JPS63300416A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高周波信号を効率良く記録再生するのに好適な
磁気ヘッドに関するものである。

従来の技術 従来、ＶＴＲ等の高周波信号を記録再生する装置におい
ては、ビデオへ・ンド用磁性材料として高周波損失の少
ないフェライト材料が用いられている。しかし、近年に
なって高品位ＶＴＲやディジタルＶＴＲのように更に広
帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになってき
ており、記録媒体もこのような大量の情報を記録する為
の高密度化の流れの中で酸化鉄系から合金粉末媒体や金
属蒸着媒体等の高抗磁力媒体へ移行しつつある。これに
対してフェライトヘッドではその最大磁束密度が高々５
０００ガウス程度であり、又短波長信号を効率良く再生
する為には狭ギャップにする必要があり、上述のような
Ｈａが１００ｏＯｅ以上の高抗磁力媒体ではギャップ先
端部のフェライトコアが飽和し、十分な記録が出来ない
。そこで最大磁束密度の高いセンダストやアモルファス
磁性合金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘッドの開発が
行なわれているが、バルク状の金属磁性材料を用いたの
ではうず電流による高周波損失が大きくとても上記シス
テムには使えない。そこで上記損失をできるだけ押える
為に金属磁性材料を薄膜化して用いることが検討されて
おり、第９図に示すようにギャップ近傍を金属磁性薄膜
で構成するものが提案されている。ａはフェライトコア
２１のギャップ面に金属磁性薄膜２２ａを形成したもの
で、記録時は金属磁性材料による強磁界を実現し、再生
時はその高周波損失の影響をできるだけ小さくするとい
うものである。又すも同様の効果を有するもの、で、更
に金属磁性薄膜２２ｂとフェライトコア２１との境界部
が擬似ギャップとして動作しないように構成したもので
ある。

発明が解決しようとする問題点 フェライトヘッドは記録媒体との摺動でいわゆる摺動ノ
イズを発生することが知られている。この摺動ノイズは
、ヘッドΦ媒体間の相対速度が大きくなる程大きく、又
高い周波数帯でより大きなノイズを発生する。−力筒９
図に示したヘッドのようにギャップ近傍は金属磁性体で
構成されても摺動面の大半がフェライトで構成されてい
る場合でも同様に摺動ノイズが発生する。特に、高品位
ＶＴＲやディジタルＶＴＲのように相対速度が例えば２
０ｍ／ｓ、扱う信号帯域が１０〜数１０ＭＨｚ　　に達
するような場合、極めて大きな摺動ノイズが発生し、Ｓ
／Ｎに非常に大きな悪影響を与える。

又、扱う信号波長が短かくなるとテープ・ヘッド間イン
ターフェイスが重要釦なってくる。第９図に示したべ・
ラドの場合、ギャップ近傍が金属磁性膜、フェライト、
ガラスの複合構造となっており、記録媒体の摺動によっ
て偏摩耗現象が発生し、例えば金属磁性膜としてセンダ
スト合金膜を用いた場合、センダスト合金膜部はフェラ
イト部に対し約ＳＯＯ人凹み、又ガラス部はセンダスト
合金膜部に対し約２００人突出し、ギャップ近傍の表面
形状はかなり複雑なものとなり、不安定な再生エンベロ
ープや変調ノイズの増大の原因となっている。

そこで本発明は上記のような高抗磁力媒体を用いた高周
波・短波長の信号を高３／Ｎで記録再生するのに適し、
且つ極めて量産性に優れた磁気ヘッドを提供することを
目的とする。

問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決する為に、磁気ギャップを形
成する前部磁気コアが、磁気ギャップに向かってトラッ
ク幅方向のコア幅が小さくなるように絞り込まれた金属
磁性薄膜からなり、且つ巻線溝を有し強磁性酸化物から
なる後部磁気コアに直接接合された構成とするものであ
る。

作用 本発明は上述したように、磁気ギャップを構成する前部
磁気コアとして高磁束密度を有する金属磁性薄膜を用い
ることにより高抗磁力媒体でも十分に記録できる能力を
有し、再生時においてはギャップ近傍から高周波特性に
優れた強磁性酸化物からなる後部磁気コアが配置されて
磁気回路の大半を構成すると共に、前部磁気コアとの接
合面積が大きくなる為に高周波での再生効率が高くなる
。

又、記録媒体摺動面に露出する強磁性酸化物の面積が小
さい為に摺動ノイズがほとんど発生せず高Ｓ／Ｈの信号
再生ができると共に、摺動面におけるギャップ近傍が金
属磁性膜とガラスのみで構成される為に良好なヘッドΦ
テープインターフェイスが得られる。

実施例 本発明の実施例の斜視図を第１図に、ムーＡ′断面図を
第２図に示す。図において１は前部磁気コアを構成する
アモルファス磁性合金やセンダスト合金等の金属磁性薄
膜で、磁気ギャップ２を形成すると共に切欠溝３によっ
て磁気ギャップ２に向かってトラック幅方向のコア幅が
小さくなるように絞り込んだ形状になっている。この切
欠溝３にはガラス４が充填されている。５はＭｎ−Ｚｎ
フェライト等の強磁性酸化物であり、巻線溝ｅが形成さ
れて後部コアを構成している。前部磁気コアを構成する
金属磁性薄膜１と後部磁気コアを構成する強磁性酸化物
６は接合面７で直接接触しており、接合面７は後部磁気
コアに形成された巻線溝６のほぼアペックス部８に位置
している。９は接合ガラスである。

又、前部磁気コアは例えばトラック幅４０μｍ。

コア厚（金属磁性薄膜１の膜厚）２０μｍであるので、
磁場中でアニールすることによりトラック幅方向に平行
な方向（第１図ｇ方向）に磁化容易軸を設定することが
できる。良く知られているように強磁性膜の透磁率の周
波数特性は一般に第３図に示すようになる。即ち、困難
軸方向Ｈ＆での初透磁率μｍは４０００以上得られ、且
つ１０ＭＨｚ　以上の高周波帯まで伸びるのに対し、容
易軸方向Ｘ＆のμｉは非常に小さく、無配向Ｎｏの場合
には１０００程度の直である。従って、ヘッド効率に最
も影響の大きい磁気ギャップ近傍の前部（ｉ１１気コア
は、磁束が流れる方向が困難軸方向にできるので透磁率
が高く且つ周波数特性も良く、良好なヘッド特性が得ら
れる。

本発明の磁気ヘッドの展進方法の一実施例を説明すると
、第４図に示すようにフェライト等の強磁性酸化物から
なるコアプレート１０の上にスパッタリング等の手段で
アモルファス磁性合金膜やセンダスト合金膜等の金属磁
性薄膜１を例えば２０μｍの厚みで形成し、次に第６図
に示すようにフェライトあるいは非磁性セラミクス等か
らなる補強プレート１１を金属磁性薄膜１の上に結晶化
ガラス１２等で接着して積層プレートを形成する。この
際、金属磁性薄膜１が浸食されないように界面にＳ：Ｌ
Ｏ２等の保護膜を形成しておくと良い。

次に破線で示すように積層面に直交するように切断して
補強プレート側が記録媒体摺動面側となる細長のコアブ
ロックを形成し、第６図に示すように摺動面１２からギ
ャップ面１３にかけてトラック幅規制用の切欠溝３を所
定の深さに形成し、この切欠溝３にガラス４を充填する
。その後ギャップ面１３を研磨し、その上に非磁性薄膜
からなるギャップスペーサを介して巻線溝６を加工した
対向コアブロックを突合わせて接合ガラスで接着する（
第７図）。この際、巻Ｓ溝６はそのアペックス部８が金
属磁性薄膜１とコアプレート１ｏの接合面７の位置にな
るように加工する。その後、破線で示すようにトラック
部の両側で切断して第８図に示すようなヘッドチップを
作成し、テープ研磨で磁気ギャップ部の補強プレートが
無くなり金属磁性薄膜が完全に露出するまで（第８図破
線）研磨することにより第１図に示すような磁気ヘッド
が得られる。

尚、上記実施例では補強プレート１１を用いたが、第４
図に示した金属磁性薄膜１を形成したコアプレート１ｏ
を金属磁性薄膜側を同一方向にして複数枚重ね、結晶化
ガラス等で接着した後コアプレート１ｏ内で切断するこ
とによっても第６図に示すような積層プレートが得られ
る。

又、ヘッド製造工程で行なわれる熱処理工程のうちのい
ずれかの工程あるいは複数の熱処理工程で、ヘッドのト
ラ・ツク幅方向に相当する方向に直流磁場を加えること
によって、前に述べたようにトラ・ツク幅方向に磁化容
易軸を有した高周波特性に優れたヘッドが容易に得られ
る。

直流磁場を印加した場合の実効磁場の加わり方は試料の
形状等によって反磁界の発生の仕方が異なる為どの熱処
理工程で行なうかで若干異なる。

その意味では、金属磁性薄膜の形状が最も大きい初期の
補強プレートを接着する熱処理工程で磁場を加えるのが
最も有効であり、又均−な特性のものが得られる。

発明の効果 本発明によれば、高抗磁力媒体を用いて高周波・高密度
磁気記録システムに好適な高Ｓ　／　Ｎの磁気へ・ラド
が得られ、且つ従来のビデオヘッドの製造方法をほぼそ
のまま使える為に、極めて量産性に優れた磁気ヘッドが
提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの斜視図、第２
図は第１図のムー五′断面図、第３図は磁気コア材料の
磁気特性を示す図、第４図〜第８図は本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法を示す斜視図、第９図（ａ）　、　（ｂ）
は従来の磁気ヘッドの例を示す平面図である。 １・・・・・・金属磁性薄膜、２・・・・・・磁気ギャ
ップ、３・・・・・・切欠溝、４・・・・・・ガラス、
５・・・・・・強磁性酸化物。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名１、
−４金鷹橡柱薄膜 ２−慮型六ップ ３−　巧欠真 ４−　ガ°ラス ５−一一僅磁柱徴化吻 ６−−一港譚溝 ５−一一廊吻 第　３　図 、！！！演＃（ＭＨＥ） ９、　４　　図　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　７−４Ｃ４≦＃ノ１：ＩＩミｉＥ７！Ｊ１　　３
−鍔欠猾 Ｏ 第６図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気ギャップを形成する前部磁気コアが、磁気ギ
   ャップに向かってトラック幅方向のコア幅が小さくなる
   ように絞り込まれた金属磁性薄膜からなり、且つ巻線溝
   を有し、強磁性酸化物からなる後部磁気コアに直接接合
   されていることを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）金属磁性薄膜がトラック幅方向に平行な磁化容易
   軸を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の磁気ヘッド。
3. （３）強磁性酸化物からなるコアプレート上に金属磁性
   薄膜を形成し、その上に補強プレートを接着して積層プ
   レートを作成する工程と、前記積層プレートの積層面に
   直交するように切断して補強プレート側が記録媒体摺動
   面側となる細長のコアブロックを作成する工程と、前記
   コアブロックの摺動面からギャップ面にかけてトラック
   幅規制用の切欠溝を形成する工程と、上記加工を施した
   、対のコアブロックをギャップスペーサを介して対向・
   接合した後、トラック部の両側で切断してヘッドチップ
   を作成する工程と、前記ヘッドチップの記録媒体摺動面
   側を補強プレートが無くなるまで研磨する工程とを有す
   ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
4. （４）ヘッドのトラック幅方向に直流磁場を加えながら
   熱処理する工程を含むことを特徴とする特許請求の範囲
   第３項記載の磁気ヘッドの製造方法。
5. （５）補強プレートを接着する際に直流磁場を加えるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の磁気ヘッド
   の製造方法。