JPS63298039A - 欠点デ−タ取込み回路 - Google Patents
欠点デ−タ取込み回路Info
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- JPS63298039A JPS63298039A JP13152587A JP13152587A JPS63298039A JP S63298039 A JPS63298039 A JP S63298039A JP 13152587 A JP13152587 A JP 13152587A JP 13152587 A JP13152587 A JP 13152587A JP S63298039 A JPS63298039 A JP S63298039A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 107
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- RRLHMJHRFMHVNM-BQVXCWBNSA-N [(2s,3r,6r)-6-[5-[5-hydroxy-3-(4-hydroxyphenyl)-4-oxochromen-7-yl]oxypentoxy]-2-methyl-3,6-dihydro-2h-pyran-3-yl] acetate Chemical compound C1=C[C@@H](OC(C)=O)[C@H](C)O[C@H]1OCCCCCOC1=CC(O)=C2C(=O)C(C=3C=CC(O)=CC=3)=COC2=C1 RRLHMJHRFMHVNM-BQVXCWBNSA-N 0.000 description 1
- 238000013481 data capture Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、欠点検出装置の欠点データ取込み回路、特に
ガラス板等の透明板の欠点の種類、欠点の大きさおよび
欠点の位置を検出することのできる識別型欠点検出装置
の欠点データ取込み回路に関する。
ガラス板等の透明板の欠点の種類、欠点の大きさおよび
欠点の位置を検出することのできる識別型欠点検出装置
の欠点データ取込み回路に関する。
ガラス板等の透明板を製造する際、透明板に存在する欠
点（欠陥）の種類（異物、泡、フシ１ ドリップ等）、
欠点の大きさ、欠点の位置を検出する装置として、フラ
イングスポット型の識別型欠点検出装置がある。
点（欠陥）の種類（異物、泡、フシ１ ドリップ等）、
欠点の大きさ、欠点の位置を検出する装置として、フラ
イングスポット型の識別型欠点検出装置がある。
本出願人の開発した識別型欠点検出装置の−例の概略を
第３図に示す。この識別型欠点検出装置は、レーザ光源
１からのレーザ光を多角形回転ミラー２に入射し、製造
工程ラインを流れるガラス板３上にレーザスポットを走
査させる。走査方向は、ガラス板の流れる方向（Ｙ軸方
向）に対して直角な方向、すなわちガラス板の幅方向（
Ｘ軸方向）である。また、レーザ光はガラス板３の表面
に対して斜めから入射される。これは、ガラス板表面か
らの反射光とガラス板裏面からの反射光との干渉を避け
るためである。
第３図に示す。この識別型欠点検出装置は、レーザ光源
１からのレーザ光を多角形回転ミラー２に入射し、製造
工程ラインを流れるガラス板３上にレーザスポットを走
査させる。走査方向は、ガラス板の流れる方向（Ｙ軸方
向）に対して直角な方向、すなわちガラス板の幅方向（
Ｘ軸方向）である。また、レーザ光はガラス板３の表面
に対して斜めから入射される。これは、ガラス板表面か
らの反射光とガラス板裏面からの反射光との干渉を避け
るためである。
ガラス板３に入射したレーザ光の透過光、透過散乱光２
反射光を、ガラス板の幅方向に細長い受光面を有する受
光器Ｄｉ、Ｄ２．Ｄ３．Ｄ４．Ｄ５で受光する。なお、
これら各受光器は、多数本のガラスファイバを配列して
構成される。受光器Ｄ１は透過光を、受光器Ｄ２は近軸
透過散乱光を、受光器Ｄ３およびＤ４は遠軸透過散乱光
を、受光器Ｄ５は反射光を受光する。各受光器を構成す
るガラスファイバは、それぞれ対応する光電子増倍管Ｐ
Ｍ１．ＰＭ２．ＰＭ３．ＰＭ４．ＰＭ５に導かれ、受光
した光は各光電子増倍管で電気信号に変換される。信号
処理回路４では、これら電気信号に微分処理、幅処理、
比較処理、波形整形などの信号処理を加えて、欠点デー
タＤ Ｉ ｌ ＋ Ｄ Ｉ Ｒ＋ ・・・＊Ｄ’ｓ
ｔを作成する。欠点データは複数種類存在するが、例え
ば欠点データＤ１１は、受光器Ｄ１で受光された透過光
を光電変換して得た電気信号をマイナス微分して得られ
た微分波形を所定の検出レベルと比較した比較結果を示
すデータである。
反射光を、ガラス板の幅方向に細長い受光面を有する受
光器Ｄｉ、Ｄ２．Ｄ３．Ｄ４．Ｄ５で受光する。なお、
これら各受光器は、多数本のガラスファイバを配列して
構成される。受光器Ｄ１は透過光を、受光器Ｄ２は近軸
透過散乱光を、受光器Ｄ３およびＤ４は遠軸透過散乱光
を、受光器Ｄ５は反射光を受光する。各受光器を構成す
るガラスファイバは、それぞれ対応する光電子増倍管Ｐ
Ｍ１．ＰＭ２．ＰＭ３．ＰＭ４．ＰＭ５に導かれ、受光
した光は各光電子増倍管で電気信号に変換される。信号
処理回路４では、これら電気信号に微分処理、幅処理、
比較処理、波形整形などの信号処理を加えて、欠点デー
タＤ Ｉ ｌ ＋ Ｄ Ｉ Ｒ＋ ・・・＊Ｄ’ｓ
ｔを作成する。欠点データは複数種類存在するが、例え
ば欠点データＤ１１は、受光器Ｄ１で受光された透過光
を光電変換して得た電気信号をマイナス微分して得られ
た微分波形を所定の検出レベルと比較した比較結果を示
すデータである。
以下の説明の便宜上、信号処理回路４までの構成を、欠
点検出器５とするものとする。この欠点検出器５からの
欠点データは欠点データ取込み回路６により取込まれて
信号処理がなされた後、中央処理装置（ＣＰＵ）７へ送
られる。ＣＰＵ７では、欠点データから欠点パターンを
作成し、あらかじめ保持している欠点識別パターンテー
ブルと照合して、欠点の種類８大きさ等を判別している
。
点検出器５とするものとする。この欠点検出器５からの
欠点データは欠点データ取込み回路６により取込まれて
信号処理がなされた後、中央処理装置（ＣＰＵ）７へ送
られる。ＣＰＵ７では、欠点データから欠点パターンを
作成し、あらかじめ保持している欠点識別パターンテー
ブルと照合して、欠点の種類８大きさ等を判別している
。
本発明は、このような識別型欠点検出装置における欠点
データ取込み回路の改良に関するものであるが、本発明
は上述の識別型欠点検出装置のみを対象とするものでは
なく、フライングスポット型のものであれば、いかなる
種類の識別型欠点検出装置をも対象とすることができる
。また、光量変化を検出する光に、反射散乱光がさらに
加わったものであってもよい。
データ取込み回路の改良に関するものであるが、本発明
は上述の識別型欠点検出装置のみを対象とするものでは
なく、フライングスポット型のものであれば、いかなる
種類の識別型欠点検出装置をも対象とすることができる
。また、光量変化を検出する光に、反射散乱光がさらに
加わったものであってもよい。
本出願人は、このような欠点データ取込み回路について
、第４図に示す構成の回路を既に提案している。
、第４図に示す構成の回路を既に提案している。
この既提案の欠点データ取込み回路１０は、Ｘ軸カウン
タ１１と、ＯＲユニット１２と、分周回路１３と、Ｙ軸
カウンタ１４と、ＦＩＦＯメモリ１５とを備えている。
タ１１と、ＯＲユニット１２と、分周回路１３と、Ｙ軸
カウンタ１４と、ＦＩＦＯメモリ１５とを備えている。
Ｘ軸カウンタ１１は、Ｘ座標分割のためのクロックＣＬ
Ｋをカウントするカウンタであり、走査開始信号である
スタートパルスＳＴでリセンｔ・される。このスタート
パルスＳＴは、欠点検出器５の多角形回転ミラー２を反
射したレーザ光を特定の位置でガラスファイバで取り出
し、光電変換後、波形整形して得られる。Ｘ軸カウンタ
１１は、欠点データが取込まれたときのカウント値をＸ
座標位置データとして出力する。
Ｋをカウントするカウンタであり、走査開始信号である
スタートパルスＳＴでリセンｔ・される。このスタート
パルスＳＴは、欠点検出器５の多角形回転ミラー２を反
射したレーザ光を特定の位置でガラスファイバで取り出
し、光電変換後、波形整形して得られる。Ｘ軸カウンタ
１１は、欠点データが取込まれたときのカウント値をＸ
座標位置データとして出力する。
ＯＲユニット１２は、欠点検出器５からの複数走査分の
欠点データをため込み、所定のタイミングで出力するユ
ニットであり、このようなＯＲユニットについては、特
公昭５６−３９４１９号公報「欠点検出装置」に開示さ
れている。このＯＲユニット１２の目的は、ＣＰＵ７の
処理速度との関係で、識別型欠点検出装置の処理能力を
高めることにある。
欠点データをため込み、所定のタイミングで出力するユ
ニットであり、このようなＯＲユニットについては、特
公昭５６−３９４１９号公報「欠点検出装置」に開示さ
れている。このＯＲユニット１２の目的は、ＣＰＵ７の
処理速度との関係で、識別型欠点検出装置の処理能力を
高めることにある。
分周回路１３は、ガラス板のライン方向への移動距離に
対応したライン同期信号ＰＣを分周して、ＯＲユニット
１２に入力する。ＯＲユニット１２は、分周されたライ
ン同期信号ＰＧのタイミングで、ため込んだ欠点データ
を出力する。
対応したライン同期信号ＰＣを分周して、ＯＲユニット
１２に入力する。ＯＲユニット１２は、分周されたライ
ン同期信号ＰＧのタイミングで、ため込んだ欠点データ
を出力する。
Ｙ軸カウンタ１４は、分周回路１３からの分周されたラ
イン同期信号ＰＣをカウントし、欠点データ入力時に、
カウント値をＹ座標位置データとしてＦＩＦＯメモリ１
５に出力する。なお、Ｙ軸カウンタ１４のリセフトはソ
フト的に行われる。
イン同期信号ＰＣをカウントし、欠点データ入力時に、
カウント値をＹ座標位置データとしてＦＩＦＯメモリ１
５に出力する。なお、Ｙ軸カウンタ１４のリセフトはソ
フト的に行われる。
ＦＩＦＯメモリ１５は、Ｘ軸カウンタ１１からのＸ座標
位置データ、ＯＲユニット１２からの欠点データ、Ｙ軸
カウンタ１４からのＹ座標位置データを−時格納する。
位置データ、ＯＲユニット１２からの欠点データ、Ｙ軸
カウンタ１４からのＹ座標位置データを−時格納する。
そして、ＦＩＦＯメモリ１５から欠点データおよび欠点
位置データ（Ｘ、Ｙ）が、ダイレクトメモリアクセス（
ＤＭＡ）でＣＰＵ７のメモリに転送される。
位置データ（Ｘ、Ｙ）が、ダイレクトメモリアクセス（
ＤＭＡ）でＣＰＵ７のメモリに転送される。
第５図にＯＲユニット１２の一例を示す。このＯＲユニ
ット１２は、複数種類の欠点データＤ Ｉ Ｉ＋ Ｄ
Ｉ ２＋・・・、Ｄ、２にそれぞれ対応した、論理和
回路ＯＲｚ、ＯＲ＋ｚ、 ・・＋、０Ｒｓｚと、ラン
タムアクセスメモリＲＡＭｚ、ＲＡＭ＋ｚ、 ・・＋
、ＲＡＭ５！と、ゲート回路Ｇ＋＋、Ｇ＋□、・・・、
Ｇ、２とから構成されている。 ′ 第６図および第７図は、ＯＲユニット１２の動作の理解
を助けるための図であり、第６図はレーザスポットによ
る走査と、クロックＣＬＫおよび分周後のライン同期信
号ＰＧとの関係を示す模式図、第７図はＯＲユニットの
ＲＡＭへの欠点データＤ１１のため込み状態を示す図で
ある。これら図面を参照してＯＲユニット１２に一例と
して欠点データＤＩ＋がため込まれる動作について説明
する。分周後のライン同期信号ＰＣの間に、レーザスポ
ットによりＸ軸方向にガラス板がｎ回走査されるものと
する。また、ＯＲユニット１２の各ＲＡＭのアドレスは
１０００番地まであるものとする。各ＲＡＭのアドレス
は、クロックＣＬＫが何個口のクロックであるかに対応
している。
ット１２は、複数種類の欠点データＤ Ｉ Ｉ＋ Ｄ
Ｉ ２＋・・・、Ｄ、２にそれぞれ対応した、論理和
回路ＯＲｚ、ＯＲ＋ｚ、 ・・＋、０Ｒｓｚと、ラン
タムアクセスメモリＲＡＭｚ、ＲＡＭ＋ｚ、 ・・＋
、ＲＡＭ５！と、ゲート回路Ｇ＋＋、Ｇ＋□、・・・、
Ｇ、２とから構成されている。 ′ 第６図および第７図は、ＯＲユニット１２の動作の理解
を助けるための図であり、第６図はレーザスポットによ
る走査と、クロックＣＬＫおよび分周後のライン同期信
号ＰＧとの関係を示す模式図、第７図はＯＲユニットの
ＲＡＭへの欠点データＤ１１のため込み状態を示す図で
ある。これら図面を参照してＯＲユニット１２に一例と
して欠点データＤＩ＋がため込まれる動作について説明
する。分周後のライン同期信号ＰＣの間に、レーザスポ
ットによりＸ軸方向にガラス板がｎ回走査されるものと
する。また、ＯＲユニット１２の各ＲＡＭのアドレスは
１０００番地まであるものとする。各ＲＡＭのアドレス
は、クロックＣＬＫが何個口のクロックであるかに対応
している。
さて、第６図に示すようにガラス板３に欠点２５がある
場合、１回目の走査で欠点検出器５から入力される欠点
データＤＩｌがＲＡＭＩＩに書き込まれ、アクセス５０
２．５０３番地にビット″１”が立つ。２回目の走査で
入力された欠点データＤＩ＋は、ＲＡＭ、から読み出さ
れた欠点データと論理和回路０Ｒ１１においてＯＲがと
られた後、ＲＡ Ｍ ＋ ＋に再書き込みされ、・・・
第ｎ回目の走査で入力された欠点データＤ、は、ＲＡ
Ｍ ＋ ＋から読み出された欠点データと論理和回路Ｏ
Ｒ，、においてＯＲがとられた後、ＲＡＭ１ｌに再書き
込みされ、最終的にアドレス５０１番地から５０４番地
にビット“１”が格納される。このようにしてＲＡＭＩ
Ｉにため込まれた欠点データＤ、は、分周回路１３で分
周されたライン同期信号ＰＧのタイミングでゲート回路
Ｇ。
場合、１回目の走査で欠点検出器５から入力される欠点
データＤＩｌがＲＡＭＩＩに書き込まれ、アクセス５０
２．５０３番地にビット″１”が立つ。２回目の走査で
入力された欠点データＤＩ＋は、ＲＡＭ、から読み出さ
れた欠点データと論理和回路０Ｒ１１においてＯＲがと
られた後、ＲＡ Ｍ ＋ ＋に再書き込みされ、・・・
第ｎ回目の走査で入力された欠点データＤ、は、ＲＡ
Ｍ ＋ ＋から読み出された欠点データと論理和回路Ｏ
Ｒ，、においてＯＲがとられた後、ＲＡＭ１ｌに再書き
込みされ、最終的にアドレス５０１番地から５０４番地
にビット“１”が格納される。このようにしてＲＡＭＩ
Ｉにため込まれた欠点データＤ、は、分周回路１３で分
周されたライン同期信号ＰＧのタイミングでゲート回路
Ｇ。
を経てＦＩＦＯメモリ１５に出力される。
以上のような構成の欠点データ取込み回路では、欠点検
出器５から送られてくる欠点データはすべて取込むので
、例えば欠点検出器５の光学系に塵などが付着していて
、常に一定のアドレスに欠点データが出力されるような
場合、このような不所望な欠点データまでも取り込んで
しまうという問題がある。
出器５から送られてくる欠点データはすべて取込むので
、例えば欠点検出器５の光学系に塵などが付着していて
、常に一定のアドレスに欠点データが出力されるような
場合、このような不所望な欠点データまでも取り込んで
しまうという問題がある。
本発明の目的は、不所望な欠点データを１ビット単位で
サプレスする機能を備えた欠点データ取込み回路を提供
することにある。
サプレスする機能を備えた欠点データ取込み回路を提供
することにある。
本発明は、長さ方向に走行する透明板を幅方向に光スポ
ットで走査し、透過光、透過散乱光２反射光２反射散乱
光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づいて
欠点の種類、大きさ１位置等を検出する識別型欠点検出
装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列を
計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力す
る第１のカウンタと、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第２のカウンタと、マスクデータが走査ごとに交互
に書き込まれ、走査ごとに交互に読み出される２個のメ
モリと、これらメモリから読み出されたマスクデータと
取込まれた１走査分の欠点データとの論理積をとるＡＮ
Ｄ回路と、 このＡＮＤ回路から出力される複数走査分の欠点データ
をため込みＯＲ処理し、前記第２のパルス列のパルス発
生タイミングで、処理された欠点データを出力するＯＲ
ユニットとを備えたことを特徴としている。
ットで走査し、透過光、透過散乱光２反射光２反射散乱
光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づいて
欠点の種類、大きさ１位置等を検出する識別型欠点検出
装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列を
計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力す
る第１のカウンタと、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第２のカウンタと、マスクデータが走査ごとに交互
に書き込まれ、走査ごとに交互に読み出される２個のメ
モリと、これらメモリから読み出されたマスクデータと
取込まれた１走査分の欠点データとの論理積をとるＡＮ
Ｄ回路と、 このＡＮＤ回路から出力される複数走査分の欠点データ
をため込みＯＲ処理し、前記第２のパルス列のパルス発
生タイミングで、処理された欠点データを出力するＯＲ
ユニットとを備えたことを特徴としている。
以下、本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
なお、欠点データは、第３図に示した欠点検出器５から
入力されるものとする。この欠点データ取込み回路３０
は、第４図に示した欠点デ−夕取込み回路において、Ｏ
Ｒユニット１２の前段に、書込み・読出し可能な第１の
メモリ３１および第２のメモリ３２と、これらメモリに
書き込まれたマスクデータの読出しを切り換える切換え
スイッチ３３と、マスクデータと欠点データとのＡＮＤ
をとるＡＮＤ回路３４とを付加したものである。第１の
メモリ３１および第２のメモリ３２は共にソフト的にマ
スクデータを書き込むことができ、一方のメモリにマス
クデータが書き込まれているときには、他方のメモリか
らはマスクデータが読み出される。
入力されるものとする。この欠点データ取込み回路３０
は、第４図に示した欠点デ−夕取込み回路において、Ｏ
Ｒユニット１２の前段に、書込み・読出し可能な第１の
メモリ３１および第２のメモリ３２と、これらメモリに
書き込まれたマスクデータの読出しを切り換える切換え
スイッチ３３と、マスクデータと欠点データとのＡＮＤ
をとるＡＮＤ回路３４とを付加したものである。第１の
メモリ３１および第２のメモリ３２は共にソフト的にマ
スクデータを書き込むことができ、一方のメモリにマス
クデータが書き込まれているときには、他方のメモリか
らはマスクデータが読み出される。
これらメモリ３Ｌ３２ 、切換えスイッチ３３およびＡ
ＮＤ回路３４によるサプレス機能を、第２図を参照しな
がら説明する。なお、第２図はレーザスポットがガラス
板を１走査したときに欠点検出器５から出力される欠点
データＤ＋＋（アドレス１〜１０００番地）と、このと
きメモリから読み出されるマスクデータとを示す図であ
る。
ＮＤ回路３４によるサプレス機能を、第２図を参照しな
がら説明する。なお、第２図はレーザスポットがガラス
板を１走査したときに欠点検出器５から出力される欠点
データＤ＋＋（アドレス１〜１０００番地）と、このと
きメモリから読み出されるマスクデータとを示す図であ
る。
さて、欠点Ｄ１１には、前述したように欠点検出器５の
光学系に付着した塵等が原因となって、アドレス５００
番地に常にビット“１”が立つものとする。このビット
“１”はガラス板の欠点に起因するものではないから欠
点データとして取り込むべきではない。
光学系に付着した塵等が原因となって、アドレス５００
番地に常にビット“１”が立つものとする。このビット
“１”はガラス板の欠点に起因するものではないから欠
点データとして取り込むべきではない。
そこで、このような５００番地のビット“１”をサプレ
スするために、第１のメモリ３１にソフト的に第２図に
示すようなマスクデータを書き込む。
スするために、第１のメモリ３１にソフト的に第２図に
示すようなマスクデータを書き込む。
すなわち、アドレス１番地−４９９番地に“ｌ”ビット
、５００番地に“０”ビット、５０１番地〜１０００番
地に“１”を有するビット列よりなるマスクデータを第
１のメモリ３１に書き込む。ビームスポットによる走査
が終り、次の走査が開始するまでの間に切換えスイッチ
３３を端子ａと端子Ｃが接続されるように切り換える。
、５００番地に“０”ビット、５０１番地〜１０００番
地に“１”を有するビット列よりなるマスクデータを第
１のメモリ３１に書き込む。ビームスポットによる走査
が終り、次の走査が開始するまでの間に切換えスイッチ
３３を端子ａと端子Ｃが接続されるように切り換える。
そして走査が開始されると第１のメモリ３１に書き込ま
れているマスクデータを読出し、ＡＮＤ回路３４に送る
。一方、ＡＮＤ回路３４には欠点検出器５から１走査分
の欠点データＤ、が入力され、ＡＮＤ回路３４では、マ
スクデータと欠点データとのアドレス対応のＡＮＤをと
り、第２図に示すようなＡＮＤ出力を出す。アドレス５
００番地では、マスクデータのビットが“０″であるの
で、アドレス５００番地の出力ビットは０″となる。す
なわち、欠点データの５００番地のビット″１”はサプ
レスされ、ＯＲユニット１２には入力されない。
れているマスクデータを読出し、ＡＮＤ回路３４に送る
。一方、ＡＮＤ回路３４には欠点検出器５から１走査分
の欠点データＤ、が入力され、ＡＮＤ回路３４では、マ
スクデータと欠点データとのアドレス対応のＡＮＤをと
り、第２図に示すようなＡＮＤ出力を出す。アドレス５
００番地では、マスクデータのビットが“０″であるの
で、アドレス５００番地の出力ビットは０″となる。す
なわち、欠点データの５００番地のビット″１”はサプ
レスされ、ＯＲユニット１２には入力されない。
第１のメモリ３１が読み出されている間に、第２のメモ
リ３２には第２図のマスクデータが書き込まれており、
前の走査が終わると切換えスイッチ３３は第２のメモリ
３２側に切り換わる。そして、次の走査において、第２
のメモリから読み出されたマスクデータにより、ＡＮＤ
回路において欠点データの５００番地のビット″１”が
サプレスされる。
リ３２には第２図のマスクデータが書き込まれており、
前の走査が終わると切換えスイッチ３３は第２のメモリ
３２側に切り換わる。そして、次の走査において、第２
のメモリから読み出されたマスクデータにより、ＡＮＤ
回路において欠点データの５００番地のビット″１”が
サプレスされる。
以上のようにして、不所望なビットの取込みを排除する
ことができる。
ことができる。
以上の実施例では、１ビツトのみをサプレスする側につ
いて説明したが、連続する複数ビットをサプレスするこ
ともできることは以上の説明より明らかであろう。また
、他の種類の欠点データに対しても、同様にサプレスす
ることが可能である。
いて説明したが、連続する複数ビットをサプレスするこ
ともできることは以上の説明より明らかであろう。また
、他の種類の欠点データに対しても、同様にサプレスす
ることが可能である。
以上説明したように本発明の欠点データ取込み回路によ
れば、欠点が原因でない不所望な欠点データをビット単
位でサプレスすることができるので、正確な欠点情報を
得ることが可能となる。
れば、欠点が原因でない不所望な欠点データをビット単
位でサプレスすることができるので、正確な欠点情報を
得ることが可能となる。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は、第１図の実施例におけるサプレスの動作を説明する
ための図、 第３図は、識別型欠点検出装置の概略を示すブロック図
、 第４図は、既提案の欠点データ取込み回路を示すブロッ
ク図、 第５図は、第４図のＯＲユニットの一例を示すブロック
図、 第６図および第７図は、ＯＲユニットの動作を説明する
ための図である。 １・・・・・・レーザ光源 ２・・・・・・多角形回転ミラー ３・・・・・・ガラス板 ４・・・・・・信号処理回路 ５・・・・・・欠点検出器 ６、１０．３０・・欠点データ取込み回路７・・・・・
、ＣＰＵ １１・・・・・・Ｘ軸カウンタ １２・・・・・・ＯＲユニット １３・・・・・・分周回路 １４・・・・・・Ｙ軸カウンタ １５・・・・・・ＦＩＦＯメモリ ３１・・・・・・第１のメモリ ３２・・・・・・第２のメモリ ３３・・・・・・切換えスイッチ ３４・・・・・・ＡＮｔ）回路
は、第１図の実施例におけるサプレスの動作を説明する
ための図、 第３図は、識別型欠点検出装置の概略を示すブロック図
、 第４図は、既提案の欠点データ取込み回路を示すブロッ
ク図、 第５図は、第４図のＯＲユニットの一例を示すブロック
図、 第６図および第７図は、ＯＲユニットの動作を説明する
ための図である。 １・・・・・・レーザ光源 ２・・・・・・多角形回転ミラー ３・・・・・・ガラス板 ４・・・・・・信号処理回路 ５・・・・・・欠点検出器 ６、１０．３０・・欠点データ取込み回路７・・・・・
、ＣＰＵ １１・・・・・・Ｘ軸カウンタ １２・・・・・・ＯＲユニット １３・・・・・・分周回路 １４・・・・・・Ｙ軸カウンタ １５・・・・・・ＦＩＦＯメモリ ３１・・・・・・第１のメモリ ３２・・・・・・第２のメモリ ３３・・・・・・切換えスイッチ ３４・・・・・・ＡＮｔ）回路
Claims (1)
- （１）長さ方向に走行する透明板を幅方向に光スポット
で走査し、透過光、透過散乱光、反射光、反射散乱光の
うちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づいて欠点
の種類、大きさ、位置等を検出する識別型欠点検出装置
の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列を
計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力す
る第１のカウンタと、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第２のカウンタと、 マスクデータが走査ごとに交互に書き込まれ、走査ごと
に交互に読み出される２個のメモリと、これらメモリか
ら読み出されたマスクデータと取込まれた１走査分の欠
点データとの論理積をとるＡＮＤ回路と、 このＡＮＤ回路から出力される複数走査分の欠点データ
をため込みＯＲ処理し、前記第２のパルス列のパルス発
生タイミングで、処理された欠点データを出力するＯＲ
ユニットとを備えたことを特徴とする欠点データ取込み
回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13152587A JPH087163B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13152587A JPH087163B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298039A true JPS63298039A (ja) | 1988-12-05 |
| JPH087163B2 JPH087163B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=15060100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13152587A Expired - Lifetime JPH087163B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087163B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104007116A (zh) * | 2013-02-21 | 2014-08-27 | 欧姆龙株式会社 | 缺陷检查装置及缺陷检查方法 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13152587A patent/JPH087163B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104007116A (zh) * | 2013-02-21 | 2014-08-27 | 欧姆龙株式会社 | 缺陷检查装置及缺陷检查方法 |
| JP2014163694A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Omron Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
| CN104007116B (zh) * | 2013-02-21 | 2017-08-08 | 欧姆龙株式会社 | 缺陷检查装置及缺陷检查方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH087163B2 (ja) | 1996-01-29 |
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