JPS6331185A - 1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置 - Google Patents
1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置Info
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- JPS6331185A JPS6331185A JP17454186A JP17454186A JPS6331185A JP S6331185 A JPS6331185 A JP S6331185A JP 17454186 A JP17454186 A JP 17454186A JP 17454186 A JP17454186 A JP 17454186A JP S6331185 A JPS6331185 A JP S6331185A
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- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスレーザー装置の直流高電圧パルスを発生さ
せる装置に関するものである。従来、直流高電圧を必要
とするガスレーザー装置においては出力電流のコントロ
ールは可飽和リアクトルで行い、可飽和リアクトルによ
る制御交流を昇圧トランスで電圧を上昇させ、整流平滑
した出力をフロートした真空管を開閉することKより、
直流高電圧パルスを得ていた。しかし乍ら係る従来方式
では動作周波数が商用電源周波のため、制御回路の応答
が遅くなり、トランスの大型化が避けられず、又スイッ
チとして真空管を使用していることから運転寿命が短く
不経済であった。このため出願人等は先に第1図の回路
を提案し、上記の問題を解消した。即ち第1図に示すよ
うVC1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装
置において交流入力ACを直流に整流する整流回路1と
その整流出力を所望の直流電圧に変換するDC−DCコ
ンバータ2とそのDC−DCコンバータの直流出力を高
周波の交流に変換するインバータスイッチ回路3と昇圧
トランス5と高電圧整流回路6とがスレーザー負荷の負
性抵抗特性領域の制御を安定化するバラスト抵抗7から
なる直流電源回路においてDC−DCコンバータの直流
電圧を制御することにより負荷電流を制御し、且つ昇圧
トランスの1次側でインバータスイッチ回路を所望の時
間間隔で運転と停止を繰返すことによりガスレーザーの
制御に必要なCWモード運転及びパルサーモード運転用
の直流高電圧パルスを発生させていた。これによりガス
レーザー用直流高電圧パルス発生回路の変換周波数をあ
げることができることから、応答スピードがあがり、又
小製化がはかれる。さらに半導体スイッチの採用により
寿命も長くなる。パルサーモード運転用直流高電圧パル
スを昇圧トランスの1次側つまり低圧側で制御している
ことから、比較的路を実現でき、しかもパルサーモード
からCWモードまで連続的に出力できることを明らかに
した。しかし乍らこの回路ではガスレーザー負荷の負性
抵抗領域の制御の安定化のために負荷に直列にバラスト
抵抗を採用していたが、バラスト抵抗が高電圧回路に接
続されていることからバラスト抵抗の実装に際し十分な
絶縁距離の確保をしなければならず、又バラスト抵抗自
体の寸法もおおきかった。これを解決しようとするのが
本発明の目的である。第2図は本発明の基本回路の構成
を表わすプロ、り図であって、1は商用交流入力を直流
に整流する整流回路、2は整流回路1の出力を所望の出
力電流に対応する直aM、圧に変換するDC−DCコン
バータ3は直流を高周波交流に変換するインバータスイ
ッチ回路、4は直列抵抗、5は昇圧トランス6は高電圧
整流回路、7はガスレーザー負荷の負性抵抗特性領域の
制御を安定化するバラスト抵抗、8は負荷ラインの分布
容量、昇圧トランスの浮遊容量及びリップル電圧低減の
ため必要に応じて加えられるコンデンサー、9はガスレ
ーザー管である。又、第3図は本発明に適用されるDC
−DCコンバータ2の降圧型コンバータによる基本回路
例であり、第4図(a) (b) (c)は同インバー
タスイッチ回路の基本回路例である。
せる装置に関するものである。従来、直流高電圧を必要
とするガスレーザー装置においては出力電流のコントロ
ールは可飽和リアクトルで行い、可飽和リアクトルによ
る制御交流を昇圧トランスで電圧を上昇させ、整流平滑
した出力をフロートした真空管を開閉することKより、
直流高電圧パルスを得ていた。しかし乍ら係る従来方式
では動作周波数が商用電源周波のため、制御回路の応答
が遅くなり、トランスの大型化が避けられず、又スイッ
チとして真空管を使用していることから運転寿命が短く
不経済であった。このため出願人等は先に第1図の回路
を提案し、上記の問題を解消した。即ち第1図に示すよ
うVC1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装
置において交流入力ACを直流に整流する整流回路1と
その整流出力を所望の直流電圧に変換するDC−DCコ
ンバータ2とそのDC−DCコンバータの直流出力を高
周波の交流に変換するインバータスイッチ回路3と昇圧
トランス5と高電圧整流回路6とがスレーザー負荷の負
性抵抗特性領域の制御を安定化するバラスト抵抗7から
なる直流電源回路においてDC−DCコンバータの直流
電圧を制御することにより負荷電流を制御し、且つ昇圧
トランスの1次側でインバータスイッチ回路を所望の時
間間隔で運転と停止を繰返すことによりガスレーザーの
制御に必要なCWモード運転及びパルサーモード運転用
の直流高電圧パルスを発生させていた。これによりガス
レーザー用直流高電圧パルス発生回路の変換周波数をあ
げることができることから、応答スピードがあがり、又
小製化がはかれる。さらに半導体スイッチの採用により
寿命も長くなる。パルサーモード運転用直流高電圧パル
スを昇圧トランスの1次側つまり低圧側で制御している
ことから、比較的路を実現でき、しかもパルサーモード
からCWモードまで連続的に出力できることを明らかに
した。しかし乍らこの回路ではガスレーザー負荷の負性
抵抗領域の制御の安定化のために負荷に直列にバラスト
抵抗を採用していたが、バラスト抵抗が高電圧回路に接
続されていることからバラスト抵抗の実装に際し十分な
絶縁距離の確保をしなければならず、又バラスト抵抗自
体の寸法もおおきかった。これを解決しようとするのが
本発明の目的である。第2図は本発明の基本回路の構成
を表わすプロ、り図であって、1は商用交流入力を直流
に整流する整流回路、2は整流回路1の出力を所望の出
力電流に対応する直aM、圧に変換するDC−DCコン
バータ3は直流を高周波交流に変換するインバータスイ
ッチ回路、4は直列抵抗、5は昇圧トランス6は高電圧
整流回路、7はガスレーザー負荷の負性抵抗特性領域の
制御を安定化するバラスト抵抗、8は負荷ラインの分布
容量、昇圧トランスの浮遊容量及びリップル電圧低減の
ため必要に応じて加えられるコンデンサー、9はガスレ
ーザー管である。又、第3図は本発明に適用されるDC
−DCコンバータ2の降圧型コンバータによる基本回路
例であり、第4図(a) (b) (c)は同インバー
タスイッチ回路の基本回路例である。
なお、8 W a 、 8 W l〜8はバイポーラト
ランジスタ、MO3FET、サイリスタあるいは、それ
らに等価なスイッチ素子である。次に動作について、第
5図の各部動作波形図を参照して説明する。第2図にお
いて整流回路1により商用交流入力ACを直流に整流し
く第5図(イ)の電圧波形参照)、その整流出力を第3
図に示す降圧形コンバータ2により所望する出力電流に
対応する直流電圧に制御変換される(第5図(ロ)の電
圧波形参照)。降圧形コンバータの直流出力は第4図t
a+ (bl (c)のインバータスイッチ回路3によ
り高周波の交流に変換される。このインバータスイッチ
回路3を昇圧トランス5の1次側にてキャリアー周波数
以上の所望のデー−ティーで運転と停止を繰返してやれ
ば(第5図を→の電圧波形参照)、高電圧整流回路6の
出力電圧波形は方形波パルス状となり(第5図に)の電
圧波形参照)、ガスレーザーv9に印加される負荷電流
波形は第5図tF4に示すt流パルスとなる。
ランジスタ、MO3FET、サイリスタあるいは、それ
らに等価なスイッチ素子である。次に動作について、第
5図の各部動作波形図を参照して説明する。第2図にお
いて整流回路1により商用交流入力ACを直流に整流し
く第5図(イ)の電圧波形参照)、その整流出力を第3
図に示す降圧形コンバータ2により所望する出力電流に
対応する直流電圧に制御変換される(第5図(ロ)の電
圧波形参照)。降圧形コンバータの直流出力は第4図t
a+ (bl (c)のインバータスイッチ回路3によ
り高周波の交流に変換される。このインバータスイッチ
回路3を昇圧トランス5の1次側にてキャリアー周波数
以上の所望のデー−ティーで運転と停止を繰返してやれ
ば(第5図を→の電圧波形参照)、高電圧整流回路6の
出力電圧波形は方形波パルス状となり(第5図に)の電
圧波形参照)、ガスレーザーv9に印加される負荷電流
波形は第5図tF4に示すt流パルスとなる。
インバータスイッチ回路3のキャリアー周波数が十分高
いとリップル低減用のコンデンサー8は必要なくなる。
いとリップル低減用のコンデンサー8は必要なくなる。
ここで、インバータスイッチ回路3と昇圧トランス5と
の間に直列に挿入された直列抵抗4は昇圧トランスの1
次対2次の巻き数比を1:nとすればほぼ直列抵抗4の
が倍の抵抗値を有するバラスト抵抗7を挿入したのと等
価となる。このように本発明によればバラスト抵抗7の
全部もしくは一部を省略し、直列抵抗4に機能(代用)
せしめることが可能である。しかも、直列抵抗4は昇圧
トランス5の1次側(低圧側)に挿入するため、小聾、
低声のものでよく、装置の大幅な小型、経済化が達成で
きる0以上の説明から明らかなように、本発明によれば
1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装置のバ
ラスト抵抗の一部または全部を電圧の低い昇圧トランス
の1次側に#換えできることから、実装スペースの低減
がはかれる。又、インバータスイッチ回路に直列に抵抗
が挿入されることから過電流保護作用も期待できる等実
用上の効果は大きい。
の間に直列に挿入された直列抵抗4は昇圧トランスの1
次対2次の巻き数比を1:nとすればほぼ直列抵抗4の
が倍の抵抗値を有するバラスト抵抗7を挿入したのと等
価となる。このように本発明によればバラスト抵抗7の
全部もしくは一部を省略し、直列抵抗4に機能(代用)
せしめることが可能である。しかも、直列抵抗4は昇圧
トランス5の1次側(低圧側)に挿入するため、小聾、
低声のものでよく、装置の大幅な小型、経済化が達成で
きる0以上の説明から明らかなように、本発明によれば
1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装置のバ
ラスト抵抗の一部または全部を電圧の低い昇圧トランス
の1次側に#換えできることから、実装スペースの低減
がはかれる。又、インバータスイッチ回路に直列に抵抗
が挿入されることから過電流保護作用も期待できる等実
用上の効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の1次制御ガスレーザー剛直流高高電圧パ
ルス発生装置回路図、第2図は本発明のガスレーザー用
直流高電圧パルス発生装置回路図、第3図はDC−DC
コンバータの降圧形コンバータによる基本回路図、第4
図はインバータスイッチ回路図、第5図は本発明回路の
動作波形図である。1・・・整流回路、2・・・DC−
DCコンバータ、3・・−インバーダスイッチ回路、4
・・・直列抵抗、5・・・昇圧トランス、6・・・高電
圧整流回路、7・・・バラスト抵抗、8・・−コンデン
サー、9・・・ガスレーザー管である。 特許出願人 新電元工業株式会社 情S図
ルス発生装置回路図、第2図は本発明のガスレーザー用
直流高電圧パルス発生装置回路図、第3図はDC−DC
コンバータの降圧形コンバータによる基本回路図、第4
図はインバータスイッチ回路図、第5図は本発明回路の
動作波形図である。1・・・整流回路、2・・・DC−
DCコンバータ、3・・−インバーダスイッチ回路、4
・・・直列抵抗、5・・・昇圧トランス、6・・・高電
圧整流回路、7・・・バラスト抵抗、8・・−コンデン
サー、9・・・ガスレーザー管である。 特許出願人 新電元工業株式会社 情S図
Claims (1)
- 交流入力を直流に整流する整流回路とその整流出力を所
望の直流電圧に変換するDC−DCコンバータと前記D
C−DCコンバータの直流出力を高周波の交流に変換す
るインバータスイッチ回路と昇圧トランスと高電圧整流
回路とからなる直流高電圧パルス発生回路において前記
インバータスイッチ回路と昇圧トランスに直列に抵抗器
を挿入してガスレーザー負荷の負性抵抗領域の制御を安
定化するバラスト抵抗として機能せしめることを特徴と
する1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17454186A JPH069265B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | 1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17454186A JPH069265B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | 1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6331185A true JPS6331185A (ja) | 1988-02-09 |
JPH069265B2 JPH069265B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=15980345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17454186A Expired - Fee Related JPH069265B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | 1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH069265B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108667335A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-10-16 | 芜湖中电兆威电子股份有限公司 | 一种小型医用高压脉冲电源 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08317290A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-11-29 | Nec Corp | カメラ装置 |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP17454186A patent/JPH069265B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108667335A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-10-16 | 芜湖中电兆威电子股份有限公司 | 一种小型医用高压脉冲电源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH069265B2 (ja) | 1994-02-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |