JPS6330732Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 イ 産業上の利用分野 この考案は半導体製造工程における半導体ウエ
ーハ搬送用ベルトなどに利用され、特に半導体ウ
エーハのように汚染を嫌う被搬送物の搬送に有効
な無端ベルト搬送機構における搬送ベルトに関す
る。

ロ 従来技術 例えば半導体ウエーハの製造工程には薬液処
理、熱処理、洗浄処理などの各種処理工程があ
り、各工程ではその工程に応じたキヤリアやボー
トに半導体ウエーハを複数枚整列収納させてバツ
チ処理している。また前工程から後工程への半導
体ウエーハ移動に際しては前工程のキヤリア又は
ボートから後工程に適したボート又はキヤリアに
半導体ウエーハを移し換えることがある。

このような半導体ウエーハ移し換え作業の一般
的方法に、ピンセツトで半導体ウエーハを１枚ず
つキヤリア又はボートから取出して別のボート又
はキヤリアへ移行させる手動による方法がある
が、これは非常に非能率である上にピンセツトで
半導体ウエーハが汚損したり傷付く恐れが多分に
あつて品質管理上からも好ましくない。そこで半
導体ウエーハ移し換えを自動化するものとして、
キヤリア又はボートから半導体ウエーハを間欠的
に１枚ずつ切出して後述のウエーハ搬送機構に供
給し、ウエーハ搬送機構で半導体ウエーハを一方
向に順次搬送して別のボート又はキヤリアへと１
枚ずつ収納させる装置が開発され実用化されてい
る。

上記装置の具体例を第１図及び第２図から説明
すると、１は半導体ウエーハ（以下ウエーハと称
す）、２は複数のウエーハ１，１…を平行に整列
して収納するテフロン製等のキヤリア、３はキヤ
リア２を支持してそのウエーハ配列ピツチずつ間
欠下降動させる第１エレベータ、４は複数のウエ
ーハ１，１…を平行に整列して植立保持する石英
製ボート、５はボート４を支持してそのウエーハ
配列ピツチずつ間欠上昇動させる第２エレベー
タ、６は両エレベータ３，５で支持されたキヤリ
ア２とボート４間に配置されたウエーハ搬送機構
で、例えばキヤリア２の前方に水平に配した第１
無端ベルト搬送機構６ａとその前方からボート４
へと下降傾斜させた第２無端ベルト搬送機構６ｂ
とで構成される。両無端ベルト搬送機構６ａ，６
ｂは無端の搬送ベルト７ａ，７ａ、７ｂ，７ｂを
２本ずつプーリ８，８…で平行に対坑させて張設
したもので、各搬送ベルト７ａ，７ａ、７ｂ，７
ｂは同一の図面矢印方向に送りがかけられる。

第１エレベータ３でキヤリア２を１ピッチ下降
させると、キヤリア２の最下段にある１枚のウエ
ーハ１が第１無端ベルト搬送機構６ａの搬送ベル
ト７ａ，７ａ上に乗り移り、ウエーハ１のキヤリ
ア２からの切出しが行われる。この切出されたウ
エーハ１は搬送ベルト７ａ，７ａ上に載置された
まま搬送ベルト７ａ，７ａと共に搬送されて第２
無端ベルト搬送機構６ｂの搬送ベルト７ｂ，７ｂ
へと移行して前方のボート４へと供給される。ボ
ート４は１枚のウエーハ１の供給を受けると第２
エレベータ５にて１ピツチ上昇して次のウエーハ
１を待つ。

ところで、上記ウエーハ搬送機構で使用される
搬送ベルトは柔軟性のあるシリコン系樹脂やポリ
ウレタン、シリコンゴムなどの樹脂材が使用さ
れ、またウエーハとの接触面積を小さくしてウエ
ーハの汚染を少しでも少なくするため丸棒状のも
のが使用されるのが一般的である。しかしこのよ
うな工夫をしてもウエーハの裏面に搬送ベルトの
樹脂面が接触することに変わり無く、搬送途中に
おけるウエーハの搬送ベルトとの接触面の汚染を
避けることは難しかつた。そのため、例えばキヤ
リアを使つてウエーハの洗浄と乾燥を行つてから
ウエーハをボートに移し換えて不純物拡散工程に
送る場合、不純物拡散工程ではウエーハの汚染を
最も嫌うので第１図の如きウエーハ搬送機構の使
用は適当でなく、用途に制限があつた。

このようなウエーハの搬送時の汚染を避ける有
効なウエーハ搬送機構としてはウエーハ搬送路に
沿つて、多数のエアーノズルからエアーを吹き出
し、この吹き出されたエアーでウエーハを浮上さ
せて搬送する非接触のエアーベアリング方式のも
のがある。しかし、この方式のものは、ウエーハ
の重量に応じたエアー吹出し圧の調整が難しく
て、ウエーハが軽くなると吹き飛ばされたりする
ことがあり、また機構全体が複雑、高低となつて
一般的ではなかつた。

ハ 考案の目的 本考案は上記問題点に鑑み、半導体ウエーハの
如き搬送時の汚染を嫌う被搬送物を汚染少なくし
て搬送し得る搬送ベルトを提供することを目的と
する。

ニ 考案の構成 本考案は樹脂等の長尺な可撓性のベルト芯材
に、石英や炭化シリコン等の非汚染材よりなる複
数のチツプ状パイプ材をベルト芯材の変形が可能
で且つ被搬送物がベルト芯材に当接しない間隔で
一連に嵌挿装着したものである。この搬送ベルト
によると被搬送物はパイプ材の外周に当接して搬
送され、従つて石英や炭化シリコンなど非汚染材
料よりなるパイプ材を使用することにより被搬送
物の搬送時の汚染が防止される。

ホ 実施例 第３図乃至第５図の第１実施例における搬送ベ
ルトＡは無端の２本が平行に張設されて使用され
る。この搬送ベルトＡの特徴はポリウレタン等の
樹脂の丸棒状ベルト芯材９の外周にチツプ状パイ
プ材例えば石英パイプ１０を多数個一連に遊嵌し
たことである。石英パイプ１０は長尺な石英チユ
ーブを一定の長さ毎に輪切りしたもので、その内
径はパイプ芯材９の外径より若干大きくて、パイ
プ芯材９には軸方向移動可能に挿通される。一定
の長さのパイプ芯材９に所定個数の石英パイプ１
０，１０…が挿通されるとパイプ芯材９の両端面
が同心に溶着されて無端搬送ベルトＡが得られ
る。この時の石英パイプ１０，１０…は搬送ベル
トＡがプーリ（図示せず）に張設されてプーリと
共に回動し得るよう、且つ石英パイプ間の隙間が
開き過ぎて被搬送物例えばウエーハ１がパイプ芯
材９に当接しないよう間隔が決められる。

上記搬送ベルトＡは２本でもつてウエーハ１を
載置して搬送する。この時ウエーハ１は裏面が石
英パイプ１０，１０…の外周面に線接触して搬送
される。石英パイプ１０，１０…はウエーハ熱処
理（不純物拡散など）工程におけるウエーハ支持
体であるボートが石英製であることなどからして
非汚染材料であり、従つてウエーハ１が石英パイ
プ１０，１０…に接触しても汚染される心配はほ
とんど無い。

第６図の第２実施例の搬送ベルトＢは上記石英
パイプ１０，１０…の外周角をバーナで溶かして
曲面状に整形した石英パイプ１０′，１０′…をパ
イプ芯材９に軸方向移動可能に遊嵌したものであ
る。この場合はプーリ等の曲線部に於いて石英パ
イプ１０′，１０′…同士の衝突面積が少なくて搬
送ベルトＢの動きがスムーズになる。また石英パ
イプ１０′，１０′…は外周面が略球状になるの
で、ウエーハ１は石英パイプ１０′，１０′…上に
点接触に近い状態で載つて搬送され、ウエーハ１
の汚染防止がより効果的に行われる。

第７図の第３実施例の搬送ベルトＣは上記第１
実施例における石英パイプ１０，１０…をパイプ
芯材９に挿通して間隔を決めてパイプ芯材９に固
定化したものである。例えばパイプ芯材９に２個
の石英パイプ１０，１０を挿通して両者間隔を一
定に保ち、両者間にあるパイプ芯材９を加熱する
とその非加熱部分が軸方向に縮小し且つ直径方向
に膨出して第７図の９′に示す如く熱変形する。
この作業を石英パイプ１０，１０…の個々の挿通
毎に行えば挿通された石英パイプ１０，１０…は
各々の間で膨出変形したパイプ芯材変形部９′
９′…で所望の間隔をもつて固定化される。この
ように石英パイプ１０，１０…をハイプ芯材９に
固定すると石英パイプ同士の衝突が無くなつて搬
送ベルトＣのより円滑な運行が可能になる。

本考案は上記実施例に限らず、例えば第２実施
例の石英パイプ１０′，１０′…を第３実施例の如
くパイプ芯材９に固定化することも可能である。
またパイプ芯材は丸棒状に限らず、例えば角棒状
にしてこれにパイプ材を周方向の回転を規制して
挿通することも可能である。また被搬送物は半導
体ウエーハに限らない。

ヘ 考案の効果 以上の如く、本考案によればパイプ材を石英や
炭化シリコン等の非汚染材で形成することにより
被搬送物の搬送時の汚染が防止され、汚染を嫌う
被搬送物の搬送、例えば半導体ウエーハを洗浄・
乾燥工程から不純物拡散等の熱処理工程に移行さ
せる際の搬送にも好適なものが提供でき、その実
施効果は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は搬送ベルトの使用例を示す半導体ウエ
ーハ移し換え装置の概略側面図、第２図は第１図
の搬送ベルトの一部拡大平面図、第３図は本考案
の一実施例を示す部分平面図、第４図は第３図の
Ｘ−Ｘ線に沿う拡大断面図、第５図は第３図の搬
送ベルトの部分断面拡大側面図、第６図及び第７
図は本考案の他の各実施例を示す部分断面側面図
である。 Ａ，Ｂ，Ｃ……搬送ベルト、１……被搬送物
（半導体ウエーハ）、９，９′……ベルト芯材、１
０，１０……パイプ材（石英パイプ）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被搬送物を戴置して搬送する無端ベルト搬送機
   構における搬送ベルトであつて、 長尺の可撓性のベルト芯材に、石英や炭化シリ
   コン等の非汚染材よりなる複数のチツプ状パイプ
   材を、ベルト芯材の変形が可能に且つ非搬送物が
   ベルト芯材に当接しない間隔で一連に嵌挿装着し
   たことを特徴とする搬送ベルト。