JPS6336031U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6336031U JPS6336031U JP13041186U JP13041186U JPS6336031U JP S6336031 U JPS6336031 U JP S6336031U JP 13041186 U JP13041186 U JP 13041186U JP 13041186 U JP13041186 U JP 13041186U JP S6336031 U JPS6336031 U JP S6336031U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- seed crystal
- shaped seed
- holding
- liquid phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 4
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例の縦断面図、同図
ｂは同図ａのＡ―Ａ′線における矢視平面図、同
図ｃは同図ｂのＢ―Ｂ′線における縦断面図、第
２図ａは従来の半導体液相成長治具の一例を示す
縦断面図、同図ｂは同図ａのＣ―Ｃ′線における
横断面図である。 １，１１……溶解槽、２，１２……板状種結晶
保持板、２ａ……段付穴、２ｂ……下穴、３，１
３……成長基板、４，１４……浴槽、５，１５…
…スライダー、６，１６……板状種結晶（オーバ
ーシード）、７……板状種結晶カバー、１８……
板状種結晶固定板。
ｂは同図ａのＡ―Ａ′線における矢視平面図、同
図ｃは同図ｂのＢ―Ｂ′線における縦断面図、第
２図ａは従来の半導体液相成長治具の一例を示す
縦断面図、同図ｂは同図ａのＣ―Ｃ′線における
横断面図である。 １，１１……溶解槽、２，１２……板状種結晶
保持板、２ａ……段付穴、２ｂ……下穴、３，１
３……成長基板、４，１４……浴槽、５，１５…
…スライダー、６，１６……板状種結晶（オーバ
ーシード）、７……板状種結晶カバー、１８……
板状種結晶固定板。
Claims (1)
- 半導体エピタキシヤル成長に必要な固形物を溶
解する溶解槽とその溶解した溶液を保持する複数
の浴槽と板状種結晶（オーバーシード）を保持す
る板状種結晶保持板とを備えた本体と、前記浴槽
の下側面を成長基板を載置しつつ摺動可能なスラ
イダーとを含む半導体液相成長治具において、前
記板状種結晶保持板に設けられ前記板状種結晶を
上方から載置できる段付穴と、該段付穴に嵌まり
前記板状種結晶を覆つて押える板状種結晶カバー
とを備えることを特徴とする半導体液相成長治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13041186U JPH0710491Y2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 半導体液相成長治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13041186U JPH0710491Y2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 半導体液相成長治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336031U true JPS6336031U (ja) | 1988-03-08 |
| JPH0710491Y2 JPH0710491Y2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=31027884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13041186U Expired - Lifetime JPH0710491Y2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 半導体液相成長治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710491Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP13041186U patent/JPH0710491Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0710491Y2 (ja) | 1995-03-08 |