレジスト層の薄い
部分ではより多くの磁性層が取り除かれ、その後、下部
磁極片４上に残ったフォトレジスト層５（第２図（Ｃ）
）は、通常に用いられる方法、例えば、溶剤を用いる方
法によって基板上から取り除かれる。この加工の結果、
第２図（Ｄ）に示すように得られた下部磁極片４は、所
望のトラック幅を有し、しかもその両端で、相互に、逆
方向に、基板に対して９０度より小さな角度を持った傾
斜面４１を有するものとなる。

以上に、述べたように形成された下部′８＆極片４上に
、第１図に示すように、非磁性絶縁層６を積層する。こ
の非磁性絶縁層６には、アルミナ。

５ｉＯｚなどを用いることができる。ヘッド素子完成時
には、この非磁性絶縁層６の厚さによって対向する磁極
間の磁気ギャップの間隔が決まる。

次に、非磁性絶縁層６の上に銅などの導体層を設ける。

フォトリソグラフ技術を用いて前記導体層を所望の形状
を持つ導体コイル８に加工し、次いで、導体コイル８上
に絶縁層９を積層する。

次に、前記下部磁極片４上の絶縁層９をかたどりして、
下部磁極片４を露出させ、その後に、対向する磁極の一
方となる磁性層を積層し、かたどり。

エツチングなどして所望の上部磁極片１０を得る。

最後に、導体コイル８から引出線、配線端子などをそれ
ぞれ設けて、磁性層、コイルを湿気などから保護する絶
縁層を積層し、薄膜磁気ヘッド素子が基板上に完成する
。

基板上に形成された磁気ヘッド素子を、ダイアモンドカ
ッターなどを用いて個別のチップに切断する。このチッ
プをディスク上に浮揚させるのに適した形状に加工し、
また、磁気ヘッド先端の磁気ギャップ深さが所望の大き
さになるようにスライダ摺動面を研磨加工して、個別の
へラドスライダ素子が完成する。

以上述べたように形成された薄膜磁気ヘッドでは、第３
図に示すように、磁気ギャップ１１の両端部１２．１３
が中央部１４に対して角度を有することで、前記情報ト
ラックの両端部での書込み磁界の方向と情報トラック部
での書込み磁界の方向との間に角度を生ずる。これによ
り前記ΔＷによる情報トラック両端の記録媒体上の磁化
方向は同様に書込みトラック中心部の磁化方向に対向し
て角度を成したものとなる。しかも、情報トラックの両
端部１５．１６ではその磁化の方向は互いに逆の方向に
傾斜したものとなる。このため、例えば、隣接する情報
トラック１７とトラック１８を第３図に示すように近づ
けて、すなわち、Ｔｐを小さくしても、情報トラック１
７上のデータを読み出す場合に、ヘッド１９のトラック
端部２０のギャップ方向は、隣接するトラック１８に記
録された磁化パターンの端部の傾斜とギャップの傾斜と
方向が逆のために、隣接トラック１８の信号を再生せず
、実効的に前記ΔＷが小さくなり隣合ったトラック間で
の記録再生時の干渉が小さくなる。この結果、隣接する
情報トラック１７とトラック１８を第３図に示すように
近づけて設けることができ、記録媒体ディスク上での情
報トラックピッチの小さい高密度磁気記録が可能となる
。

また、下部磁極片４の両端での傾斜面が上面となす角度
が鈍角のため、この角部分において起りがちな導体コイ
ルの厚さが局部的に薄くなり、導体抵抗値を増やしてし
まうことや、最悪においては断線を招くことを避けるこ
とができる。

また、更に、従来のように上部磁性層でトラック幅を決
める場合には、導体や、絶縁層厚さによって増した素子
高さのためにフォトレジスト層と基板との距離が大きく
なるためトラック幅の加工精度が悪かったが５本発明に
よる薄膜磁気ヘッドは、１ｌｌｌ造時にトラック幅の大
きさを左右する下部磁性層の幅を平滑な基板上で決める
ため、トラック幅の加工精度が良くなるという効果があ
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、薄膜磁気ヘッドの書込み時のトラック
横方向の漏れ磁界による隣接トラック間の干渉を小さく
することができ、その結果としてトラックピッチの小さ
い高密度磁気記録が実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による薄膜磁気ヘッドの構造を示す斜
視図であり、第２図は、本発明による薄膜ヘッドの＊造
過程を説明する図であり、第３図は１本発明による薄膜
磁気ヘッドの記録媒体摺動面側から見た磁極の様子と、
記録媒体面上の情報トラックとの関係を示す図である。 １・・・非磁性基板、３・・・下部磁性層、４・・・下
部磁極片、６・・・非磁性絶縁層、８・・・導体コイル
、９・・・絶縁層、１ｏ・・・上部磁極片、４１・・・
傾斜面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、非磁性基板上に、下部磁性層、導体層、ギャップ部
   材、絶縁層、および上部磁性層を順次積層して構成され
   る薄膜磁気ヘッドにおいて、記録媒体対抗面での前記下
   部磁性層が前記ギャップ部材との境界の両端で、相互に
   、逆方向に角度を持った傾斜面を有し、前記下部磁性層
   、および、ギャップ部材を前記上部磁性層で覆つて構成
   されることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。