JPH039417B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザー光回折パターン空間周波数
フイルタリング方式を用いて単位開口の規則性パ
ターン中の形状欠陥を検出する装置において、形
状欠陥を縁部と区別して検出する規則性パターン
の欠陥検査装置に関する。

メタルメツシユ等の単位開口の規則性配列パタ
ーンからなる工業製品は、一般に縁部は縁線によ
つて開口が途中から切られているため不規則な形
状の単位開口でつながつている。したがつて、レ
ーザー光回折パターン空間周波数フイルタリング
方式を用いた場合は、縁部はすべて欠陥形状とし
て検出されるため、通常の欠陥と区別しなければ
ならない。

ここにおいて、本発明は、それらの通常の欠陥
と縁部とを識別する装置を提供することを、その
目的とする。

先ず、レーザ光回折パターン空間周波数フイル
タリング方式の基本構成を第１図により説明す
る。

レーザ発振器１を出たレーザビーム２は、コリ
メータ３によつて拡大された平行光４となつて被
検査物５に照射される。被検査物５はフーリエ変
換レンズ７の前焦点面に置かれてあり、後焦点面
上には被検査物５を通過する時に回折した光６に
よつて、被検査物５のフーリエ変換スペクトルが
現われる。しかして、フーリエ変換レンズ７の後
焦点面には、被検査物５の正常パターン（フーリ
エ変換レンズ７による）のフーリエ変換スペクト
ル強度分布を記録したネガ写真フイルム、つまり
空間周波数フイルタ８が置かれており、被検査物
５のフーリエ変換スペクトルのうち、正常パター
ンに相当するスペクトルのみが空間周波数フイル
タ８によつて吸収され、欠陥パターンに相当する
スペクトルは透過する。

ところで、この空間周波数フイルタは逆フーリ
エ変換レンズ１０の前焦点面上に設けられている
ため、空間周波数フイルタ８を透過した光９は逆
フーリエ変換レンズ１０によつて逆フーリエ変換
され、逆フーリエ変換レンズの後焦点面（逆フー
リエ変換面）上に置かれたスクリーン１１に、空
間フイルタリングされた逆フーリエ変換像、すな
わち被検査物５の欠陥部分だけの像となつて現わ
れる。以上が空間フイルタリング方式の基本構成
である。

一方、第２図は矩形状の単位開口規則的配列で
成るパターンの一例を示すものであり、かかるパ
ターンの欠陥はその大きさが予め決められた一定
値以上のものと定義される。しかして、第１図で
述べた空間フイルタリング方式を利用した欠陥検
査装置では、第３図Ａ〜Ｄの欠陥部分Ｄ１〜Ｄ４
だけが、その欠陥面積に対応した明るさの点とな
つて再回折像面上に現われる。なお、第３図Ｅは
正常なパターンを示している。

逆フーリエ変換面に現われる被検査パターン５
の逆像の欠陥部分だけの像は、第４図に示すよう
に、フオトデイテクタアレイ１１によつて検出さ
れる。つまり欠陥部分１５だけ明るい点となつて
現われ、フオトデイテクタアレイ１１によつて検
出される。

ここにおいて、被検査パターン５を平行光４内
で光軸１２に直角に平行移動してもフーリエ変換
の移行則により、フーリエ変換レンズ７の後焦点
面上に現われるフーリエ変換パターンに変化はな
い。したがつて、被検査パターン５を平行移動し
ても同様に、被検査パターン５のフーリエ変換ス
ペクトルのうち正常パターンに相当するスペクト
ルのみが空間周波数フイルタ８によつて吸収さ
れ、欠陥パターンに相当するスペクトルは透過す
る。かくして、被検査パターン５の平行移動によ
り逆フーリエ変換像は光軸対像の逆方向に移動、
つまり被検査パターン５の逆像部分だけの像が、
光軸１２を挾んで被検査パターン５の移動方向と
反対の方向に逆フーリエ変換面上を移動する。

第１図において、被検査パターン５の移動方向
を紙面に直角な方向とし、逆フーリエ変換面上の
フオトデイテクタアレイ１１の配列方向を紙面に
平行な方向とすれば、逆フーリエ変換面上を移動
する欠陥像はフオトデイテクタアレイ１１を直角
に横切ることになり、欠陥像の出力信号として検
出される。

また、被検査パターン５の移動に伴ない、その
移動距離に関する情報を出力する装置を本欠陥検
査装置に設置することにより、被検査パターン中
において検出された欠陥の位置を知ることができ
る。例を挙げて説明すると、今、被検査パターン
の移動方向に直角な方向をＸ方向、平行な方向を
Ｙ方向とすれば、Ｘ方向の欠陥位置成分は、規則
性パターンのピツチ送り毎にフオトデイテクタア
レイ１１の長さ分だけ加算する回路をカウンタ及
び加算器等で構成し、フオトデイテクタアレイ１
１の代表値を出力しておけば、逆フーリエ変換面
上において欠陥像が横切る単位フオトデイテクタ
のフオトデイテクタアレイ方向の位置によつて検
出でき、Ｙ方向のそれは、被検査パターンの固定
台及び本体に位置スケール、さらに高精度が要求
される場合には回折格子のモアレ縞を利用した位
置変位検査装置等を設ける、あるいは被検査パタ
ーンを移動させるためのモータ等の駆動軸部分に
ロータリエンコーダを設ける、等の手段によつて
検出可能である。これら以外にも、Ｙ方向の欠陥
位置成分は、被検査パターンが等速移動するため
移動開始時を起点として時間を計数することによ
つても求めることができる。

フオトデイテクタアレイ１１は矩形開口を持つ
複数の単位フオトデイテクタ１３の配列で構成さ
れ、被検査パターンの移動により得られる出力信
号は欠陥の最大許容面積に相当したスレツシヨン
ドレベルを持つ２値化回路により２値化され、こ
れにより欠陥検出が行なわれる。

以上の如くして、被検査パターンにおける欠陥
部分に対応する信号が得られる。

ところが、上記のような信号には、第５図に示
す規則性パターン５０の外に縁肉部１６における
縦方向縁部５Ｙと、横方向縁部５Ｘが通常欠陥と
混在するので、本発明はこれを識別しようとする
ものである。

一般に、メタルメツシユ等の単位開口の規則性
配列パターンからなる工業製品の縁部は、縁線に
よつて開口が途中から切られるために不規則な形
状の単位開口がつながつている。第５図に示すよ
うにこれらの不規則な単位開口を縦方向縁部５Ｙ
と横方向縁部５Ｘと呼ぶ。従つて空間フイルタ法
を用いた場合、縦方向縁部５Ｙと横方向縁部５Ｘ
は全て形状欠陥として検出されるため、通常の欠
陥と区別しなければならない。

第６図は、本発明で適用される欠陥検査装置を
フオトデイテクタアレイ１１側から見た平面図で
ある。説明をわかりやすくするためにフーリエ変
換レンズと空間周波数フイルタは省略してある。

フオトデイテクタアレイ１１は固定され、パタ
ーン５０を移動させるパターン移動装置６２は、
駆動装置６１によりＹ軸方向、Ｘ軸方向に移動さ
れ、それぞれのＹ位置、Ｘ位置は、Ｙ位置信号発
生装置６３、Ｘ位置信号発生装置６４により求め
られる。

そしてパターン移動装置６２は第７図に示すよ
うに、７０から７１まで等速移動してＹ軸を移動
させ、７１から７２までフオトデイテクタアレイ
１１の伸長方向の長さだけＸ軸を移動（ピツチ送
り）させ、７２から７３はＹ軸を逆に等速移動し
て、これを繰返し、パターン５０の全面をカバー
する。

ここで縦方向縁部５Ｙと横方向縁部５Ｘは連続
した形状欠陥として検出されるため、連続した形
状欠陥をすべて縦方向縁部５Ｙと横方向縁部５Ｘ
として判別して、通常欠陥と識別するようにした
場合、第６図に表すように領域指定線５XX及び
５YYで囲んである単位開口の存在する領域で検
出される連続した形状欠陥も見かけ上、縦方向縁
部５Ｙと横方向縁部５Ｘによる連続した形状欠陥
として判別され、見落とすという難点が存在して
いた。

本発明によれば、縦方向縁部５Ｙと横方向縁部
５Ｘによる連続した形状欠陥と、領域指定線５
XX及び５YYで囲んである単位開口の存在する
領域で検出される連続した形状欠陥とを判別する
ため領域指定線内の連続欠陥を見落とすことなく
検出することができる。

では、本発明をその実施例について述べる。

第８図は本発明の一実施例の信号全体を示すブ
ロツク図である。フオトデイテクタアレイ１１に
入射した形状欠陥部光２０は電気信号に変換さ
れ、マルチ検出回路２１によつて並列検出され、
形状欠陥の有無を示す２値化信号となつて出力さ
れる。この２値化信号は、Ｘ方向縁部判別回路４
１及びＹ方向縁部判別回路４２を通り、規則性パ
ターンの縁部による欠陥信号が除外される。

この縁部判別回路４１及び４２は、Ｘ位置信号
発生装置６４からの位置の情報を受けてＸ方向の
領域指定信号を発生するＸ方向領域指定信号発生
回路４５と、同じくＹ位置信号発生装置６３に接
続されたＹ方向領域指定信号発生回路４４からの
信号によつて、領域指定線５XX，５YY内では
機能しないようになつている。

本発明による欠陥検査装置では、この方法によ
つて、従来、縁部欠陥として見落とされていた通
常欠陥を正しく検出できるようになつた。さら
に、以下に説明する手段によつて、従来装置が除
外できなかつた走行境界線にまたがつたＸ方向縁
部による欠陥も除外することができ、完全な縁部
判別を行なうことができる。

Ｙ方向縁部判別回路４２を通過した欠陥情報を
含む２値化信号は記憶装置２２に対する入力デー
タとしてデータ信号線へ接続されると同時に、書
き込み信号発生回路２３へも接続される。書き込
み信号発生回路２３は、この欠陥情報を持つ複数
の信号線のうち、少なくとも１つの信号線に欠陥
が検出されたことを示す信号が存在すれば、記憶
装置２２に対してデータ書き込みを発するように
なつている。記憶装置２２は、書き込み信号発生
回路２３からの書き込み信号を受けると、その瞬
間の欠陥情報をすべて自装置内に格納する。その
際の格納場所を指示するアドレス信号は、パター
ン移動装置６２に設けられたＹ位置信号発生装置
６３及びＸ位置信号発生装置６４からの情報を基
に作り出される。

以上の動作が規則性パターンの全移動過程に渡
つて行なわれ、その結果、記憶装置２２内には、
規則性パターン全面の欠陥情報が格納される。つ
まり、パターン上の欠陥が“１”、“０”の信号に
置き換えられた状態で記憶装置２２内に写像され
たことになる。

さらに、記憶装置２２は制御装置２４に接続さ
れており、制御装置２４は、上記の方法で記憶装
置２２に格納された欠陥情報を読み出し、それら
のＸ方向の連続性を判断することにより、Ｘ方向
縁部判別回路４１で判別できなかつた走査境界線
をまたぐＸ方向縁部を判別し、縁部以外の欠陥を
抽出する。この動作が完了すると、制御装置２４
はパターン移動装置６２に対して、次の規則性パ
ターンの検査準備完了を示す信号を出力し、抽出
した真の欠陥情報を外部出力装置２５へ出力す
る。

この外部出力装置２５への出力と、規則性パタ
ーンの移動による欠陥情報の記憶装置２２への格
納は、並列に行なわれる。

以上が本発明による装置の信号系の流れ及び動
作の概要であるが、本発明によれば、従来、回路
構成のみによつて縁部判別を行なつていた欠陥検
査装置では判別できなかつた、フオトデイテクタ
アレイの走査領域の境界線の前後のＸ方向縁部ま
でも判別でき、さらに、縁部欠陥として見落とさ
れていた指定領域内の連続欠陥も正確に検出する
ことができる。また、縁部判別回路を持たずに、
プログラム制御による制御装置のみによつて縁部
判別を行なつていた欠陥検査装置が縁部判別処理
において長時間を要していたのに対し、本発明に
よる装置はその処理時間が極めて短かく、非常に
効率的に規則性パターンの形状欠陥検査を行なう
ことができる。

以下に、第８図の各部についてさらに詳しく説
明する。

第９図は、第８図におけるフオトデイテクタア
レイ１１、マルチ検出回路２１のブロツク図であ
る。フオトデイテクタアレイ１１に入射する形状
欠陥部光２０は、各々増幅器２６によつて増幅さ
れ、２値化回路２７によつて欠陥の有無わ表わす
２値の信号に変換された後、この信号はサンプリ
ング回路２８においてクロツクパルスCK２によ
つてサンプルされ、第１７図に示す信号DS１と
なる。尚、第１７図では、一例として、１回目の
フオトデイテクタアレイ走査をSC１、１回のピ
ツチ送りの後の２回目の走査をSC２として示し
てある。

信号DS１は次に第１０図のＸ方向縁部判別回
路４１へ入力される。本実施例では、Ｘ方向、Ｙ
方向共に連続３個以上欠陥が検出された場合に、
それらを縁部として判別する回路を示してある。
第１７図は走査SC１における縁部による欠陥Ａ
１〜Ａ３がマルチ検出回路２１の出力として立ち
上つた状態を表し、これらが次段のＸ方向縁部判
別回路４１に入力して瞬間に強制的に削除され第
１８図で示すＢ１〜Ｂ３となる。ここで、このＸ
方向縁部判別回路４１は、第１２図ｂに示すＹ方
向領域指定信号発生回路４４からの信号AG１に
よつて、領域指定線５YYの内部にフオトデイテ
クタアレイ１１が存在する間はブロツクされ機能
しないつまり欠陥信号としてそのまま通過してし
まうようになつている。また、第１７図に発生し
た縁部による欠陥Ａ４〜Ａ７は、欠陥Ａ４及びＡ
５，Ａ６及びＡ７が別々に検出され、連続３個以
上の縁部条件を満たさないため、第１０図に示す
Ｘ方向縁部判別回路４１では除外されない。

Ｘ方向縁部による連続３個以上の形状欠陥がＸ
方向縁部判別回路４１で除去された信号DS２
（ただし、縁部ではない領域指定線内の欠陥信号
は含む）は、第１１図に示すＹ方向縁部判別回路
４２へ入力される。本回路の各部の動作を第１９
図に示す。詳しい説明は省略するが、第１９図は
第１８図の走査SC１中の信号DS２（２）を例に
とつて示したものであり、図中に示すように、入
力信号中のＹ方向縁部の欠陥は出力DS３（２）
には現われず、縁部以外の欠陥Ｃ２はそのまゝ通
過し、信号Ｃ２′として検出される。本回路にお
いても、第１０図のＸ方向縁部判別回路４１と同
様に、第１２図ａのＸ方向領域指定信号発生回路
４５からの信号AG２(i)によつて、領域指定線５
XXの間では、ブロツクされるようになつてい
る。第８図に示すＹ方向縁部判別回路４２は、本
回路がフオトデイテクタアレイを構成する単位フ
オトデイテクタの個数分だけ並列に設けられてい
る。

Ｙ方向縁部判別回路４２の出力DS３は、記憶
装置２２へ接続されると共に、第１３図に示す書
き込み信号発生回路２３へ送られる。DS３は並
列にゲート２９に接続され、DS３中に１つでも
欠陥が検出されると、ゲート３０を開くための信
号WCTがゲート２９から出力される。ゲート３
０が開いている間、クロツクパルスCK２に同期
したパルスCK１が通過し、通過後の信号WRは
後に説明する記憶装置２２への書き込みパルスと
して用いられる。第２０図は、第１３図の動作を
示したタイミングチヤートであり、Ｃ２′，Ａ
４′，Ａ５′等の欠陥が検出された時に限り書き込
み信号WRが発生している。

第１４図は、第８図における記憶装置２２と制
御装置２４を中心としたブロツク図である。ま
ず、第１３図で説明した欠陥信号DS３と書き込
み信号WRの働きを説明する。DS３に含まれる
欠陥情報は書き込み信号WRによつてメモリのの
第１の領域に書き込まれるが、この時ののアドレ
ス信号Ｄ−ADRはパルスCK２に同期してアドレ
ス発生回路３１から供給される。アドレス発生回
路３１は、Ｘ位置信号発生装置６４及びＹ位置信
号発生装置６３から送られてくるフオトデイテク
タアレイ１１に対応する規則性パターン５０上の
位置信号から、この位置に対応するメモリ（第１
の領域）空間内のアドレスを発生する。第１５図
は説明を容易にするために第１の領域の内部を仮
想的に表現したものである。第２０図に示したご
とく、アドレス信号Ｄ−ADRはパルスCK２に同
期して発生され、DS３内のいずれかに欠陥が検
出されている時点（Ｋ＋４、Ｋ＋13、Ｋ＋14、Ｋ
＋15）にのみ、第１の領域にDS３が書き込まれ
る。このとき、（Ｋ＋４、Ｋ＋13）等は、第１の
領域内のアドレスを示しており、第１５図のよう
に欠陥情報が規則性パターンと対応する形で格納
される。（同図では欠陥が“１”として格納され
ている状態を示している。） 第１５図において、アドレス（Ｋ＋４）に格納
されている欠陥は走査SC１において検出された
ものであり、アドレス（ｌ＋４）のそれは走査
SC２の時の欠陥である。これらの欠陥は本来、
Ｘ方向縁部として除外されなければならないので
あるが、走査SC１とSC２にまたがつているため
にＸ方向縁部判別回路４１で除外できなかつたも
のである。このような、縁部判別回路では判別不
可能な欠陥が、以下に説明する中央処理装置３２
により、Ｘ方向の連続性を判別することによつて
判別される。

規則性パターン５０の全面に渡つて、上述の欠
陥情報格納が終了すると、中央処理装置３２が縁
部判別を始める。ここにおいて、第１の領域は第
２の領域と共に中央処理装置３２の主メモリとな
つており、第１の領域は上述したように欠陥情報
の格納専用であり、第２の領域は本検査装置全体
の制御、縁部判別、欠陥情報の出力、等を中央処
理装置３２に行なわせるためのプログラムと、縁
部による欠陥を除いた真の欠陥の座標を蓄えてお
くための領域がある。

以上までの説明で分るように、第１の領域へ与
えられるアドレス信号及びデータ信号は、欠陥情
報格納時にはアドレス発生回路３１及びＹ方向縁
部判別回路４２に接続され、中央処理装置３２に
よる縁部判別時には中央処理装置３２からのアド
レスバス３５及びデータバス３６に接続されなけ
ればならない。この切り換えのために、外部信号
によつて切り換え可能な双方向性バツフア３３が
アドレス信号用とデータ信号用に設けられてい
る。バツフア３３を切り換える信号３７は、パタ
ーン移動装置６２から出力される移動開始信号
MST及び移動終了信号MSPを用いて、モード切
換信号発生回路３４により作られる。

第１６図は、中央処理装置３２とパターン移動
装置６２の動作の時間的推移を、欠陥検査の１周
期について示したものである。矢印３８は、それ
の直前に第１の領域に格納されたパターン全面の
欠陥情報の中から、縁部によつて生ずる欠陥以外
を抽出し、その欠陥情報が格納されていた第１の
領域内の場所から、規則性パターン上の位置座標
を割り出し、第２の領域へ割り出された位置座標
を格納する。この内部処理が完了すると、中央処
理装置３２は移動開始指令STをパターン移動装
置６２へ出力する。パターン移動装置６２は移動
開始指令信号STを受け取ると移動開始信号STを
モード切換信号発生回路３４及び中央処理装置３
２へ送出し、パターンの移動を開始する。双方向
性バツフア３３は移動開始信号STの発生と同時
に中央処理装置３２と切り離され、アドレス発生
回路３１及びマルチ検出回路２１側へ接続され
る。そして、中央処理装置３２は移動開始信号
MSTを受けると同時に、矢印３８において第２
の領域に格納しておいた欠陥の位置座標を入出力
制御装置４３を介して外部出力装置２５へ出力す
る。第１６図で、矢印３９が外部出力装置２５へ
のの出力、矢印４０がパターンの移動及び欠陥情
報の第１の領域への格納を示している。パターン
の移動が終了するとパターン移動装置６２から移
動終了信号MSPが発せられ、第１の領域が移動
開始信号MSTの時とは逆に中央処理装置側に接
続され、中央処理装置３２は再び矢印３８の状態
に入る。以上のような周期が繰り返され、検査が
進行して行く。しかして、第１４図の一実施例に
おけるパターン移動装置６２からの移動終了信号
を受けて、記憶装置２２内の第１の領域に格納さ
れた形状欠陥情報のうち、等速移動によつて、フ
オトデイテクタアレイ１１が走査する領域の境界
線にまたがつて前記等速移動方向と直角に複数連
続して検出された欠陥情報をパターンの横方向縁
部と判別して、縁部に含まれない形状欠陥情報に
対応する規則性パターンの位置座標情報を記憶装
置２２内の第２の領域に格納し、この第２の領域
への格納が終了するとパターン移動装置６２へ移
動開始指令信号を送出し、そのパターン移動装置
６２からの移動開始信号を受けて第２の領域へ格
納済みの先の位置座標情報を形状欠陥として外部
出力装置２５へ出力する中央処理装置３２、アド
レス発生回路３１、双方向性バツフア３３、モー
ド切換信号発生回路３４、アドレスバス３５、デ
ータバス３６およびインターフエイス４３などを
まとめて制御装置という。

かくして、本発明によれば、メタルメツシユ等
の開口規則性配列パターンの縁部が通常の欠陥と
完全に識別され、規則性パターンの欠陥検査装置
としての信頼性の向上と、検査能率の格段の飛躍
が認められる。

【図面の簡単な説明】

第１図は空間フイルタリング方式の基本構成
図、第２図は矩形状の単位開口の規則的配列で成
るパターンの一例を示す図、第３図Ａ〜Ｅはパタ
ーンの欠陥、正常を表わす図、第４図は逆フーリ
エ変換面に現われる被検査パターンの逆像の欠陥
部分の像の説明図、第５図は被検査パターンの規
則性パターンの外に縁肉部との間に介在する縦・
横方向縁部の説明図、第６図は本発明で適用され
る欠陥検出装置のパターンの欠陥検出部の平面
図、第７図はその移動装置の移動方向の説明図、
第８図から第１４図までは本発明の一実施例の構
成を示すブロツク図、第１５図は記憶装置内の欠
陥情報の格納状態を仮想的に示す図、第１６図は
その実施例が動作する時の時間的推移を示す図、
第１７図から第２０図はその実施例のタイミング
チヤートである。 １……レーザ発振器、２……レーザビーム、３
……コリメータ、４……平行光、５……被検査
物、６……回折した光、７……フーリエ変換レン
ズ、８……空間周波数フイルタ、９……そのフイ
ルタ８を透過した光、１０……逆フーリエ変換レ
ンズ、１１……フオトデイテクタアレイ（スクリ
ーン）、１２……光軸、１３……単位フオトデイ
テクタ、１４……単位開口、１５……通常の欠
陥、１６……縁肉部、２０……形状欠陥部光、２
１……マルチ検出回路、２２……記憶装置、２３
……書き込み信号発生回路、２４……制御装置、
２５……外部出力装置、２６……増幅器、２７…
…２値化回路、２８……サンプリング回路、３１
……アドレス発生回路、３２……中央処理装置、
３３……双方向性バツフア、３４……モード切換
信号発生回路、３５……アドレスバス、３６……
データバス、３７……モード切換信号、３８……
縁部判別及び欠陥位置座標の格納動作、３９……
欠陥位置座標の出力動作、４０……パターンの移
動及び欠陥情報の格納動作、４１……Ｘ方向縁部
判別回路、４２……Ｙ方向縁部判別回路、４３…
…インターフエイス、４４……Ｙ方向領域指定信
号発生回路、４５……Ｘ方向領域指定信号発生回
路、５０……規則性パターン、５Ｙ……縦方向縁
部、５Ｘ……横方向縁部、６１……駆動装置、６
２……パターン移動装置、６３……Ｙ位置信号発
生装置、６４……Ｘ位置信号発生装置、７１〜７
４……パターン移動装置、６２の移動経路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ レーザー光回折パターン空間周波数フイルタ
   リング方式を用いて単位開口の規則性配列で成る
   規則性パターン中の形状欠陥を検出する装置にお
   いて、 ａ 逆フーリエ変換面上に、単位フオトデイテク
   タを複数個一列に配列して成るフオトデイテク
   タアレイと、 ｂ 前記規則性パターンを、光軸に直角な面内
   で、前記フオトデイテクタアレイと直角方向へ
   の等速移動と、平行方向へのフオトデイテクタ
   アレイの長さ分のピツチ送りを繰返して移動さ
   せ、移動開始と移動終了において信号を発生す
   るパターン移動装置と、 ｃ 前記等速移動とピツチ送りに従つて、前記規
   則性パターンの移動距離情報を出す装置と、 ｄ 前記フオトデイテクタアレイに入射する形状
   欠陥部光を並列検出するマルチ検出回路と、 ｅ 前記規則性パターンの縁部より内側に領域を
   設け、この領域の外側にて前記単位フオトデイ
   テクタの前記等速移動方向に複数連続して発生
   する形状欠陥信号を、前記フオトデイテクタア
   レイの横位置を表す信号を受け横方向の領域を
   指定する信号を発生する回路からの信号によ
   り、前記規則性パターンの縦方向縁部と判別
   し、前記等速移動方向と直角に連続した複数の
   単位フオトデイテクタに同時に発生する形状欠
   陥信号を、前記フオトデイテクタアレイの縦位
   置を表す信号を受け縦方向の領域を指定する信
   号を発生する回路からの信号により、前記規則
   性パターンの横方向縁部と判別し、この領域の
   内側にて発生する形状欠陥信号をすべて形状欠
   陥部と判別する縁部判別回路と、 ｆ 前記縁部判別回路の少なくとも１つの出力に
   前記形状欠陥信号が検出された時に限り、前記
   縁部判別回路の出力を記憶装置内の第１の領域
   へ書き込むための信号を発生する書き込み信号
   発生回路と、 ｇ 前記パターン移動装置からの移動終了信号を
   受けて、前記記憶装置内の第１の領域に格納さ
   れた形状欠陥情報のうち、前記等速移動によつ
   て、前記フオトデイテクタアレイが走査する領
   域の境界線にまたがつて前記等速移動方向と直
   角に複数連続して検出された欠陥情報を前記規
   則性パターンの横方向縁部と判別して、該縁部
   に含まれない形状欠陥情報に対応する前記規則
   性パターン上の位置座標情報を前記記憶装置内
   の第２の領域に格納し、該第２の領域への格納
   が終了すると前記パターン移動装置へ移動開始
   指令信号を送出し、該パターン移動装置からの
   移動開始信号を受けて前記第２の領域へ格納済
   みの前記位置座標情報を形状欠陥として外部出
   力装置へ出力する制御装置と、 を備えることを特徴とする規則性パターンの欠陥
   検査装置。