JPS63311738A - 試料固定方法 - Google Patents
試料固定方法Info
- Publication number
- JPS63311738A JPS63311738A JP62147522A JP14752287A JPS63311738A JP S63311738 A JPS63311738 A JP S63311738A JP 62147522 A JP62147522 A JP 62147522A JP 14752287 A JP14752287 A JP 14752287A JP S63311738 A JPS63311738 A JP S63311738A
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- fixing
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- oil film
- fixed
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 230000008786 sensory perception of smell Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は電子ビーム描画装置、精密測定機器。
エネルギービーム加工装置等に用いられ、試料を試料台
上に固定する固定方法に関するものである。
上に固定する固定方法に関するものである。
（従来技術）
従来例えばフレネルレンズ等の微細なパターンを円板上
の試料に描画するためには電子ビーム等によるパターン
描画が用いられる。このようなパターン描画において試
料を試料台上に固定する際には、例えば第２図に示すよ
うに試料台１上に接着材層２を塗布し、その上面に平行
度の高い試料３を押圧して固定するようにした方法が用
いられている。
の試料に描画するためには電子ビーム等によるパターン
描画が用いられる。このようなパターン描画において試
料を試料台上に固定する際には、例えば第２図に示すよ
うに試料台１上に接着材層２を塗布し、その上面に平行
度の高い試料３を押圧して固定するようにした方法が用
いられている。
（発明が解決しようとする問題点）
従ってこのような試料の固定方法では、接着材層２に凹
凸があれば図示のように試料の平行度が損なわれたり、
試料が高い硬性を有する場合には例えば第３図に示すよ
うに接着材層によって試料台と試料と平行でなくなるこ
とがあった。そのため試料の特定位置に電子ビームの焦
点を一致させると他の位置では焦点が不一致となること
があり、正確なパターン描画を行うことができなくなる
という問題点があった。又試料３は試料台１上に強固に
固定されているために、描画後試料を取り外すときに破
損の可能性があるという問題点もあった。又微細なパタ
ーンの描画は真空中で行われるが、接着材を真空中で用
いた場合には接着材からガスを発生することがあり、真
空度が損なわれるという問題点もあった。
凸があれば図示のように試料の平行度が損なわれたり、
試料が高い硬性を有する場合には例えば第３図に示すよ
うに接着材層によって試料台と試料と平行でなくなるこ
とがあった。そのため試料の特定位置に電子ビームの焦
点を一致させると他の位置では焦点が不一致となること
があり、正確なパターン描画を行うことができなくなる
という問題点があった。又試料３は試料台１上に強固に
固定されているために、描画後試料を取り外すときに破
損の可能性があるという問題点もあった。又微細なパタ
ーンの描画は真空中で行われるが、接着材を真空中で用
いた場合には接着材からガスを発生することがあり、真
空度が損なわれるという問題点もあった。
本発明はこのような従来の試料固定方法の問題点に鑑み
てなされたものであって、真空中で試料を固定する際に
試料の平行度を損なうことなく固定できるようにするこ
とを技術的課題とする。
てなされたものであって、真空中で試料を固定する際に
試料の平行度を損なうことなく固定できるようにするこ
とを技術的課題とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は試料台上に試料を固定する固定方法であって、
第１図に示すように、試料台上に油膜を塗布する塗布工
程と、油膜が塗布された試料台上に試料をｔ２置する載
置工程と、試料台上に載置された試料を押圧することに
よって試料を固定する固定工程と、を有することを特徴
とするものである。
第１図に示すように、試料台上に油膜を塗布する塗布工
程と、油膜が塗布された試料台上に試料をｔ２置する載
置工程と、試料台上に載置された試料を押圧することに
よって試料を固定する固定工程と、を有することを特徴
とするものである。
（作用）
このような特徴を有する本発明によれば、試料台上に油
膜を塗布した後試料を押圧、固定することによって試料
を取付けている。従って試料は極めて薄い油膜を介して
油膜の分子間結合力による固着力により強固に試料台に
固定されることとなる。
膜を塗布した後試料を押圧、固定することによって試料
を取付けている。従って試料は極めて薄い油膜を介して
油膜の分子間結合力による固着力により強固に試料台に
固定されることとなる。
（発明の効果）
そのため本発明によれば、油膜の厚さが極めて薄く例え
ば数ミクロン程度であるため電子ビームの焦点不一致が
生じることがなくなる。又試料を固定しても試料の平行
度がそのまま保持され試料表面に平面精度が劣化するこ
とがない。更に油膜を用いるため油膜からガスを生じる
ことがなく、真空中で試料に描画する場合にも真空度を
低下させることなく試料を固定することが可能となる。
ば数ミクロン程度であるため電子ビームの焦点不一致が
生じることがなくなる。又試料を固定しても試料の平行
度がそのまま保持され試料表面に平面精度が劣化するこ
とがない。更に油膜を用いるため油膜からガスを生じる
ことがなく、真空中で試料に描画する場合にも真空度を
低下させることなく試料を固定することが可能となる。
第１図は本発明の一実施例による試料の固定方法を示す
図である。試料台１上に試料を固定する際にはまず試料
台１上に油膜１０を塗布する。油膜１０は例えば真空中
で使用してもガスを発生させないフッ素系のオイルやグ
リス等を用いるものとし、試料台の表面に均一に塗布す
ることとする。
図である。試料台１上に試料を固定する際にはまず試料
台１上に油膜１０を塗布する。油膜１０は例えば真空中
で使用してもガスを発生させないフッ素系のオイルやグ
リス等を用いるものとし、試料台の表面に均一に塗布す
ることとする。
その後第１図（ｂｌに示すように例えばシリコンウェハ
等の試料３を真空吸着器１１等を用いて保持して油膜１
０上に載置する。その後第１図（Ｃ）に示すように例え
ばエアシリンダ１２によって押圧台１３を介して試料３
を試料台１上に押圧して固定する。こうずれば試料３が
試料台ｌ上に分子間結合力による固着力により固定され
る。この場合油膜１０の膜厚は極めて薄く例えば数ミク
ロンの膜厚となるため、容易に試料を剥離することがで
きず試料３は試料台１上に強固に固定されることとなる
。この後図示しない描画装置に用いて試料３上にパター
ン描画を行うこととする。こうすれば真空中で試料を固
定しても試料上面の平行度が保たれ、しかも油膜よりガ
スが生じることがなく真空魔境を汚染することがないと
いう効果が得匂れる。
等の試料３を真空吸着器１１等を用いて保持して油膜１
０上に載置する。その後第１図（Ｃ）に示すように例え
ばエアシリンダ１２によって押圧台１３を介して試料３
を試料台１上に押圧して固定する。こうずれば試料３が
試料台ｌ上に分子間結合力による固着力により固定され
る。この場合油膜１０の膜厚は極めて薄く例えば数ミク
ロンの膜厚となるため、容易に試料を剥離することがで
きず試料３は試料台１上に強固に固定されることとなる
。この後図示しない描画装置に用いて試料３上にパター
ン描画を行うこととする。こうすれば真空中で試料を固
定しても試料上面の平行度が保たれ、しかも油膜よりガ
スが生じることがなく真空魔境を汚染することがないと
いう効果が得匂れる。
又試料３を試料台より取り外す場合には、試料台１をわ
ずかに湾曲させるだけで極めて容易に取り外すことがで
きる。
ずかに湾曲させるだけで極めて容易に取り外すことがで
きる。
第１図は本発明の一実施例による試料固定方法を示す図
、第２図は接着材を用いて試料を試料台上に固定する従
来の方法を示す図であり、第３図は従来の試料台上に接
着剤で固定した試料に電子描画を用いてパターン描画す
る状態を示す図である。 １−・・−・試料台 ３−・−・・試料 １０−−
−−−一油膜１２−・−・−エアシリンダ 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名） 第１図 １−−−−−−ａ、斜當 ３−・−−−一言艮料 １ｏ・−＊嗅 第２図 ↓ 第３図
、第２図は接着材を用いて試料を試料台上に固定する従
来の方法を示す図であり、第３図は従来の試料台上に接
着剤で固定した試料に電子描画を用いてパターン描画す
る状態を示す図である。 １−・・−・試料台 ３−・−・・試料 １０−−
−−−一油膜１２−・−・−エアシリンダ 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名） 第１図 １−−−−−−ａ、斜當 ３−・−−−一言艮料 １ｏ・−＊嗅 第２図 ↓ 第３図
Claims (2)
- （１）試料台上に試料を固定する固定方法であって、 試料台上に油膜を塗布する塗布工程と、 油膜が塗布された試料台上に試料を載置する載置工程と
、 試料台上に載置された試料を押圧することによって試料
を固定する固定工程と、を有することを特徴とする試料
固定方法。 - （２）前記試料台に塗布される油膜は、フッ素系材料に
よる油膜であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の試料固定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62147522A JPS63311738A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 試料固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62147522A JPS63311738A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 試料固定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311738A true JPS63311738A (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15432225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62147522A Pending JPS63311738A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 試料固定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63311738A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016099341A (ja) * | 2014-11-19 | 2016-05-30 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | キャリヤに固定された測定原器を有する装置 |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP62147522A patent/JPS63311738A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016099341A (ja) * | 2014-11-19 | 2016-05-30 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | キャリヤに固定された測定原器を有する装置 |
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