JPS6329320A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｃ浬業上の利用分野〕 本発明は電子計算機の周辺において、計算に必要な多く
の情報を電磁気的に記録する礎気記録媒体訊會び４の製
造方法に関する。

〔従来の技術〕

従来の磁気記録円板において、磁気記録円板と読み賽き
ヘッドとの接触による情報の読み否き不能となる事故で
あるヘッドクラッシュを防止する方法として、金属酸化
物等の硬゛：削性の物質を磁気記録媒体に混ぜたシ、特
開昭５９−１８６１３５に示されるように穴を開けて形
成したりする方法が用いられていた。これらの方法は磁
気記ｄｏｌｔ体の一部を硬剛性物質で置きかえてしまう
ため、磁気記録密度を高める上の磁性物質を高密度化す
る点で問題がろシ、磁気記録密度を向上させるという点
については配慮されていなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は磁気記録媒体に磁性物質を高密度化する
という点について配慮されておらず、磁気記録装置の記
録密度を高める上で問題があった。

本発明の目的は磁気記録媒体の記録密度を損うことなし
に、耐ヘッドクラツシユ性や非粘着性を向上させるに好
適表磁気記録媒体参番ヒ碕の調造方法を提供することに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、耐ヘッドクラツシユ性を高めるための硬銅
性物質を磁気記録媒体中ではなくて、その表面に形成す
ることＫよって達成される。また最小の数と面積の硬銅
性物質によって耐ヘッドクラツシユ性を高めるため、最
適な位置と大きさとなるようにリングラフィ技術を用い
て硬銅性物質を形成固定した。さらに硬銅性物質の厚さ
を任意に制御することによ）効率向上を図った。またさ
らに硬銅性物質を記録媒体面に対して加圧押付処理する
ことによシ磁性物質の高密度化および硬銅性物質の固定
安定性を向上させた。

〔作用〕

磁気記録媒体の表面の所定位置に形成された硬銅性物質
は、磁気記録円板ておいて、磁気記録媒体と磁気ヘッド
が直接接触することを防き゛、またヘッドのスライダ面
に付着した汚れを削シ除去する役をはたす。一方、硬銅
性物質の直下には従来のものとけ異って磁性物質が存在
してｈるため、磁気記録部として使用可能で記録密度を
低減することがない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は磁気記録円板の断面図である。Ａｔ合金の基板１０
表面（本図および第２図も片面のみ示す）に、酸化鉄（
ｒ−Ｆ、ｅｚＯ３）等の磁性物質が樹脂で混練された磁
気記録媒体２が塗布されている。磁気記録媒体のみでは
信号を書き読みする際に図示していない磁気ヘッドと磁
気記録媒体が強く接触する現象をくり返すことＫより、
ヘッドクラッシュを生じてしまう。

ヘッドクラッシュを防止するため、従来は特開昭４７−
４６６に示されるよりなフィシと呼ばれるアルミナ等の
硬度の大きな粒子を磁気記録媒体中に混入していた。し
かしこの粒子は一様でないため、−様な形状の硬い物質
をリングラフィ技術を用いて磁気記録媒体中に形成する
方法が特開昭５９−１８６１３５で示されている。しか
しこれらの従来例はいずれも磁気記録媒体中に被磁性物
質である硬い物質を形成するためその分だけ磁性物質の
量が城υ記鎌密度を高める上での問題となっていた。

本発明では、第１図（ｂ）のようＫｔａ気記鎌媒体２の
表面に感光剤４を１μｍ厚さで塗布し、図示していない
縮小投影露光装置と用いて０．５μｍφのパターンを所
定位置に露光し、現像処理によシ微小孔７を有したマス
クとして供した（同図（Ｃ））。

次にアルミナやＳｉＣのような破開１ｊ性物質３をスパ
ッタにより蒸着した（同図（ｄ））。最後にマスクの役
をした感光剤４を溶剤で除去すると硬阿１ｊ性物質を表
面に有した磁気記録媒体２からなる磁気記録円板が得ら
れる（同図（ｅ））。なおスパッタ蒸着時に蒸着量を制
御することによ）、硬銅性物質の高さを同図（ｅ）の３
５　＋　２５５のように異ったものとすることが可能で
ある。これは磁気記録円板の回転による周速に応じた最
適な突起高さの硬寓１１性物質を形成するのに好都合で
ある。なコ本発明例では磁気記録円板の内周側の硬銅性
物質の高さを０．２μｍ、外周側を０．３μｍとして、
その間は直線的に変化するようにスパッタ条件を選定し
た。

同図Ｃｅ）で示すように硬銅性物質と基板１との間【も
磁性物質を含んだ磁気記録媒体が存在するため磁気記録
円板の低下を生じないため、磁気記録装置の高密贋化に
好適な磁気記録円板が得られる。

本発明の第２の実施列を第２図に示す。基板１上の磁気
記録媒体２の表面に一様舊たは所定の膜厚分布を持たせ
て硬銅性物質３をスパッタ蒸着する（同図！ｂ））。硬
銅性物質はメッキ法等を用いて付着させても良い。次に
Ｃｔガスなどの活性雰囲気中に該円板を設置して短波長
の紫外光等をレーザやＳＯＲを利用して照射し、不要な
場所の硬銅性物質を反応昇化させてしまう（同図（Ｃ）
）。その結果として所定位置に所定の面積で所定の厚さ
の硬剛性物質５を有した磁気記録媒体が得られる（同図
＠））。

上述の二つの方法で硬剛性物質を両面に有した磁気記録
円板において、硬剛性物質と磁気記録媒体面の固定力を
高める方法の一実施例を第３図に示す。同図（ａ）に示
すように加圧ローラ１１．１２を用いて加圧力Ｆを加え
ると硬剛性物質５は磁気記録媒体２に押し込まれて固定
力を増す（同図（ｂ））。

一方硬剛性物質５と基板１との間に介在している磁性物
質は圧縮され高密度化されるだけで排除されないため、
磁気記録密度の低下をもたらさない。

このようにして強固に固定された硬剛性物質６を有する
磁気記録円板が得られる（同図（ψ）。

なお本発明例に用いた磁気記録媒体は塗布方法により基
板上く形成された塗布媒体でるるが、Ｃ０Ｃｒのような
磁性材をスパッタ等により基板上に形成するいわゆる連
続媒体を用いた磁気記録円板の製造にも適用できること
は容易である。また硬剛性物質を所定位置に形成するた
めのパターンニング技術としては広く半導体分野そ用い
られているリソグラフィ技術の応用が可能でるシ、硬剛
性物質の材質や寸法等は本発明例に限定されるものでな
いことは明らかでめる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、磁気記録媒体の表面の任意の所定位置
に所定の形状（面積、高さ）の硬剛性物質を形成し固定
でき、しかもそれによって磁性物質の存在が排除されな
いため記録密度の低下を生じない。従って、磁気記録密
度の高密度化にともなって薄膜化して行く磁気記録媒体
の耐ヘッドクラツシユ性や非粘着性を高めることと、磁
気記録密度の向上との両者を満すことが可能となる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は本発明の
別の実施例の断面図、第３図は本発明の応用例の断面図
である。 １・・・基板、２・・・磁気記録媒体、３・・・硬剛性
物質、４・・・感光剤。 ′￥Ｆ３／１２］ （（Ｌ） （ｅ） ３に更ｑ１″陀勺貰 第　２　凹 （ｂン （Ｃ） （改） ２　石孤飄要（ｔｉ二＠プ１１う本 ５−縁両１１″Ｙ物η憤

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に磁性物質とそれを保持する媒体からなる磁
   気記録媒体を有する磁気記録媒体の製造方法において、
   所定の位置に所定の形状のパターンを有するマスク材を
   該磁気記録媒体の表面に形成し、硬剛性の物質をスパッ
   タリングの方法で付着させ、該マスク材を除去した後、
   該所定の位置にのみ該所定の形状で所定の厚さを有する
   硬剛性物質を固定させたことを特徴とする磁気記録媒体
   の製造方法。 ２、硬剛性の物質を該円板表面に所定の厚さで付着させ
   た後に、該円板上の所定の位置の該硬剛性物質を活性雰
   囲気中でレーザ光を照射する手段で除去して、残りの所
   定位置に所定厚さの硬剛性物質を固定させたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体の製造
   方法。 ３、該硬剛性物質に対し該円板表面の法線方向に力を加
   え、該硬剛性物質を所定量だけ磁気記録媒体中に押し込
   むことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記
   録媒体の製造方法。