JPS5828653A - 材料表面欠陥検出装置 - Google Patents
材料表面欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS5828653A JPS5828653A JP12706581A JP12706581A JPS5828653A JP S5828653 A JPS5828653 A JP S5828653A JP 12706581 A JP12706581 A JP 12706581A JP 12706581 A JP12706581 A JP 12706581A JP S5828653 A JPS5828653 A JP S5828653A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- signal
- circuit
- defects
- defect
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシート状の材料（以下、シート材とい５）の欠
陥箇所の検出をおこない、その個数にもとづいて欠陥種
類の分類を行なう材料表面欠陥検出装置に関する。
陥箇所の検出をおこない、その個数にもとづいて欠陥種
類の分類を行なう材料表面欠陥検出装置に関する。
従来、レーザー光を用いたフライングスポット方式によ
る欠陥検出装置が実用化されている。
る欠陥検出装置が実用化されている。
この方式では、機械的スキャンをしてシート材の表面検
査をおこなうために装置として大がかりとなり、また、
検出分解能が機械精度によって左右されるため精度向上
が困難であった。また、従来のこの種の装置の欠陥検出
は、光電変換センサーの出力信号レベルの急激に変化す
る位置を微分回路で検出して、その区間を欠陥区間と判
定してその幅より大きさの分類を行なっているために、
各欠陥それぞれの大きさによる分類となるので、欠陥箇
所が分布している場合すなわち、非連続的な欠陥の検出
が困難であった、また、送り方向についても連続性を調
べて大きさ検出を行なっているためにシート材のぶれに
よる位置ずれの影響をなくすために、エツジを固定して
位置決めをする必要がありた。
査をおこなうために装置として大がかりとなり、また、
検出分解能が機械精度によって左右されるため精度向上
が困難であった。また、従来のこの種の装置の欠陥検出
は、光電変換センサーの出力信号レベルの急激に変化す
る位置を微分回路で検出して、その区間を欠陥区間と判
定してその幅より大きさの分類を行なっているために、
各欠陥それぞれの大きさによる分類となるので、欠陥箇
所が分布している場合すなわち、非連続的な欠陥の検出
が困難であった、また、送り方向についても連続性を調
べて大きさ検出を行なっているためにシート材のぶれに
よる位置ずれの影響をなくすために、エツジを固定して
位置決めをする必要がありた。
本発明は上記欠点を取り除くために、検出系として一次
元の光電変換スキャナを使用することにより、機械的な
スキャンをなくして、さらに欠陥検出方法としては対象
とするシート材の端点な映倫信号を用いて自動的検出を
行ない、またシート材の表面信号レベルを参照信号とし
て浮動２値化方式を用いて欠陥検出し、その個数を長さ
方向に任意に分割されたブロック毎に累積して、その値
により欠陥分類を行なう方法を用いているので、欠陥の
連続性を調べる必要がなく、また分布した非連続した欠
陥検出が容易である。
元の光電変換スキャナを使用することにより、機械的な
スキャンをなくして、さらに欠陥検出方法としては対象
とするシート材の端点な映倫信号を用いて自動的検出を
行ない、またシート材の表面信号レベルを参照信号とし
て浮動２値化方式を用いて欠陥検出し、その個数を長さ
方向に任意に分割されたブロック毎に累積して、その値
により欠陥分類を行なう方法を用いているので、欠陥の
連続性を調べる必要がなく、また分布した非連続した欠
陥検出が容易である。
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は従来用いられているフライングスボ、ト方式を
用いた欠陥検出装置の構成図を示す。
用いた欠陥検出装置の構成図を示す。
同図において、光源１からの光はレンズ系２を通して回
転鏡３に集光される。シート材６のスキャンは回転鏡３
を機械的に高精度に回転することによって行なわれ、照
射された光はシート面上で反射され、光電変換素子５を
通して電気信号に変換されて処理部７で、前記の方法を
用いて鵬埋を行なう。このような機構を用いているので
、シート上での欠陥検出分解能は機械的精度によって大
きく左右される欠点があった。
転鏡３に集光される。シート材６のスキャンは回転鏡３
を機械的に高精度に回転することによって行なわれ、照
射された光はシート面上で反射され、光電変換素子５を
通して電気信号に変換されて処理部７で、前記の方法を
用いて鵬埋を行なう。このような機構を用いているので
、シート上での欠陥検出分解能は機械的精度によって大
きく左右される欠点があった。
第２図は、本発明の実施例において一次元光電変換スキ
ャナを使用した場合の構成図である。
ャナを使用した場合の構成図である。
図に示されるように、光源８によって一様に照射された
シート材６からの反射光を一次元光電変換スキャナ１０
で受光する構成であり、分解能は上記スキャナの映像信
号のサンプリング間隔により決定されるので、分解能向
上が容易であり、また構成も簡単となる。
シート材６からの反射光を一次元光電変換スキャナ１０
で受光する構成であり、分解能は上記スキャナの映像信
号のサンプリング間隔により決定されるので、分解能向
上が容易であり、また構成も簡単となる。
第３図は本発明による欠陥検出の方法の原理を示す対象
とするシート材６は送り方向に対して任意に指定したブ
ロック長１１で複数のブロックに分割され、同図に示さ
れるように幅がシー１幅１２、長さがブロック長１１の
測定エリア１４が決定され、この測定エリア内の欠陥、
１３の個数をカウントすることにより欠陥の分類″′に
行なう。
とするシート材６は送り方向に対して任意に指定したブ
ロック長１１で複数のブロックに分割され、同図に示さ
れるように幅がシー１幅１２、長さがブロック長１１の
測定エリア１４が決定され、この測定エリア内の欠陥、
１３の個数をカウントすることにより欠陥の分類″′に
行なう。
第４図は本発明の一実施例を示すブロック図である。シ
ート材の送り速度を検出するロータリーエンコーダー２
１の出力信号を用いて、コントロール回路２２で、−次
元光電変換スキャナ１５をシート送り速度に同期してス
キャン制御する制御信号と、送り方向に対する距離信号
を発生する。コントロール回路２２で制御された一次元
光電変換スキャナ１５の出力映像信号は１６の浮動２値
化回路によりて欠陥部分が１１１となるよ５な２値化パ
ターンに変換される。
ート材の送り速度を検出するロータリーエンコーダー２
１の出力信号を用いて、コントロール回路２２で、−次
元光電変換スキャナ１５をシート送り速度に同期してス
キャン制御する制御信号と、送り方向に対する距離信号
を発生する。コントロール回路２２で制御された一次元
光電変換スキャナ１５の出力映像信号は１６の浮動２値
化回路によりて欠陥部分が１１１となるよ５な２値化パ
ターンに変換される。
また、工、ジ検出回路１７では、シート面の信号レベル
とバックグランドとのレベル差を利用幅 して端点の検出がなされシートゆが求められる。
とバックグランドとのレベル差を利用幅 して端点の検出がなされシートゆが求められる。
一方、コントロール回路２２から出力されるシート材の
送り方向に対する距離信号は、プロ。
送り方向に対する距離信号は、プロ。
り化回路２３を通すことにより任意に設定したブロック
長に分割される。このブロック長および前記シート材の
幅信号を用いて測定エリア設定回路２４では測定エリア
の決定を行なう、カウンター回路１８は、この測定エリ
ア内における前記欠陥部分１１１の２値パターンの数を
サンプリングクロックでカウントすることにより測定エ
リア内の欠陥の個数をカウントする。このカウント個数
にもとづいて、欠陥分類鴎１９で欠陥の種類分けがなさ
れ、欠陥種類出力信号２０が出力される。
長に分割される。このブロック長および前記シート材の
幅信号を用いて測定エリア設定回路２４では測定エリア
の決定を行なう、カウンター回路１８は、この測定エリ
ア内における前記欠陥部分１１１の２値パターンの数を
サンプリングクロックでカウントすることにより測定エ
リア内の欠陥の個数をカウントする。このカウント個数
にもとづいて、欠陥分類鴎１９で欠陥の種類分けがなさ
れ、欠陥種類出力信号２０が出力される。
このように、従来の方式と異なり、本発明では検出系と
して一次元の光電変換スキャナを使用して〜・るために
、機械的構成が簡単である。
して一次元の光電変換スキャナを使用して〜・るために
、機械的構成が簡単である。
さらに、対象とするシート材の端点より自動的にシート
幅の決定を行ない、またシート材の表面信号レベルを参
照信号として浮動２値化方式を用〜て欠陥検出を行なっ
て、この欠陥個数を任意に分割されたブロック内で累積
して欠陥分類を行なっているので、従来のように欠陥の
大きさを検出するために連続性を調べる複雑な回路が不
要となり、また分布した非連続欠陥検出も容易である。
幅の決定を行ない、またシート材の表面信号レベルを参
照信号として浮動２値化方式を用〜て欠陥検出を行なっ
て、この欠陥個数を任意に分割されたブロック内で累積
して欠陥分類を行なっているので、従来のように欠陥の
大きさを検出するために連続性を調べる複雑な回路が不
要となり、また分布した非連続欠陥検出も容易である。
第１図は従来のフライングスポットスキャナ方式による
材料表面欠陥検出装置を示す構成図、第２図は本発明の
実施例において一次元光電変換スキャナを用いる場合の
配置図、第３図は本発明による欠陥検出方法の原理を説
明するための平面図、第４図は本発明の実施例を示すブ
ロック図である。
材料表面欠陥検出装置を示す構成図、第２図は本発明の
実施例において一次元光電変換スキャナを用いる場合の
配置図、第３図は本発明による欠陥検出方法の原理を説
明するための平面図、第４図は本発明の実施例を示すブ
ロック図である。
Claims (1)
- シート状の材料を一定速度で送る送り機構と、その送り
方向に対して垂直に取りつけられた一次元光電変換スキ
ャナと、その出力映像信号より端点な検出するエツジ検
出回路と、前記材料の表面の映像信号を参照信号レベル
として浮動２値化方式を用いて欠陥箇所を検出する浮動
２値化回路と、前記材料の送り速度を検出するエンコー
ダーと、その出力信号より前記−次元光電変換スキャナ
のサンプリング間隔を制御するコントロール回路と、前
記材料を送り方向に対して複数個のブａ、りに分割して
、前記プ四ツク内での前記欠陥個数をカウントするカウ
ンター回路と、このカウント結果により欠陥種類の分類
を行な５分類回路を備えていることを特徴とする材料表
面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12706581A JPS5828653A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 材料表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12706581A JPS5828653A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 材料表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5828653A true JPS5828653A (ja) | 1983-02-19 |
Family
ID=14950712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12706581A Pending JPS5828653A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 材料表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5828653A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033036A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-20 | Ckd Corp | 錠剤の欠け検出装置 |
| US4812726A (en) * | 1986-01-16 | 1989-03-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servo circuit positioning actuator |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5484789A (en) * | 1977-12-19 | 1979-07-05 | Fujitsu Ltd | Diagnosis method of surface inspector |
-
1981
- 1981-08-13 JP JP12706581A patent/JPS5828653A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5484789A (en) * | 1977-12-19 | 1979-07-05 | Fujitsu Ltd | Diagnosis method of surface inspector |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033036A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-20 | Ckd Corp | 錠剤の欠け検出装置 |
| US4812726A (en) * | 1986-01-16 | 1989-03-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servo circuit positioning actuator |
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