JPS6331533U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6331533U JPS6331533U JP12464686U JP12464686U JPS6331533U JP S6331533 U JPS6331533 U JP S6331533U JP 12464686 U JP12464686 U JP 12464686U JP 12464686 U JP12464686 U JP 12464686U JP S6331533 U JPS6331533 U JP S6331533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chuck
- cleaned
- cleaning apparatus
- nozzle
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図はこの考案の基板洗浄装置の一実施例を
示す概略図、第２図は従来の基板洗浄装置を示す
概略図である。 １１……チヤツク、１２……マスク、１３……
被洗浄面、１４……洗浄液ノズル、１５……第１
の供給側、１６……第２の供給側、１７……吐出
口。
示す概略図、第２図は従来の基板洗浄装置を示す
概略図である。 １１……チヤツク、１２……マスク、１３……
被洗浄面、１４……洗浄液ノズル、１５……第１
の供給側、１６……第２の供給側、１７……吐出
口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) 被洗浄基板を水平に保持し、回転させるチ
ヤツクと、 (b) このチヤツクに保持された被洗浄基板の中
心上方に設けられ、硫酸と混合することにより発
熱反応する物質と前記硫酸の混合液を前記被洗浄
基板面に吐出させるノズルとを具備してなる基板
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12464686U JPS6331533U (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12464686U JPS6331533U (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6331533U true JPS6331533U (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=31016853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12464686U Pending JPS6331533U (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6331533U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001319849A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP12464686U patent/JPS6331533U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001319849A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |