JPS6329959U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6329959U JPS6329959U JP12263486U JP12263486U JPS6329959U JP S6329959 U JPS6329959 U JP S6329959U JP 12263486 U JP12263486 U JP 12263486U JP 12263486 U JP12263486 U JP 12263486U JP S6329959 U JPS6329959 U JP S6329959U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- microwave integrated
- monolithic microwave
- semiconductor substrate
- semi
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案実施例のＭＭＩＣを多数連ねた
半導体基板の上面図、第２図は従来のＭＭＩＣの
上面図を示す。 １……半導体基板、２……電界効果トランジス
タ、３……ソース電極、４……ゲート電極、５…
…ドレイン電極、６……入力整合回路、７……出
力整合回路、８……ＭＩＭ型キヤパシタ、９……
バイアホール（貫通孔）、１０……スクライブラ
イン。
半導体基板の上面図、第２図は従来のＭＭＩＣの
上面図を示す。 １……半導体基板、２……電界効果トランジス
タ、３……ソース電極、４……ゲート電極、５…
…ドレイン電極、６……入力整合回路、７……出
力整合回路、８……ＭＩＭ型キヤパシタ、９……
バイアホール（貫通孔）、１０……スクライブラ
イン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半絶縁性化合物半導体基板の主表面上にモノリ
シツクマイクロ波集積回路パターンが備えられ、
該モノリシツクマイクロ波集積回路パターンの接
地導体を前記半絶縁性化合物半導体基板に形成し
た貫通孔により、前記半絶縁性化合物半導体基板
の裏面に形成した接地導体と電気的導通を得るよ
う構成されたモノリシツクマイクロ波集積回路に
おいて、 前記貫通孔は該モノリシツクマイクロ波集積回
路の側面を形成するスクライブラインに連結され
ていることを特徴とするモノリシツクマイクロ波
集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12263486U JPS6329959U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12263486U JPS6329959U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329959U true JPS6329959U (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=31013008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12263486U Pending JPS6329959U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329959U (ja) |
-
1986
- 1986-08-08 JP JP12263486U patent/JPS6329959U/ja active Pending