JPS63167175U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63167175U JPS63167175U JP6097787U JP6097787U JPS63167175U JP S63167175 U JPS63167175 U JP S63167175U JP 6097787 U JP6097787 U JP 6097787U JP 6097787 U JP6097787 U JP 6097787U JP S63167175 U JPS63167175 U JP S63167175U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- single crystal
- jig
- fit
- liquid phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる結晶成長装置を示す横
断面図、第２図ａ，ｂ，ｃはそれぞれ本考案に係
わる結晶成長装置の基板移動用治具を示す平面図
である。 １：原料溶液溜め、２：基板移動用治具、３：
装置保持具、４：基板移動用治具操作棒、５：原
料溶液、６：単結晶基板挿入用溝、７，８：単結
晶基板、９，１０：異種形状基板固定用治具。
断面図、第２図ａ，ｂ，ｃはそれぞれ本考案に係
わる結晶成長装置の基板移動用治具を示す平面図
である。 １：原料溶液溜め、２：基板移動用治具、３：
装置保持具、４：基板移動用治具操作棒、５：原
料溶液、６：単結晶基板挿入用溝、７，８：単結
晶基板、９，１０：異種形状基板固定用治具。
Claims (1)
- 貫通した原料溶液溜の下を、基板挿入用溝に単
結晶基板を積載した基板移動用治具が移動するこ
とにより、前記単結晶基板上にさらなる単結晶を
エピタキシヤル成長させるスライド・ボート法に
より液相結晶成長装置において、前記基板移動用
治具の基板挿入用溝に、種々の形状の単結晶基板
に適合して該単結晶基板をはめ込むための異種異
形状基板固定用治具が設けられていることを特徴
とする液相結晶装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097787U JPS63167175U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097787U JPS63167175U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167175U true JPS63167175U (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=30893886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6097787U Pending JPS63167175U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63167175U (ja) |
-
1987
- 1987-04-22 JP JP6097787U patent/JPS63167175U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63167175U (ja) | ||
| JPS6143275U (ja) | 結晶成長装置 | |
| JPH0438517Y2 (ja) | ||
| JPS63140072U (ja) | ||
| JPS63186775U (ja) | ||
| JPS63127983U (ja) | ||
| JPH01149467U (ja) | ||
| JPS62103245U (ja) | ||
| JPS6394976U (ja) | ||
| JPS6414166U (ja) | ||
| JPS6422778U (ja) | ||
| JPS62166266U (ja) | ||
| JPS6310544U (ja) | ||
| JPS57197823A (en) | Liquid phase epitaxial growing method | |
| JPH0517878Y2 (ja) | ||
| JPS6331527U (ja) | ||
| JPH0165867U (ja) | ||
| JPS59169370U (ja) | 液相エピタキシヤル膜成長用基板ホルダ | |
| JPH04735U (ja) | ||
| JPH0257964U (ja) | ||
| JPS6364028U (ja) | ||
| JPS6476995A (en) | Apparatus for growing liquid phase | |
| JPS62203271U (ja) | ||
| JPS632776U (ja) | ||
| JPS63145865U (ja) |