JPS6332936Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、真空ポンプの排気口に体裁よくコン
パクトに被装できる消音効果のよい真空ポンプの
消音装置に関するものである。

〔従来技術〕

従来より真空ポンプのポンピング作用により発
生する排気口からの空気の排気音を消すための
種々の消音器がある。しかしながら、従来の消音
器は、消音効果をあげるために、消音器全体が大
きく、真空ポンプに着装した場合に場所を取り、
バランスも悪い。また、内部構造を複雑にして消
音効果を上げ小型化した消音器もあるが、内部構
造の複雑な消音器は、排気抵抗が大きく真空ポン
プに用いた場合にポンプ効率を低下させてしまう
難点があつた。また、真空ポンプは、その真空圧
により排気量が著しく変化するため、低真空圧か
ら高真空圧までの広範囲にわたつて、消音効果を
維持することが困難であつた。本考案は、上述の
点に鑑み為されたもので、その目的は、真空ポン
プの排気口に体裁よくコンパクトに装着でき、か
つ、小さな消音抵抗でポンプ効率を低下させずに
低真空圧から高真空圧までの広範囲にわたつて高
い消音効果のある真空ポンプの消音装置を提供す
ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案の要旨は、真空ポンプの排気口に嵌着可
能な排気導入口と、及びこの排気導入口から入つ
た真空ポンプの排気が流出するための流出口とを
有する消音室と、該消音室に立脚する支腕に一端
が支持されているロツドによつて支承され且つ弾
撥力により消音室の流出口に圧接されて該流出口
を閉塞できるように臨ましめた蓋体とから構成さ
れ、真空ポンプからの排気量の変動に応じて蓋体
が弾発力に抗して変位及び／又は変形することに
より消音室の容量及び排気流出量を自動調節する
ことを特徴とする真空ポンプの消音装置にある。
以下、一実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

〔実施例〕

本考案に係る消音装置は、第１図において図示
しない真空ポンプの排気口に螺着可能な排気導入
口１ａとこの導入口１ａから入つた排気が流出す
るための流出口１ｂとを有する消音室１と該消音
室１の流出口１ｂを閉塞可能な帽子状の蓋体６と
から成り、消音室１の中央部外面３は、工具等で
排気導入口１ａを螺着できるように例えば横断面
を六角形状に形成してあり、流出口１ｂの周縁９
は、リング形状の平面をなしている。消音室１の
内壁面２には、内壁面２と一体的に支腕４が突設
され該支腕４の端部４ａに流出口１ｂの中心を通
るロツド５の一端５ａが固着支承されている。前
記蓋体６は、その中央部を貫通する状態で設けら
れた筒状ガイド６ａがロツド５に摺動自在に外嵌
し、且つロツド５の他端５ｂに止着したスプリン
グ固定用ナツト８と蓋体６との間に設けた圧縮バ
ネ７の弾撥力によつて付勢されることにより、前
記流出口の周縁９と同様のリング形状の平面をな
す蓋体６の端縁１０が該周縁９に圧接し、流出口
１ｂを閉塞して消音空間を形成するように構成し
たものである。

上記の如き構成を有する消音装置を真空ポンプ
の排気口に螺着し、真空ポンプと駆動させ排気口
より空気を排出すると、排出空気は消音室１内に
入り、その排気圧により、蓋体６を圧縮バネ７の
復帰力に抗して押し上げる。するとそれまで当接
していた流出口１ｂの周縁９と蓋体の端縁１０と
の間に微少間隙Ａが生じその間隙から空気が外気
中に放出される。しかして、真空ポンプのポンピ
ング作用により発生する排気口からの空気の排気
音は、排出された空気が、消音室の流出口周縁９
と蓋体端縁１０とにより絞られシート状の高速空
気流となつて外気中に放出されることにより減殺
される。なお、蓋体６は圧縮バネ７の伸張する弾
撥力によつて常に付勢されているので、ポンプの
排気量に応じて自動的に蓋体が変位し、蓋体端縁
と消音室の流出口周縁との間隙Ａが変化するの
で、低真空圧から高真空圧までの広範囲で安定し
て高い消音効果が得られる。上記実施例では、流
出口の周縁９と蓋体の端縁１０とを同一リング形
状としているが、第２図に示すように、いづれか
一方の外径を他よりも大きく形成しておくことに
より、両者の間隙から流出する高速空気流が外気
中で大外径を有する側に曲がる。これを利用し
て、たとえば、発熱体である真空ポンプの冷却に
空気流を用いることができる。又圧縮バネ７に代
えて、筒状ガイド６ａと支腕端部４ａ間に引張り
バネを張設してもよい。

第３図は、本考案の他の実施例であつて、第１
図に示した実施例では、支腕４は、消音室１の内
壁２に突設されていたのに対して、支腕２４は、
消音室２１の断面が六角形状をなす外周に外嵌す
るリング２０に両端が固着する略Ｕ字形をなし、
この支腕２４にロツド２５の一端を固着し他端を
消音室２１の排気流出口２３の中央付近に臨まし
め、これにゴム弾性を有する素材から成る蓋体２
６を固着したものである。勿論蓋体２６をロツド
２５に摺動自在にとりつけ且つ、該ロツド上、蓋
体２５と支腕２４間にコイルバネを介装してもよ
い。蓋体２６は、それ自身の弾撥力により流出口
２３の周縁に圧接し、排気圧に応じて変形し、蓋
体端縁２７と流出口２３の周縁２８との間に適宜
な間隙を作る。第４図は、本考案の更に他の実施
例であつて、消音室の外壁３１に突設された支腕
２４にロツド支承部３９を設け、この支承部にロ
ツド３５を摺動自在に嵌挿することによつてロツ
ドを支持し、該ロツド３５の下端に蓋体３６を固
着し、コイルバネ３７で消音室３１の流出口周縁
に圧接したものである。

〔考案の効果〕

以上のように、本考案に係る消音装置は、消音
室と、この消音室の排気流出口の開口量を真空ポ
ンプの排気量に応じて自動調節する蓋体とにより
消音空間を形成し、消音室と蓋体との当接面のな
す間隙が消音部を形成しているので、低真空圧か
ら高真空圧までの広範囲で高い消音効果が得ら
れ、又その構成がコンパクトであるため、真空ポ
ンプの排気口にバランスよく装着できる利点があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す断面図、第
２図は、その作動状態を示す断面図、第３図は、
本考案の他の実施例の要部を示す説明図、第４図
は、本考案の更に他の実施例を示す断面図、第５
図は、本考案の更に別の実施例を示す断面図であ
る。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空ポンプの排気口に嵌着可能な排気導入口
   及び該排気導入口から導入された真空ポンプの
   排気が流出する流出口とを有する消音室と、該
   消音室に立脚する支腕に一端が支持されている
   ロツドによつて支承され且つ弾発力によつて前
   記流出口周縁に圧接して、該流出口を閉塞する
   蓋体とから構成され、排気量の変動に応じて蓋
   体が弾撥力に抗して変位及び／又は変形するこ
   とにより消音室の容量及び流出口の開口量を自
   動調節することを特徴とする真空ポンプの消音
   装置。 (2) 流出口の中心を通り、消音室内壁に突設され
   た支腕に一端が固着されているロツドに蓋体が
   摺動自在に嵌着し、且つ蓋体がコイルスプリン
   グによつて弾撥的に流出口に圧接されている請
   求の範囲第１項記載の装置。 (3) 支腕が消音室外壁に固定されている請求の範
   囲第１項記載の装置。 (4) 流出口周縁と、該流出口周縁に当接する蓋体
   端縁が共にリング形状の平面をなし、該平面同
   志が当接して流出口を閉塞している請求の範囲
   第１〜３項のいづれかに記載の装置。 (5) 互に当接する一方のリング形状をなす平面の
   外径と、他方のリング形状をなす平面との外径
   が異なつている請求の範囲第４項記載の装置。 (6) 蓋体が、消音室内の排気圧に応じて変形する
   ゴム弾性素材から構成されている請求の範囲第
   １項記載の装置。