JPS6336945A - 動圧型流体軸受の流体溝形成方法 - Google Patents
動圧型流体軸受の流体溝形成方法Info
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- JPS6336945A JPS6336945A JP18033086A JP18033086A JPS6336945A JP S6336945 A JPS6336945 A JP S6336945A JP 18033086 A JP18033086 A JP 18033086A JP 18033086 A JP18033086 A JP 18033086A JP S6336945 A JPS6336945 A JP S6336945A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、微小な溝を平面に高精度に塑性加工する動圧
型流体軸受の流体溝形成方法に関するものである。
型流体軸受の流体溝形成方法に関するものである。
従来の技術
近年、動圧型流体軸受は、回転精度が高く、軸受寿命の
長い小型軸受として、従来の玉軸受に替わる民生機器用
軸受に活用されつつある。
長い小型軸受として、従来の玉軸受に替わる民生機器用
軸受に活用されつつある。
以下、図面を参照しながら、上述した従来の動圧型流体
軸受の流体溝形成方法の一例について説明する。
軸受の流体溝形成方法の一例について説明する。
第３図は、従来の動圧型流体軸受の流体溝形成方法フロ
ー、第４図は、従来の動圧型流体軸受の流体溝形成方法
に用いる流体溝製造装置を示すものである。第３図にお
いて、軟質金属材料（例えば銅合金板）を洗浄、平面研
削した後、その片平面に硬質の金型を加圧し、流体溝を
成形し、加工歪みを熱処理で取シ除いた後、切削もしく
は研削で流体溝を成形した平面を仕上げる。第４図にお
いて、１ａは流体溝成形金型である。２ａは加工物ホル
ダーで、３ａは加工物である。４ａはプレス機械で、６
ａはラムである。ラム５ａの上下動により、ラム６ａに
取り付けられた流体溝成形金型１ａが上下動し、下限で
加工物３ａを加圧し塑性加工により流体溝を成形する。
ー、第４図は、従来の動圧型流体軸受の流体溝形成方法
に用いる流体溝製造装置を示すものである。第３図にお
いて、軟質金属材料（例えば銅合金板）を洗浄、平面研
削した後、その片平面に硬質の金型を加圧し、流体溝を
成形し、加工歪みを熱処理で取シ除いた後、切削もしく
は研削で流体溝を成形した平面を仕上げる。第４図にお
いて、１ａは流体溝成形金型である。２ａは加工物ホル
ダーで、３ａは加工物である。４ａはプレス機械で、６
ａはラムである。ラム５ａの上下動により、ラム６ａに
取り付けられた流体溝成形金型１ａが上下動し、下限で
加工物３ａを加圧し塑性加工により流体溝を成形する。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような構成では、塑性加工による
残留歪みが精度的な経時変化を起こさせるのと、軟質金
属を使用する為、平面のソリおよび加工時の弾性変形に
より流体溝の成形精度が低下するという問題点を有して
いた。
残留歪みが精度的な経時変化を起こさせるのと、軟質金
属を使用する為、平面のソリおよび加工時の弾性変形に
より流体溝の成形精度が低下するという問題点を有して
いた。
本発明は、上記問題点に対し、流体溝加工精度の高い安
価な動圧型流体軸受の流体溝形成方法を提供するもので
ある。
価な動圧型流体軸受の流体溝形成方法を提供するもので
ある。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の動圧型流体軸受の
流体溝形成方法は硬質金属の表面に蒸着あるいはスパッ
タにより軟質金属薄膜を密着させ、硬質金型により平面
に加圧成形して流体溝を形成するという構成を備えたも
のである。
流体溝形成方法は硬質金属の表面に蒸着あるいはスパッ
タにより軟質金属薄膜を密着させ、硬質金型により平面
に加圧成形して流体溝を形成するという構成を備えたも
のである。
作 用
本発明は上記した構成によって、硬質金型で加圧した時
の耐荷重を向上させ、かつ塑性加工し易い硬質金属材料
の薄膜化により残留歪みの少ない流体溝加工精度の高い
ものが得られる。
の耐荷重を向上させ、かつ塑性加工し易い硬質金属材料
の薄膜化により残留歪みの少ない流体溝加工精度の高い
ものが得られる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は、本発明の実施例における動圧型流体軸受の流
体溝形成方法フローを示すものである。
体溝形成方法フローを示すものである。
又、第２図は、本発明の実施例における動圧型流体軸受
の流体溝製造装置を示すものである。第１図において、
洗浄後の硬質金属表面に蒸着もしくはスパッタで薄膜形
成した軟質金属材料に、成形する流体溝と逆パターンの
形状を持った硬質金型を加圧し平面に流体溝を形成した
後、流体溝形成面をラッピングにより仕上げ加工を行な
う。第２図は、第１図の流体溝を形成するだめの装置で
、駆動モータ１が回転すると、減速機２を介して送りネ
ジ３に推力が作用しラム４に取り付けられた硬質金型６
で硬質金属７の表面に蒸着もしくはスパッタで薄膜形成
した軟質金属材料６表面を加圧し流体溝を成形する。
の流体溝製造装置を示すものである。第１図において、
洗浄後の硬質金属表面に蒸着もしくはスパッタで薄膜形
成した軟質金属材料に、成形する流体溝と逆パターンの
形状を持った硬質金型を加圧し平面に流体溝を形成した
後、流体溝形成面をラッピングにより仕上げ加工を行な
う。第２図は、第１図の流体溝を形成するだめの装置で
、駆動モータ１が回転すると、減速機２を介して送りネ
ジ３に推力が作用しラム４に取り付けられた硬質金型６
で硬質金属７の表面に蒸着もしくはスパッタで薄膜形成
した軟質金属材料６表面を加圧し流体溝を成形する。
以上のように本実施例によれば、硬質金属７の表面に蒸
着あるいはスパッタにより例えば１ｏ数ミクロンミリの
銅合金薄膜６を密着させることにより、硬質金型５で加
圧した時の耐荷重を向上させ、かつ塑性加工し易い軟質
金属材料の薄膜化により残留歪みの少ない流体溝加工精
度の高いものが得られることができる。
着あるいはスパッタにより例えば１ｏ数ミクロンミリの
銅合金薄膜６を密着させることにより、硬質金型５で加
圧した時の耐荷重を向上させ、かつ塑性加工し易い軟質
金属材料の薄膜化により残留歪みの少ない流体溝加工精
度の高いものが得られることができる。
発明の効果
以上のように本発明は、硬質金属の表面に蒸着あるいは
スパッタにより軟質金属薄膜を密着させることにより、
硬質金型で加圧した時の耐荷重を向上させ、かつ塑性加
工し易い金属材料の薄膜化により残留歪みの少ない流体
溝加工精度の高いものが得られることができる。
スパッタにより軟質金属薄膜を密着させることにより、
硬質金型で加圧した時の耐荷重を向上させ、かつ塑性加
工し易い金属材料の薄膜化により残留歪みの少ない流体
溝加工精度の高いものが得られることができる。
第１図は本発明の実施例における動圧型流体軸受の流体
溝製造方法フロー図、第２図は本発明の実施例における
動圧型流体軸受の流体溝製造装置の構造図、第３図は従
来の動圧型流体軸受の流体溝製造方法フロー図、第４図
は従来の動圧型流体軸受の流体溝製造方法における流体
溝製造装置の断面図である。 ６・・・・・・硬質金型、６・・・・・・軟質金属薄膜
、７・・・・・・硬質金属。
溝製造方法フロー図、第２図は本発明の実施例における
動圧型流体軸受の流体溝製造装置の構造図、第３図は従
来の動圧型流体軸受の流体溝製造方法フロー図、第４図
は従来の動圧型流体軸受の流体溝製造方法における流体
溝製造装置の断面図である。 ６・・・・・・硬質金型、６・・・・・・軟質金属薄膜
、７・・・・・・硬質金属。
Claims (1)
- 硬質金属の表面に蒸着あるいはスパッタにより軟質金属
薄膜を密着させ、硬質金型により平面に加圧成形して流
体溝を形成する動圧型流体軸受の流体溝形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18033086A JPS6336945A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 動圧型流体軸受の流体溝形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18033086A JPS6336945A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 動圧型流体軸受の流体溝形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336945A true JPS6336945A (ja) | 1988-02-17 |
Family
ID=16081327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18033086A Pending JPS6336945A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 動圧型流体軸受の流体溝形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336945A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5265457A (en) * | 1990-02-16 | 1993-11-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming an oil groove on the end surface of a rotor of an aluminum alloy |
| US5931037A (en) * | 1996-07-01 | 1999-08-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Yoke of planetary gear-type starter, manufacturing apparatus therefor and manufacturing method thereof |
| US20110154875A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-06-30 | Alphana Technology Co., Ltd. | Production method of rotating device having thrust dynamic pressure generating site on which a thrust pressure pattern is formed and rotating device produced by said production method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5747531A (en) * | 1980-09-04 | 1982-03-18 | Senjiyu Kinzoku Kogyo Kk | Bearing plate and its grooving method |
| JPS59215239A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体軸受のグル−プの成形方法 |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP18033086A patent/JPS6336945A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5747531A (en) * | 1980-09-04 | 1982-03-18 | Senjiyu Kinzoku Kogyo Kk | Bearing plate and its grooving method |
| JPS59215239A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体軸受のグル−プの成形方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5265457A (en) * | 1990-02-16 | 1993-11-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming an oil groove on the end surface of a rotor of an aluminum alloy |
| US5931037A (en) * | 1996-07-01 | 1999-08-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Yoke of planetary gear-type starter, manufacturing apparatus therefor and manufacturing method thereof |
| US20110154875A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-06-30 | Alphana Technology Co., Ltd. | Production method of rotating device having thrust dynamic pressure generating site on which a thrust pressure pattern is formed and rotating device produced by said production method |
| US8631677B2 (en) * | 2009-12-28 | 2014-01-21 | Samsung Electro-Mechanics Japan Advanced Technology Co., Ltd. | Production method of rotating device having thrust dynamic pressure generating site on which a thrust pressure pattern is formed and rotating device produced by said production method |
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