JPS6334753A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS6334753A JPS6334753A JP17797986A JP17797986A JPS6334753A JP S6334753 A JPS6334753 A JP S6334753A JP 17797986 A JP17797986 A JP 17797986A JP 17797986 A JP17797986 A JP 17797986A JP S6334753 A JPS6334753 A JP S6334753A
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- rare earth
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- earth metals
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- magneto
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Links
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばレーザー光等の照射により、記録・再
生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する。
生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する。
レーザー光のスポットで記録層を加熱しながら外部磁界
を加え反転磁区を形成することにより記録し、記録時よ
シ低パワーの直線偏光した上記レーザー光のスポットを
入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用して再
生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられる記録
媒体においては少なくとも次の性質を満たすことが必要
である。
を加え反転磁区を形成することにより記録し、記録時よ
シ低パワーの直線偏光した上記レーザー光のスポットを
入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用して再
生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられる記録
媒体においては少なくとも次の性質を満たすことが必要
である。
１、 半導体レーザーで記録・消去を行なえる程度にキ
ュリ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べてキュリ
一温度が充分高いこと。
ュリ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べてキュリ
一温度が充分高いこと。
Ｚ 記録媒体が、多結晶であると生ずる粒界ノイズ、単
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
５、 再生は、カー効果、ファラデー効果を利用するた
め、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転
角が大きいこと。
め、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転
角が大きいこと。
４、 垂直磁化膜であること。
そのため、従来からＴｂＦｅ 、ＴｂＦ”ｅＣｏ 。
ＧｄＴｂＦｅＣｏなどの材料が上記の性質を満たすもの
として光磁気記録媒体として用いられてきている。さら
に、特開昭５９−１７８６４１のように重希土類金属’
ｌ’ ｂ ｅ Ｇ ｄ ｐ Ｄ ｙ、遷移金属Ｆｅに軽
希土類金属Ｓｍを添加することにょシ、記録特性を損な
うことなく、光再生特性を向上させることを行なってき
た。
として光磁気記録媒体として用いられてきている。さら
に、特開昭５９−１７８６４１のように重希土類金属’
ｌ’ ｂ ｅ Ｇ ｄ ｐ Ｄ ｙ、遷移金属Ｆｅに軽
希土類金属Ｓｍを添加することにょシ、記録特性を損な
うことなく、光再生特性を向上させることを行なってき
た。
光磁気記録媒体は、非晶質であることが必要であるため
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。
しかし、光磁気記録媒体として用いられる重希土類−遷
移金属非晶質合金とほぼ同組成の合金を溶解・鋳造によ
り作製することは、これらの合金が割れやすいため、困
難である。そのため、スパッタリングにより記録媒体を
作製する場合には単一のターゲットから記録媒体を作製
できないので、例えば、遷移金属ターゲット上に希土類
金属などのチップを置いた複合ターゲット、または特開
昭５９−２００７６２．特開昭５９−２０８８１５のよ
うな埋め込み式複合ターゲットヲ用いなければならなか
った。しかし、ここで用いられる希土類金属のスパッタ
用ターゲットは通常、溶解・鋳造による方法で作製され
るが、この方法ではターゲットに含まれる酸素をα１重
量パーセント以下に抑えることは困難である。そのため
、スパッタリング用ターゲットあるいは蒸発源の持つ酸
素が記録媒体中に混入し、その磁気特性全落としてしま
りという欠点を有する。
移金属非晶質合金とほぼ同組成の合金を溶解・鋳造によ
り作製することは、これらの合金が割れやすいため、困
難である。そのため、スパッタリングにより記録媒体を
作製する場合には単一のターゲットから記録媒体を作製
できないので、例えば、遷移金属ターゲット上に希土類
金属などのチップを置いた複合ターゲット、または特開
昭５９−２００７６２．特開昭５９−２０８８１５のよ
うな埋め込み式複合ターゲットヲ用いなければならなか
った。しかし、ここで用いられる希土類金属のスパッタ
用ターゲットは通常、溶解・鋳造による方法で作製され
るが、この方法ではターゲットに含まれる酸素をα１重
量パーセント以下に抑えることは困難である。そのため
、スパッタリング用ターゲットあるいは蒸発源の持つ酸
素が記録媒体中に混入し、その磁気特性全落としてしま
りという欠点を有する。
本発明はこのような問題点を解決するもので、重希土類
金属、遷移金属のほか、軽希土類金属およびＮｂ、Ｂ、
Ｓｔ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｂｉ （ＤうちＮｂを
必ず含む２ａ類以上を含むことにより、従来のものに比
べて高性能な光磁気記録媒体を提供することにある。
金属、遷移金属のほか、軽希土類金属およびＮｂ、Ｂ、
Ｓｔ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｂｉ （ＤうちＮｂを
必ず含む２ａ類以上を含むことにより、従来のものに比
べて高性能な光磁気記録媒体を提供することにある。
本発明の光磁気記録媒体は、基体上に形成され、情報を
光により記録・再生・消去できる記録媒体として、軽希
土類金属Ｓｍ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｃｅ、Ｅｕのうち１種類以
上、重希土類金属’ｒｂ、ｃｄ、Ｄｙのうち１種類以上
、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種類以上およびＮ
ｂ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ＋Ｓｎ＋ｐｂ、ＢｉのうちＮ
ｂを必ず含む２種類以上の元素から構成される。
光により記録・再生・消去できる記録媒体として、軽希
土類金属Ｓｍ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｃｅ、Ｅｕのうち１種類以
上、重希土類金属’ｒｂ、ｃｄ、Ｄｙのうち１種類以上
、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種類以上およびＮ
ｂ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ＋Ｓｎ＋ｐｂ、ＢｉのうちＮ
ｂを必ず含む２種類以上の元素から構成される。
組成式を
（ＬＲｘｆ（Ｒ＋−ｘ）ｙＴＭ＋−ｙ−ｚ Ａｚとした
とき、（ＬＲは前記、軽希土類金属のうち１種類以上、
ＨＲは前記、重希土類金属のうち１種類以上、ＴＭは前
記、遷移金属のうち１種類以上、ＡはＮｂ、Ｂ、Ｓｉ、
Ａｔ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＮｂを必ず含む２
ＷＪＩ類以上のを表わす）本発明では又は０．１≦Ｘ
≦０．４，０．１≦ｙ≦０．５゜０＜ｚ≦０．２である
。Ｘはよシ好ましくは０．１≦Ｘ≦０．５．ｙはよシ好
ましくは０．１５≦ｙ≦０．５゜２−はより好ましくは
Ｑ、０１≦２≦０．１である。またＸは最も好ましくは
（１２≦Ｘ≦１３．ｙはより好ましくは１１８≦ｙ≦０
．５．Ｚはより好ましくはα０５≦２≦０．０８である
。またＡとして好ましくは、ＮｂとＢであり、より好ま
しくはＮｂとＡＩである。また最も好ましくはＮｂとＢ
１である。
とき、（ＬＲは前記、軽希土類金属のうち１種類以上、
ＨＲは前記、重希土類金属のうち１種類以上、ＴＭは前
記、遷移金属のうち１種類以上、ＡはＮｂ、Ｂ、Ｓｉ、
Ａｔ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＮｂを必ず含む２
ＷＪＩ類以上のを表わす）本発明では又は０．１≦Ｘ
≦０．４，０．１≦ｙ≦０．５゜０＜ｚ≦０．２である
。Ｘはよシ好ましくは０．１≦Ｘ≦０．５．ｙはよシ好
ましくは０．１５≦ｙ≦０．５゜２−はより好ましくは
Ｑ、０１≦２≦０．１である。またＸは最も好ましくは
（１２≦Ｘ≦１３．ｙはより好ましくは１１８≦ｙ≦０
．５．Ｚはより好ましくはα０５≦２≦０．０８である
。またＡとして好ましくは、ＮｂとＢであり、より好ま
しくはＮｂとＡＩである。また最も好ましくはＮｂとＢ
１である。
〔実施例１〕
実施例により、本発明の効果について述べる。
本発明の光磁気記録媒体はスパッタリングにより作製し
た。これらを作製するにあたり、通常の方法とは異なり
、溶解−鋳造による合金をターゲットとして用いた。タ
ーゲット組成と試料番号の対応表を表１に示す。
た。これらを作製するにあたり、通常の方法とは異なり
、溶解−鋳造による合金をターゲットとして用いた。タ
ーゲット組成と試料番号の対応表を表１に示す。
表１
これらの合金ターゲット中の酸素濃度の分析結果を表２
に示す。
に示す。
表２
表２に示した如く、ターゲット中の酸素濃度は重量比で
［１００５％以下となっている。ターゲットの鋳造後、
溶解炉中には、スラグが残っており、これらの中に希土
類金属あるいは、遷移金属中の酸素がとり込まれている
と考えられる。
［１００５％以下となっている。ターゲットの鋳造後、
溶解炉中には、スラグが残っており、これらの中に希土
類金属あるいは、遷移金属中の酸素がとり込まれている
と考えられる。
このように溶解・鋳造による合金ターゲットにおいては
、その含有する酸素濃度を極端に減らすことができる。
、その含有する酸素濃度を極端に減らすことができる。
なお、本実施例１に示した合金のほか、 ＮｂとＳｉ、
ＮｂとＣｒ、ＮｂとＳｎを含む合金からなるターゲット
を作製したが、これらについても合金ターゲット化のし
やすさ、酸素濃度はほぼ同等であった。
ＮｂとＣｒ、ＮｂとＳｎを含む合金からなるターゲット
を作製したが、これらについても合金ターゲット化のし
やすさ、酸素濃度はほぼ同等であった。
〔実施例２〕
実施例１で述べたように、溶解・鋳造で作製した合金タ
ーゲットを用い、Ｂｉ、Ｓｎのｆｋｋ変化させスパッタ
リングにより作製した光磁気記録媒体のカー回転角の変
化を調べた結果を第１図に示す。Ｓｎ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ａ
ｌの添加によりカー回転角に増加が認められた。
ーゲットを用い、Ｂｉ、Ｓｎのｆｋｋ変化させスパッタ
リングにより作製した光磁気記録媒体のカー回転角の変
化を調べた結果を第１図に示す。Ｓｎ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ａ
ｌの添加によりカー回転角に増加が認められた。
〔実施例５〕
本発明の光磁気記録媒体および従来例の記録・再生特性
を調べるために、溝付きポリカーボネイト基体上に約４
５０人光磁気記録媒体をそれぞれ形成し、その上に窒化
アルミニウムを約１００ＯＡ形成した。
を調べるために、溝付きポリカーボネイト基体上に約４
５０人光磁気記録媒体をそれぞれ形成し、その上に窒化
アルミニウムを約１００ＯＡ形成した。
次のような条件で記録・再生を行なった。
溝間記録、再生パワー１ｍＷｂ記録磁界５０００ｅ、線
速毎秒４．７ｍ、記録周波数Ｉ ＭＨｚ ％分解能帯域
３０ｋ）（ｚである。
速毎秒４．７ｍ、記録周波数Ｉ ＭＨｚ ％分解能帯域
３０ｋ）（ｚである。
第２図に本発明の光磁気記録媒体
（（Ｎｄ ａ、ｓＤｙ （Ｌ７ ） ＋１２５ （Ｆｅ
（Ｌ５５ＣＯ１４５） ａｙｓ （Ｎｂ ｃＬｓｓ
ｉ ａ２ｓＢｕｚｓ ）ｒＬ≠■ および第３図に従来例のＴｂ１ｌＬｚ（Ｆｅｕ９Ｃｏａ
＋ ）ＩＩＬａの記録レーザーパワーとＣ／Ｎ比、およ
び２次高調波抑圧比の関係を示す。本発明の光磁気記録
媒体においては、従来例と比べて、Ｃ／Ｎ比は向上させ
、記録レーザーパワーは低下させることが認められた。
（Ｌ５５ＣＯ１４５） ａｙｓ （Ｎｂ ｃＬｓｓ
ｉ ａ２ｓＢｕｚｓ ）ｒＬ≠■ および第３図に従来例のＴｂ１ｌＬｚ（Ｆｅｕ９Ｃｏａ
＋ ）ＩＩＬａの記録レーザーパワーとＣ／Ｎ比、およ
び２次高調波抑圧比の関係を示す。本発明の光磁気記録
媒体においては、従来例と比べて、Ｃ／Ｎ比は向上させ
、記録レーザーパワーは低下させることが認められた。
公知のように光磁気記録媒体の記録面上の記録時のレー
ザーパワーは記録面の線速の平方根に比例するので、記
録情報の転送レートをあけるためには、記録レーザーパ
ワーが低い方が望ましい。
ザーパワーは記録面の線速の平方根に比例するので、記
録情報の転送レートをあけるためには、記録レーザーパ
ワーが低い方が望ましい。
従って、本発明の光磁気記録媒体は従来例のものに比べ
て記録・再生特性ともに向上したといえる。
て記録・再生特性ともに向上したといえる。
なお、従来例のＴｂＦｅＣｏ光磁気記録媒体では、従来
から行なわれている複合ターゲットによるスパッタリン
グにより作製した。
から行なわれている複合ターゲットによるスパッタリン
グにより作製した。
以上述べてきたように、本発明の光磁気記録媒体におい
ては、重希土類金属、遷移金属のほかに、軽希土類金属
およびＮｂを含むため、溶解・鋳造による合金ターゲッ
トの作製が可能であるという効果を有し、さらに、他の
添加元素により、磁気光学特性を向上させるという効果
も有する。
ては、重希土類金属、遷移金属のほかに、軽希土類金属
およびＮｂを含むため、溶解・鋳造による合金ターゲッ
トの作製が可能であるという効果を有し、さらに、他の
添加元素により、磁気光学特性を向上させるという効果
も有する。
第１図は本発明の（Ｎｄｃ３Ｔｂｎｙ ）０．２２ 、
（ＦｅｎｓｓＣｏｕａｓ ）ａｙｓ（Ｎｂ＋−ＺＸＺ）
（ＬＯ５、Ｘ ＝ Ｓｎ 、 Ｂ ｉ 、Ｐｂ 、Ａｌ
のカー回転角とＺの関係を示す図。 第２図は本発明の（（Ｎｄ ａｓＤｙｒｈｙ ） ＣＬ
２５ （Ｆｅ ａ、ｓｓＣｏ ｗ４ｓ ） １ｌＬｙｓ
’Ｑ’Ｊ ｂ ｃＬｓ Ｓ ｉ ＣＬ２５ Ｂ ｒｕ
ｓ ）’ａｏｓ のＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比
と記録レーザーパワーの関係を示す図。 第３図は従来例のＴｂｎ２（Ｆｅｃ９Ｃｏｕ＋ ）［１
８のＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比と記録レーザーパ
ワーの関係を示す図。 以上 出願人 セイコーニブノン株式会社 Ｘ ス・ふ ｏＸＪ （Ｍｄｏ、３Ｔｂ。、７）ｏ、ａａ （７ａｏ、ｒｒ
ｅ−ｏｎ、ｔｔｒ）ｎ、７）ＱＪｂｂｘ’ｌｘ ）ｐａ
５＼ヤシ 〆 第１ 図 ρ ２ ＋ に ｇ ＋□を己
４哨シレー１゛゛−−ノザワー Ｃ啼、ｗン第２図 ｐ ） ＋ ｂ
？ ／−女群しデＬパワーへＷ） 第３図
（ＦｅｎｓｓＣｏｕａｓ ）ａｙｓ（Ｎｂ＋−ＺＸＺ）
（ＬＯ５、Ｘ ＝ Ｓｎ 、 Ｂ ｉ 、Ｐｂ 、Ａｌ
のカー回転角とＺの関係を示す図。 第２図は本発明の（（Ｎｄ ａｓＤｙｒｈｙ ） ＣＬ
２５ （Ｆｅ ａ、ｓｓＣｏ ｗ４ｓ ） １ｌＬｙｓ
’Ｑ’Ｊ ｂ ｃＬｓ Ｓ ｉ ＣＬ２５ Ｂ ｒｕ
ｓ ）’ａｏｓ のＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比
と記録レーザーパワーの関係を示す図。 第３図は従来例のＴｂｎ２（Ｆｅｃ９Ｃｏｕ＋ ）［１
８のＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比と記録レーザーパ
ワーの関係を示す図。 以上 出願人 セイコーニブノン株式会社 Ｘ ス・ふ ｏＸＪ （Ｍｄｏ、３Ｔｂ。、７）ｏ、ａａ （７ａｏ、ｒｒ
ｅ−ｏｎ、ｔｔｒ）ｎ、７）ＱＪｂｂｘ’ｌｘ ）ｐａ
５＼ヤシ 〆 第１ 図 ρ ２ ＋ に ｇ ＋□を己
４哨シレー１゛゛−−ノザワー Ｃ啼、ｗン第２図 ｐ ） ＋ ｂ
？ ／−女群しデＬパワーへＷ） 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基体上に形成され、情報を光により記録・再生・消去
できる記録媒体として、軽希土類金属Ｓｍ、Ｎｄ、Ｐｒ
、Ｃｅ、Ｅｕのうち１種類以上、重希土類金属Ｔｂ、Ｇ
ｄ、Ｄｙのうち１種類以上、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ
のうち１種類以上およびＮｂ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、
Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＮｂを必ず含む２種類以上の元
素から構成され、組成式を（ＬＲ＿ｘＨＲ＿１＿−＿ｘ
）＿ｙＴＭ＿１＿−＿ｙ＿−＿ｚＡ＿ｚと書きあらわし
たとき、 ０．１≦ｘ≦０．４ ０．１≦ｙ≦０．５ ０＜ｚ≦０．２ の範囲にある非晶質合金を用いることを特徴とする光磁
気記録媒体。 （但し、ＬＲは前種、軽希土類金属のうち１種類以上、
ＨＲは前記、重希土類金属のうち１種類以上、ＴＭは前
記、遷移金属のうち１種類以上およびＡはＮｂ、Ｂ、Ｓ
ｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＮｂを必ず含
む２種類以上の元素をあらわす。）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17797986A JPS6334753A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17797986A JPS6334753A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334753A true JPS6334753A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16040415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17797986A Pending JPS6334753A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334753A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5295383A (en) * | 1991-09-04 | 1994-03-22 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Hydraulic cushioning system for press, having shut-off valve for disconnection of pressure-pin cylinders from power supply upon contact of movable die with workpiece |
| US5299444A (en) * | 1991-09-04 | 1994-04-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Hydraulic cushioning system for press, having hydraulic power supply including means for adjusting initial pressure to be applied to pressure-pin cylinders |
| US5303919A (en) * | 1990-11-29 | 1994-04-19 | Kabushiki Kaisha Ace Denken | Slot machine |
| EP0770996A3 (en) * | 1995-10-28 | 1998-01-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Amorphous alloy of light rare earth-transition metal and semi-metal, magneto-optical recording layer and magneto-optical disk adopting the layer |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP17797986A patent/JPS6334753A/ja active Pending
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