JPS6332355A - 光吸収率測定方法 - Google Patents
光吸収率測定方法Info
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- JPS6332355A JPS6332355A JP17588486A JP17588486A JPS6332355A JP S6332355 A JPS6332355 A JP S6332355A JP 17588486 A JP17588486 A JP 17588486A JP 17588486 A JP17588486 A JP 17588486A JP S6332355 A JPS6332355 A JP S6332355A
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- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 14
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 6
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- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光吸収率測定方法に関するものである。
［従来の技術］
従来の光吸収率測定方法では、第２図に示すように、被
検物体１に光源２より光３を垂直方向に入射し、被検物
体１を透過した光の強度を検出器４で検出して測定する
方法が用いられていた。
検物体１に光源２より光３を垂直方向に入射し、被検物
体１を透過した光の強度を検出器４で検出して測定する
方法が用いられていた。
［発明が解決しようとする問題点］
被検物体に吸収される光の母は上述のように被検物体を
透過した光の強度を測定することにより求められる。
透過した光の強度を測定することにより求められる。
いま、透過率を王、被検物体の厚さをｔ、吸収率をα、
反射率をＲとすると、透過率Ｔは、で表わされる。また
反射率Ｒは回折率をｎ、減衰係数をｋとすると、真空中
（または空気中）で、（ｎ＋１）２＋に で表わされる。
反射率をＲとすると、透過率Ｔは、で表わされる。また
反射率Ｒは回折率をｎ、減衰係数をｋとすると、真空中
（または空気中）で、（ｎ＋１）２＋に で表わされる。
吸収率αは（１）式の示すように反射率Ｒが与えられれ
ば求められ、反射’ｉＺ＝ Ｒｉ；ｔ （２＋式の示す
ように屈折率ｎによって定まるので、吸収率αを求める
には屈折率ｎを求める必要がある。しかしこの屈折率ｎ
は化合物半導体のようにキャリヤ濃度や不純物の大小に
よって異なる場合があり、従来の測定法では正確に求め
ることができないので反）１率Ｒもまた正確に求められ
ず、したがって吸収率も正確に求められなかった。
ば求められ、反射’ｉＺ＝ Ｒｉ；ｔ （２＋式の示す
ように屈折率ｎによって定まるので、吸収率αを求める
には屈折率ｎを求める必要がある。しかしこの屈折率ｎ
は化合物半導体のようにキャリヤ濃度や不純物の大小に
よって異なる場合があり、従来の測定法では正確に求め
ることができないので反）１率Ｒもまた正確に求められ
ず、したがって吸収率も正確に求められなかった。
本発明の目的は、吸収率、および屈折率を同時に求める
ことのできる完成収率測定方法を提供することにある。
ことのできる完成収率測定方法を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、被検物体に光を入射し、透過する光を検出し
て前記被検物体を構成する物質による光吸収率を測定す
る光吸収率澗定方法において、前記光の入射側と出射側
にスリットを設け、前記入射側スリットに斜め方向より
光を入射し、前記被検物体を屈折して透過した光を前記
出射側スリットを移動して選択し、この出射側スリット
により選択された光の強度を測定して前記物質による光
吸収率および屈折率を同時に求めることを特徴とし、光
吸収率が容易に求められるようにして目的の達成を計っ
たものである。
て前記被検物体を構成する物質による光吸収率を測定す
る光吸収率澗定方法において、前記光の入射側と出射側
にスリットを設け、前記入射側スリットに斜め方向より
光を入射し、前記被検物体を屈折して透過した光を前記
出射側スリットを移動して選択し、この出射側スリット
により選択された光の強度を測定して前記物質による光
吸収率および屈折率を同時に求めることを特徴とし、光
吸収率が容易に求められるようにして目的の達成を計っ
たものである。
［実 施 例〕
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の光吸収１ｍ１１定法を
実施する一実施例を示す説明図で、第２図と同一部分に
は同一符号が付されている。
実施する一実施例を示す説明図で、第２図と同一部分に
は同一符号が付されている。
各図において、５は入射光側のスリット、６は出射光側
のスリットを示す。７は屈折した透過光、８は２次透過
光を表わす。
のスリットを示す。７は屈折した透過光、８は２次透過
光を表わす。
この実施例において同図（ａ＞は被検物体１をセットし
ていない場合の入射光３と支リット５および６の関係を
示すものである。
ていない場合の入射光３と支リット５および６の関係を
示すものである。
入射光３は強度を高くするためスリット５によってでき
るだけ細く絞られる。検出器４はスリット６の移動と共
に移動するようになっている。
るだけ細く絞られる。検出器４はスリット６の移動と共
に移動するようになっている。
同図（ａ）よりスリット５を通る入射光３はスリット６
を通過して検出器４に直接入射し、入射光強度工。が測
定されることになる。
を通過して検出器４に直接入射し、入射光強度工。が測
定されることになる。
同５（ｂ）は被検物体１をセットしたときの状態を示す
ものである。
ものである。
被検物体１は両面がミラー状に作られており表面と裏面
は平行になっている。
は平行になっている。
第１図（ｂ）は被検物体１による屈折率が１より大きい
場合を示し、光は図の透過光１に示すように屈折するの
で、スリット６を移動し、透過−光７を検出するように
している。同図に示す透過光７は高次の透過光を含む複
数の透過光の中で最も強度が大きいので、容易に検出す
ることができる。
場合を示し、光は図の透過光１に示すように屈折するの
で、スリット６を移動し、透過−光７を検出するように
している。同図に示す透過光７は高次の透過光を含む複
数の透過光の中で最も強度が大きいので、容易に検出す
ることができる。
スリット６が第１図（ａ）に示す位置から移動した距離
をｄ、被検物体１の厚さをｔ１光の入射角をθとすると
、屈折率ｎは、 ｓｉｎθ ｎ−□ ・・・ （３）ｓｉｎθ′ θ’ ＝ｔａｎ−１（ｄ−ｔ ｔａｎθ） ・（４
）で表わされる。また透過光７の強度をＩｌとすると・
を−α ＣＯＳθ
′ １１＝Ｉ６ （１Ｒ）２ ・ｅ ・・・ （５） で表わされる。したがってこの■１を検出器４で測定す
ることにより、先に測定した入射光強度■。どの関係よ
り、（３）弐〜（５）式から吸収率α、屈折率ｎを求め
ることができる。
をｄ、被検物体１の厚さをｔ１光の入射角をθとすると
、屈折率ｎは、 ｓｉｎθ ｎ−□ ・・・ （３）ｓｉｎθ′ θ’ ＝ｔａｎ−１（ｄ−ｔ ｔａｎθ） ・（４
）で表わされる。また透過光７の強度をＩｌとすると・
を−α ＣＯＳθ
′ １１＝Ｉ６ （１Ｒ）２ ・ｅ ・・・ （５） で表わされる。したがってこの■１を検出器４で測定す
ることにより、先に測定した入射光強度■。どの関係よ
り、（３）弐〜（５）式から吸収率α、屈折率ｎを求め
ることができる。
次に第１図（Ｃ）は第１次の透過光８を検出する場合を
示すものである。
示すものである。
１次の透過光強度をＩ、とすると、
１、＝Ｉ （１−Ｒ２）・Ｒ２（ｉ−１）・ｅ−（２
ｉ−１）（ｘｃｏｓθ′ ・・・ （６）で表わさ
れる。
ｉ−１）（ｘｃｏｓθ′ ・・・ （６）で表わさ
れる。
このように吸収率α、屈折率ｎは（６）式を用いても求
められるので、第１次のみでなく第１次の透過光強度を
用いてこれらの値を求めることにより、データの信頼性
を高めることができる。
められるので、第１次のみでなく第１次の透過光強度を
用いてこれらの値を求めることにより、データの信頼性
を高めることができる。
以上、本実施例の完成収率測定方法を用いることにより
次のような効果が得られる。
次のような効果が得られる。
（１） 光吸収率の測定において必要な屈折率の測定
を従来は別途に測定しなければならなかつたが、本実施
例の方法では吸収率と同時に求めることができる。
を従来は別途に測定しなければならなかつたが、本実施
例の方法では吸収率と同時に求めることができる。
（′２Ｊ 複数の透過光を取出して測定することがで
きるので測定値の信頼性が高く、渭１定精度を向上する
ことができる。
きるので測定値の信頼性が高く、渭１定精度を向上する
ことができる。
また本実施例の方法を用いれば、ＦＴＩＲを用いたＧａ
ＡｓのＣ，Ｓｉ、Ｏの吸収率測定、近赤外光による深層
部測定および高分子物質の各種赤外分光分析等を行なう
ことができる。
ＡｓのＣ，Ｓｉ、Ｏの吸収率測定、近赤外光による深層
部測定および高分子物質の各種赤外分光分析等を行なう
ことができる。
［発明の効果］
本発明によれば、吸収率及び屈折率が同時に求められる
光吸収率測定方法を提供することができる。
光吸収率測定方法を提供することができる。
第１図は本発明の光吸収率測定方法を実現する一実施例
の説明図、第２図は従来の測定方法を示す説明図である
。 １：被検物体、 ２：光 源、 ３：入射光、 １１：検出器、 ５．６：スリット。
の説明図、第２図は従来の測定方法を示す説明図である
。 １：被検物体、 ２：光 源、 ３：入射光、 １１：検出器、 ５．６：スリット。
Claims (1)
- （１）被検物体に光を入射し、透過する光を検出して前
記被検物体を構成する物質による光吸収率を測定する光
吸収率測定方法において、前記光の入射側と出射側にス
リットを設け、前記入射側スリットに斜め方向より光を
入射し、前記被検物体を屈折して透過した光を前記出射
側スリットを移動して選択し、該出射側スリットにより
選択された光の強度を測定して前記物質による光吸収率
および屈折率を同時に求めることを特徴とする光吸収率
測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17588486A JPS6332355A (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 光吸収率測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17588486A JPS6332355A (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 光吸収率測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332355A true JPS6332355A (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=16003898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17588486A Pending JPS6332355A (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 光吸収率測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6332355A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000322850A (ja) * | 1999-04-21 | 2000-11-24 | Guzik Technical Enterp Inc | 熱ドリフトを補正する閉ループ位置付けシステムを持った磁器ヘッド／ディスクテスター |
| JP2014202565A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | セイコーＮｐｃ株式会社 | 赤外線吸収率の測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法 |
-
1986
- 1986-07-25 JP JP17588486A patent/JPS6332355A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000322850A (ja) * | 1999-04-21 | 2000-11-24 | Guzik Technical Enterp Inc | 熱ドリフトを補正する閉ループ位置付けシステムを持った磁器ヘッド／ディスクテスター |
| JP2010267376A (ja) * | 1999-04-21 | 2010-11-25 | Guzik Technical Enterp Inc | 熱ドリフトを補正する閉ループ位置付けシステムを持った磁器ヘッド／ディスクテスター |
| JP2014202565A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | セイコーＮｐｃ株式会社 | 赤外線吸収率の測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法 |
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