JPS6331185A - 1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置 - Google Patents

1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置

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JPS6331185A
JPS6331185A JP17454186A JP17454186A JPS6331185A JP S6331185 A JPS6331185 A JP S6331185A JP 17454186 A JP17454186 A JP 17454186A JP 17454186 A JP17454186 A JP 17454186A JP S6331185 A JPS6331185 A JP S6331185A
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JP
Japan
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resistor
gas laser
series
voltage
transformer
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JP17454186A
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Inventor
Masahito Morikawa
森川 雅人
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Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
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Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/09705Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガスレーザー装置の直流高電圧パルスを発生さ
せる装置に関するものである。従来、直流高電圧を必要
とするガスレーザー装置においては出力電流のコントロ
ールは可飽和リアクトルで行い、可飽和リアクトルによ
る制御交流を昇圧トランスで電圧を上昇させ、整流平滑
した出力をフロートした真空管を開閉することKより、
直流高電圧パルスを得ていた。しかし乍ら係る従来方式
では動作周波数が商用電源周波のため、制御回路の応答
が遅くなり、トランスの大型化が避けられず、又スイッ
チとして真空管を使用していることから運転寿命が短く
不経済であった。このため出願人等は先に第1図の回路
を提案し、上記の問題を解消した。即ち第1図に示すよ
うVC1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装
置において交流入力ACを直流に整流する整流回路1と
その整流出力を所望の直流電圧に変換するDC−DCコ
ンバータ2とそのDC−DCコンバータの直流出力を高
周波の交流に変換するインバータスイッチ回路3と昇圧
トランス5と高電圧整流回路6とがスレーザー負荷の負
性抵抗特性領域の制御を安定化するバラスト抵抗7から
なる直流電源回路においてDC−DCコンバータの直流
電圧を制御することにより負荷電流を制御し、且つ昇圧
トランスの1次側でインバータスイッチ回路を所望の時
間間隔で運転と停止を繰返すことによりガスレーザーの
制御に必要なCWモード運転及びパルサーモード運転用
の直流高電圧パルスを発生させていた。これによりガス
レーザー用直流高電圧パルス発生回路の変換周波数をあ
げることができることから、応答スピードがあがり、又
小製化がはかれる。さらに半導体スイッチの採用により
寿命も長くなる。パルサーモード運転用直流高電圧パル
スを昇圧トランスの1次側つまり低圧側で制御している
ことから、比較的路を実現でき、しかもパルサーモード
からCWモードまで連続的に出力できることを明らかに
した。しかし乍らこの回路ではガスレーザー負荷の負性
抵抗領域の制御の安定化のために負荷に直列にバラスト
抵抗を採用していたが、バラスト抵抗が高電圧回路に接
続されていることからバラスト抵抗の実装に際し十分な
絶縁距離の確保をしなければならず、又バラスト抵抗自
体の寸法もおおきかった。これを解決しようとするのが
本発明の目的である。第2図は本発明の基本回路の構成
を表わすプロ、り図であって、1は商用交流入力を直流
に整流する整流回路、2は整流回路1の出力を所望の出
力電流に対応する直aM、圧に変換するDC−DCコン
バータ3は直流を高周波交流に変換するインバータスイ
ッチ回路、4は直列抵抗、5は昇圧トランス6は高電圧
整流回路、7はガスレーザー負荷の負性抵抗特性領域の
制御を安定化するバラスト抵抗、8は負荷ラインの分布
容量、昇圧トランスの浮遊容量及びリップル電圧低減の
ため必要に応じて加えられるコンデンサー、9はガスレ
ーザー管である。又、第3図は本発明に適用されるDC
−DCコンバータ2の降圧型コンバータによる基本回路
例であり、第4図(a) (b) (c)は同インバー
タスイッチ回路の基本回路例である。
なお、8 W a 、 8 W l〜8はバイポーラト
ランジスタ、MO3FET、サイリスタあるいは、それ
らに等価なスイッチ素子である。次に動作について、第
5図の各部動作波形図を参照して説明する。第2図にお
いて整流回路1により商用交流入力ACを直流に整流し
く第5図(イ)の電圧波形参照)、その整流出力を第3
図に示す降圧形コンバータ2により所望する出力電流に
対応する直流電圧に制御変換される(第5図(ロ)の電
圧波形参照)。降圧形コンバータの直流出力は第4図t
a+ (bl (c)のインバータスイッチ回路3によ
り高周波の交流に変換される。このインバータスイッチ
回路3を昇圧トランス5の1次側にてキャリアー周波数
以上の所望のデー−ティーで運転と停止を繰返してやれ
ば(第5図を→の電圧波形参照)、高電圧整流回路6の
出力電圧波形は方形波パルス状となり(第5図に)の電
圧波形参照)、ガスレーザーv9に印加される負荷電流
波形は第5図tF4に示すt流パルスとなる。
インバータスイッチ回路3のキャリアー周波数が十分高
いとリップル低減用のコンデンサー8は必要なくなる。
ここで、インバータスイッチ回路3と昇圧トランス5と
の間に直列に挿入された直列抵抗4は昇圧トランスの1
次対2次の巻き数比を1:nとすればほぼ直列抵抗4の
が倍の抵抗値を有するバラスト抵抗7を挿入したのと等
価となる。このように本発明によればバラスト抵抗7の
全部もしくは一部を省略し、直列抵抗4に機能(代用)
せしめることが可能である。しかも、直列抵抗4は昇圧
トランス5の1次側(低圧側)に挿入するため、小聾、
低声のものでよく、装置の大幅な小型、経済化が達成で
きる0以上の説明から明らかなように、本発明によれば
1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装置のバ
ラスト抵抗の一部または全部を電圧の低い昇圧トランス
の1次側に#換えできることから、実装スペースの低減
がはかれる。又、インバータスイッチ回路に直列に抵抗
が挿入されることから過電流保護作用も期待できる等実
用上の効果は大きい。
【図面の簡単な説明】 第1図は従来の1次制御ガスレーザー剛直流高高電圧パ
ルス発生装置回路図、第2図は本発明のガスレーザー用
直流高電圧パルス発生装置回路図、第3図はDC−DC
コンバータの降圧形コンバータによる基本回路図、第4
図はインバータスイッチ回路図、第5図は本発明回路の
動作波形図である。1・・・整流回路、2・・・DC−
DCコンバータ、3・・−インバーダスイッチ回路、4
・・・直列抵抗、5・・・昇圧トランス、6・・・高電
圧整流回路、7・・・バラスト抵抗、8・・−コンデン
サー、9・・・ガスレーザー管である。 特許出願人 新電元工業株式会社 情S図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 交流入力を直流に整流する整流回路とその整流出力を所
    望の直流電圧に変換するDC−DCコンバータと前記D
    C−DCコンバータの直流出力を高周波の交流に変換す
    るインバータスイッチ回路と昇圧トランスと高電圧整流
    回路とからなる直流高電圧パルス発生回路において前記
    インバータスイッチ回路と昇圧トランスに直列に抵抗器
    を挿入してガスレーザー負荷の負性抵抗領域の制御を安
    定化するバラスト抵抗として機能せしめることを特徴と
    する1次制御ガスレーザー用直流高電圧パルス発生装置
JP17454186A 1986-07-24 1986-07-24 1次制御ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生装置 Expired - Fee Related JPH069265B2 (ja)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108667335A (zh) * 2018-04-28 2018-10-16 芜湖中电兆威电子股份有限公司 一种小型医用高压脉冲电源

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