JPS6331527A - 微粒子の捕集装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は１例えばガスや気相中に浮遊する液体の微粒子
や、固体の微粒子等を捕集するための捕集装置に関する
ものである。

本明細書において、微粒子とは、原子１分子、超微粒子
及び一般微粒子をいう、ここで超微粒子とは、例えば、
気相反応を利用した、ガス中蒸発法、プラズマ蒸発法、
気相化学反応法、更には液相反応を利用した、コロイド
学的な沈殿法、溶液噴霧熱分解法等によって得られる、
超微細な（−般には０．５μｍ以下）粒子をいう、一般
微粒子とは、ａ械的粉砕や析出沈殿処理等の一般的手法
によって得られる微細粒子をいう。また、ビームとは、
流れ方向に断面積がほぼ一定の噴流のことをいい、その
断面形状は問わないものである。

また、非成膜ガスとは、それのみでは膜形成能を生じな
いガスをいう。成膜ガスとは、エネルギーの付与によっ
て膜形成能を生じるガス及び当該ガスと非成膜ガスの混
合ガスをいう。

［従来の技術］ 従来より微粒子は、常に何らかの媒体中に分散または担
持した状態で利用されている。具体的には、例えばエア
ゾール、コロイド、エヤルジョン等の流動状態で利用す
る場合や、固体中に分散した状態で粒子、膜、テープ、
シート等の成形物として利用する場合や、固体中に規則
的、組織的な配列構造をもたせて複合し、多機能素子と
して利用する場合等が知られている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、微粒子の使用される条件によっては微粒
子を粉体として使用する場合もあり、このような場合に
おいては、特に微粒子を粉体として容易に保存できる状
態とすることが必要となる。

本発明は、微粒子を粉体として取り出すことができ、且
つ活性種をあえて表面コートせず、基体上に規則的に配
列可能な捕集を行うことのできる微粒子の捕集装置を提
供することを目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するための手段を、本発明の基本原理
の説明図である第１図で説明すると、本発明は下流側が
排気される流路に縮小拡大ノズル１を設けるとともに、
さらにこのノズルの下流側に昇華性物質からなる基体６
を設け、この基体によって微粒子を捕集することによっ
て上記問題点を解決したものである。

本発明における縮小拡大ノズル１とは、流入口Ｉａから
中間部に向って徐々に開口面積が絞られてのど部２とな
り、こののど部２から流出口１ｂに向って徐々に開口面
積が拡大されているノズルをいう。第１図においては、
説明の便宜上、縮小拡大ノズル１の流入側と流出側は、
各々密閉系である上流室３と下流室４に連結されている
。しかし、本発明における縮小拡大ノズル１の流入側と
流出側は、両者間に差圧を生じさせて、下流側で排気し
つつ非成膜ガスと共に微粒子を流過させることができれ
ば、密閉系であっても開放系であってもよい。

［作　用］ 例えば第１図に示すように、上流室３内に微粒子を分散
浮遊させた非成膜ガスを供給する一方、下流室４内を真
空ポンプ５で排気すると、上流室３と下流室４間に圧力
差を生じる。従って、供給された微粒子を含む非成膜ガ
スは、上流室３から縮小拡大ノズル１を流過して下流室
４へと流入することになる。

ところで縮小拡大ノズル１は、単に上流側と下流側の圧
力差に応じて非成膜ガスと共に微粒子を噴出させるだけ
でなく、噴出される非成膜ガス及び微粒子の流れを均一
化する作用を成すものである。従って、この均一化され
た微粒子の流れによって、基体６上へ微粒子を付着又は
打ち込むようにすれば、基体６表面あるいは中へ均一に
微粒子を付着させ、または打ち込むことができる。

また、縮小拡大ノズル１は、上流室３と下流室４内の圧
力比と、のど部２の開口面積ａと流出口１ｂの開口面積
Ａとの比Ａ／ａとを調節することによって、非成膜ガス
と共に噴出する微粒子の流れを高速化できる。そして、
上流室３と下流室４内の圧力比が臨界圧力比未満であれ
ば、縮小拡大ノズル１の出口流速が亜音速以下の流れと
なり、非成膜ガスと共に微粒子は減速噴出される。また
、上記圧力比が臨界圧力比以上であれば、縮小拡大ノズ
ルｌの出口流速は超音速流となり、非成膜ガスと共に微
粒子を超高速にて噴出させることができる。

上述のような圧力比が臨界圧力比未満の噴出においては
、噴出される非成膜ガスと微粒子は均一な拡散流となり
、比較的広い範囲に亘って一度に均一に微粒子を吹き付
けることが可能となる。

一方、前述のような超高速の流れとして非成膜ガスと共
に微粒子を一定方向へ噴出させると、非成膜ガスと微粒
子は噴出直後の噴流断面をほぼ保ちながら直進し、ビー
ム化される。従って、この非成膜ガスによって運ばれる
微粒子の流れもビーム化され、最小限の拡散で下流室４
内の空間中を、下流室４の壁面との干渉のない空間的に
独立状態で、かつ超高速で移送されることになる。

このようなことから、例えば上流室３内で活性を有する
微粒子を形成して、これを直に縮小拡大ノズル１でビー
ム化移送したり、縮小拡大ノズル１内又は縮小拡大ノズ
ル１の直後で活性を有する微粒子を形成して、これをそ
のままビーム化移送すれば、超音速による、しかも空間
的に独立状態にあるビームとして移送することができ、
下流室４内に設けた昇華性化合物から成る基体６上に付
着又は打ち込んで捕集することができる。

このようにして捕集された微粒子は、前記基体を低温状
態に保つことにより、長期保存しておくことができ、必
要時には加熱により粉体として取り出すことが可能とな
る。また、微粒子を基体上に規則正しく配列した状態で
固定化することが可能となる。

［実施例コ 第２図は本発明を超微粒子の捕集装置に応用した場合の
一実施例を示す概略図で、図中１は縮小拡大ノズル、３
は上流室、４ａは第一下流室、４ｂは第二下流室である
。

上流室３と第一下流室４ａは、一体のユニットとして構
成されており、第一下流室４ａに、やはり各々ユニット
化されたス午マー７、ゲートパルプ８及び第二下流室４
ｂが、全て共通した径の２ランジ（以下「共通フランジ
」という）を介して、相互に連結分離可能に順次連結さ
れている。上流室３、第一下流室４ａ及び第二下流室４
ｂは、後述する排気系によって、上流室３から第二下流
室４ｂへと、段階的に高い真空度に保たれているもので
ある。

上流室３の一側には、共通フランジを介して気相励起装
置９が取付けられている。この気相励起装置９は、プラ
ズマによって活性な超微粒子を発生させると共に、例え
ば水素、ヘリウム、アルゴン、窒素等の非成膜ガスと共
にこの超微粒子を、対向側に位置する縮小拡大ノズルｌ
へと送り出すものである。この形成された超微粒子が、
上流室３の内面に付着しないよう、付着防止処理を内面
に施しておいてもよい、また、発生した超微粒子は、上
流室３に比して第一下流室４ａが高い真空度にあるため
、両者間の圧力差によって、非成膜ガスと共に直に縮小
拡大ノズルｌ内を流過して第一下流室４ａへと流れるこ
とになる。

気相励起装置９は、第３図（ａ）に示されるように、棒
状の第一電極８ａを管状の第二電極Ｓｂ内に設け、第二
電極９ｂ内に非成膜ガスと成膜ガスを供給して１両電極
９ａ、　９ｂ間で放電させるものとなっている。また、
気相励起装置９は、第３図（ｂ）に示されるように、第
二電極９ｂ内に設けられている第一電極８ａを多孔管と
して、第一電極９ａ内を介して両電極９ａ、　ｅｂ間に
非成膜ガスと成膜ガスを供給するものとしたり、同（Ｃ
）に示されるように、半割管状の両電極９ａ、　９ｂを
絶縁材９ｃを介して管状に接合し、両電極９ａ、　９ｂ
で形成された管内に非成膜ガスと成膜ガスを供給するも
のとすることもできる。

縮小拡大ノズル１は、第一下流室４ａの上流室３側の側
端に、上流室３に流入口１ａを開口させ、第一下流室４
ａに流出口１ｂを開口させて、上流室３内に突出した状
態で、共通２ランジを介して取付けられている。但しこ
の縮小拡大ノズルｌは、第一下流室４ａ内に突出した状
態で取付けるようにしてもよい。縮小拡大ノズル１をい
ずれに突出させるかは、移送する超微粒子の大きさ、量
、性質等に応じて選択すればよい。

縮小拡大ノズルｌとしては、前述のように、流入口１ａ
から徐々に開口面積が絞られてのど部２となり、再び徐
々に開口面積が拡大して流出口１ｂとなっているもので
あればよいが、そののど部２の開口面積が、真空ポンプ
５ａの排気流量より、所要の上流室３の圧力及び温度下
におけるノズル流量が小さくなるよう定められている。

これによって流出口１ｂは適正膨張となり、流出口ｔｂ
での減速等を防止できる。また、第４図（ａ）に拡大し
て示しであるように、流出口ｌｂ付近の内周面が、中心
軸に対してほぼ平行であることが好ましい、これは、噴
出される非成膜ガス及び超微粒子の流れ方向が、ある程
度流出口！ｂ付近の内周面の方向によって影響を受ける
ので、できるだけ平行流にさせやすくするためである。

しかし、第４図（ｂ）に示されるように、のど部２から
流出口１ｂへ至る内周面の中心軸に対する角度αを、７
°以下好ましくは５°以下とすれば、剥離現象を生じに
くく、噴出する非成膜ガス及び超微粒子の流れはほぼ均
一に維持されるので、この場合はことさら上記平行部を
形成しなくともよい。平行部の形成を省略することによ
り、縮小拡大ノズルｌの作製が容易となる。また、縮小
拡大ノズル１を第４図（ｃ）に示されるような矩形のも
のとすれば、スリット状に非成膜ガス及び超微粒子を噴
出させることができる。

ここで、前記剥離現象とは縮小拡大ノズル１の内面に突
起物等があった場合に、縮小拡大ノズル１の内面と流過
流体間の境界層が大きくなって、流れが不均一になる現
象をいい、噴出流が高速になるほど生じやすい。前述の
角度αは、このｔｌ１ｇ＆現象防止のために、縮小拡大
ノズル１の内面仕上げ精度が劣るものほど小さくするこ
とが好ましい。縮小拡大ノズル１の内面は、ＪＩＳ　８
０６０１に定められる、表面仕上げ精度を表わす逆三角
形マークで三つ以上、最適には四つ以上が好ましい、特
に、縮小拡大ノズル１の拡大部における剥離現象が、そ
の後の非成膜ガス及び超微粒子の流れに大きく影響する
ので、上記仕上げ精度を、この拡大部を重点にして定め
ることによって、縮小拡大ノズル１の作製を容易にでき
る。また、やはり剥離現象の発生防止のため、のど部２
は滑らかな湾曲面とし、断面積変化率における微係数が
■とならないようにする必要がある。

縮小拡大ノズル１の材質としては、例えば鉄、ステンレ
ススチールその他の金属の他、アクリル樹脂、ポリ塩化
ビニル、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン
等の合成樹脂、セラミック材料、石英、ガラス等、広く
用いることができる。この材質の選択は、生成される超
微粒子との非反応性、加工性、真空系内におけるガス放
出性等を考慮して行えばよい。また、縮小拡大ノズル１
の内面に、超微粒子の付着・反応を生じにくい材料をメ
ッキ又はコートすることもできる。具体例としては、ポ
リフッ化エチレンのコート等を挙げることができる。

縮小拡大ノズル１の長さは、装置の大きさ等によって任
意に定めることができる。ところで、縮小拡大ノズル１
を流過するときに、非成膜ガス及び超微粒子は、保有す
る熱エネルギーが運動エネルギーに変換される。そして
、特に超音速で噴出される場合、熱エネルギーは著しく
小さくなって過冷却状態となる。従って、非成膜ガス中
に凝縮成分が含まれている場合、上記過冷却状態によっ
て端極的にこれらを凝縮させ、これによって超微粒子を
形成させることも可能である。これによる超微粒子の形
成は、均質核形成であるので、均質な超微粒子が得やす
い。また、この場合、十分な凝縮を行うために、縮小拡
大ノズルｌは長い方が好ましい。一方、上記のような凝
縮を生ずると、これによって熱エネルギーが増加して速
度エネルギーは低下する。従って、高速噴出の維持を図
る上では、縮小拡大ノズル１は短い方が好ましい。

上流室３の圧力Ｐｏと下流室４の圧力Ｐの圧力比Ｐ／Ｐ
、と、のど部２の開口面積Ａ”と流出口１ｂの開口面積
との比Ａ／Ａ”との関係を適宜に調整して、上記縮小拡
大ノズル１内を流過させることにより、超微粒子を含む
非成膜ガスはビーム化され、第一下流室４ａから第二下
流室４ｂへと超高速で流れることになる。

スキマー７は、第二下流室４ｂが第一下流室４ａよりも
十分高真空度を保つことができるよう、第一下流室４ａ
、！ｌ−第二下流室４ｂとの間の開口面端を調整できる
ようにするためのものである。具体的には、第５図に示
されるように、各々く字形の切欠部１０．１０’を有す
る二枚の調整板１１．１１’を、切欠部１０．　ｔｏ’
　を向き合わせてすれ違いスライド可能に設けたものと
なっている。この調整板１１゜１１′は、外部からスラ
イドさせることができ、両切央部１０．１０’の重なり
具合で、ビームの通過を許容しかつ第二下流室の十分な
真空度を維持し得る開口度に調整されるものである。尚
、スキマー７の切欠部１０．１０’及び調整板１１．１
１’の形状は１図示される形状の他、半円形その他の形
状でもよい。

ゲートバルブ８は、ハンドル１２を回すことによって昇
降される堰状の弁体１３を有するもので、ビーム走行時
には開放されているものである。このゲートバルブ８を
閉じることによって、上流室３及び第一下流室４ａ内の
真空度を保ちながら第二下流室４ｂのユニット交換が行
える。また、本実施例の装置において、超微粒子は第二
下流室４ｂ内で捕集されるが、ゲートバルブ８をポール
バルブ等としておけば、特に超微粒子が酸化されやすい
金属微粒子であるときに、このポールバルブと共に第二
下流室４ｂのユニット交換を行うことにより、急激な酸
化作用による危険を伴うことなくユニット交換を行える
利点がある。

第二下流室４ｂ内には、ビームとして移送されて来る超
微粒子を表面または中で受けてこれを捕集するための基
体６が位置している。基体６は、昇華性物質からなるも
ので、具体的な材質としてはドライアイス、ヨウ素、シ
ョウノウ、及び７クリドン等の芳香族多環状化合物が挙
げられる。

ドライアイスの場合には、その冷却効果により捕集し、
ドライアイスは気化させることにより除く事が出来る。

ヨウ素の場合には、吸着または反応によりヨウ素化して
捕集し、残ったヨウ素は昇華により除去する事ができる
。また、芳香族多環状化合物の場合には、分子間化合物
を形成させ、残ったものは分別昇華、溶解等により除去
する事が出来る。

このような昇華性物質以外にも、例えポーラス・ガラス
、ゼオライト、アルミナ等の多孔質材料の孔内に吸着さ
せて捕集することにより、超微粒子をそのまま触奴、ガ
スセンサとして利用することもできる。この場合、多孔
質材料は支持体として使用される。

本実施例においては、第２図に示すように基体６は共通
２ランジを介して第二下流室４ｂに取付けられて、シリ
ンダ１４によってスライドされるスライド軸１５先端の
基体ホルダー１６上に被覆されている。なお、この基体
６は前述した昇華性物質を単独で形成し、直接スライド
軸１５の先端に取り付けるようにしてもよい、基体６の
前面にはシャッター１７が位置していて、必要なときは
いつでもビームを遮断できるようになっている。また、
基体ホルダー１６は、超微粒子の捕集の最適温度条件下
に基体６を加熱又は冷却できるようになっている。

尚、上流室３及び第二下流室４ｂの上下には、図示され
るように各々共通フランジを介してガラス窓１８が取付
けられていて、内部観察ができるようになっている。ま
た、図示はされていないが、上流室３、第一下流室４ａ
及び第二下流室の前後にも各々同様のガラス窓（図中の
１８と同様）が共通フランジを介して取付けられている
。これらのガラス窓１Ｂは、これを取外すことによって
、共通フランジを介して各種の測定装置、ロードロック
室等と付は替えができるものである。

次に１本実施例における排気系について説明する。

上流室３は、圧力調整弁１９を介してメインバルブ２０
ａに接続されている。第一下流室４ａは直接メインバル
ブ２０ａに接続されており、このメインバルブ２０ａは
真空ポンプ５ａに接続されている。第二下流室４ｂはメ
インバルブ２０ｂに接続されており、更にこのメインバ
ルブ２０ｂは真空ポンプ５ｂに接続されている。尚、２
１ａ、　２１ｂは、各々メインバルブ２０ａ、　２０ｂ
のすぐ上流側にあらびきバルブ２２ａ、　２２ｂを介し
て接続されていると共に、補助バルブ２３ａ。

２３ｂを介して真空ポンプ５ａに接続された減圧ポンプ
で、上流室３、第一下流室４ａ及び第二下流室４ｂ内の
あらびきを行うものである。尚、２４ａ〜２４ｈは、各
室３　、４ａ、　４ｂ及びポンプ５ａ、　５ｂ、　２１
ａ、　２１ｂのリーク及びパージ用バルブである。

まず、あらびきバルブ２１ａ、　２１ｂと圧力調整弁１
８を開いて、上流室３、第−及び第二下流室４ａ、　４
ｂ内のあらびきを減圧ポンプ２０ａ、　２０ｂで行う０
次いで、あらびきバルブ２１ａ、　２１ｂを閉じ、補助
バルブ２３ａ、　２３ｂ及びメインバルブ２０ａ、　２
０ｂを開いて、真空ポンプ５ａ、　５ｂで上流室３、第
−及び第二下流室４ａ、　４ｂ内を十分な真空度とする
。このとき、圧力調節弁１９の開度を調整することによ
って、上流室３より第一下流室４ａの真空度を高くし、
次にキャリアガス及び原料ガスを流し、更に第一下流室
４ａより第二下流室４ｂの真空度が高くなるよう、スキ
マー７で調整する。この調整は、メインバルブ２０ｂの
開度調整で行うこともできる。そして、超微粒子の形成
並びにそのビーム化噴射による成膜作業中を通じて、各
室３．４ａ、　４ｂが一定の真空度を保つよう制御する
。この制御は、手動でもよいが、各室３　、４ａ、　４
ｂ内の圧力を検出して、この検出圧力に基づいて圧力調
整弁１９、メインバルブ２０ａ、　２０ｂ、スキマー７
等を自動的に開閉制御することによって行ってもよい、
また、上流室３に供給される非成膜ガスと微粒子が直に
縮小拡大ノズル１を介して下流側へと移送されてしまう
ようにすれば、移送中の排気は、下流側、即ち第−及び
第二下流室４ａ、　４ｂのみ行うこととすることができ
る。

上記真空度の制御は、上流室３と第一下流室４ａの真空
ポンプ５ａを各室３，４ａ毎に分けて設けて制御を行う
ようにしてもよい、しかし、本実施例のように、−台の
真空ポンプ５ａでビームの流れ方向に排気し、上流室３
と第一下流室４ａの真空度を制御するようにすると、多
少真空ポンプ５ａに脈動等があっても、両者間の圧力差
を一定に保ちやすい、従って、この差圧の変動の影響を
受けやすい流れ状態を、一定に保ちやすい利点がある。

真空ポンプ５ａ、　５ｂによる吸引は、特に第−及び第
二下流室４ａ、　４ｂにおいては、その上方より行うこ
とが好ましい、上方から吸引を行うことによって、ビー
ムの重力による降下をある程度抑止することができる。

本実施例に係る装置は以上のようなものであるが、次の
ような変更が可能である。

まず、縮小拡大ノズル１は、上下左右への傾動や一定間
隔でのスキャン可能とすることもでき、広い範囲に亘っ
て成膜を行えるようにすることもできる。特にこの傾動
やスキャンは、第４図（Ｃ）の矩形ノズルと組合わせる
と有利である。

縮小拡大ノズル１を石英等の絶縁体で形成し、そこにマ
イクロ波を付与して、縮小拡大ノズル１内で活性超微粒
子を形成したり、透光体で形成して紫外、赤外、レーザ
ー光等の各種の波長を持つ光を流れに照射することもで
きる。また、縮小拡大ノズルｌを複数個設けて、−度に
複数のビームを発生させることもできる。特に、複数個
の縮小拡大ノズル１を設ける場合、各々独立した上流室
３に接続しておくことによって、異なる微粒子のビーム
を同時に走行させることができ、異なる微粒子の積層又
は混合捕集や、ビーム同志を交差させることによる、異
なる微粒子同志の衝突によって、新たな微粒子を形成さ
せることも可能となる。

基体６を、上下左右に移動可能又は回転可能に保持し、
広い範囲に亘ってビームを受けられるようにすることも
できる。

本実施例では、発生室３、第一下流室４ａ及び第二下流
室４ｂで構成されているが、第二下流室４ｂを省略した
り、第二下流室の下流側に更に第三。

第四・・・・・・下流室を接続することもできる。また
、上流室３を加圧すれば、第一下流室４ａは開放系とす
ることができ、第一下流室４ａを減圧して上流室３を開
放系とすることもできる。特にオートクレーブのように
、上流室３を加圧し、第一下流室４８以下を減圧するこ
ともできる。

本実施例では、上流室３で活性な超微粒子を形成してい
るが、必ずしもこのような必要はなく、別途形成した微
粒子を上流室３へ非成膜ガスと共に送り込むようにして
もよい、また、縮小拡大ノズル１を開閉する弁を設け、
上流室３側に一時微粒子を溜めながら、上記弁を断続的
に開閉して、微粒子を得ることもできる。前記縮小拡大
ノズル１ののど部２を含む下流側で行うエネルギー付与
と同期させて、上記弁を開閉すれば、排気系の負担が大
幅に低減されると共に、原料ガスの有効利用を図りつつ
パルス状の微粒子流を得ることができる。尚、同一排気
条件下とすれば、上述の断続的開閉の方が、下流側を高
真空に保持しやすい利点がある。断続的開閉の場合、上
流室３と縮小拡大ノズル１の間に、微粒子を一時溜める
室を設けておいてもよい。

また、縮小拡大ノズル１を複数個直列位置に配し、各々
上流側と下流側の圧力比を調整して、ビーム速度の維持
を図ったり、各室を球形化して、デッドスペースの発生
を極力防止することもできる。

［発明の効果］ 本発明によれば、微粒子を均一な分散状態の超音速のビ
ームとして移送することができるので、空間的に独立し
た状態でかつ超高速で微粒子を移送することができる。

従って、活性微粒子をそのままの状態で捕集位置まで確
実に移送できると共に、ビームの照射面を制御すること
によって、その吹き付は領域を正確に制御することがで
きる。

また、微粒子は昇華性物質の表面または内部に固定化さ
れるため、これを低温状態に保つことにより長期の保存
が可能となり、必要時には粉体として取り出すことがで
きる。さらには、活性種等をあえて表面コートせず、基
体上に規則正しく配列した微粒子として固定化すること
も可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本原理の説明図、第２図は本発明に
よる捕集装置の一実施例を示す概略図、第３図（ａ）〜
（Ｃ）は各々気相励起装置の例を示す図、第４図（ａ）
〜（Ｃ）は各々縮小拡大ノズルの形状例を示す図、第５
図はスキマーの説明図である。 １：縮小拡大ノズル、１ａ：流入口、 １ｂ＝流出口、２：のど部、３：上流室、４：下流室、
４ａ：第一下流室、 ４ｂ：第二下流室、５　、５ａ、　５ｂ；真空ポンプ、
６：基体、７：スキマー、８：ゲートバルブ、９：気相
励起装置、９ａ＝第一電極、 ９ｂ：第二電極、１０．１０’　　：切欠部、１１、１
１’　　：調整板、１２：ハンドル、１３：弁体。 １４ニジリンダ、１５ニスライド軸、 １６二基体ホルダー、１７：シャッター、１８ニガラス
窓、１９：圧力調整弁。 ２０ａ、　２０ｂ：メインバルブ、 ２１ａ、　２１ｂ：減圧ポンプ、 ２２ａ、　２２ｂ：あらびきバルブ、 ２３ａ、　２３ｂ：補助バルブ。 ２４ａ〜２４ｈ：リーク及びノく−ジ用／＜）レブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）流路に縮小拡大ノズルを設け、この縮小拡大ノズル
   の下流側に配置した昇華性物質からなる基体により微粒
   子を捕集することを特徴とする微粒子の捕集装置。