JPS6334752A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS6334752A JPS6334752A JP17797786A JP17797786A JPS6334752A JP S6334752 A JPS6334752 A JP S6334752A JP 17797786 A JP17797786 A JP 17797786A JP 17797786 A JP17797786 A JP 17797786A JP S6334752 A JPS6334752 A JP S6334752A
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- rare earth
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばレーザー光等の照射により、記録・再
生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する。
生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する。
レーザー光のスポットで記録ＦｖＪｔ加熱しながら、外
部磁界を加え反転磁区を形成することによシ記録し、記
録時より低パワーの直線偏光した上記レーザー光のスポ
ツＨ−入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用
して再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられ
る記録媒体においては少なくとも次の性質を満たすこと
が必要である。
部磁界を加え反転磁区を形成することによシ記録し、記
録時より低パワーの直線偏光した上記レーザー光のスポ
ツＨ−入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用
して再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられ
る記録媒体においては少なくとも次の性質を満たすこと
が必要である。
１、 半導体レーザーで記録・消去を行なえる程度にキ
ュリ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べてキュリ
一温度が充分高いこと。
ュリ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べてキュリ
一温度が充分高いこと。
λ 記録媒体が、多結晶であると生ずる粒界ノイズ、単
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
五 再生は、カー効果、ファラデー効果を利用するため
、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転角
が大きいこと。
、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転角
が大きいこと。
４、 垂直磁化膜であること。
そのため、従来からＴｂＦｅ、Ｔｂｐｅ（：：ｏ。
ＧｄＴｂＦｅＣｏなどの材料が上記の性質を満たすもの
として光磁気記録媒体として用いられてきている。さら
に、特開昭５９−１７８６４１のように重希土類金属’
ｒｂ、ａａ、Ｄｙ 、遷移金属Ｆｅに軽希土知合７１４
３ ｍを添加することにより、記録特性を損なうことな
く、光再生特性を向上させることを行なってきた。
として光磁気記録媒体として用いられてきている。さら
に、特開昭５９−１７８６４１のように重希土類金属’
ｒｂ、ａａ、Ｄｙ 、遷移金属Ｆｅに軽希土知合７１４
３ ｍを添加することにより、記録特性を損なうことな
く、光再生特性を向上させることを行なってきた。
光磁気記録媒体は、非晶質であることが必要であるため
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。
しかし、光磁気記録媒体として用いられる重希土類−遷
移金属非晶質合金とほぼ同組成の合金を溶解・鋳造によ
シ作製することは、これらの合金が割れやすいため、困
難である。そのため、スパッタリングによシ記録媒体を
作製する場合には単一のターゲットから記録媒体を作製
できないので、例えば、遷移金属ターゲット上に希土類
金属などのチップを置いた複合ターゲット、または特開
昭５９−２００７６２．特開昭５９−２０８８１５のよ
うな埋め込み式複合ターゲットを用いなければならなか
った。しかし、ここで用いられる希土類金属のスパッタ
用ターゲットは通常、溶解・鋳造による方法で作製され
るが、この方法ではターゲットに含まれる酸素を０．１
重量パーセント以下に抑えることは困難である。そのた
め、スパッタリング用ターゲットあるいは蒸発源の持つ
酸素が記録媒体中に混入し、その磁気特性を落としてし
まうという欠点を有する。
移金属非晶質合金とほぼ同組成の合金を溶解・鋳造によ
シ作製することは、これらの合金が割れやすいため、困
難である。そのため、スパッタリングによシ記録媒体を
作製する場合には単一のターゲットから記録媒体を作製
できないので、例えば、遷移金属ターゲット上に希土類
金属などのチップを置いた複合ターゲット、または特開
昭５９−２００７６２．特開昭５９−２０８８１５のよ
うな埋め込み式複合ターゲットを用いなければならなか
った。しかし、ここで用いられる希土類金属のスパッタ
用ターゲットは通常、溶解・鋳造による方法で作製され
るが、この方法ではターゲットに含まれる酸素を０．１
重量パーセント以下に抑えることは困難である。そのた
め、スパッタリング用ターゲットあるいは蒸発源の持つ
酸素が記録媒体中に混入し、その磁気特性を落としてし
まうという欠点を有する。
本発明はこのような問題点を解決するもので、重希土類
金属、遷移金属のほか、軽希土類金属およびＭｏ、Ｂ＋
Ｓｉ、ＡＩ 、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必
ず含む２種類以上を含むことにより、従来のものに比べ
て高性能な光磁気記録媒体を提供することにある。
金属、遷移金属のほか、軽希土類金属およびＭｏ、Ｂ＋
Ｓｉ、ＡＩ 、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必
ず含む２種類以上を含むことにより、従来のものに比べ
て高性能な光磁気記録媒体を提供することにある。
本発明の光磁気記録媒体は、基体上に形成され、情報を
光によシ記録・再生・消去できる記録媒体とし７て、軽
希土知合ＭＳｍ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｃｅ、Ｅｕのうち１種類
以上、重希土類金属Ｔｂ、ＧａｔＩ）ｙのうち１′ｓ類
以上、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ のうち１Ｗｉ類以上
およびＭｏｔ Ｂ ｖ Ｓ １ ＋ Ａ １ ｐ Ｃｒ
、 Ｓ ｎ。
光によシ記録・再生・消去できる記録媒体とし７て、軽
希土知合ＭＳｍ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｃｅ、Ｅｕのうち１種類
以上、重希土類金属Ｔｂ、ＧａｔＩ）ｙのうち１′ｓ類
以上、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ のうち１Ｗｉ類以上
およびＭｏｔ Ｂ ｖ Ｓ １ ＋ Ａ １ ｐ Ｃｒ
、 Ｓ ｎ。
Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必ず含む２種類以上の元素から
構成される。
構成される。
組成式を
（ＬＲＸＨＲ１−Ｘ ） ｙ ＴＭ ＋ −ｙ−２Ａｚ
としたとき、（ＬＲは前記、軽希土類金属のうち１種類
以上、ＨＲは前記、重希土類金属のうち１種類以上、Ｔ
Ｍは前記、遷移金属のうち１種類以上、ＡはＭｏ、Ｂ、
Ｓｔ、ＡＩ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必ず
含む２種類以上のを表わす）本発明ではＸはα１≦Ｘ≦
α４．α１≦ｙ≦α５゜０＜ｚ≦α２である。Ｘはより
好ましくはα１≦Ｘ≦０．３、ｙはよシ好ましくは１１
５≦ｙ≦（ｌＬ５．２はよシ好ましくは１ｌＬ０１≦２
≦α１である。またＸは最も好ましくはα２≦Ｘ≦α３
１、ｙはよυ好ましくは１１１８≦ｙ≦α５．ｚはより
好ましくはＣＬＯ３≦２≦１０８である。またＡとして
好ましくはｓ ＭｏとＢであシ、より好ましくはＭｏと
Ａｌである。また最も好着しくはＴｉとＢｉである。
としたとき、（ＬＲは前記、軽希土類金属のうち１種類
以上、ＨＲは前記、重希土類金属のうち１種類以上、Ｔ
Ｍは前記、遷移金属のうち１種類以上、ＡはＭｏ、Ｂ、
Ｓｔ、ＡＩ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必ず
含む２種類以上のを表わす）本発明ではＸはα１≦Ｘ≦
α４．α１≦ｙ≦α５゜０＜ｚ≦α２である。Ｘはより
好ましくはα１≦Ｘ≦０．３、ｙはよシ好ましくは１１
５≦ｙ≦（ｌＬ５．２はよシ好ましくは１ｌＬ０１≦２
≦α１である。またＸは最も好ましくはα２≦Ｘ≦α３
１、ｙはよυ好ましくは１１１８≦ｙ≦α５．ｚはより
好ましくはＣＬＯ３≦２≦１０８である。またＡとして
好ましくはｓ ＭｏとＢであシ、より好ましくはＭｏと
Ａｌである。また最も好着しくはＴｉとＢｉである。
〔実施例１〕
実施例によシ、本発明の効果について述べる。
本発明の光磁気記録媒体はスパッタリングにょシ作製し
た。これらを作製するＫあたり、通常の方法とは異なシ
、溶解・鋳造による合金をターゲットとして用いた。タ
ーゲット組成と試料番号の対応表を表１に示す。
た。これらを作製するＫあたり、通常の方法とは異なシ
、溶解・鋳造による合金をターゲットとして用いた。タ
ーゲット組成と試料番号の対応表を表１に示す。
表１
これらの合金ターゲット中の酸素濃度の分析結果を表２
に示す。
に示す。
表２
表２に示した如く、ターゲット中の酸素濃度は重量比で
α００５％以下となっている。ターゲットの鋳造後、溶
解炉中には、スラグが残っており、これらの中に希土類
金属あるいは、遷移金属中の酸素がとシ込まれていると
考、見られる。
α００５％以下となっている。ターゲットの鋳造後、溶
解炉中には、スラグが残っており、これらの中に希土類
金属あるいは、遷移金属中の酸素がとシ込まれていると
考、見られる。
このように溶解・鋳造による合金ターゲットにおいては
、その含有する酸素濃度を極端に減らすことができる。
、その含有する酸素濃度を極端に減らすことができる。
なお、本実施例１に示した合金のほか％ ＭｏとＳｉｓ
ＭｏとＣｒ％ＭｏとＳｎを含む合金からなるターゲット
を作製したが、これらについても合金ターゲット化のし
やすさ、酸素濃度はほぼ同等であつ九。
ＭｏとＣｒ％ＭｏとＳｎを含む合金からなるターゲット
を作製したが、これらについても合金ターゲット化のし
やすさ、酸素濃度はほぼ同等であつ九。
〔実施例２〕
実施例１で述べたように、溶解・鋳造で作製した合金タ
ーゲットを用い、 Ｂｉ、Ｓｎの量を変化させスパッ
タリングによシ作袈した光磁気記録媒体のカー回転角の
変化を調べた結果を第１図に示す。
ーゲットを用い、 Ｂｉ、Ｓｎの量を変化させスパッ
タリングによシ作袈した光磁気記録媒体のカー回転角の
変化を調べた結果を第１図に示す。
Ｓ ｎ ｔ Ｐ ｂ ｖ Ｂ ｉｅ Ａ １の添加によ
りカー回転角に増加が認められた。
りカー回転角に増加が認められた。
〔実施例５〕
本発明の光磁気記録媒体および従来例の記録・再生特性
を、調べるために、溝付きポリカーボネイト基体上に約
４５０λ光磁気記録媒体をそれぞれ形成し、その上に窒
化アルミニウムを約１０００人形成した。
を、調べるために、溝付きポリカーボネイト基体上に約
４５０λ光磁気記録媒体をそれぞれ形成し、その上に窒
化アルミニウムを約１０００人形成した。
次のような条件で記録・再生を行なった。
溝間記録、再生パワー１田Ｗ、記録磁界５０００ｅ 、
線速毎秒４．７ ｍ 、記録周波数ＩＭＨｚ、分解能帯
域３０ｋＨｚである。
線速毎秒４．７ ｍ 、記録周波数ＩＭＨｚ、分解能帯
域３０ｋＨｚである。
第２図に本発明の光磁気記録媒体
（（Ｎｄ ｒｈｓＤｙａｙ ） ｎ２ｓ （Ｆｅ （Ｌ
５５ＣＯ（Ｌ４５ ） ｌ１ｖｓ （Ｍｏ ｕｓ ｉ
ｏｘｆｏｕｚｓ ）ｗａｓおよび第３図に従来例のＴｂ
ＣＬ２（Ｆ’ｅα９ＣＯα１）ｕの記録レーザーパワー
とＣ／Ｎ比、および２次高調波抑圧比の関係を示す。本
発明の光磁気記録媒体においては、従来例と比べて、Ｃ
／Ｎ比は向上させ、記録レーザーパワーは低下させるこ
とが認められた。
５５ＣＯ（Ｌ４５ ） ｌ１ｖｓ （Ｍｏ ｕｓ ｉ
ｏｘｆｏｕｚｓ ）ｗａｓおよび第３図に従来例のＴｂ
ＣＬ２（Ｆ’ｅα９ＣＯα１）ｕの記録レーザーパワー
とＣ／Ｎ比、および２次高調波抑圧比の関係を示す。本
発明の光磁気記録媒体においては、従来例と比べて、Ｃ
／Ｎ比は向上させ、記録レーザーパワーは低下させるこ
とが認められた。
公知のように光磁気記録媒体の記録面上の記録時のレー
ザーパワーは記録面の線速の平方根に比例するので、記
録情報の転送レートをあげるためには、記録レーザーパ
ワーが低い方が望ましい。
ザーパワーは記録面の線速の平方根に比例するので、記
録情報の転送レートをあげるためには、記録レーザーパ
ワーが低い方が望ましい。
従って、本発明の光磁気記録媒体は従来例のものに比べ
て記録・再生特性ともに向上したといえる。
て記録・再生特性ともに向上したといえる。
なお、従来例のＴｂｐｅＣｏ光磁気記録媒体では、従来
から行なわれている複合ターゲットによるスパッタリン
グにより作製した。
から行なわれている複合ターゲットによるスパッタリン
グにより作製した。
以上述べてきたように、本発明の光磁気記録媒体におい
ては、重希土類金属、遷移金属のほかに、軽希土類金属
およびＭｏを含むため、溶解・鋳造による合金ターゲッ
トの作製が可能であるという効果を有し、さらに、他の
添加元素により、磁気光学特性を向上させるという効果
も有する。
ては、重希土類金属、遷移金属のほかに、軽希土類金属
およびＭｏを含むため、溶解・鋳造による合金ターゲッ
トの作製が可能であるという効果を有し、さらに、他の
添加元素により、磁気光学特性を向上させるという効果
も有する。
第１図は、本発明の（Ｎｄ ｃＬ５Ｔ ｂ ［Ｌ７ ）
＋１１２（Ｆ１３ （Ｌ５５ＣＯ（Ｌ４５ ）ａｙｓ
（Ｍｏ ＋ −ｚ Ｘｚ） （ＬＯ５、Ｘ＝Ｓｎ 、Ｂ
ｉ 、Ｐｂ 、ＡＩのカー回転角とＺの関係を示す図。 第２図は１本発明の（（Ｎｄ ｃ３Ｄｙ （Ｌ７ ）
［Ｌ２５ （ＦｅｎｓｓＣＯｃＬ４５ ） １ｌＬ７ｓ
（Ｍｏ ＬｉＳ ｉ （１２５Ｂ １ｌＬ２５ ）
ｗａｓのＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比と記録レーザ
ーパワーの関係を示す図。 第３図は従来例のＴｂｎ２（Ｆｅｎ９Ｃｏｎ＋）ｏ、ａ
のＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比と記録レーザーパワ
ーの関係を示す図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 最上 務他１名 ｌ′−Ｎ 慴 × ×・高 口×ＩＮ ＋Ｆ轡× ρ ２ ４ ６ Ｙ
Ｉ。 已ジ彦ＩＩ、−サ゛−へ’７−＜ｓＶ）第２図 ’ ２ ４ １． ８
ｔｔｙ記Ａ本レーしｔハ１７−（ａｓ Ｗ ）第３図
＋１１２（Ｆ１３ （Ｌ５５ＣＯ（Ｌ４５ ）ａｙｓ
（Ｍｏ ＋ −ｚ Ｘｚ） （ＬＯ５、Ｘ＝Ｓｎ 、Ｂ
ｉ 、Ｐｂ 、ＡＩのカー回転角とＺの関係を示す図。 第２図は１本発明の（（Ｎｄ ｃ３Ｄｙ （Ｌ７ ）
［Ｌ２５ （ＦｅｎｓｓＣＯｃＬ４５ ） １ｌＬ７ｓ
（Ｍｏ ＬｉＳ ｉ （１２５Ｂ １ｌＬ２５ ）
ｗａｓのＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比と記録レーザ
ーパワーの関係を示す図。 第３図は従来例のＴｂｎ２（Ｆｅｎ９Ｃｏｎ＋）ｏ、ａ
のＣ／Ｎ比および２次高調波抑圧比と記録レーザーパワ
ーの関係を示す図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 最上 務他１名 ｌ′−Ｎ 慴 × ×・高 口×ＩＮ ＋Ｆ轡× ρ ２ ４ ６ Ｙ
Ｉ。 已ジ彦ＩＩ、−サ゛−へ’７−＜ｓＶ）第２図 ’ ２ ４ １． ８
ｔｔｙ記Ａ本レーしｔハ１７−（ａｓ Ｗ ）第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基体上に形成され、情報を光により記録・再生・消去
できる記録媒体として、軽希土類金属Ｓｎ、Ｎｄ、Ｐｒ
、Ｃｅ、Ｅｕのうち１種類以上、重希土類金属Ｔｂ、Ｇ
ｄ、Ｄｙのうち１種類以上、遷移金属Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ
のうち１種類以上およびＭｏ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、
Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必ず含む２種類以上の元
素から構成され、組成式を（ＬＲ＿ｘＨＲ＿１＿−＿ｘ
）＿ｙＴＭ＿１＿−＿ｙ＿−＿ｚＡ＿ｚと書きあらわし
たとき ０．１≦ｘ≦０．４ ０．１≦ｙ≦０．５ ０＜ｚ≦０．２ の範囲にある非晶質合金を用いることを特徴とする光磁
気記録媒体。 （但し、ＬＲは前記、軽希土類金属のうち１種類以上、
ＨＲは前記、重希土類金属のうち１種類以上、ＴＭは前
記、遷移金属のうち１種類以上およびＡはＭｏ、Ｂ、Ｓ
ｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＢｉのうちＭｏを必ず含
む２種類以上の元素をあられす）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17797786A JPS6334752A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17797786A JPS6334752A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334752A true JPS6334752A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16040381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17797786A Pending JPS6334752A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334752A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5927754A (en) * | 1992-09-04 | 1999-07-27 | Mercedes-Benz Ag | Air bag |
| US8480126B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-07-09 | Honda Motor Co., Ltd. | Airbag |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP17797786A patent/JPS6334752A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5927754A (en) * | 1992-09-04 | 1999-07-27 | Mercedes-Benz Ag | Air bag |
| US8480126B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-07-09 | Honda Motor Co., Ltd. | Airbag |
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