JPS6334752A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS6334752A JPS6334752A JP17797786A JP17797786A JPS6334752A JP S6334752 A JPS6334752 A JP S6334752A JP 17797786 A JP17797786 A JP 17797786A JP 17797786 A JP17797786 A JP 17797786A JP S6334752 A JPS6334752 A JP S6334752A
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- Japan
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- rare earth
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- earth metals
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばレーザー光等の照射により、記録・再
生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する。
生・消去が可能な光磁気記録媒体に関する。
レーザー光のスポットで記録FvJt加熱しながら、外
部磁界を加え反転磁区を形成することによシ記録し、記
録時より低パワーの直線偏光した上記レーザー光のスポ
ツH−入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用
して再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられ
る記録媒体においては少なくとも次の性質を満たすこと
が必要である。
部磁界を加え反転磁区を形成することによシ記録し、記
録時より低パワーの直線偏光した上記レーザー光のスポ
ツH−入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用
して再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられ
る記録媒体においては少なくとも次の性質を満たすこと
が必要である。
1、 半導体レーザーで記録・消去を行なえる程度にキ
ュリ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べてキュリ
一温度が充分高いこと。
ュリ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べてキュリ
一温度が充分高いこと。
λ 記録媒体が、多結晶であると生ずる粒界ノイズ、単
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
五 再生は、カー効果、ファラデー効果を利用するため
、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転角
が大きいこと。
、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転角
が大きいこと。
4、 垂直磁化膜であること。
そのため、従来からTbFe、Tbpe(::o。
GdTbFeCoなどの材料が上記の性質を満たすもの
として光磁気記録媒体として用いられてきている。さら
に、特開昭59−178641のように重希土類金属’
rb、aa、Dy 、遷移金属Feに軽希土知合714
3 mを添加することにより、記録特性を損なうことな
く、光再生特性を向上させることを行なってきた。
として光磁気記録媒体として用いられてきている。さら
に、特開昭59−178641のように重希土類金属’
rb、aa、Dy 、遷移金属Feに軽希土知合714
3 mを添加することにより、記録特性を損なうことな
く、光再生特性を向上させることを行なってきた。
光磁気記録媒体は、非晶質であることが必要であるため
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。
、作製法としてスパッタリング、蒸着などの気相急冷法
が利用されている。
しかし、光磁気記録媒体として用いられる重希土類−遷
移金属非晶質合金とほぼ同組成の合金を溶解・鋳造によ
シ作製することは、これらの合金が割れやすいため、困
難である。そのため、スパッタリングによシ記録媒体を
作製する場合には単一のターゲットから記録媒体を作製
できないので、例えば、遷移金属ターゲット上に希土類
金属などのチップを置いた複合ターゲット、または特開
昭59−200762.特開昭59−208815のよ
うな埋め込み式複合ターゲットを用いなければならなか
った。しかし、ここで用いられる希土類金属のスパッタ
用ターゲットは通常、溶解・鋳造による方法で作製され
るが、この方法ではターゲットに含まれる酸素を0.1
重量パーセント以下に抑えることは困難である。そのた
め、スパッタリング用ターゲットあるいは蒸発源の持つ
酸素が記録媒体中に混入し、その磁気特性を落としてし
まうという欠点を有する。
移金属非晶質合金とほぼ同組成の合金を溶解・鋳造によ
シ作製することは、これらの合金が割れやすいため、困
難である。そのため、スパッタリングによシ記録媒体を
作製する場合には単一のターゲットから記録媒体を作製
できないので、例えば、遷移金属ターゲット上に希土類
金属などのチップを置いた複合ターゲット、または特開
昭59−200762.特開昭59−208815のよ
うな埋め込み式複合ターゲットを用いなければならなか
った。しかし、ここで用いられる希土類金属のスパッタ
用ターゲットは通常、溶解・鋳造による方法で作製され
るが、この方法ではターゲットに含まれる酸素を0.1
重量パーセント以下に抑えることは困難である。そのた
め、スパッタリング用ターゲットあるいは蒸発源の持つ
酸素が記録媒体中に混入し、その磁気特性を落としてし
まうという欠点を有する。
本発明はこのような問題点を解決するもので、重希土類
金属、遷移金属のほか、軽希土類金属およびMo、B+
Si、AI 、Cr、Sn、Pb、BiのうちMoを必
ず含む2種類以上を含むことにより、従来のものに比べ
て高性能な光磁気記録媒体を提供することにある。
金属、遷移金属のほか、軽希土類金属およびMo、B+
Si、AI 、Cr、Sn、Pb、BiのうちMoを必
ず含む2種類以上を含むことにより、従来のものに比べ
て高性能な光磁気記録媒体を提供することにある。
本発明の光磁気記録媒体は、基体上に形成され、情報を
光によシ記録・再生・消去できる記録媒体とし7て、軽
希土知合MSm、Nd、Pr、Ce、Euのうち1種類
以上、重希土類金属Tb、GatI)yのうち1′s類
以上、遷移金属Fe、Co、Ni のうち1Wi類以上
およびMot B v S 1 + A 1 p Cr
、 S n。
光によシ記録・再生・消去できる記録媒体とし7て、軽
希土知合MSm、Nd、Pr、Ce、Euのうち1種類
以上、重希土類金属Tb、GatI)yのうち1′s類
以上、遷移金属Fe、Co、Ni のうち1Wi類以上
およびMot B v S 1 + A 1 p Cr
、 S n。
Pb、BiのうちMoを必ず含む2種類以上の元素から
構成される。
構成される。
組成式を
(LRXHR1−X ) y TM + −y−2Az
としたとき、(LRは前記、軽希土類金属のうち1種類
以上、HRは前記、重希土類金属のうち1種類以上、T
Mは前記、遷移金属のうち1種類以上、AはMo、B、
St、AI、Cr、Sn、Pb、BiのうちMoを必ず
含む2種類以上のを表わす)本発明ではXはα1≦X≦
α4.α1≦y≦α5゜0<z≦α2である。Xはより
好ましくはα1≦X≦0.3、yはよシ好ましくは11
5≦y≦(lL5.2はよシ好ましくは1lL01≦2
≦α1である。またXは最も好ましくはα2≦X≦α3
1、yはよυ好ましくは1118≦y≦α5.zはより
好ましくはCLO3≦2≦108である。またAとして
好ましくはs MoとBであシ、より好ましくはMoと
Alである。また最も好着しくはTiとBiである。
としたとき、(LRは前記、軽希土類金属のうち1種類
以上、HRは前記、重希土類金属のうち1種類以上、T
Mは前記、遷移金属のうち1種類以上、AはMo、B、
St、AI、Cr、Sn、Pb、BiのうちMoを必ず
含む2種類以上のを表わす)本発明ではXはα1≦X≦
α4.α1≦y≦α5゜0<z≦α2である。Xはより
好ましくはα1≦X≦0.3、yはよシ好ましくは11
5≦y≦(lL5.2はよシ好ましくは1lL01≦2
≦α1である。またXは最も好ましくはα2≦X≦α3
1、yはよυ好ましくは1118≦y≦α5.zはより
好ましくはCLO3≦2≦108である。またAとして
好ましくはs MoとBであシ、より好ましくはMoと
Alである。また最も好着しくはTiとBiである。
〔実施例1〕
実施例によシ、本発明の効果について述べる。
本発明の光磁気記録媒体はスパッタリングにょシ作製し
た。これらを作製するKあたり、通常の方法とは異なシ
、溶解・鋳造による合金をターゲットとして用いた。タ
ーゲット組成と試料番号の対応表を表1に示す。
た。これらを作製するKあたり、通常の方法とは異なシ
、溶解・鋳造による合金をターゲットとして用いた。タ
ーゲット組成と試料番号の対応表を表1に示す。
表1
これらの合金ターゲット中の酸素濃度の分析結果を表2
に示す。
に示す。
表2
表2に示した如く、ターゲット中の酸素濃度は重量比で
α005%以下となっている。ターゲットの鋳造後、溶
解炉中には、スラグが残っており、これらの中に希土類
金属あるいは、遷移金属中の酸素がとシ込まれていると
考、見られる。
α005%以下となっている。ターゲットの鋳造後、溶
解炉中には、スラグが残っており、これらの中に希土類
金属あるいは、遷移金属中の酸素がとシ込まれていると
考、見られる。
このように溶解・鋳造による合金ターゲットにおいては
、その含有する酸素濃度を極端に減らすことができる。
、その含有する酸素濃度を極端に減らすことができる。
なお、本実施例1に示した合金のほか% MoとSis
MoとCr%MoとSnを含む合金からなるターゲット
を作製したが、これらについても合金ターゲット化のし
やすさ、酸素濃度はほぼ同等であつ九。
MoとCr%MoとSnを含む合金からなるターゲット
を作製したが、これらについても合金ターゲット化のし
やすさ、酸素濃度はほぼ同等であつ九。
〔実施例2〕
実施例1で述べたように、溶解・鋳造で作製した合金タ
ーゲットを用い、 Bi、Snの量を変化させスパッ
タリングによシ作袈した光磁気記録媒体のカー回転角の
変化を調べた結果を第1図に示す。
ーゲットを用い、 Bi、Snの量を変化させスパッ
タリングによシ作袈した光磁気記録媒体のカー回転角の
変化を調べた結果を第1図に示す。
S n t P b v B ie A 1の添加によ
りカー回転角に増加が認められた。
りカー回転角に増加が認められた。
〔実施例5〕
本発明の光磁気記録媒体および従来例の記録・再生特性
を、調べるために、溝付きポリカーボネイト基体上に約
450λ光磁気記録媒体をそれぞれ形成し、その上に窒
化アルミニウムを約1000人形成した。
を、調べるために、溝付きポリカーボネイト基体上に約
450λ光磁気記録媒体をそれぞれ形成し、その上に窒
化アルミニウムを約1000人形成した。
次のような条件で記録・再生を行なった。
溝間記録、再生パワー1田W、記録磁界5000e 、
線速毎秒4.7 m 、記録周波数IMHz、分解能帯
域30kHzである。
線速毎秒4.7 m 、記録周波数IMHz、分解能帯
域30kHzである。
第2図に本発明の光磁気記録媒体
((Nd rhsDyay ) n2s (Fe (L
55CO(L45 ) l1vs (Mo us i
oxfouzs )wasおよび第3図に従来例のTb
CL2(F’eα9COα1)uの記録レーザーパワー
とC/N比、および2次高調波抑圧比の関係を示す。本
発明の光磁気記録媒体においては、従来例と比べて、C
/N比は向上させ、記録レーザーパワーは低下させるこ
とが認められた。
55CO(L45 ) l1vs (Mo us i
oxfouzs )wasおよび第3図に従来例のTb
CL2(F’eα9COα1)uの記録レーザーパワー
とC/N比、および2次高調波抑圧比の関係を示す。本
発明の光磁気記録媒体においては、従来例と比べて、C
/N比は向上させ、記録レーザーパワーは低下させるこ
とが認められた。
公知のように光磁気記録媒体の記録面上の記録時のレー
ザーパワーは記録面の線速の平方根に比例するので、記
録情報の転送レートをあげるためには、記録レーザーパ
ワーが低い方が望ましい。
ザーパワーは記録面の線速の平方根に比例するので、記
録情報の転送レートをあげるためには、記録レーザーパ
ワーが低い方が望ましい。
従って、本発明の光磁気記録媒体は従来例のものに比べ
て記録・再生特性ともに向上したといえる。
て記録・再生特性ともに向上したといえる。
なお、従来例のTbpeCo光磁気記録媒体では、従来
から行なわれている複合ターゲットによるスパッタリン
グにより作製した。
から行なわれている複合ターゲットによるスパッタリン
グにより作製した。
以上述べてきたように、本発明の光磁気記録媒体におい
ては、重希土類金属、遷移金属のほかに、軽希土類金属
およびMoを含むため、溶解・鋳造による合金ターゲッ
トの作製が可能であるという効果を有し、さらに、他の
添加元素により、磁気光学特性を向上させるという効果
も有する。
ては、重希土類金属、遷移金属のほかに、軽希土類金属
およびMoを含むため、溶解・鋳造による合金ターゲッ
トの作製が可能であるという効果を有し、さらに、他の
添加元素により、磁気光学特性を向上させるという効果
も有する。
第1図は、本発明の(Nd cL5T b [L7 )
+112(F13 (L55CO(L45 )ays
(Mo + −z Xz) (LO5、X=Sn 、B
i 、Pb 、AIのカー回転角とZの関係を示す図。 第2図は1本発明の((Nd c3Dy (L7 )
[L25 (FenssCOcL45 ) 1lL7s
(Mo LiS i (125B 1lL25 )
wasのC/N比および2次高調波抑圧比と記録レーザ
ーパワーの関係を示す図。 第3図は従来例のTbn2(Fen9Con+)o、a
のC/N比および2次高調波抑圧比と記録レーザーパワ
ーの関係を示す図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 最上 務他1名 l′−N 慴 × ×・高 口×IN +F轡× ρ 2 4 6 Y
I。 已ジ彦II、−サ゛−へ’7−<sV)第2図 ’ 2 4 1. 8
tty記A本レーしtハ17−(as W )第3図
+112(F13 (L55CO(L45 )ays
(Mo + −z Xz) (LO5、X=Sn 、B
i 、Pb 、AIのカー回転角とZの関係を示す図。 第2図は1本発明の((Nd c3Dy (L7 )
[L25 (FenssCOcL45 ) 1lL7s
(Mo LiS i (125B 1lL25 )
wasのC/N比および2次高調波抑圧比と記録レーザ
ーパワーの関係を示す図。 第3図は従来例のTbn2(Fen9Con+)o、a
のC/N比および2次高調波抑圧比と記録レーザーパワ
ーの関係を示す図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 最上 務他1名 l′−N 慴 × ×・高 口×IN +F轡× ρ 2 4 6 Y
I。 已ジ彦II、−サ゛−へ’7−<sV)第2図 ’ 2 4 1. 8
tty記A本レーしtハ17−(as W )第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基体上に形成され、情報を光により記録・再生・消去
できる記録媒体として、軽希土類金属Sn、Nd、Pr
、Ce、Euのうち1種類以上、重希土類金属Tb、G
d、Dyのうち1種類以上、遷移金属Fe、Co、Ni
のうち1種類以上およびMo、B、Si、Al、Cr、
Sn、Pb、BiのうちMoを必ず含む2種類以上の元
素から構成され、組成式を(LR_xHR_1_−_x
)_yTM_1_−_y_−_zA_zと書きあらわし
たとき 0.1≦x≦0.4 0.1≦y≦0.5 0<z≦0.2 の範囲にある非晶質合金を用いることを特徴とする光磁
気記録媒体。 (但し、LRは前記、軽希土類金属のうち1種類以上、
HRは前記、重希土類金属のうち1種類以上、TMは前
記、遷移金属のうち1種類以上およびAはMo、B、S
i、Al、Cr、Sn、Pb、BiのうちMoを必ず含
む2種類以上の元素をあられす)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17797786A JPS6334752A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17797786A JPS6334752A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6334752A true JPS6334752A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16040381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17797786A Pending JPS6334752A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6334752A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5927754A (en) * | 1992-09-04 | 1999-07-27 | Mercedes-Benz Ag | Air bag |
US8480126B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-07-09 | Honda Motor Co., Ltd. | Airbag |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP17797786A patent/JPS6334752A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5927754A (en) * | 1992-09-04 | 1999-07-27 | Mercedes-Benz Ag | Air bag |
US8480126B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-07-09 | Honda Motor Co., Ltd. | Airbag |
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