JPS63307300A - 高純度ガス供給用ステンレススチール製マニホールドの製造方法 - Google Patents
高純度ガス供給用ステンレススチール製マニホールドの製造方法Info
- Publication number
- JPS63307300A JPS63307300A JP14354787A JP14354787A JPS63307300A JP S63307300 A JPS63307300 A JP S63307300A JP 14354787 A JP14354787 A JP 14354787A JP 14354787 A JP14354787 A JP 14354787A JP S63307300 A JPS63307300 A JP S63307300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holes
- parts
- pipe
- stainless steel
- bulging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 19
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000011324 bead Substances 0.000 abstract description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 235000013351 cheese Nutrition 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 240000002129 Malva sylvestris Species 0.000 description 2
- 235000006770 Malva sylvestris Nutrition 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 244000241257 Cucumis melo Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/0015—Feeding of the particles in the reactor; Evacuation of the particles out of the reactor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造工業分野における高純度ガスの供給
機器に使用されるステンレススチール製のマニホールド
に関する。
機器に使用されるステンレススチール製のマニホールド
に関する。
近年、半導体製造工業の発達と共に、この分野で使用さ
れる高純度ガスの純度も非常に厳しい値が要求される様
になって来ている。例えば、高純度窒素中に含まれるダ
ストパーティクルの数は０゜１即以下程度のダストが１
ｃｕ−ｆｔ中１個以下であること等が最近の半導体製造
工場内高純度窒素ガスの仕様となっている。従って、こ
の高純度窒素ガスの製造装置、供給機器にはあらゆる個
所にこの様なダストの侵入する余地の無い様に対策が施
されている。本発明もその一つで、主として高純度液化
窒素を蒸発器で気化して高純度窒素ガスどして供給する
場合の、この蒸発器の部品、配管の内面を電解研磨によ
り１μｍ以下程度の而粗さに仕上げたマニホールドに関
するものである。
れる高純度ガスの純度も非常に厳しい値が要求される様
になって来ている。例えば、高純度窒素中に含まれるダ
ストパーティクルの数は０゜１即以下程度のダストが１
ｃｕ−ｆｔ中１個以下であること等が最近の半導体製造
工場内高純度窒素ガスの仕様となっている。従って、こ
の高純度窒素ガスの製造装置、供給機器にはあらゆる個
所にこの様なダストの侵入する余地の無い様に対策が施
されている。本発明もその一つで、主として高純度液化
窒素を蒸発器で気化して高純度窒素ガスどして供給する
場合の、この蒸発器の部品、配管の内面を電解研磨によ
り１μｍ以下程度の而粗さに仕上げたマニホールドに関
するものである。
従来、液化ガス蒸発器のヘッダーに使用されるマニホー
ルドは第２図に示１”ものが使用されていた。即ち、ヘ
ッダー主管１の室壁に穿設された孔２にソケット３の下
ｔＸｌｊを挿入して前記孔２の周ｍ１の管壁とソケッ１
〜３の当接部４を隅肉溶接して固定し、該ソケット３の
上部に蒸発管５を挿入して該蒸発管５の外周とソケット
３上部の当接部６も同様に隅肉溶接を行ない固定してい
た。なお、蒸発管５にはフィン７が付設されている。こ
の様に従来のヘッダーは主管１とこれに溶接固定したソ
ケット３により形成されていたが、この形式のヘッダー
では主管１の孔２とソケット３下部との間に形成される
隙間およびソケット３と蒸発管５との間に形成される隙
間がダストパーティクルの滞在ηるデッドスペースとな
り前記の様な厳しい仕様を要求される高純度ガス供給用
の蒸発器としては不適切となり改善の必要があった。
ルドは第２図に示１”ものが使用されていた。即ち、ヘ
ッダー主管１の室壁に穿設された孔２にソケット３の下
ｔＸｌｊを挿入して前記孔２の周ｍ１の管壁とソケッ１
〜３の当接部４を隅肉溶接して固定し、該ソケット３の
上部に蒸発管５を挿入して該蒸発管５の外周とソケット
３上部の当接部６も同様に隅肉溶接を行ない固定してい
た。なお、蒸発管５にはフィン７が付設されている。こ
の様に従来のヘッダーは主管１とこれに溶接固定したソ
ケット３により形成されていたが、この形式のヘッダー
では主管１の孔２とソケット３下部との間に形成される
隙間およびソケット３と蒸発管５との間に形成される隙
間がダストパーティクルの滞在ηるデッドスペースとな
り前記の様な厳しい仕様を要求される高純度ガス供給用
の蒸発器としては不適切となり改善の必要があった。
そこで、次に第３図に示す様なヘッダーが製作される様
になった。即ち、前記主管１と同径の短管８の管壁に穿
設した孔２の周辺部を膨出させて膨出部を形成し、該膨
出部９の上面を平滑に仕」ニげてこの上に該孔２と同径
の短管１０の平滑に仕上げた一方の端部を突合せ溶接し
、この突合せ溶接部１１の内面を研磨機により研磨して
平滑にした上、内面全体を電解研磨したチーズ１２を単
位部材としたヘッダーである。そして該チーズ１２を複
数個突合せ溶接を行ってマニホールド１３を形成し、各
チーズ１２の短管１０の端面上に蒸発管５を夫々突合せ
溶接して蒸発器のヘッダ一部を形成している。ここで蒸
発管５を直接膨出部９の上面平滑部に溶接しないのは、
現在の溶接機ではこの様な部分を溶接出来ないため手溶
接によらざるを得ず、手溶接によった場合は溶接部１１
の裏ビートが荒く仕上る一ト、これを研磨出来ないため
である。従って、上記の如く短管１０を接続し技管部を
形成した上で、あるいは該短管１０を溶接しであるチー
ズ１２を用いて、蒸発管５との溶接部１５は溶接機によ
る機械溶接（Ｔｉｇ溶接）を行う。溶接部１５の両側に
充分直管部がある場合は自動溶接が可能であり、自動溶
接によった場合は裏ビードは粗面度Ｉ Ｊｉｍ以下は保
証出来ない迄も、均一で且つダストパーティクルの滞在
の発生の可能性の極めて少ない仕上りとなる。
になった。即ち、前記主管１と同径の短管８の管壁に穿
設した孔２の周辺部を膨出させて膨出部を形成し、該膨
出部９の上面を平滑に仕」ニげてこの上に該孔２と同径
の短管１０の平滑に仕上げた一方の端部を突合せ溶接し
、この突合せ溶接部１１の内面を研磨機により研磨して
平滑にした上、内面全体を電解研磨したチーズ１２を単
位部材としたヘッダーである。そして該チーズ１２を複
数個突合せ溶接を行ってマニホールド１３を形成し、各
チーズ１２の短管１０の端面上に蒸発管５を夫々突合せ
溶接して蒸発器のヘッダ一部を形成している。ここで蒸
発管５を直接膨出部９の上面平滑部に溶接しないのは、
現在の溶接機ではこの様な部分を溶接出来ないため手溶
接によらざるを得ず、手溶接によった場合は溶接部１１
の裏ビートが荒く仕上る一ト、これを研磨出来ないため
である。従って、上記の如く短管１０を接続し技管部を
形成した上で、あるいは該短管１０を溶接しであるチー
ズ１２を用いて、蒸発管５との溶接部１５は溶接機によ
る機械溶接（Ｔｉｇ溶接）を行う。溶接部１５の両側に
充分直管部がある場合は自動溶接が可能であり、自動溶
接によった場合は裏ビードは粗面度Ｉ Ｊｉｍ以下は保
証出来ない迄も、均一で且つダストパーティクルの滞在
の発生の可能性の極めて少ない仕上りとなる。
第３図に示すヘッダーは溶接部が全て突合せ溶接である
ため、第２図の場合の様な隙間が発生せず、ダストパー
ティクルの滞在個所が解消できる長所があるが、チーズ
１２とチーズ１２の突合せ溶接部１４が蒸発管５の数と
ほぼ同数発生することとなり、溶接作業が多くなり溶接
作業上からも、また構造上からも好ましくない。また管
内面の粗面度が１萌以下という様な厳しい使用に対して
は未研磨の粗面が残り好ましくない。
ため、第２図の場合の様な隙間が発生せず、ダストパー
ティクルの滞在個所が解消できる長所があるが、チーズ
１２とチーズ１２の突合せ溶接部１４が蒸発管５の数と
ほぼ同数発生することとなり、溶接作業が多くなり溶接
作業上からも、また構造上からも好ましくない。また管
内面の粗面度が１萌以下という様な厳しい使用に対して
は未研磨の粗面が残り好ましくない。
本発明は上記に鑑みなされ、溶接部分が少なく且つ内面
の研磨されていない部分の少ないヘッダーの提供を目的
としたものである。
の研磨されていない部分の少ないヘッダーの提供を目的
としたものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明はステンレススチール製鋼管の管壁に複数個の孔
を穿設し、該複数個の孔の周辺を管壁の外側に膨出させ
て膨出部を形成し、該膨出部の上部に同径の短管を突合
せ溶接した上で、内面を電解研磨による仕上げ研磨を行
ったステンレススヂール製のマニホールドである。
を穿設し、該複数個の孔の周辺を管壁の外側に膨出させ
て膨出部を形成し、該膨出部の上部に同径の短管を突合
せ溶接した上で、内面を電解研磨による仕上げ研磨を行
ったステンレススヂール製のマニホールドである。
〔作 用）
」−閉構造のマニホールドどしたことにＪ：り溶接部分
が少なく未研磨の部分を全く無くし、内面を全面電解研
磨することが出来る様になった。
が少なく未研磨の部分を全く無くし、内面を全面電解研
磨することが出来る様になった。
第１図に本発明によるマニホールドの一実施例を示す横
断面図を示す。所定の径のステンレススチール製管２０
の管壁に所定径の孔２１を複数個穿孔し、常法によって
黙礼２１の周辺部を膨出させて膨出部２２を形成し、該
膨出部２２の上面を平滑に仕上げ、同様に端面を平滑に
仕上げた短管２３ど手溶接により溶接を行って枝管とし
溶接部２４の裏ビードを機械研磨によって平滑にした後
、電解液中に浸漬して内面全体を電解研磨により仕、上
げを行って粗面度１即以下の面として出来上ったのが製
品としてのマニホールド２５である。
断面図を示す。所定の径のステンレススチール製管２０
の管壁に所定径の孔２１を複数個穿孔し、常法によって
黙礼２１の周辺部を膨出させて膨出部２２を形成し、該
膨出部２２の上面を平滑に仕上げ、同様に端面を平滑に
仕上げた短管２３ど手溶接により溶接を行って枝管とし
溶接部２４の裏ビードを機械研磨によって平滑にした後
、電解液中に浸漬して内面全体を電解研磨により仕、上
げを行って粗面度１即以下の面として出来上ったのが製
品としてのマニホールド２５である。
以上の様にして製造した第１図に示す構造のマニホール
ドは枝管部の長さを充分長くとっであるため、その先に
蒸発管を溶接する場合に、その溶接を溶接裏ビードが平
滑に仕上る自動溶接による突合せ溶接を行うことが出来
る上、主管と枝管の溶接部も内面を機械研磨した後、内
面を全面電解研磨を行って粗面度を１苅以下に仕上げで
あるので、極微細のダストパーティクルの滞在または付
着する余地が無い。また内面を全面電解研磨したチーズ
を複数個接続した形式のマニホールドにＩｔして溶接接
続個所が少なく内面未研磨の部分が全く無いので、最近
要求が厳しくなっている半導体製造工程用の高純瓜ガス
の供給機器製用として適切であり、本マニホールドを使
用した高純度ガス供給機器は充分そのクリーン度を保証
し得るものである。
ドは枝管部の長さを充分長くとっであるため、その先に
蒸発管を溶接する場合に、その溶接を溶接裏ビードが平
滑に仕上る自動溶接による突合せ溶接を行うことが出来
る上、主管と枝管の溶接部も内面を機械研磨した後、内
面を全面電解研磨を行って粗面度を１苅以下に仕上げで
あるので、極微細のダストパーティクルの滞在または付
着する余地が無い。また内面を全面電解研磨したチーズ
を複数個接続した形式のマニホールドにＩｔして溶接接
続個所が少なく内面未研磨の部分が全く無いので、最近
要求が厳しくなっている半導体製造工程用の高純瓜ガス
の供給機器製用として適切であり、本マニホールドを使
用した高純度ガス供給機器は充分そのクリーン度を保証
し得るものである。
第１図は本発明のマニホールドの一実施例を示す横断面
図、第２図は従来、のマニホールドの一例を示す横断面
図、第３図は従来のマニホールドの別の例を示す横断面
図である。 ２０・・・ステンレススチール製管 ２１・・・孔２
２・・・膨出部 ２３・・・短管 ２４・・・溶接
部２５・・・マニホールド
図、第２図は従来、のマニホールドの一例を示す横断面
図、第３図は従来のマニホールドの別の例を示す横断面
図である。 ２０・・・ステンレススチール製管 ２１・・・孔２
２・・・膨出部 ２３・・・短管 ２４・・・溶接
部２５・・・マニホールド
Claims (1)
- １、ステンレススチール製鋼管の管壁に複数個の孔を穿
設し、該複数個の孔の周辺を管壁の外側に膨出させて膨
出部を形成し、該膨出部の上部に同径の短管を突合せ溶
接した上で、内面を電解研磨により仕上げを行ったこと
を特徴とするステンレススチール製のマニホールド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62143547A JP2678754B2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 高純度ガス供給用ステンレススチール製マニホールドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62143547A JP2678754B2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 高純度ガス供給用ステンレススチール製マニホールドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63307300A true JPS63307300A (ja) | 1988-12-14 |
| JP2678754B2 JP2678754B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=15341283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62143547A Expired - Lifetime JP2678754B2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 高純度ガス供給用ステンレススチール製マニホールドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2678754B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05264000A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-10-12 | L'air Liquide | 超高純度窒素の分配設備及びその使用方法 |
| JP2003512560A (ja) * | 1999-10-16 | 2003-04-02 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 燃料高圧アキュムレータ及び燃料高圧アキュムレータを製造する方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100369691C (zh) * | 2005-12-06 | 2008-02-20 | 杜明乾 | 外翻边刀具装置 |
| KR102577905B1 (ko) * | 2022-11-24 | 2023-09-14 | 주식회사 부광테크 | 수직형 지관의 전해연마장치 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55149721A (en) * | 1979-05-12 | 1980-11-21 | Michio Naruse | Manufacture of pipe joint |
| JPS576180A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 | Tokyo Shibaura Electric Co | Manufacture of pipings header |
| JPS5855600A (ja) * | 1981-09-12 | 1983-04-01 | ケルンフオルシユングスツエントルム・カ−ルスル−エ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 電解研摩により金属配管系統の内壁を浄化する方法とその装置 |
| JPS5919025A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-01-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Ｔ型管継手の製造方法 |
| JPS59148417U (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | 三菱自動車工業株式会社 | 内燃機関用排気マニホ−ルド |
| JPS59205220A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 電解研摩装置 |
| JPS6065990A (ja) * | 1983-09-17 | 1985-04-15 | 清水 賢治 | Ｔ管継手乃至回転管継手の製造方法 |
| JPS61236426A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 金属管内電解研磨法とその装置 |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP62143547A patent/JP2678754B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55149721A (en) * | 1979-05-12 | 1980-11-21 | Michio Naruse | Manufacture of pipe joint |
| JPS576180A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 | Tokyo Shibaura Electric Co | Manufacture of pipings header |
| JPS5855600A (ja) * | 1981-09-12 | 1983-04-01 | ケルンフオルシユングスツエントルム・カ−ルスル−エ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 電解研摩により金属配管系統の内壁を浄化する方法とその装置 |
| JPS5919025A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-01-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Ｔ型管継手の製造方法 |
| JPS59148417U (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | 三菱自動車工業株式会社 | 内燃機関用排気マニホ−ルド |
| JPS59205220A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 電解研摩装置 |
| JPS6065990A (ja) * | 1983-09-17 | 1985-04-15 | 清水 賢治 | Ｔ管継手乃至回転管継手の製造方法 |
| JPS61236426A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 金属管内電解研磨法とその装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05264000A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-10-12 | L'air Liquide | 超高純度窒素の分配設備及びその使用方法 |
| JP2003512560A (ja) * | 1999-10-16 | 2003-04-02 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 燃料高圧アキュムレータ及び燃料高圧アキュムレータを製造する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2678754B2 (ja) | 1997-11-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63307300A (ja) | 高純度ガス供給用ステンレススチール製マニホールドの製造方法 | |
| CN106514029A (zh) | 长管端部堆焊的方法 | |
| KR20120131592A (ko) | 티타늄 금속관의 용접 방법 | |
| JPH0256990B2 (ja) | ||
| US2926030A (en) | Tube joint structure and method of making same | |
| CA1222617A (en) | Method of connecting inside plated cylindrical workpieces | |
| CN207058161U (zh) | 一种薄壁行星架的工装夹具 | |
| US2906852A (en) | Welding method | |
| CN110977215A (zh) | 一种缸体对接免清根焊缝预处理工艺 | |
| JPS59199172A (ja) | 肉盛溶接方法 | |
| JPH0586315B2 (ja) | ||
| CN114932295B (zh) | 焊接方法 | |
| KR20190031623A (ko) | 티타늄 금속관의 용접 방법 | |
| JPH0658479A (ja) | 分岐部の二重管継手 | |
| JPH06335768A (ja) | 固定管の溶接方法 | |
| JPH08243851A (ja) | 現地溶接施工性に優れた複層鋼管の製造方法 | |
| JPH0459184A (ja) | コーティング複合材の突合わせ接合方法及び該接合方法による長尺複合パイプの製造方法並びに金属精練用物質の搬送用パイプ | |
| JPS6125463B2 (ja) | ||
| JPS60216977A (ja) | 管状構造物に小径管を溶接する方法 | |
| JPH0255680A (ja) | 鋳物材の電子ビーム溶接方法 | |
| JPH07290246A (ja) | 現地溶接施工性に優れた複層鋼管およびその製造方法 | |
| JPH05285644A (ja) | アルミニウム材と異種金属材との接合方法 | |
| CN116117444A (zh) | 一种高强度精密焊接冷拔钢管对接方法 | |
| JPS6033497A (ja) | ヘツダ付パネル | |
| JPH07299564A (ja) | 溶接方法 |