JPS6329087A - 回転真空ポンプの軸封装置 - Google Patents

回転真空ポンプの軸封装置

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Publication number
JPS6329087A
JPS6329087A JP17149886A JP17149886A JPS6329087A JP S6329087 A JPS6329087 A JP S6329087A JP 17149886 A JP17149886 A JP 17149886A JP 17149886 A JP17149886 A JP 17149886A JP S6329087 A JPS6329087 A JP S6329087A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotary shaft
magnetic fluid
pump
outer periphery
sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17149886A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadao Kazamaki
風巻 忠男
Ichiro Kozuka
小塚 一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP17149886A priority Critical patent/JPS6329087A/ja
Publication of JPS6329087A publication Critical patent/JPS6329087A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F04C27/009Shaft sealings specially adapted for pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は液封型或は非液封型の回転真空ポンプにおける
軸封装置に関する。
(従来の技術〉 従来この種装置として、吸気口と排気口とを有するポン
プ本体内に、該本体の側壁に形成される軸孔を介しての
びる回転軸上のロータを収容するポンプ室と、その外周
或はその側方の潤滑室とを備えると共に、該軸孔内に該
回転軸との間にシール部材を備えて該本体を外部からシ
ールするようにしたる式のものは公知である。
継■ (養蚕が解決しようとする問題点) 然し乍ら、この場合、該シール部材はオイルシール或は
メカニカルシール等の機械的な接触シールであるを一般
としたもので、か)るものでは該シール部分に潤滑油と
その給油手段とを必要とし、更にその接触部分は加工精
度及び組立精度が厳しくこれに破損を生じ勝ちであり、
更に該シールは方向性を有するため、例えば真空排気初
期成は故障時等内部が大気圧以上になることがあるが、
このような場合単独ではその逆圧に耐えず、これを逆圧
に耐えるものとした場合、構造が複雑で高価となり勝ち
であり、更には前記した潤滑油は、ポンプ本体内の潤滑
油を兼用するため、比較的速やかに劣化してそれによる
シール性能の低下を生じ勝ちである等の不都合を伴う。
(問題点を解決するための手段) 本発明はか)る不都合のない装置を得ることをその目的
としたもので、吸気口と排気口とを有するポンプ本体内
に、該本体の側壁に形成される軸孔を介してのびる回転
軸上のロータを収容するポンプ室と、その外周或はその
側方の潤滑室とを備えると共に、該軸孔内に該回転軸と
の間にシール部材を備えるものにおいて、該シール部材
を該回転軸の外周の磁性流体と、これを囲繞する該軸孔
側の環状の永久磁石とで構成して成る。
〈作 用) その作用を説明するに、回転軸の外周の磁性流体はその
外周の軸孔側の永久磁石の磁気作用によりその内部に保
持されて該軸孔内に該回転軸との間に良好なシールを提
供するもので、このシールは内部の真空と、外部の大気
圧との圧力差に耐えると共に、その内側のポンプ室或は
潤滑室を外部から密封すべく有効に機能する。
〈実施例) 第1図及び第2図は液封型のポンプ即ち曲回。
転ポンプに適用した場合を示すもので、(1)はポンプ
本体を示し、該本体(1)はその上側に吸気口(2)と
排気口(3)とを備えると共に、その内部に該本体(1
)の側壁(4〉に形成される軸孔り5)を介してのびる
回転軸(6)上のロータ(7)を収容するポンプ室(8
)と、その外周の液封作用の油を収容する潤滑室(9)
とを備え、更に該軸孔(5)内に該回転軸(6)との間
にシール部材(IGを備える。尚該回転軸(6)はその
外方の端部においてモータその他の駆vJ源(図示しな
い)に連なるもので、図示のものでは、該端部にプーリ
03を備えるようにした。
以上は従来のものと特に異ならないが、本発明によれば
、該シール部材aOを、該回転軸(6ンの外周の磁性流
体(11)と、これを囲繞する該軸孔(5)側の環状の
永久磁石(+21とから成る磁性流体シールに構成させ
るようにした。更に詳細には例えば第3図に明示の通り
であり、即ち該永久磁石aZの前後に環状のホールピー
ス(12a)(12a)を設けると共に、該回転軸(6
)にはその外周に比較的狭幅の5條(6a)を多数段に
並設して該ホールピース(12a HI3 a )の内
周面との門にラビリンス型の隙間を形成させ、該隙間に
流体qi)を吸着してそこをシールするようにした。(
12b)はOリング等のシール材である。
第4図は非液封型のポンプ即ちルーツ式ポンプに適用し
た場合を示すもので、この場合法ポンプ本体(1)は上
方に該吸気口(2)と、下方に該排気口(3)とを備え
ると共にその内部には該潤滑室(9)が該ポンプ室(8
)の角界側に1対に並設されてその一方には同期ギヤ(
6b)が収容されるとともに、その他方にはこれに連な
る該軸孔(5)が存し、これを介して該回転軸(6)が
外方にのびると共に、その内部には該シール部材GOが
漏えられこれは該磁性流体(′11)と該永久磁石0z
とから成るもので、残余の点は先のものと特に異なるこ
となく該シール部材l′IOは該・軸孔(5)内に良好
なシール性を与える。
(発明の効果) このように本発明によるときは、軸孔内のシール部材を
回転軸の外周の磁性流体と、これを囲繞する該軸孔側の
環状の永久磁石とから成る磁性流体シールに構成させる
もので、従来の搬機的な接触シールにおける前記した各
種の不都合を無くし得られ、特に真空ポンプの場合生じ
易い逆圧に耐えると共に潤滑油の劣化に伴うシール性能
の低下がなくて便利であり、長期に亘り安定した使用さ
れると共にその構成は簡単で廉価に得られる等の効果を
有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置を備えた真空ポンプの1例の截断正
面図、第2図はその截断側面図、第3図はその要部の拡
大断面図、第4図は他の1例の截断側面図である。 (1)・・・ポンプ本体 (2)・・・吸気口 (3)・・・排気口 (4)・・・側壁 (5)・・・軸孔 (6)・・・回転軸 (7)・・・ロータ (8)・・・ポンプ室 (9)・・・潤滑室 00・・・シール部材 (Ii)・・・磁性流体 (1つ・・・永久磁石 第2図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 吸気口と排気口とを有するポンプ本体内に、該本体の側
    壁に形成される軸孔を介してのびる回転軸上のロータを
    収容するポンプ室と、その外周或はその側方の潤滑室と
    を備えると共に、該軸孔内に該回転軸との間にシール部
    材を備えるものにおいて、該シール部材を該回転軸の外
    周の磁性流体と、これを囲繞する該軸孔側の環状の永久
    磁石とで構成して成る回転真空ポンプの軸封装置。
JP17149886A 1986-07-23 1986-07-23 回転真空ポンプの軸封装置 Pending JPS6329087A (ja)

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JP17149886A JPS6329087A (ja) 1986-07-23 1986-07-23 回転真空ポンプの軸封装置

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JP17149886A JPS6329087A (ja) 1986-07-23 1986-07-23 回転真空ポンプの軸封装置

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JPS6329087A true JPS6329087A (ja) 1988-02-06

Family

ID=15924213

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JP17149886A Pending JPS6329087A (ja) 1986-07-23 1986-07-23 回転真空ポンプの軸封装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107956882A (zh) * 2017-12-13 2018-04-24 广西科技大学 一种多级圆盘磁流体密封装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107956882A (zh) * 2017-12-13 2018-04-24 广西科技大学 一种多级圆盘磁流体密封装置
CN107956882B (zh) * 2017-12-13 2023-05-05 广西科技大学 一种多级圆盘磁流体密封装置

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