JPH031976U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031976U JPH031976U JP6273089U JP6273089U JPH031976U JP H031976 U JPH031976 U JP H031976U JP 6273089 U JP6273089 U JP 6273089U JP 6273089 U JP6273089 U JP 6273089U JP H031976 U JPH031976 U JP H031976U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- epitaxial growth
- boat
- accommodating
- liquid phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図は従来の液相エピタキシヤル成長用ボートを
示す断面図である。 図において、６はスライド可能な第１の板、７
はスライド可能な第２の板、１２は第１の室、１
３は第２の室、１４は第３の室、１５はスライド
可能な第３の板である。なお、各図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
２図は従来の液相エピタキシヤル成長用ボートを
示す断面図である。 図において、６はスライド可能な第１の板、７
はスライド可能な第２の板、１２は第１の室、１
３は第２の室、１４は第３の室、１５はスライド
可能な第３の板である。なお、各図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- エピタキシヤル成長に用いる結晶融液を収容す
る第１の室、この第１の室の下側に位置しエピタ
キシヤル成長させるべき基板を収容するための第
２の室、この第２の室の下側に位置し上記エピタ
キシヤル成長に用いた結晶融液を収容する第３の
室、上記第１の室と第２の室、第２の室と第３の
室を仕切るスライド可能な板及び第３の室の底が
スライド可能な板から成る液相エピタキシヤル成
長用ボートにおいて、このボートを３つの室に分
割でき第１の室と第３の室が同じ構造で且つ、第
１の室と第２の室を仕切るスライド可能な板と第
３の室の底のスライド可能な板が同じ構造である
ことを特徴とする液相エピタキシヤル成長用ボー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6273089U JPH031976U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6273089U JPH031976U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031976U true JPH031976U (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=31592146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6273089U Pending JPH031976U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031976U (ja) |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP6273089U patent/JPH031976U/ja active Pending
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