JPS6331466A

JPS6331466A - リニアモ−タ

Info

Publication number: JPS6331466A
Application number: JP17460586A
Authority: JP
Inventors: Ryoji Nemoto; 亮二根本; Toshiaki Taniuchi; 谷内　俊明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1986-07-24
Filing date: 1986-07-24
Publication date: 1988-02-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は、リニアモータに関する。

［従来の技術］従来の直流駆動型のりニアモータは、１組のコイル配列
および磁石配列によって推力を得る構成である。そして
一般に、コイル配列は固定γ側に設けられ、磁石配列は
アーマチュア側に設けられている。

［解決しようとする問題点コアーマチュアは、固定子−に沿って移動「１）能に支持
されるが、前記のような従来のりニアモータにおいては
、コイル配列と磁石配列の間の吸引力および斥力がその
ままアーマチュア支持機構の荷重となる。そのため、ア
ーマチュア支持機構の強度を１−１げる７堡があって、
その支持機構の大型化を招いたり、また支持機構の摩耗
が激しくリニアモータの寿命を甲めたり、騒音や振動を
発しやすいなどの問題があった。

また、このように支持機構の摩耗が激しく、その摩耗塵
の飛散頃が多い点は、清浄雰囲気を７殼とする装置、例
えば゛１１導体ウェハの異物検査装置などで使用する場
合に重大な欠点となる。

さらに、従来のりニアモータは１組のコイル配列および
磁石配列によって推力を得るため、大きな推力を得にく
いという問題もあった。

［発明の［１的コこの発明は、そのような従来の問題に鑑みてなされたも
のであって、その［１的は、アーマチュアの支持機構に
対する荷重を減少することができ、かつ、小容積で大推
力をｊすられるリニアモータを提供することにある。

［問題点を解決するためのＦ段コこの目的を達成すべく、この発明によるリニアモータは
、固定子と、この固定Ｙに沿って移動可能に支持された
アーマチュアとからなり、＋］ｉｒ記固定子はその第１
の面およびそれと反対側の第２の面にそれぞれコイル配
列または磁石配列の一方を有し、前記アーマチュアはそ
の前記固定子の第１および第２の面に対向する２つの面
にそれぞれ前記コイル配列または磁石配列の他方を有す
る構成とされる。

［作用コこのように、２組のコイル配列および磁石配列によって
推力を発生する構成であり、また、コイル配列と磁石配
列は前記のような関係に配設され、その配設のための容
積を比較的小さくできるので、小容積で大推力を得るこ
とができる。

また、一方の組のコイル配列と磁石配列との間の吸引力
または斥力と、他方の組のコイル配列と磁石配列との間
の吸引力または斥力とを打ち消しあわせて、アーマチュ
アの支持機構への４；１重を大幅に減少させることがで
きる。したがって、アーマチュアの支持機構の小型化、
摩耗のＩイ減と寿命延長、振動および騒音の低減などを
図ることができる。

このようにアーマチュア支持機構を小型化できることも
、リニアモータ全体の小型化に寄９する。

［実施例コ以下、図面を参照し、この発明の一実施例について説明
する。

第１図は、この発明による直流駆動型のりニアモータの
概略平面図であり、第２図は第１図の■−■線概略断面
図である。

各図において、１０は固定γである。この固定子１０の
ｌ面側ベース１２ａおよびド面側ベース１２ｂの表面に
、コイル配列１４ａ、１４ｂがそれぞれ固定されている
。

コイル配列１４ａ、１４ｂはそれぞれ、プリント配線板
１６に、多数のコイル１８を配列搭載してなるものであ
る。各コイル１８は、プリント配線板１６の配線パター
ンを介して図小しない駆動回路と接続されるようになっ
ている。

２０は固定子１０のベース１２　ａ　＋　　１２　ｂの
間に介装されたガイドレールであり、ベース１２ａ。

１２ｂと一体化されている。このガイドレール２０の両
側端部は、ベース１２ａ、１２ｂよりも外側に突出して
いる。

２２はアーマチュアである。このアーマチュア２２のＬ
壁２４の内面およびド壁２６の内面にそれぞれ、固定子
１０のコイル配列１４ａ、１４ｂと対向させて永久磁石
２８が配列固定されている。

以ド、この永久磁石２８の配列を永久磁石配列と称する
。

なお、１−壁２４およびド壁２６はそれぞれヨークとし
ても働くものである。

アーマチュア２２には、４箇所にローラ３０が取り付け
られている。このローラ３０は、ガイドレール２０と１
動してアーマチュア２２を固定子１０に沿って移動ｉ＋
Ｊ能に支持するためのものであり、ガイドレール２０の
側端部に係合して転勤自７１である。

このような構成において、図小しない駆動回路により、
ｌ−ドのコイル配列１４ａ、１４ｂの７認なコイル１８
を適切に駆動すれば、永久磁石配列との間にアーマチュ
ア２２を移動させるための推力が発生し、アーマチュア
２２が移動する。

このような推力は、」−ド２組のコイル配列１４ａ　ｖ
　　１４　ｂおよび永久磁石配列（１６）によって発生
させられるから、それが１組の従来のりニアモータに比
較して２倍程度の推力を容易に得ることができる。しか
も、２組のコイル配列１４ａ。

１４ｂおよび永久磁石配列は図示のように小さなスペー
スに収まるように合理的に配設されているので、このリ
ニアモータの全体の容積は従来に比べて、それほど増大
しない。

また、このリニアモータを作動させると、［・、側の永
久磁石配列とコイル配列１４ａとの間、および下側の永
久磁石配列およびコイル配列１４ｂとの間に、重置方向
の吸引力または斥力がそれぞれ発生する。しかし、それ
ぞれの吸引力または斥力の向きがｌｆいに逆向きになる
ように、１・、−ドの永久磁石１６の極性およびコイル
１８のφ動電流の向きが決められるので、そのような吸
引力または斥力は＋１：いに打ち消し合って、ローラ３
０およびガイドレール２０に対する荷重とは殆どならな
い。

このように、アーマチュア２２の支持機構であるローラ
３０およびガイドレール２０に対する垂直方向の荷重が
少ないため、それら部材の必要強度が低下し、それら部
材の小型ｌＨＩ化を図ることができる。また、ローラ３
０およびガイドレール２０の摩耗も起こりにくくなるた
め、その摩耗塵の発生量および振動騒音が減少し、さら
にリニアモータの寿命が延びる。

以１−１−・実施例について説明したが、この発明はそ
れだけに限定されるものではない。

例えば、前記実施例においては、固定下側にコイル配列
が設けられ、アーマチュア側に永久磁石配列が設けられ
たが、それを逆にするこ七も可能である。たたし、コイ
ル駆動の而からは前記実施例のように、コイル配列を固
定下側に設けたほうが　股に自゛利である。

これ以外にも、アーマチュアの支持機構など、この発明
の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形が許される。

［発明の効果コ以Ｉ−の説明から明らかなように、この発明によれば、
リニアアクチュエータは、固定子と、この固定子に沿っ
て移動ｉｉＪ能に支持されたアーマチュアとからなり、
前記固定子はその第１の面およびそれと反対側の第２の
面にそれぞれコイル配列または磁石配列の一方を有し、
前記アーマチュアはその前記固定子の第１および第２の
面に対向する２つの面にそれぞれ前記コイル配列または
磁石配列の他方をイｒする構成とされるから、小容積で
大推力を得られるとともに、アーマチュア支持機構の摩
耗、振動および騒ｎを低減したりニアモータを実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるリニアモータの一実施例を示
す概略・１ｊ、面図であり、第２図は第１図の■−■線
概略断面図である。１０・・・固定Ｊ’、１４ａ、Ｌ４ｂ・・・コイル配列
、１８・・・コイル、２０・・・ガイドレール、２２・
・・アーマチュア、２８・・・永久磁石、３０・・・ロ
ーラ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）固定子と、この固定子に沿って移動可能に支持さ
れたアーマチュアとからなり、前記固定子はその第１の
面およびそれと反対側の第２の面にそれぞれコイル配列
または磁石配列の一方を有し、前記アーマチュアはその
前記固定子の第１および第２の面に対向する２つの面に
それぞれ前記コイル配列または磁石配列の他方を有する
ことを特徴とするリニアモータ。