JPS63127983U - - Google Patents
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- JPS63127983U JPS63127983U JP1932087U JP1932087U JPS63127983U JP S63127983 U JPS63127983 U JP S63127983U JP 1932087 U JP1932087 U JP 1932087U JP 1932087 U JP1932087 U JP 1932087U JP S63127983 U JPS63127983 U JP S63127983U
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- Japan
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- melt
- substrate
- raw material
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- Pending
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の液相エピタキシヤル成長装置
の一実施例の説明図、第２図は作業開始及び終了
時におけるボートの説明図、第３図は本考案の他
の実施例の説明図、第４図は従来例を示す説明図
である。 １：基板ホルダ、２，１５，１６：成長ホルダ
、３：基板、１４：融液質、１３，１７：原料ホ
ルダ、１８：成長済融液室、１９，２０：開口部
、２１，２２：シヤツター。
の一実施例の説明図、第２図は作業開始及び終了
時におけるボートの説明図、第３図は本考案の他
の実施例の説明図、第４図は従来例を示す説明図
である。 １：基板ホルダ、２，１５，１６：成長ホルダ
、３：基板、１４：融液質、１３，１７：原料ホ
ルダ、１８：成長済融液室、１９，２０：開口部
、２１，２２：シヤツター。
Claims (1)
- 半導体基板を保持する基板ホルダと、前記基板
に結晶を成長させる成長ホルダと、原料の融液を
収納する原料ホルダとを備え、前記基板を前記融
液に接触させて化合物半導体を成長させるスライ
ドボートによる液相エピタキシヤル成長装置にお
いて、前記基板ホルダを挾んでその上下に一対の
前記成長ホルダを設け、該一対の成長ホルダの上
下には一対の前記原料ホルダを設け、該一対の原
料ホルダの一方には前記融液を収容する融液室を
設け、他方には使用済の融液を収容する成長済融
液室が設けてあることを特徴とする液相エピタキ
シヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1932087U JPS63127983U (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1932087U JPS63127983U (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127983U true JPS63127983U (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=30813816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1932087U Pending JPS63127983U (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63127983U (ja) |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP1932087U patent/JPS63127983U/ja active Pending
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