JPS63305236A - ガラス内部検査法 - Google Patents
ガラス内部検査法Info
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- JPS63305236A JPS63305236A JP14096787A JP14096787A JPS63305236A JP S63305236 A JPS63305236 A JP S63305236A JP 14096787 A JP14096787 A JP 14096787A JP 14096787 A JP14096787 A JP 14096787A JP S63305236 A JPS63305236 A JP S63305236A
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- JP
- Japan
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- glass
- inspected
- liquid
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- microscope
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガラス内部の検査方法に関する。
本発明は、ガラス内部に存在する異物、気泡等の検査に
関して、前記ガラスとほぼ同等の屈折率を有する液体中
に浸漬した状箱で下方より斜角投光する顕微鏡で検査す
ることにより、ガラスの表面状態によらず、的確に検査
できるものである。
関して、前記ガラスとほぼ同等の屈折率を有する液体中
に浸漬した状箱で下方より斜角投光する顕微鏡で検査す
ることにより、ガラスの表面状態によらず、的確に検査
できるものである。
従来よりガラス内部検査は、表面の凹凸を極力少なくシ
、表面乱反射等をなくした状態でのみ、可能であり、そ
の為に、ガラス表面の研磨（ラッピングｚ ｔ”）ッシ
ング）等の技術向上がはかられている。又、表面の汚れ
除去の為、極めてクリーン度の高い環境下で４〜２０槽
からなる洗浄工程を介して、輝度の高いランプにて検査
を行なっていた。又は、マスク検査機のような高価な機
械により広面種晶については長時間かけて検査を行なっ
ていた。
、表面乱反射等をなくした状態でのみ、可能であり、そ
の為に、ガラス表面の研磨（ラッピングｚ ｔ”）ッシ
ング）等の技術向上がはかられている。又、表面の汚れ
除去の為、極めてクリーン度の高い環境下で４〜２０槽
からなる洗浄工程を介して、輝度の高いランプにて検査
を行なっていた。又は、マスク検査機のような高価な機
械により広面種晶については長時間かけて検査を行なっ
ていた。
しかし、前述の従来技術では、研磨に多大な、費用と時
間を必要、とじ、洗浄工程でも、品質の安定化がむずか
しい等の問題点を有する。又、検査において、前述の輝
度の高いランプを使用する場合、検査する環境、個人差
等により偏差を生じ易く、一方、マスク検査機による方
式は、焦点を移動させながら確認する為効率が悪いとい
う問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を
解決するもので、その目的とするところは、研磨や精密
洗浄等の煩雑な工程を省略し、検査の個人差をなくし、
かつ高価な装置を不要とするガラス内部検査法を提供す
るものである。
間を必要、とじ、洗浄工程でも、品質の安定化がむずか
しい等の問題点を有する。又、検査において、前述の輝
度の高いランプを使用する場合、検査する環境、個人差
等により偏差を生じ易く、一方、マスク検査機による方
式は、焦点を移動させながら確認する為効率が悪いとい
う問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を
解決するもので、その目的とするところは、研磨や精密
洗浄等の煩雑な工程を省略し、検査の個人差をなくし、
かつ高価な装置を不要とするガラス内部検査法を提供す
るものである。
本発明のガラス内部検査法は、被検査ガラスとほぼ同等
の屈折率を有する液体中で、被検査ガラスの下方より斜
光投光して顕微鏡により検査する事を特徴とする。
の屈折率を有する液体中で、被検査ガラスの下方より斜
光投光して顕微鏡により検査する事を特徴とする。
本発明の検査法によれば、被検査ガラスとほぼ同等の屈
折率を有する液体、たとえば石英ガラスの場合には、ポ
リエチレングリコール（屈折率１、４６ ）アミルアル
コール（屈折率１．４１ ）等に浸漬する事により、表
面が梨地状となって乱反射していても表面が鏡面状であ
っても内部の見え方はほとんど同程度となり液中でのガ
ラス界面は見えすらい、特に容器の影響をなくす為、被
検査ガラスは、液量な多くし、容器壁面から遠ざけた状
態とする事が望ましい、この状態で被検査ガラスの下方
より斜角投光し、反射してくる光を顕微鏡を介して、確
認する事により、被検査ガラスの内部の、異物、気泡等
が容易に確認できる。
折率を有する液体、たとえば石英ガラスの場合には、ポ
リエチレングリコール（屈折率１、４６ ）アミルアル
コール（屈折率１．４１ ）等に浸漬する事により、表
面が梨地状となって乱反射していても表面が鏡面状であ
っても内部の見え方はほとんど同程度となり液中でのガ
ラス界面は見えすらい、特に容器の影響をなくす為、被
検査ガラスは、液量な多くし、容器壁面から遠ざけた状
態とする事が望ましい、この状態で被検査ガラスの下方
より斜角投光し、反射してくる光を顕微鏡を介して、確
認する事により、被検査ガラスの内部の、異物、気泡等
が容易に確認できる。
実施例１
ゾル−ゲル法で製造した６インチ角を厚み３％の石英ガ
ラスの焼結上りの表面は、ユズ肌状となっており、内部
検査がむずかしい状況である。
ラスの焼結上りの表面は、ユズ肌状となっており、内部
検査がむずかしい状況である。
このガラスを８インチ角、高さ３個の透明容器にアミル
アルコールを２画高さまで入れ、石英ガラスを底部より
１３浮かせて配置した。この時石英ガラスは充分に、ア
ミルアルコールに浸漬され、容器の影響をなくしだ状態
である。容器の下方４５１′の角度で１０万ルクスの集
光ランプ光な石英ガラスに照射した状態で、１０〜４０
倍の実体顕微鏡を介して、内部検査を行なった所、内部
にある１〜２μの気泡が確認され、従来の精密研磨及び
精密洗浄した後、マスク検査機及び、輝度１５万ルクス
の集光ランプにて確認されたレベルと−等の検査能力を
有する事がわかった。
アルコールを２画高さまで入れ、石英ガラスを底部より
１３浮かせて配置した。この時石英ガラスは充分に、ア
ミルアルコールに浸漬され、容器の影響をなくしだ状態
である。容器の下方４５１′の角度で１０万ルクスの集
光ランプ光な石英ガラスに照射した状態で、１０〜４０
倍の実体顕微鏡を介して、内部検査を行なった所、内部
にある１〜２μの気泡が確認され、従来の精密研磨及び
精密洗浄した後、マスク検査機及び、輝度１５万ルクス
の集光ランプにて確認されたレベルと−等の検査能力を
有する事がわかった。
実施例２
気相法で径１０ｃｙ＊ｅｉｉさ１０個のレンズ用石英ガ
ラスを作成した０表面は、焼結上りで、曇っており、内
部異物の確認は可能である１通常ならば、レンズ加工を
した後、内部検査を行なうが、歩留シが低く、研磨にか
かるコストが高くて問題である。この円柱石英ガラスを
、液体ぼりエチレングリフール ３００に浸漬し、実施
例１に示したと同様に、顕微鏡を介して内部検査を行な
った。
ラスを作成した０表面は、焼結上りで、曇っており、内
部異物の確認は可能である１通常ならば、レンズ加工を
した後、内部検査を行なうが、歩留シが低く、研磨にか
かるコストが高くて問題である。この円柱石英ガラスを
、液体ぼりエチレングリフール ３００に浸漬し、実施
例１に示したと同様に、顕微鏡を介して内部検査を行な
った。
内部の１５μの異物が確認され、研磨後と同水準の検査
能力を有した。顕微鏡では暗視野の中に輝く点状異物を
見い出すのは容易であった。
能力を有した。顕微鏡では暗視野の中に輝く点状異物を
見い出すのは容易であった。
以上述べたように本発明によれば、研磨や、成形前の原
料ガラスの状態で表面状態によらず、ガラス内部の検査
が容易にかつ確実におこなえ、大巾なコスト低減がはか
れると同時に、検査環境や個人差がない為、応用範囲は
ガラスに類した、透明体の内部検査にも及ぶ。
料ガラスの状態で表面状態によらず、ガラス内部の検査
が容易にかつ確実におこなえ、大巾なコスト低減がはか
れると同時に、検査環境や個人差がない為、応用範囲は
ガラスに類した、透明体の内部検査にも及ぶ。
以 上
Claims (1)
- 被検査ガラスとほぼ同等の屈折率を有する液体中で、被
検査ガラスの下方より斜角投光して顕微鏡により検査す
ることを特徴とするガラス内部検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14096787A JPS63305236A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | ガラス内部検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14096787A JPS63305236A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | ガラス内部検査法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63305236A true JPS63305236A (ja) | 1988-12-13 |
Family
ID=15280988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14096787A Pending JPS63305236A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | ガラス内部検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63305236A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH039250A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Nippondenso Co Ltd | 接合部の良否検査方法 |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP14096787A patent/JPS63305236A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH039250A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Nippondenso Co Ltd | 接合部の良否検査方法 |
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