JPS63310584A - 導体膜間の電気的接続法 - Google Patents
導体膜間の電気的接続法Info
- Publication number
- JPS63310584A JPS63310584A JP14637987A JP14637987A JPS63310584A JP S63310584 A JPS63310584 A JP S63310584A JP 14637987 A JP14637987 A JP 14637987A JP 14637987 A JP14637987 A JP 14637987A JP S63310584 A JPS63310584 A JP S63310584A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- binding agent
- film
- conductor
- substrate
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 title claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 12
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract 8
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract 4
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 33
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 33
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000006258 conductive agent Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- -1 etc. Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は、異方性導電剤を用いた相互接続工程に関し、
特にフィルムキャリヤテープとガラス基板等との相互接
続を高分解能で高信頼度化することを可能とする異方性
導電剤を用いた相互接続工程に関するものである。
特にフィルムキャリヤテープとガラス基板等との相互接
続を高分解能で高信頼度化することを可能とする異方性
導電剤を用いた相互接続工程に関するものである。
従来、フィルムキャリヤテープを用いてガラス基板等と
接続する実装構造において、接続分解能は約200μm
ピッチが限度であった。
接続する実装構造において、接続分解能は約200μm
ピッチが限度であった。
第2図は、従来のフィルムキャリアテープの断面図を示
し、21はICチップ、22はポリイミドフィルム等の
ベースフィルム、23は接着剤、24は銅箔、25はイ
ンナーリードボンディング金属である。
し、21はICチップ、22はポリイミドフィルム等の
ベースフィルム、23は接着剤、24は銅箔、25はイ
ンナーリードボンディング金属である。
第3図は、従来のフィルムキャリアテープを用いてガラ
ス基板26と接続する構造を示す断面図で、27は接着
剤に導電粒子を分散させた異方性導電接着剤である。
ス基板26と接続する構造を示す断面図で、27は接着
剤に導電粒子を分散させた異方性導電接着剤である。
ところで、銅箔24A(基板により支持されていない銅
箔部)はインナーリードボーディング部25でフィンガ
ー状にベースフィルムから突出させる必要があり、フィ
ンガーのタオレを防止するために銅箔の厚さは18μm
厚以上、通常は35μm厚の銅箔が用いられる。異方性
導電接着剤27の厚さは、フィルムキャリアテープの銅
箔の厚さとガラス基板の導体、通常はITOを用い数百
〜数千人の導体厚の合計の厚さ近傍のものを用いる。こ
れは異方性導電接着剤が熱圧着された時に各々の導体の
隙間に接着剤を均一に充填することによって、フィルム
キャリアテープとガラス基板との接着強度を保ち接続部
の信頼性を上げるためである。以上の事から明らかなよ
うに異方性導電接着剤の厚さは20〜40μmのものが
用いられる。
箔部)はインナーリードボーディング部25でフィンガ
ー状にベースフィルムから突出させる必要があり、フィ
ンガーのタオレを防止するために銅箔の厚さは18μm
厚以上、通常は35μm厚の銅箔が用いられる。異方性
導電接着剤27の厚さは、フィルムキャリアテープの銅
箔の厚さとガラス基板の導体、通常はITOを用い数百
〜数千人の導体厚の合計の厚さ近傍のものを用いる。こ
れは異方性導電接着剤が熱圧着された時に各々の導体の
隙間に接着剤を均一に充填することによって、フィルム
キャリアテープとガラス基板との接着強度を保ち接続部
の信頼性を上げるためである。以上の事から明らかなよ
うに異方性導電接着剤の厚さは20〜40μmのものが
用いられる。
ところで、異方性導電接着剤の接続分解能は、導電粒子
の径や分散度等によるが、接着剤の厚さが厚いと接続分
解能が低下し、接着剤の厚さが薄いと接着分解能が向上
することは自明のことである。例えば、ソニーケミカル
製商品名CP−2132(厚さ30μm)、日立化成製
AC3052(厚さ15μm、20μm、25μm)で
の接続分解能は5本/mm (200μmピッチ)であ
るが日立化成製AC3101(厚さ8μm)での接続分
解能は10本/mm(100μmピッチ)である。
の径や分散度等によるが、接着剤の厚さが厚いと接続分
解能が低下し、接着剤の厚さが薄いと接着分解能が向上
することは自明のことである。例えば、ソニーケミカル
製商品名CP−2132(厚さ30μm)、日立化成製
AC3052(厚さ15μm、20μm、25μm)で
の接続分解能は5本/mm (200μmピッチ)であ
るが日立化成製AC3101(厚さ8μm)での接続分
解能は10本/mm(100μmピッチ)である。
前述のことから明らかなように、従来のフィルムキャリ
アテープとガラス基板等とを導電異方性接着剤を用いて
接続する実装構造において、5本/ m mを超える(
200μmピッチ未満の)接続を行うことは不可能であ
った。
アテープとガラス基板等とを導電異方性接着剤を用いて
接続する実装構造において、5本/ m mを超える(
200μmピッチ未満の)接続を行うことは不可能であ
った。
本発明の目的は、前述した従来例の欠点を除去して高分
解の相互接続を可能とし、更に信頼性を向上させる相互
接続方法を提供することにある。
解の相互接続を可能とし、更に信頼性を向上させる相互
接続方法を提供することにある。
すなわち、本発明は、所定間隔を置いて配置した相対向
する導体膜間を電気的に接続する導体膜間の電気的接続
法において、相対向する導体膜のうち、接続部で一方の
導体膜が基板よる支持を有し、他方の導体膜が基板によ
る支持を有しておらず、該一方の導体膜を設けた基板上
に、異方性導電部材と、その上に絶縁部材とを載置し、
相対向する導電体膜間を熱圧着する導電体膜間の電気的
接続法を提供することにある。
する導体膜間を電気的に接続する導体膜間の電気的接続
法において、相対向する導体膜のうち、接続部で一方の
導体膜が基板よる支持を有し、他方の導体膜が基板によ
る支持を有しておらず、該一方の導体膜を設けた基板上
に、異方性導電部材と、その上に絶縁部材とを載置し、
相対向する導電体膜間を熱圧着する導電体膜間の電気的
接続法を提供することにある。
第1図は、本発明の一実施態様を示す断面図で、ガラス
基板16と、アウターリードボンディング部のベースフ
ィルム12、接着剤13を除去して導体パターン(導体
膜)14をフィンガー状に形成したフィルムキャリア(
基板により支持されていない導体膜部)との間に、前記
導体パターン14の厚さよりも薄い異方性導電接着剤1
7を載置するとともにフィルムキャリアテープの上部に
絶縁性接着剤18を載置して、加熱ヒータ・ツール19
で熱圧着し接続する。
基板16と、アウターリードボンディング部のベースフ
ィルム12、接着剤13を除去して導体パターン(導体
膜)14をフィンガー状に形成したフィルムキャリア(
基板により支持されていない導体膜部)との間に、前記
導体パターン14の厚さよりも薄い異方性導電接着剤1
7を載置するとともにフィルムキャリアテープの上部に
絶縁性接着剤18を載置して、加熱ヒータ・ツール19
で熱圧着し接続する。
可とう性絶縁フィルム10は、加熱ヒータ・ツール19
に絶縁性接着剤18が付着してツール表面を汚すことを
防止するために用いられる。
に絶縁性接着剤18が付着してツール表面を汚すことを
防止するために用いられる。
第4図は、本実施態様の相互接続部の構造を示す断面図
で、フィルムキャリアの導体パターン14とガラス基板
16の電極110は対峙して載置されるとともに、異方
性導電接着剤17の導電粒子112を介して電気的に接
続される。
で、フィルムキャリアの導体パターン14とガラス基板
16の電極110は対峙して載置されるとともに、異方
性導電接着剤17の導電粒子112を介して電気的に接
続される。
更に異方性導電接着剤17の接着剤13と絶縁性接着剤
18は、各々の隙間に一体層41となって充填され、電
気的接続を保持するとともに、接続部を外気から保護す
ることができる。
18は、各々の隙間に一体層41となって充填され、電
気的接続を保持するとともに、接続部を外気から保護す
ることができる。
導電体112は、Ni、Au、Ag、はんだ等の金属又
は合金粒子や樹脂球状粒子にAu、Ni等をコーティン
グした良導電性を有する粒子を用いることができる。こ
の導電体112は、樹脂の固形分100重量部に対して
0.5〜50重量部、好ましくは5〜20重量部の割合
で含有され、その平均粒径は5〜50μm1好ましくは
10〜30μmである。
は合金粒子や樹脂球状粒子にAu、Ni等をコーティン
グした良導電性を有する粒子を用いることができる。こ
の導電体112は、樹脂の固形分100重量部に対して
0.5〜50重量部、好ましくは5〜20重量部の割合
で含有され、その平均粒径は5〜50μm1好ましくは
10〜30μmである。
異方性導電接着剤17と絶縁性接着剤18で用いる絶縁
性樹脂は、同一組成のものを用いることが望ましく、ス
チレン−ブタジェン共重合体、テルペンフェノール樹脂
、アクリルゴム、エポキシ樹脂、ポリビニルフェノール
、アクリルニトリル−ブタジェン共重合体、フェノール
樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン等の熱溶融性樹脂を
用いることができる/。又、本発明では、これらの樹脂
を1種又は2種以上組合せて用いることができる。又、
フィルム形成時には、通常のコーチイン法、例えばロー
ルコート法、印刷法、スプレィコート法を用いることが
でき、この際の塗液溶剤としては、トルエン、メチルエ
チルケトン、エタノール、キシレンなどの1種又はその
混合溶剤が用いられる。
性樹脂は、同一組成のものを用いることが望ましく、ス
チレン−ブタジェン共重合体、テルペンフェノール樹脂
、アクリルゴム、エポキシ樹脂、ポリビニルフェノール
、アクリルニトリル−ブタジェン共重合体、フェノール
樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン等の熱溶融性樹脂を
用いることができる/。又、本発明では、これらの樹脂
を1種又は2種以上組合せて用いることができる。又、
フィルム形成時には、通常のコーチイン法、例えばロー
ルコート法、印刷法、スプレィコート法を用いることが
でき、この際の塗液溶剤としては、トルエン、メチルエ
チルケトン、エタノール、キシレンなどの1種又はその
混合溶剤が用いられる。
又、本発明で用いた絶縁性接着剤18の乾燥後の厚みは
5μm〜50μm1好ましくは15μm〜30μmで、
異方性導電接続剤17の乾燥後の厚みは1〜25μm1
好ましくは5〜15μm程度に設定され、これら絶縁性
接着剤18と異方性導電接着剤17の積体層構造では、
10〜100μm1好ましくは20〜50μm程度に設
定されているのがよい。
5μm〜50μm1好ましくは15μm〜30μmで、
異方性導電接続剤17の乾燥後の厚みは1〜25μm1
好ましくは5〜15μm程度に設定され、これら絶縁性
接着剤18と異方性導電接着剤17の積体層構造では、
10〜100μm1好ましくは20〜50μm程度に設
定されているのがよい。
フィルムキャリアテープは、ポリイミドフィルムt(膜
厚)=125μmに電解銅箔t(膜厚)235μmを接
着し、パターンニングされ、アウターリードボンディン
グ部では、ポリイミドフィルムを除去してフィンガー状
に形成した。導体パターンは、接着面の研磨及びNi−
Auメッキ処理をし、約30μmの厚さになった。この
際、配線ピッチ100μm1導体幅50μm1導体間隔
50μmとした。
厚)=125μmに電解銅箔t(膜厚)235μmを接
着し、パターンニングされ、アウターリードボンディン
グ部では、ポリイミドフィルムを除去してフィンガー状
に形成した。導体パターンは、接着面の研磨及びNi−
Auメッキ処理をし、約30μmの厚さになった。この
際、配線ピッチ100μm1導体幅50μm1導体間隔
50μmとした。
ガラス基板の導体配線は、配線ピッチをフィルムキャリ
アテープと同一としITOで厚さ1500人に形成した
(ITO;インジウム−ティン−オキサイド)。
アテープと同一としITOで厚さ1500人に形成した
(ITO;インジウム−ティン−オキサイド)。
異方性導電接着剤17は日立化成製rAC5101J
(t (膜厚)=8μm)を用いるとともに、同一樹
脂を用い導電粒子を含まない接着剤を厚さ20μmに形
成した。
(t (膜厚)=8μm)を用いるとともに、同一樹
脂を用い導電粒子を含まない接着剤を厚さ20μmに形
成した。
ガラス基板上に異方性導電接着剤17を載置し、フィル
ムキャリアのパターンを位置合せし、120℃の温度で
20 K g / c rrrの加圧条件で、3秒間加
圧し、仮接着した。その後、絶縁性接着剤18を載置し
、7.5μm厚ポリイミドフィルムを介して、パルスヒ
ートツール19で150℃の温度で40 K g /
c rrrの加圧条件下で20秒の加圧を行って加熱接
着した。
ムキャリアのパターンを位置合せし、120℃の温度で
20 K g / c rrrの加圧条件で、3秒間加
圧し、仮接着した。その後、絶縁性接着剤18を載置し
、7.5μm厚ポリイミドフィルムを介して、パルスヒ
ートツール19で150℃の温度で40 K g /
c rrrの加圧条件下で20秒の加圧を行って加熱接
着した。
本工程により接続されたボンディング部の90°ピ一ル
強度は、500g/cm以上、接続抵抗100Ω以下と
良好な結果が得られ、フィルムキャリアテープを用いた
高分解能なアウターリード接続が信頼性良(達成するこ
とが確認できた。
強度は、500g/cm以上、接続抵抗100Ω以下と
良好な結果が得られ、フィルムキャリアテープを用いた
高分解能なアウターリード接続が信頼性良(達成するこ
とが確認できた。
以上詳細に説明した様に、フィンガー状に形成されたア
ウターリード導体パターンを有するフィルムキャリアテ
ープとガラス基板等との間に薄い異方性導電接着剤、即
ち高分解性を有する異方性導電接着剤を載置するととも
に、フィルムキャリアテープの上部に絶縁性接着剤を載
置して過熱ヒータ・ツールで熱圧着し接続する方法によ
って、高分解能性を有し接着強度の強い、即ち高信頼性
を有する相互接続が可能となった。
ウターリード導体パターンを有するフィルムキャリアテ
ープとガラス基板等との間に薄い異方性導電接着剤、即
ち高分解性を有する異方性導電接着剤を載置するととも
に、フィルムキャリアテープの上部に絶縁性接着剤を載
置して過熱ヒータ・ツールで熱圧着し接続する方法によ
って、高分解能性を有し接着強度の強い、即ち高信頼性
を有する相互接続が可能となった。
第1図は、本発明の方法を模式的に示す断面図である。
第2図及び第3図は、従来の接続法を示す断面図である
。第4図は、本発明の方法により接続された導電膜間の
態様を示す断面図である。
。第4図は、本発明の方法により接続された導電膜間の
態様を示す断面図である。
Claims (5)
- (1)所定間隔を置いて配置した相対向する導体膜間を
電気的に接続する導体膜間の電気的接続法において、相
対向する導体膜のうち、接続部で一方の導体膜が基板に
よる支持を有し、他方の導体膜が基板による支持を有し
ておらず、該一方の導体膜を設けた基板上に、異方性導
電部材と、その上に絶縁部材とを載置し、相対向する導
電体膜間を熱圧着することを特徴とする導体膜間の電気
的接続法。 - (2)前記絶縁部材が熱溶融性をもつ絶縁性樹脂で形成
されているフィルム体である特許請求の範囲第1項記載
の電気的接続法。 - (3)前記異方性導電部材が導電体を分散含有させた熱
溶融性をもつ絶縁性樹脂で形成されたフィルム体である
特許請求の範囲第1項記載の電気的接続法。 - (4)基板による支持を有していない導体膜の厚みが絶
縁部材の厚みと異方性導電部材の厚みとの和と略同一で
ある特許請求の範囲第1項記載の電気的接続法。 - (5)前記導電体が金属又は合金粒子である特許請求の
範囲第1項記載の電気的接続法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14637987A JPS63310584A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 導体膜間の電気的接続法 |
EP88106849A EP0289026B1 (en) | 1987-05-01 | 1988-04-28 | External circuit connecting method and packaging structure |
DE3852563T DE3852563T2 (de) | 1987-05-01 | 1988-04-28 | Verfahren zum Anschliessen eines externen Schaltkreises und Verpackungsstruktur. |
US07/463,486 US5042919A (en) | 1987-05-01 | 1990-01-11 | External-circuit connecting and packaging structure |
US07/483,312 US5019201A (en) | 1987-05-01 | 1990-02-21 | External-circuit connecting method and packaging structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14637987A JPS63310584A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 導体膜間の電気的接続法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63310584A true JPS63310584A (ja) | 1988-12-19 |
Family
ID=15406379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14637987A Pending JPS63310584A (ja) | 1987-05-01 | 1987-06-12 | 導体膜間の電気的接続法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63310584A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009154521A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Lg Electronics Inc | 軟性フィルム及びそれを備える表示装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5737917U (ja) * | 1980-08-08 | 1982-02-27 | ||
JPS60140790A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-25 | ソニ−ケミカル株式会社 | 連結シ−ト |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP14637987A patent/JPS63310584A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5737917U (ja) * | 1980-08-08 | 1982-02-27 | ||
JPS60140790A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-25 | ソニ−ケミカル株式会社 | 連結シ−ト |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009154521A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Lg Electronics Inc | 軟性フィルム及びそれを備える表示装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100290993B1 (ko) | 반도체장치,반도체탑재용배선기판및반도체장치의제조방법 | |
KR0134191B1 (ko) | 전기 전도성 접착테이프 | |
US4775439A (en) | Method of making high metal content circuit patterns on plastic boards | |
KR100639083B1 (ko) | 이방도전성 접착필름 | |
KR100559937B1 (ko) | 미세회로의 접속방법 및 그에 의한 접속 구조체 | |
JP3530980B2 (ja) | 接着構造、液晶装置、及び電子機器 | |
WO2005084093A1 (ja) | 多層積層配線板 | |
JP2648712B2 (ja) | 異方導電性接着剤およびその異方導電性接着剤を使用した電極間を電気的に接続する方法並びにその方法により形成される電気回路基板 | |
JPS63237372A (ja) | 回路の接続部材およびその製造方法 | |
JP3581618B2 (ja) | 導電性微粒子、異方性導電接着剤及び導電接続構造体 | |
JP2000243864A (ja) | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 | |
JPH0628121B2 (ja) | 異方導電フイルム | |
JPH09198916A (ja) | 導電性微粒子 | |
JPS63310584A (ja) | 導体膜間の電気的接続法 | |
JPH0922883A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3455602B2 (ja) | 半導体素子実装基板の製造方法 | |
JPH09306231A (ja) | 導電性微粒子及び基板 | |
JPH11121892A (ja) | 可撓性回路基板 | |
JP5143329B2 (ja) | 回路接続体の作製方法 | |
JPS63110506A (ja) | 異方性導電シ−ト | |
JP2003049152A (ja) | 回路接続用接着剤及びそれを用いた接続方法、接続構造体 | |
JP2001004700A (ja) | インターポーザ基板 | |
JPS60120588A (ja) | 印刷配線板 | |
JP3129218B2 (ja) | ファインピッチコネクタ部材 | |
JP2003188212A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |