JPS6338803B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6338803B2 JPS6338803B2 JP55079965A JP7996580A JPS6338803B2 JP S6338803 B2 JPS6338803 B2 JP S6338803B2 JP 55079965 A JP55079965 A JP 55079965A JP 7996580 A JP7996580 A JP 7996580A JP S6338803 B2 JPS6338803 B2 JP S6338803B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- general formula
- organic
- indium
- compound
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000002472 indium compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 3
- 150000001371 alpha-amino acids Chemical class 0.000 claims description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 3
- 239000013522 chelant Substances 0.000 claims description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 3
- 235000008206 alpha-amino acids Nutrition 0.000 claims description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- -1 aminoethyl alcohol Chemical compound 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Natural products CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexan-1-ol Chemical compound CCCCC(CC)CO YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HSJKGGMUJITCBW-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxybutanal Chemical compound CC(O)CC=O HSJKGGMUJITCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROWKJAVDOGWPAT-UHFFFAOYSA-N Acetoin Chemical compound CC(O)C(C)=O ROWKJAVDOGWPAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N Glycolaldehyde Chemical compound OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical group 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- RWLALWYNXFYRGW-UHFFFAOYSA-N 2-Ethyl-1,3-hexanediol Chemical compound CCCC(O)C(CC)CO RWLALWYNXFYRGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 1
- 229910021617 Indium monochloride Inorganic materials 0.000 description 1
- QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N L-alanine Chemical compound C[C@H](N)C(O)=O QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000004279 alanine Nutrition 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000001346 alkyl aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000001576 beta-amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- BXVLQFGQYHYURU-UHFFFAOYSA-N diethyltin Chemical compound CC[Sn]CC BXVLQFGQYHYURU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUCPUSUXIGWHFB-UHFFFAOYSA-N diphenyltin Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Sn]C1=CC=CC=C1 KUCPUSUXIGWHFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FOPKRSSYSAUFNZ-UHFFFAOYSA-N dipropyltin Chemical compound CCC[Sn]CCC FOPKRSSYSAUFNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N dodecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCO LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960005082 etohexadiol Drugs 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- XLSMFKSTNGKWQX-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetone Chemical compound CC(=O)CO XLSMFKSTNGKWQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFAZHVHNLUBROE-UHFFFAOYSA-N hydroxymethyl propionaldehyde Natural products CCC(=O)CO GFAZHVHNLUBROE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M indium(1+);chloride Chemical compound [In]Cl APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical group 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N nitrate group Chemical group [N+](=O)([O-])[O-] NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- WBVCLUDHJDTUAU-UHFFFAOYSA-N tetrabenzylstannane Chemical compound C=1C=CC=CC=1C[Sn](CC=1C=CC=CC=1)(CC=1C=CC=CC=1)CC1=CC=CC=C1 WBVCLUDHJDTUAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKPJWJGGZOJURQ-UHFFFAOYSA-N tetrakis(2-methylpropyl)stannane Chemical compound CC(C)C[Sn](CC(C)C)(CC(C)C)CC(C)C CKPJWJGGZOJURQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYOCUENQQQJWEI-UHFFFAOYSA-N tetrakis(3-methylbutyl)stannane Chemical compound CC(C)CC[Sn](CCC(C)C)(CCC(C)C)CCC(C)C OYOCUENQQQJWEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIQCWAIEHVRCCG-UHFFFAOYSA-N tetrapropylstannane Chemical compound CCC[Sn](CCC)(CCC)CCC OIQCWAIEHVRCCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXJNZPXGMGELDP-UHFFFAOYSA-J tin(4+);tetrabenzoate Chemical compound [Sn+4].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1.[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1.[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1.[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 HXJNZPXGMGELDP-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- JUYONNFUNDDKBE-UHFFFAOYSA-J tri(oct-2-enoyloxy)stannyl oct-2-enoate Chemical compound [Sn+4].CCCCCC=CC([O-])=O.CCCCCC=CC([O-])=O.CCCCCC=CC([O-])=O.CCCCCC=CC([O-])=O JUYONNFUNDDKBE-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- YJGJRYWNNHUESM-UHFFFAOYSA-J triacetyloxystannyl acetate Chemical compound [Sn+4].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O YJGJRYWNNHUESM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、溶液塗布法に適した透明導電膜形成
用組成物に関する。 従来、透明導電膜の形成法としては真空中で基
材上にInO3またはSnO2被膜を形成させる真空蒸
着法が主流をなしているが、この方法では装置が
非常に複雑で大規模である上に、その操作もきわ
めて面倒である。また、広い面積に被膜を形成さ
せることも困難で、大量生産できず製造価格が高
くなる欠点がある。 これらの欠点を解消するものとして近年溶液塗
布法が注目されている。この方法では、(イ)基材上
への有機金属化合物溶液の塗布、(ロ)乾燥、(ハ)焼成
の簡単な工程で、基材上に任意の形状の被膜の形
成が可能であり、しかも設備も大掛りのものを必
要とせず、また大量生産も容易である。 しかしながら、この溶液塗布法に適した原料薬
液は現在のところ見い出されておらず、したがつ
て実用化されていない。例えば、InCl3、InNO3、
SnCl2、SnCl4等の無機塩の有機溶剤溶液を使用
した場合は、形成された膜に白濁が生じたり、得
られた膜の機械的強度が不足で、傷がつきやすい
等の欠点がある。また硝酸根を有するインジユー
ム化合物を用いるときは、腐食性の硝酸が副生
し、そのため基材等の腐食が起こり好ましくな
い。さらに有機インジユーム化合物、有機スズ化
合物単品の有機溶剤溶液では安定性が悪く、例え
ば基材上への塗布の前後乃至焼成の前に加水分解
を起こして薬液や被膜が白濁化すること、及び透
明の被膜が得られてもその物理的性質が不充分で
あることなど実用的でない。 本発明者らは、上記のような欠点のない溶液塗
布による透明導電膜形成用薬剤を見い出すべく鋭
意研究した結果本発明を完成した。 本発明は、一般式 In(X)l(Y)m () (Xはインジユームとキレート環を形成する一般
式XHで表わされる有機化合物残基、Yは一般式
YHで表わされる炭素数1〜18の水酸基含有化合
物の残基、l=0.5〜2.5、m=0.5〜2.5、但しl
+m=3)で表わされる有機インジユーム化合物
70〜99.5重量部及び有機溶剤可溶性スズ化合物
0.5〜30重量部の有機溶剤溶液からなることを特
徴とする透明導電膜形成用組成物である。 上記一般式()におけるXに関して、一般式
XHで表わされるキレート形成性化合物として
は、アセチルアセトン、ベンゾイルアセトンなど
のβ−ジケトン類、アセト酢酸、プロピオニル酪
酸、ベンゾイル酢酸、アセチルギ酸、ベンゾイル
ギ酸などのα−またはβ−ケトン酸類、該ケトン
酸類のメチル、エチル、プロピル、ブチルなどの
エステル類、グリコール酸、乳酸、α−オキシ酪
酸、ヒドロアクリル酸、サリチル酸などのα−ま
たはβ−オキシ酸類のメチル、エチル、プロピ
ル、ブチルなどのエステル類、ジアセトンアルコ
ール、アセトインなどのα−またはβ−オキシケ
トン類、グリコールアルデヒド、アルドールなど
のα−またはβ−オキシアルデヒド類、グリシ
ン、アラニンなどのα−アミノ酸類、アミノエチ
ルアルコールなどのα−またはβ−アミノアルコ
ール類などを含むインジユームとキレート環を形
成し得るすべての化合物を単独または2種以上の
混合物として使用し得る。耐加水分解性、酸化被
膜形成時の分解収縮率が小さく、かつ経済性にす
ぐれたキレート形成性化合物としては、アセチル
アセトン、アセト酢酸エチル、ジアセトンアルコ
ールなどが好ましい。 一般式()のYに関して、一般式YHで表わ
される水酸基含有化合物としては、メタノール、
エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタ
ノール、ヘキサノール、2−エチルヘキサノー
ル、オタタノール、ラウリルアルコール、1,4
−ブタンジオール、グリセリン、エチレングリコ
ール、オクチレングリコール、エチレングリコー
ルのモノアルキルエーテル等が用いられる。 一般式()においてIn(X)2(Y)1で表わされ
る化合物としては例えばブトキシビス(アセチル
アセトナト)インジユームであり、またIn(X)1
(Y)2で表わされる化合物としては例えばジ(ブ
トキシ)アセチルアセトナトインジユームであ
り、さらに例えばこれら両者の等モル混合物はIn
(X)1.5(Y)1.5で表わされるものとする。 本発明において用いられる有機溶剤可溶性スズ
化合物としては、一般式 Sn(Z)n () (Zは同一または異なる、前記XまたはYの同等
物、アルキル基、アリル基、有機酸もしくは無機
酸残基、ハロゲン原子を示し、nはスズの原子価
を示す。) で表わされるスズ化合物のうち有機溶剤可溶性の
ものが用いられる。例えば、ジエチルスズ、ジプ
ロピルスズ、テトラプロピルスズ、テトライソブ
チルスズ、テトライソアミルスズなどのアルキル
スズ類、ジフエニルスズ、ジ−トリルスズ、ジキ
シリルスズ、テトラキシリルスズ、テトラベンジ
ルスズなどのアリールスズ類、テトラアルコキシ
スズ類、トリアルコキシスズモノハロゲナイド
類、ジアルキルスズジハロゲナイド類、アルキル
スズトリハロゲナイド類、スズテトラハロゲナイ
ド類、スズジハロゲナイド類、酢酸スズ、安息香
酸スズ、オクテン酸スズ等の有機酸のスズ塩類等
が挙げられる。 本発明において、上記有機インジユーム化合物
と有機溶剤可溶性スズ化合物の混合比は70〜99.5
重量部対0.5〜30重量部である。この範囲を外れ
るときは、得られる塗膜の物理的性質または導電
性が劣る。 本発明において用いる有機溶剤としては、該当
有機インジユーム化合物およびまたはスズ化合物
の製造時において用いられるあらゆる有機溶剤を
使用することができるが、焼成の前の乾燥工程に
おける溶剤揮発の容易さ、溶液の安定性、経済性
等から沸点180℃以下の有機溶剤、特に炭素数8
以下の低級アルコール類、エステル類、エーテル
類、ケトン類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素
及びこれらのハロゲン化物が好ましい。溶液の濃
度は75重量%以下の範囲で任意に選択できるが一
般的には1〜50重量%の範囲である。 次に本発明の組成物を使用して透明導電膜を基
材上に形成する方法について説明する。基材とし
てはガラス、セラミツク等の板状またはその他の
形状のものが用途に応じて選ばれる。これらの基
材に本発明の組成物を塗布する方法として、スピ
ンナー法、スプレー法、浸漬引上げ法等がある
が、大きな基材を大量に処理できる方法としては
浸漬引上げ法が特に好ましい。この場合所望する
膜厚に応じて塗布液の濃度や引き上げ速度を調整
する。このようにして基材上に本発明の組成物を
塗布した後、次の乾燥工程に回される。乾燥条件
としては、用いた有機溶剤の種類にもよるが、一
般的には50〜100℃で10分〜3時間放置すれば溶
剤は充分蒸発し、基剤上に透明な膜が生成する。
次にこの膜形成済の基材を次の焼成工程にかけ
る。焼成としては、例えば電気炉中で300〜800℃
で10分〜2時間処理する。この処理により有機物
は完全に分解し、基材上に透明な導電膜が形成さ
れる。この一回の処理で膜厚等不充分な場合は同
様の処理をくり返し行ない、所望の膜厚を有する
機械的強度のすぐれた透明導電膜を得ることがで
きる。 以下実施例で本発明を説明する。 実施例1〜11及び比較例1〜2 第1表に示す有機インジユーム化合物及びスズ
化合物の溶液を調整し、この溶液中に70mm×30mm
×1mmのアルカリガラス基板を浸漬した。同表に
示した引上速度で基板を溶液から引き上げ、表に
示した乾燥条件で乾燥した。次いで電気炉で表に
示した条件で焼成してガラス基板上に導電膜を得
た。この被膜の表面抵抗、膜厚、硬度及び透明度
を測定し、その結果を第1表に示した。同表に見
られる如く本発明によれば簡単な方法で容易に透
明で高硬度の導電膜を基材上に形成し得る。 【表】
用組成物に関する。 従来、透明導電膜の形成法としては真空中で基
材上にInO3またはSnO2被膜を形成させる真空蒸
着法が主流をなしているが、この方法では装置が
非常に複雑で大規模である上に、その操作もきわ
めて面倒である。また、広い面積に被膜を形成さ
せることも困難で、大量生産できず製造価格が高
くなる欠点がある。 これらの欠点を解消するものとして近年溶液塗
布法が注目されている。この方法では、(イ)基材上
への有機金属化合物溶液の塗布、(ロ)乾燥、(ハ)焼成
の簡単な工程で、基材上に任意の形状の被膜の形
成が可能であり、しかも設備も大掛りのものを必
要とせず、また大量生産も容易である。 しかしながら、この溶液塗布法に適した原料薬
液は現在のところ見い出されておらず、したがつ
て実用化されていない。例えば、InCl3、InNO3、
SnCl2、SnCl4等の無機塩の有機溶剤溶液を使用
した場合は、形成された膜に白濁が生じたり、得
られた膜の機械的強度が不足で、傷がつきやすい
等の欠点がある。また硝酸根を有するインジユー
ム化合物を用いるときは、腐食性の硝酸が副生
し、そのため基材等の腐食が起こり好ましくな
い。さらに有機インジユーム化合物、有機スズ化
合物単品の有機溶剤溶液では安定性が悪く、例え
ば基材上への塗布の前後乃至焼成の前に加水分解
を起こして薬液や被膜が白濁化すること、及び透
明の被膜が得られてもその物理的性質が不充分で
あることなど実用的でない。 本発明者らは、上記のような欠点のない溶液塗
布による透明導電膜形成用薬剤を見い出すべく鋭
意研究した結果本発明を完成した。 本発明は、一般式 In(X)l(Y)m () (Xはインジユームとキレート環を形成する一般
式XHで表わされる有機化合物残基、Yは一般式
YHで表わされる炭素数1〜18の水酸基含有化合
物の残基、l=0.5〜2.5、m=0.5〜2.5、但しl
+m=3)で表わされる有機インジユーム化合物
70〜99.5重量部及び有機溶剤可溶性スズ化合物
0.5〜30重量部の有機溶剤溶液からなることを特
徴とする透明導電膜形成用組成物である。 上記一般式()におけるXに関して、一般式
XHで表わされるキレート形成性化合物として
は、アセチルアセトン、ベンゾイルアセトンなど
のβ−ジケトン類、アセト酢酸、プロピオニル酪
酸、ベンゾイル酢酸、アセチルギ酸、ベンゾイル
ギ酸などのα−またはβ−ケトン酸類、該ケトン
酸類のメチル、エチル、プロピル、ブチルなどの
エステル類、グリコール酸、乳酸、α−オキシ酪
酸、ヒドロアクリル酸、サリチル酸などのα−ま
たはβ−オキシ酸類のメチル、エチル、プロピ
ル、ブチルなどのエステル類、ジアセトンアルコ
ール、アセトインなどのα−またはβ−オキシケ
トン類、グリコールアルデヒド、アルドールなど
のα−またはβ−オキシアルデヒド類、グリシ
ン、アラニンなどのα−アミノ酸類、アミノエチ
ルアルコールなどのα−またはβ−アミノアルコ
ール類などを含むインジユームとキレート環を形
成し得るすべての化合物を単独または2種以上の
混合物として使用し得る。耐加水分解性、酸化被
膜形成時の分解収縮率が小さく、かつ経済性にす
ぐれたキレート形成性化合物としては、アセチル
アセトン、アセト酢酸エチル、ジアセトンアルコ
ールなどが好ましい。 一般式()のYに関して、一般式YHで表わ
される水酸基含有化合物としては、メタノール、
エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタ
ノール、ヘキサノール、2−エチルヘキサノー
ル、オタタノール、ラウリルアルコール、1,4
−ブタンジオール、グリセリン、エチレングリコ
ール、オクチレングリコール、エチレングリコー
ルのモノアルキルエーテル等が用いられる。 一般式()においてIn(X)2(Y)1で表わされ
る化合物としては例えばブトキシビス(アセチル
アセトナト)インジユームであり、またIn(X)1
(Y)2で表わされる化合物としては例えばジ(ブ
トキシ)アセチルアセトナトインジユームであ
り、さらに例えばこれら両者の等モル混合物はIn
(X)1.5(Y)1.5で表わされるものとする。 本発明において用いられる有機溶剤可溶性スズ
化合物としては、一般式 Sn(Z)n () (Zは同一または異なる、前記XまたはYの同等
物、アルキル基、アリル基、有機酸もしくは無機
酸残基、ハロゲン原子を示し、nはスズの原子価
を示す。) で表わされるスズ化合物のうち有機溶剤可溶性の
ものが用いられる。例えば、ジエチルスズ、ジプ
ロピルスズ、テトラプロピルスズ、テトライソブ
チルスズ、テトライソアミルスズなどのアルキル
スズ類、ジフエニルスズ、ジ−トリルスズ、ジキ
シリルスズ、テトラキシリルスズ、テトラベンジ
ルスズなどのアリールスズ類、テトラアルコキシ
スズ類、トリアルコキシスズモノハロゲナイド
類、ジアルキルスズジハロゲナイド類、アルキル
スズトリハロゲナイド類、スズテトラハロゲナイ
ド類、スズジハロゲナイド類、酢酸スズ、安息香
酸スズ、オクテン酸スズ等の有機酸のスズ塩類等
が挙げられる。 本発明において、上記有機インジユーム化合物
と有機溶剤可溶性スズ化合物の混合比は70〜99.5
重量部対0.5〜30重量部である。この範囲を外れ
るときは、得られる塗膜の物理的性質または導電
性が劣る。 本発明において用いる有機溶剤としては、該当
有機インジユーム化合物およびまたはスズ化合物
の製造時において用いられるあらゆる有機溶剤を
使用することができるが、焼成の前の乾燥工程に
おける溶剤揮発の容易さ、溶液の安定性、経済性
等から沸点180℃以下の有機溶剤、特に炭素数8
以下の低級アルコール類、エステル類、エーテル
類、ケトン類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素
及びこれらのハロゲン化物が好ましい。溶液の濃
度は75重量%以下の範囲で任意に選択できるが一
般的には1〜50重量%の範囲である。 次に本発明の組成物を使用して透明導電膜を基
材上に形成する方法について説明する。基材とし
てはガラス、セラミツク等の板状またはその他の
形状のものが用途に応じて選ばれる。これらの基
材に本発明の組成物を塗布する方法として、スピ
ンナー法、スプレー法、浸漬引上げ法等がある
が、大きな基材を大量に処理できる方法としては
浸漬引上げ法が特に好ましい。この場合所望する
膜厚に応じて塗布液の濃度や引き上げ速度を調整
する。このようにして基材上に本発明の組成物を
塗布した後、次の乾燥工程に回される。乾燥条件
としては、用いた有機溶剤の種類にもよるが、一
般的には50〜100℃で10分〜3時間放置すれば溶
剤は充分蒸発し、基剤上に透明な膜が生成する。
次にこの膜形成済の基材を次の焼成工程にかけ
る。焼成としては、例えば電気炉中で300〜800℃
で10分〜2時間処理する。この処理により有機物
は完全に分解し、基材上に透明な導電膜が形成さ
れる。この一回の処理で膜厚等不充分な場合は同
様の処理をくり返し行ない、所望の膜厚を有する
機械的強度のすぐれた透明導電膜を得ることがで
きる。 以下実施例で本発明を説明する。 実施例1〜11及び比較例1〜2 第1表に示す有機インジユーム化合物及びスズ
化合物の溶液を調整し、この溶液中に70mm×30mm
×1mmのアルカリガラス基板を浸漬した。同表に
示した引上速度で基板を溶液から引き上げ、表に
示した乾燥条件で乾燥した。次いで電気炉で表に
示した条件で焼成してガラス基板上に導電膜を得
た。この被膜の表面抵抗、膜厚、硬度及び透明度
を測定し、その結果を第1表に示した。同表に見
られる如く本発明によれば簡単な方法で容易に透
明で高硬度の導電膜を基材上に形成し得る。 【表】
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 一般式 In(X)l(Y)m () (式中Xはインジユームとキレート環を形成する
一般式XHで表わされる有機化合物の残基を表わ
し、Yは一般式YHで表わされる炭素数1〜18の
水酸基含有化合物の残基を表わし、またl=0.5
〜2.5、m=0.5〜2.5、但しl+m=3である。) で表わされる有機インジユーム化合物70〜99.5重
量部及び有機溶剤可溶性スズ化合物0.5〜30重量
部の有機溶剤溶液からなることを特徴とする透明
導電膜形成用組成物。 2 一般式XHで表わされる有機化合物が、β−
ジケトン類、α−またはβ−ケトン酸類、該ケト
ン酸類のエステル類、α−またはβ−オキシ酸類
のエステル類、α−またはβ−オキシケトン類、
α−またはβ−オキシアルデヒド類、α−アミノ
酸類及びα−またはβ−アミノアルコール類から
なる群から選ばれるものである特許請求の範囲第
1項記載の透明導電膜形成用組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7996580A JPS577017A (en) | 1980-06-13 | 1980-06-13 | Transparent conductive film forming composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7996580A JPS577017A (en) | 1980-06-13 | 1980-06-13 | Transparent conductive film forming composition |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS577017A JPS577017A (en) | 1982-01-14 |
JPS6338803B2 true JPS6338803B2 (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=13705017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7996580A Granted JPS577017A (en) | 1980-06-13 | 1980-06-13 | Transparent conductive film forming composition |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS577017A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59215326A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Takiron Co Ltd | 制電性合成樹脂シ−トの製法 |
DE3324647A1 (de) * | 1983-07-08 | 1985-01-17 | Schott Glaswerke, 6500 Mainz | Tauchverfahren zur herstellung transparenter, elektrisch leitfaehiger, dotierter indiumoxidschichten |
JPS6088984A (ja) * | 1983-10-22 | 1985-05-18 | アルプス電気株式会社 | 液晶表示素子の端子接続方法 |
DE102010031592A1 (de) * | 2010-07-21 | 2012-01-26 | Evonik Degussa Gmbh | Indiumoxoalkoxide für die Herstellung Indiumoxid-haltiger Schichten |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54150697A (en) * | 1978-05-19 | 1979-11-27 | Hitachi Ltd | Manufacture of solution for making transparent electroconductive film |
-
1980
- 1980-06-13 JP JP7996580A patent/JPS577017A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54150697A (en) * | 1978-05-19 | 1979-11-27 | Hitachi Ltd | Manufacture of solution for making transparent electroconductive film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS577017A (en) | 1982-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016145426A (ja) | 加熱処理物 | |
GB2093442A (en) | Composition and process for preparing transparent conducting film | |
JPH07182939A (ja) | 透明導電膜形成用組成物及び透明導電膜形成方法 | |
JPH056289B2 (ja) | ||
JPS6338803B2 (ja) | ||
US4391743A (en) | Composition for depositing metallic oxide film coatings | |
JPH0141665B2 (ja) | ||
JPS5936955B2 (ja) | 酸化チタン被膜形成方法 | |
JPS6150903B2 (ja) | ||
JPS6027130B2 (ja) | 透明導電膜作成用溶液の製造方法 | |
JP2680752B2 (ja) | 紡糸液および酸化スズファイバーの製造方法 | |
JPH0260397B2 (ja) | ||
EP0286654A1 (en) | Coating solutions | |
JPH05262524A (ja) | 酸化亜鉛薄膜の製造方法 | |
JPS5923403B2 (ja) | 透明導電膜の製造方法 | |
JPH067444B2 (ja) | オルガノインジウムゾルを含む透明導電膜形成用組成物 | |
JPH05314820A (ja) | 透明導電膜形成用組成物と透明導電膜形成方法 | |
JPH0221083B2 (ja) | ||
JP4670026B2 (ja) | In2O3−SnO2前駆体塗布液およびその製造方法ならびにIn2O3−SnO2薄膜の製造方法 | |
JPS62297470A (ja) | 金属酸化物薄膜形成用ペ−スト | |
JPH0233075B2 (ja) | ||
JP2956283B2 (ja) | 有機錫化合物の製造方法 | |
JPH0449721B2 (ja) | ||
JPS6358191B2 (ja) | ||
JPH06101253B2 (ja) | 導電性被膜の形成方法 |