JP2725674B2 - 欠陥判定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は、プリント基板等の検査対象物の欠陥を画像
データ処理によって判定する欠陥判定装置に関し、 画像データ処理時のノイズ等によって生じた見かけ上
の欠陥を排除することを目的とし、 複数の画素からなるセルを単位として構成される画像
データの欠陥を判定する際、１個のセルに含まれる画素
の各々について欠陥の有無を記憶するレジスタ回路と、
該レジスタ回路に記憶された欠陥画素数をカウントする
カウンタと、該カウンタから出力された欠陥画素数を予
め定めた比較基準値と比較する比較器を備え、入力され
た画像データの欠陥を該比較器の出力に基づいて各セル
ごとに判定するように構成する。 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プリント基板等の検査対象物の欠陥を画像
データ処理によって判定する欠陥判定装置に関する。 〔従来の技術〕 第３図は従来の画像データの処理方法を示し、同図
（ａ）は単位セルの画素構成図である。 同図（ａ）において、入力画像の分解能を決める画素
10は、例えば５×５のマトリックスに配列されて単位セ
ル20が形成され、二次元面における画像データの処理単
位とされる。 同図（ｂ）において、レジスタ回路30は、画素10に対
応して設けられた図示しない例えばCCD（Charge Couple
d Devices）素子を集積した光センサ素子よりのアナロ
グ量を変換したデジタル化画素出力を取り込み、対応す
るメモリ番地に記録せしめたデジタル画像情報の処理単
位となる回路である。 レジスタ回路30に記録された全画素情報は、走査手段
により、逐次、OR回路31から取り出され、また取り出さ
れた画素情報はフリップフロップFF32に入力される。更
に、FF32へ入力された画素情報は上位装置CPUに送られ
て該セル20の画素欠陥情報が表示されるようになってい
る。 レジスタ回路30の画素情報は、無欠陥であれば“0"、
欠陥であれば“1"と表示される。 図中、クロックCLKCはレジスタ回路30の一走査完了
毎、該FF32をクリアーする信号である。 第４図（ａ）は複数並置されたレジスタ回路35,36,37
における各画素の欠陥情報の有無とその位置を示すセル
マップである。 第４図（ｂ）は、レジスタ回路35,36,37のセル走査に
よって得られた各単位セル内での欠陥の有無表示がされ
るようにした欠陥表示セルである。 〔発明が解決しようとする問題点〕 然しながら、かかる画像データ処理による配線パター
ン断線等の欠陥検出内容についてみると、アルゴリズム
上では欠陥とされているにもかかわらず、実際には欠陥
でないと云う過剰欠陥が表示されることである。 例えば、第４図（ａ）と同図（ｂ）を比較参照すれ
ば、単位セルの画素情報を記録するレジスタ回路35では
画素欠陥が密集しており、これを実基板上の配線パター
ンに対し検証してみると欠陥が認められるが、隣接する
レジスタ回路36においては、実基板上の欠陥が認められ
ないに拘わらず、孤立する状態に在る画素欠陥のため欠
陥表示セルとして表示されていることである。 これは多分に、単位セル36を構成する光センサ素子よ
りの出力変換（デジタル変換）時におけるノイズによる
ものと考えられるも、結果的には、欠陥表示となって甚
だ不都合である。 〔問題点を解決するための手段〕 上記課題の解決は、複数の画素からなるセルを単位と
して構成される画像データの欠陥を判定する欠陥判定装
置において、１つのセルに含まれる画素の各々について
欠陥の有無を記憶するレジスタ回路と、該レジスタ回路
に記憶された欠陥画素数をカウントするカウンタと、該
カウンタから出力された欠陥画素数を予め定めた比較基
準値と比較する比較器を備え、入力された画像データの
欠陥を該比較器の出力に基づいて各セルごとに判定する
ことを特徴とする欠陥判定装置によって解決される。 〔作用〕 プリント基板上の欠けや断線等によって生じた欠陥
は、通常、１画素分の面積よりかなり広い範囲に及ぶ場
合が多い。従って、実際に欠陥の生じているプリント基
板に対して画像データ処理を行うと、多数の欠陥画素が
固まって存在する状態が観測されることになる。それに
対して、画像データ処理時のノイズ等によって生じた見
かけ上の欠陥は少数の欠陥画素が孤立して存在する状態
として観測される場合が多い。 本発明では、レジスタ回路に１つのセルに含まれる画
素の各々について欠陥の有無を記憶させ、このレジスタ
回路に記憶された欠陥画素数をカウンタでカウントし、
このカウンタから出力された欠陥画素数を予め定めた比
較基準値と比較器において比較し、入力された画像デー
タの欠陥をこの比較器の出力に基づいて各セルごとに判
定するようにしている。従って、比較基準値に適当な値
を設定すれば、この比較基準値より少ない数の欠陥画素
があった場合にこれを欠陥と見なさないようにすること
ができる。そのため、孤立状態で存在する少数の欠陥画
素を含むセルを誤って欠陥セルとして判定することがな
くなり、ノイズ等に影響されない信頼性の高い欠陥判定
が可能となる。 〔実施例〕 第１図は本発明の実施例を示すブロック図である。 従来の画像データ処理方法で説明した第３図（ａ）に
示される画像データ処理の最小分解能を定める画素10に
対して、該画素をある数単位にまとめて単位マトリック
スセル20が形成された単位レジスタ回路30において、 該単位レジスタ回路30の各メモリ番地に書込みされた
画素情報の走査に当たり、まずカウンタ22内データをク
リア信号CLKCによりクリアしておき、単位セルの画素情
報走査完了毎、カウンタ22内の欠陥画素数を比較器CMP2
3の端子Ａ側に入力する。比較器CMP23は端子Ｂ側に入力
セットされた基準数２と前記入力された欠陥画素数を比
較するが、このとき、欠陥画素の入力が０または１であ
れば、該比較器23はローレベル信号の出力となり、単位
レジスタ回路30の画素データはANDゲート素子24によっ
て阻止（無効）される。と同時にフリップフロップ25よ
りは欠陥無しの信号“0"が出力される。 又、単位セルの全画素情報走査完了時、比較器23の入
力端子Ａ側に入力されたカウンタ22内欠陥画素の入力数
が２以上であれば、該比較器CMP23の出力信号はハイレ
ベルとなり単位レジスタ回路30の画素データは、ANDゲ
ート素子24を介してフリップフロップ25に出力される。
該フリップフロップ25からは欠陥画素位置情報がＸアド
レスとＹアドレスに分離されて出力されるようになって
いる。 このようなカウンタ22、比較器23、及びレジスタ回路
30を備えた回路を設けることにより、単位セルの画素情
報として取り出された孤立状態の欠陥に対しては無欠陥
として弁別させることが出来る。 第２図（ａ）は第１図実施例回路の効果を説明する欠
陥画素分布マップ例を示す。同図（ｂ）は欠陥表示セル
（ｂ）の状態図である。 尚、図中、メモリマップ中における空白番地は欠陥無
しのFF出力信号“0"の状態を示す。 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、プリント基板の
外観検査等に際して、従来、欠陥情報の誤認が多く入力
画像データ処理の信頼性の点で問題があったが、これが
改善されることになり検査効率が顕著に向上する。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の過剰検出抑止回路実施例図、 第２図は本発明回路実施例による欠陥画素分布図（ａ）
とこれに対応する欠陥表示セル図（ｂ）、 第３図は従来の画像データ処理方法説明図、 同図（ａ）は画素と単位セルの構成図、 同図（ｂ）は画像データ入力回路図、 第４図（ａ）は複数セルの欠陥画素分布状態図、 同図（ｂ）は（ａ）図の欠陥表示セル、 図中、10は画素、20は単位セル、 22はカウンタCNT、23は比較器CMP、 24はANDゲート素子、 25と32はフリップフロップFF、 30はレジスタ回路、31はOR回路、 及び35,36,37は単位セル内欠陥画素分布例とそのセル表
示である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠原 勝男 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通オートメーション株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−131391（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 １．複数の画素からなるセルを単位として構成される画
   像データの欠陥を判定する欠陥判定装置において、 １つのセルに含まれる画素の各々について欠陥の有無を
   記憶するレジスタ回路と、 該レジスタ回路に記憶された欠陥画素数をカウントする
   カウンタと、 該カウンタから出力された欠陥画素数を予め定めた比較
   基準値と比較する比較器を備え、 入力された画像データの欠陥を該比較器の出力に基づい
   て各セルごとに判定することを特徴とする欠陥判定装
   置。